JPS63305228A - 放射温度計 - Google Patents
放射温度計Info
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- JPS63305228A JPS63305228A JP14173987A JP14173987A JPS63305228A JP S63305228 A JPS63305228 A JP S63305228A JP 14173987 A JP14173987 A JP 14173987A JP 14173987 A JP14173987 A JP 14173987A JP S63305228 A JPS63305228 A JP S63305228A
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Landscapes
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は物体の温度を光を媒体として測定する放射温度
計に関する。
計に関する。
従来の技術
このような放射温度計では被測定物の放射率を知ること
が必要であるが、−mにそのような放射率は未知の場合
が多い。そこで、この放射率を適当に仮定して演算を行
う訳であるが、特開昭56−130622号では光とし
て二色(三波長)を使うと共に放射率εをε(λ、)=
ε(λ2)と仮定、即ち波長λ1、λ2ごとに等しいと
仮定して演算している。また、特開昭56−13062
3号では光として三色(三波長)を使うと共に、放射率
をε(λ) =exp(a6+a+λ)と仮定している
。更に特開昭57−7529号では三色(三波長)を用
い、放射率をε(λ、)=ε(λ2)と仮定して温度T
1□を算出すると共に、同様にTt3、T31を算出し
てT={TI2+TZ3+T:l1)/3を真の温度と
している。
が必要であるが、−mにそのような放射率は未知の場合
が多い。そこで、この放射率を適当に仮定して演算を行
う訳であるが、特開昭56−130622号では光とし
て二色(三波長)を使うと共に放射率εをε(λ、)=
ε(λ2)と仮定、即ち波長λ1、λ2ごとに等しいと
仮定して演算している。また、特開昭56−13062
3号では光として三色(三波長)を使うと共に、放射率
をε(λ) =exp(a6+a+λ)と仮定している
。更に特開昭57−7529号では三色(三波長)を用
い、放射率をε(λ、)=ε(λ2)と仮定して温度T
1□を算出すると共に、同様にTt3、T31を算出し
てT={TI2+TZ3+T:l1)/3を真の温度と
している。
一方、特開昭61−30727号は二色を使って、反射
光L (λ1)、L(λ2)をそれぞれ測定し、これと
放射率ε(λ1)、ε(λ2)から表される反射強度比
しくλ1)/L (λり一(1−ε(λ、))/(1−
ε(λ2))に基づいて温度を演算している。即ち、測
定放射輝度をD(λ)、温度Tの黒体放射輝度測定値を
Do(λ、T)とすると、ε(λ)=D(λ)/Do(
λ、T)であってDo(λ、T)はブランクの公式と装
置定数により計算でき、結局L(λ、)/L (λ2)
の式は未知数がTのみであるから温度が求まるというも
のである。
光L (λ1)、L(λ2)をそれぞれ測定し、これと
放射率ε(λ1)、ε(λ2)から表される反射強度比
しくλ1)/L (λり一(1−ε(λ、))/(1−
ε(λ2))に基づいて温度を演算している。即ち、測
定放射輝度をD(λ)、温度Tの黒体放射輝度測定値を
Do(λ、T)とすると、ε(λ)=D(λ)/Do(
λ、T)であってDo(λ、T)はブランクの公式と装
置定数により計算でき、結局L(λ、)/L (λ2)
の式は未知数がTのみであるから温度が求まるというも
のである。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、上記特開昭56−130622号及び特
開昭57−7529号ではε(λI)=ε(λ2)と仮
定しているため、放射率スペクトルが一定の場合でしか
真の温度が算出できない。即ち、放射率スペクトルが一
定でない場合にはε(λI)=ε(λ2)の仮定自体に
誤りがあるので、正しい温度が算出できない。いずれに
しても、これらの特開昭56−130622号、特開昭
57−7529号は特開昭56−130623号も含め
放射率の仮定に反射光による情報を入れていないため、
一定の場合を除き真の温度を求めることが不可能である
。
開昭57−7529号ではε(λI)=ε(λ2)と仮
定しているため、放射率スペクトルが一定の場合でしか
真の温度が算出できない。即ち、放射率スペクトルが一
定でない場合にはε(λI)=ε(λ2)の仮定自体に
誤りがあるので、正しい温度が算出できない。いずれに
しても、これらの特開昭56−130622号、特開昭
57−7529号は特開昭56−130623号も含め
放射率の仮定に反射光による情報を入れていないため、
一定の場合を除き真の温度を求めることが不可能である
。
一方、特開昭61−30727号の演算では、互いに異
なる2つの温度が求められてしまう場合がある。
なる2つの温度が求められてしまう場合がある。
これは、この演算において用いられているR(λ1)/
R(λg)={1−ε (λ、))/(1−ε (λ2
))(但しRは反射率)が成り立つのは被測定物からの
反射光を前部集めるか、若しくは被測定物が完全拡散面
のときのみであるからである。
R(λg)={1−ε (λ、))/(1−ε (λ2
))(但しRは反射率)が成り立つのは被測定物からの
反射光を前部集めるか、若しくは被測定物が完全拡散面
のときのみであるからである。
本発明の目的は以上の問題を解決した新規且つを効な放
射温度計を提供することにある。
射温度計を提供することにある。
問題点を解決するための手段
波長の異なる2以上の参照光を被測定物に向けて照射す
る照光手段と前記各波長の参照光を測光する参照光測光
手段と、前記被測定物により反射された前記各波長の参
照光の反射光を測光する反射光測光手段と、前記被測定
物からの放射輝度を各波長別に測光する放射輝度測光手
段と、放射率ε(λ)をε(λ)=L−k(λ)×L(
λ)(k(λ)は未知数を含む波長λの関数、L(λ)
は測定反射情報値〕として前記各波長について前記各測
光手段で得られる測光値から前記被測定物の温度を算出
する演算手段と、から成る放射温度計。
る照光手段と前記各波長の参照光を測光する参照光測光
手段と、前記被測定物により反射された前記各波長の参
照光の反射光を測光する反射光測光手段と、前記被測定
物からの放射輝度を各波長別に測光する放射輝度測光手
段と、放射率ε(λ)をε(λ)=L−k(λ)×L(
λ)(k(λ)は未知数を含む波長λの関数、L(λ)
は測定反射情報値〕として前記各波長について前記各測
光手段で得られる測光値から前記被測定物の温度を算出
する演算手段と、から成る放射温度計。
作用
本構成では、推定放射率に放射率と関係の深い測定反射
情報が入っているので、実際の放射率スペクトルが複雑
な場合であっても、誤差の小さい温度が算出できること
になる。しかも、その際、放射率εを単にε=1−に−
L(λ)(kは定数、L(λ)は測定反射情報値〕と仮
定するだけであればkが波長により異なるような場合に
は温度誤差が比較的大きくなるが、本構成ではε=1−
k(λ)×L(λ)と仮定し、kを波長λの関数として
いるので、正しい温度を算出できる。
情報が入っているので、実際の放射率スペクトルが複雑
な場合であっても、誤差の小さい温度が算出できること
になる。しかも、その際、放射率εを単にε=1−に−
L(λ)(kは定数、L(λ)は測定反射情報値〕と仮
定するだけであればkが波長により異なるような場合に
は温度誤差が比較的大きくなるが、本構成ではε=1−
k(λ)×L(λ)と仮定し、kを波長λの関数として
いるので、正しい温度を算出できる。
実施例
本発明の一実施例を図面と共に説明する。第1図は本発
明の一実施例の放射温度計の概略構成図である0本実施
例においては、異なる3つの波長λ1、λ2、λ、の光
を測定するものとする。照光手段は、異なる3つの波長
λ3、λ2、λ3の光を含む参照光を発生する光源りと
、光源りからの参照光を断続させるチョッパCPとを含
み、被測定物TOに断続光を照射する。チョッパCPは
透光部と遮光部とを有する回転体を回転させることによ
り実現されている。LSは、被測定物TGからの光を集
光するレンズであり、集光された光はファイバーFBに
より、3分岐される。ファイバーFBI、FB2、FB
3を透過した光は、波長λ1、λ2、λ3の光を透過す
る光学フィルタF ’+ 、F’Z % F’3を介し
て光検出器S’l 、312、S゛3にてそれぞれ受光
される。光検出器511、S’2.51.では被測定物
TG自身が放射している放射光の放射輝度B(λ、T)
と、光源りの光が被測定物TGによって反射される反射
光の強度信号の両方が重畳されて検出される。光検出器
S”。
明の一実施例の放射温度計の概略構成図である0本実施
例においては、異なる3つの波長λ1、λ2、λ、の光
を測定するものとする。照光手段は、異なる3つの波長
λ3、λ2、λ3の光を含む参照光を発生する光源りと
、光源りからの参照光を断続させるチョッパCPとを含
み、被測定物TOに断続光を照射する。チョッパCPは
透光部と遮光部とを有する回転体を回転させることによ
り実現されている。LSは、被測定物TGからの光を集
光するレンズであり、集光された光はファイバーFBに
より、3分岐される。ファイバーFBI、FB2、FB
3を透過した光は、波長λ1、λ2、λ3の光を透過す
る光学フィルタF ’+ 、F’Z % F’3を介し
て光検出器S’l 、312、S゛3にてそれぞれ受光
される。光検出器511、S’2.51.では被測定物
TG自身が放射している放射光の放射輝度B(λ、T)
と、光源りの光が被測定物TGによって反射される反射
光の強度信号の両方が重畳されて検出される。光検出器
S”。
、S”l、s’2の出力信号のうち被測定物TG自身が
放射している放射光の放射輝度B(λ、T)は一定であ
るから、直流信号として検出され、その検出信号はDC
アンプ1゛、2゛、3”にそれぞれ増幅され、波長λ3
、λ2、λ、についての放射輝度測定値D(λ1)、D
(λ2)、D(λ3)として出力する。このDCアンプ
1゛、2”、3”と、前記光学フ4 ルタF’+ 、F
’s 、F”x %及び光検出器s11、Sl、 %
S’3により、3波長光に対する上述の放射1度測光手
段が構成されている。
放射している放射光の放射輝度B(λ、T)は一定であ
るから、直流信号として検出され、その検出信号はDC
アンプ1゛、2゛、3”にそれぞれ増幅され、波長λ3
、λ2、λ、についての放射輝度測定値D(λ1)、D
(λ2)、D(λ3)として出力する。このDCアンプ
1゛、2”、3”と、前記光学フ4 ルタF’+ 、F
’s 、F”x %及び光検出器s11、Sl、 %
S’3により、3波長光に対する上述の放射1度測光手
段が構成されている。
光検出器S”+ 、S’z 、S’3の出力信号のうち
、光源りの光が被測定物TGによって反射される反射光
の強度信号は、光rALから被測定物TGに照射される
光がチョッパCPによって断続光に変調されているから
、直流分カット用コンデンサを介して交流信号として検
出され、その検出信号はACアンプ1″、2”、3″に
てそれぞれ増幅され、波長λ6、λ2、λ、について反
射光の強度信号R(λ、)、R(λ2)、R(λ、)と
して出力される。
、光源りの光が被測定物TGによって反射される反射光
の強度信号は、光rALから被測定物TGに照射される
光がチョッパCPによって断続光に変調されているから
、直流分カット用コンデンサを介して交流信号として検
出され、その検出信号はACアンプ1″、2”、3″に
てそれぞれ増幅され、波長λ6、λ2、λ、について反
射光の強度信号R(λ、)、R(λ2)、R(λ、)と
して出力される。
このACアンプ1”、2“、3”と、前記光学フィルタ
ーF+、 、p+、 、F”1、及び光検出器S’、
、S”門、Sl、により、上述の反射光測光手段が構成
されている。
ーF+、 、p+、 、F”1、及び光検出器S’、
、S”門、Sl、により、上述の反射光測光手段が構成
されている。
ところで、反射率を算出するためには、波長λ1、λ8
、λ、についての参照先の強度が必要なので、光検出器
St 、Sz 、Ssが設けられている。光検出器S、
、S、、S、は波長λ3、λ2、λ3に対応する光の
みを透過する光学フィルターF、、F2、F、を介して
光源りに向けられている。
、λ、についての参照先の強度が必要なので、光検出器
St 、Sz 、Ssが設けられている。光検出器S、
、S、、S、は波長λ3、λ2、λ3に対応する光の
みを透過する光学フィルターF、、F2、F、を介して
光源りに向けられている。
光源りは様々な波長の光を含むものであるが、光検出器
S1はそのうち反射率の算出に必要な波長λ、の成分の
光強度を検出する。また、光検出器Sz 、Ssは同様
に波長λ2、λ3の成分の光強度を検出する。光検出器
s、、s、 、Slの検出出力は光源補正用のDCアン
プl、2.3にてそれぞれ増幅され、波長λ3、λ、及
び波長λ、についての参照先の強度信号P(λI)、P
(λt)、P(λ、)が得られる。ACアンプ1”、2
”、3″の出力信号R(λ1)、R(λ2)、R(λ、
)とのDCアンプ1.2.3の出力信号P(λ、)、P
(λ2)、P(λ、)とは、反射率演算手段に入力され
て、波長λ、における被測定物TGの測定反射率L(λ
1)=R(λ1)/P (λ1)と波長λ2、λ3にお
ける被測定物TGの測定反射率L(λz>=RCλ2)
/P(λ2)、L(1m)=R(λ3)/P(λ、)が
演算される0反射率演算手段RCの演算出力しくλ1)
、L(λt)、L(λ3)はDCアンプ1゛、2゛、3
“から得られた放射輝度測定値D(λ1)、D(λ2)
D(λ、)と共に、温度演算手段TCに入力されて、真
温度が演算される。以下、これらのデータから真温度を
演算する方法について説明する。
S1はそのうち反射率の算出に必要な波長λ、の成分の
光強度を検出する。また、光検出器Sz 、Ssは同様
に波長λ2、λ3の成分の光強度を検出する。光検出器
s、、s、 、Slの検出出力は光源補正用のDCアン
プl、2.3にてそれぞれ増幅され、波長λ3、λ、及
び波長λ、についての参照先の強度信号P(λI)、P
(λt)、P(λ、)が得られる。ACアンプ1”、2
”、3″の出力信号R(λ1)、R(λ2)、R(λ、
)とのDCアンプ1.2.3の出力信号P(λ、)、P
(λ2)、P(λ、)とは、反射率演算手段に入力され
て、波長λ、における被測定物TGの測定反射率L(λ
1)=R(λ1)/P (λ1)と波長λ2、λ3にお
ける被測定物TGの測定反射率L(λz>=RCλ2)
/P(λ2)、L(1m)=R(λ3)/P(λ、)が
演算される0反射率演算手段RCの演算出力しくλ1)
、L(λt)、L(λ3)はDCアンプ1゛、2゛、3
“から得られた放射輝度測定値D(λ1)、D(λ2)
D(λ、)と共に、温度演算手段TCに入力されて、真
温度が演算される。以下、これらのデータから真温度を
演算する方法について説明する。
被測定物が黒体の場合、被測定物から単位面積当たり放
射される波長λの光のエネルギー即ち放射輝度E(λ、
T)はブランクの公式によって与えられる。今、被測定
物の波長λにおける放射輝度を測定してDo(λ、T)
の測定値を得たとすると、 Do(λ、T)=crXE (λ、 T ) −−−−
−−・・−・−(1)ここでαは測定装置で決まる定数
で、具体的には校正測定によって決められる定数である
。従って、上式(1)を解いて温度Tを算出する。以上
は被測定物を黒体として扱っているが、実際の被測定物
は黒体ではないので、その物体の放射率を検出して、黒
体として求められる温度に補正を行う必要がある。黒体
でない物体の放射率をε(λ、T)とすると、その物体
の温度Tにおける波長λの光の放射輝度B(λ、T)は
、 B(λ、T)=ε(λ、T)xE (λ、T)任意物体
の放射輝度測定値D(λ)は、D (λ)−α×ε (
λ、T)xE (λ、T)−−−−−一・−−−−−−
−−・= (2)αは、測定装置で決まる定数である
。
射される波長λの光のエネルギー即ち放射輝度E(λ、
T)はブランクの公式によって与えられる。今、被測定
物の波長λにおける放射輝度を測定してDo(λ、T)
の測定値を得たとすると、 Do(λ、T)=crXE (λ、 T ) −−−−
−−・・−・−(1)ここでαは測定装置で決まる定数
で、具体的には校正測定によって決められる定数である
。従って、上式(1)を解いて温度Tを算出する。以上
は被測定物を黒体として扱っているが、実際の被測定物
は黒体ではないので、その物体の放射率を検出して、黒
体として求められる温度に補正を行う必要がある。黒体
でない物体の放射率をε(λ、T)とすると、その物体
の温度Tにおける波長λの光の放射輝度B(λ、T)は
、 B(λ、T)=ε(λ、T)xE (λ、T)任意物体
の放射輝度測定値D(λ)は、D (λ)−α×ε (
λ、T)xE (λ、T)−−−−−一・−−−−−−
−−・= (2)αは、測定装置で決まる定数である
。
次に第2図のように光強度1in(λ)をもつ波長λの
一筋の光4が被測定物TGに入射し、その光の反射光5
が様々な角度θの方向へ光強度1ou t(θ、λ)を
もって反射したとすると、その半球反射率γ (λ、T
)は第3図に示す(3)式で表される。
一筋の光4が被測定物TGに入射し、その光の反射光5
が様々な角度θの方向へ光強度1ou t(θ、λ)を
もって反射したとすると、その半球反射率γ (λ、T
)は第3図に示す(3)式で表される。
この半球反射率T(λ、T)と放射率ε(λ。
T)の関係は非透過な物体に対して
ε(λ、 T) +r (λ、T)=1・−一−−−−
−−−・・−(4)となる。また、一方において半球反
射率γ(λ。
−−−・・−(4)となる。また、一方において半球反
射率γ(λ。
T)と測定反射しくλ)との間には、
L(λ)=α’ xk’(λ)×γ(λ、T)−・・・
−・−−m−−−−・−・・・−・−(5)なる関係が
ある。前記(4)式と(5)式から第3図に示す(6)
式が得られる。ここで、α′は前述のαと同様で測定装
置で決まる定数であり、k’(λ)は被測定物の表面状
態によって決まる反射光の角度特性に関する係数である
。具体的にいえば、測光視角△θをもつ反射光測定装置
がθ=θm、ψ=ψmの位置で反射したとすると、k’
(λ)は第3図の(7)式に示すようになる。つまり、
k’(λ)は反射光全体に対する実際に測定される反射
光の比である。従って、放射率ε(λ、T)は次式のよ
うに表される。
−・−−m−−−−・−・・・−・−(5)なる関係が
ある。前記(4)式と(5)式から第3図に示す(6)
式が得られる。ここで、α′は前述のαと同様で測定装
置で決まる定数であり、k’(λ)は被測定物の表面状
態によって決まる反射光の角度特性に関する係数である
。具体的にいえば、測光視角△θをもつ反射光測定装置
がθ=θm、ψ=ψmの位置で反射したとすると、k’
(λ)は第3図の(7)式に示すようになる。つまり、
k’(λ)は反射光全体に対する実際に測定される反射
光の比である。従って、放射率ε(λ、T)は次式のよ
うに表される。
ε(λ、T)=1−k (λ)×L(λ)−・−(8)
ここでk(λ)は用いる波長の数をnとしたとき(n−
1)個以下の未知数を含むλの関数である。
ここでk(λ)は用いる波長の数をnとしたとき(n−
1)個以下の未知数を含むλの関数である。
このような仮定に基づいて温度を求める2つの演算方法
を以下に説明する。
を以下に説明する。
〈第1の演算方法〉
k(λ)が(n−1)個の未知数を含む関数として考え
ると、未知数は(n−1)個の未知数と温度Tの計n個
である。従ってn色の波長を用いるので、未知数と条件
式の数が−敗し、解が求まる。具体的な一例として三波
長を用いて、k(λ)を次式と仮定したときの計算を示
す。
ると、未知数は(n−1)個の未知数と温度Tの計n個
である。従ってn色の波長を用いるので、未知数と条件
式の数が−敗し、解が求まる。具体的な一例として三波
長を用いて、k(λ)を次式と仮定したときの計算を示
す。
k (λ)=a1+a1 ・ λ・−・−−−−−・
・−・−・−(9)(1)式、(2)式よりλ1につい
て ε(λ+ 、 T ) D o (λ、)=D(λ1)
(8)式、(9)式より (t−(ao +a、 λ1)L(λ1))XDo(
λ1)=D(λ、) a1+a1−λ1=Fl 但し、 Fl = (L−D (λ、)/Do(λ、)l /
L (λ1)λ2、λ、についても同様に a6+a+ ・λ2=F2 a1+a1 ・λ、=F。
・−・−・−(9)(1)式、(2)式よりλ1につい
て ε(λ+ 、 T ) D o (λ、)=D(λ1)
(8)式、(9)式より (t−(ao +a、 λ1)L(λ1))XDo(
λ1)=D(λ、) a1+a1−λ1=Fl 但し、 Fl = (L−D (λ、)/Do(λ、)l /
L (λ1)λ2、λ、についても同様に a6+a+ ・λ2=F2 a1+a1 ・λ、=F。
aOlal を消去すると、
(pg−p1) / (λ2−λI)={F:I −p
g) / (λ、−λ2)・−・−・−・−・−・・・
−・−−−−−−−00)この00)式は温度Tについ
て解析的に解くことはできない。しかし、ある温度Tに
対して、ブランクの公式によりE(λ、T)が計算でき
る。すると(1)式よりDo(λ、T)が求まる。測定
値D(λ)、L(λ)よりFが計算できるので00)式
〇左辺、右辺が求められる。
g) / (λ、−λ2)・−・−・−・−・−・・・
−・−−−−−−−00)この00)式は温度Tについ
て解析的に解くことはできない。しかし、ある温度Tに
対して、ブランクの公式によりE(λ、T)が計算でき
る。すると(1)式よりDo(λ、T)が求まる。測定
値D(λ)、L(λ)よりFが計算できるので00)式
〇左辺、右辺が求められる。
この計算を予め用意された幾つかのTについて繰り返し
行いαω式を満たすTを探すことができる。
行いαω式を満たすTを探すことができる。
そして、そのときの温度Tが被測定物の温度であると考
えることができる。また、その際三つの波長を λ2={λ1 +λ、)/2 となるように選ぶなら、0ω式は次式となる。
えることができる。また、その際三つの波長を λ2={λ1 +λ、)/2 となるように選ぶなら、0ω式は次式となる。
2 Fg =Ft +F3・・−・・−−−−−−・・
・−・・−・−(11)この00式は簡単な形をしてお
り、計算が楽になることが期待できる。
・−・・−・−(11)この00式は簡単な形をしてお
り、計算が楽になることが期待できる。
く第2の演算方法〉
第2の演算方法は最初から誤差を考慮に入れ温度演算す
る方法である。!IIち、(8)式の仮定の中で、どの
ようにk(λ)を仮定するかにより、算出温度の正確度
が決まるが、どのようなk(λ)を導入しても誤差を含
む可能性がある。また、実用上測定値には必ずといって
よい程、測定誤差を含む。
る方法である。!IIち、(8)式の仮定の中で、どの
ようにk(λ)を仮定するかにより、算出温度の正確度
が決まるが、どのようなk(λ)を導入しても誤差を含
む可能性がある。また、実用上測定値には必ずといって
よい程、測定誤差を含む。
そこで以下のような考え方により温度演算を行う。
関数h (T)を推定放射輝度ε(λ)XDo(λ。
T) (= (1−k <λ)×L (λ))XD
o(λ。
o(λ。
T))と放射輝度測定値D(λ)の誤差の大きさを評価
する関数と定義する。
する関数と定義する。
具体例として、n色の波長(n≧3)を用い背景放射輝
度Db(λ)を測定するか又は、Db(λ)が既知であ
れば、背景放射輝度入力手段DIより入力されたDb(
λ)を使って、背景放射の影響の除去を考慮に入れ、h
(T)を推定放射輝度〔ε(λ、T)XDo(λ、T
)+ (1−ε(λ、T) ) Db(λ)〕と放射輝
度測定値D(λ)の差二乗の波長ごとの和と定義し、k
(λ)を(6)式と仮定して温度演算する。このh (
T)の式を第3図に021式及び0弐で示す。
度Db(λ)を測定するか又は、Db(λ)が既知であ
れば、背景放射輝度入力手段DIより入力されたDb(
λ)を使って、背景放射の影響の除去を考慮に入れ、h
(T)を推定放射輝度〔ε(λ、T)XDo(λ、T
)+ (1−ε(λ、T) ) Db(λ)〕と放射輝
度測定値D(λ)の差二乗の波長ごとの和と定義し、k
(λ)を(6)式と仮定して温度演算する。このh (
T)の式を第3図に021式及び0弐で示す。
0式は未知数a0とatのそれぞれ二次式であるので、
ある温度Tに対してのh (T)を最小とするa o(
” a 、、win)とa +(= a tIIlin
)はh (T)が極値をとるときのatl、alである
。従って、2 h (T) / 2 as =oと2h
(T)/2a、=Oより求めることができる。
ある温度Tに対してのh (T)を最小とするa o(
” a 、、win)とa +(= a tIIlin
)はh (T)が極値をとるときのatl、alである
。従って、2 h (T) / 2 as =oと2h
(T)/2a、=Oより求めることができる。
このa 、minとa 、winを縦行列で第3図に0
式として示す。この04)式で表されるa。rRinと
a 、minを0弐に代入してh (T)を求める。
式として示す。この04)式で表されるa。rRinと
a 、minを0弐に代入してh (T)を求める。
誤差論の立場から、波長の数nに関係なく誤差評価を行
うため、前述のように求めたh (T)から更に第3図
の09式に示すような平方根最小二乗誤差h”(T)を
計算する。
うため、前述のように求めたh (T)から更に第3図
の09式に示すような平方根最小二乗誤差h”(T)を
計算する。
以上の計算をTを換えて繰り返し行いh”(T)が最小
となるTを探す。そして、このh”(T)を最小とする
温度が被測定物の温度であるとして出力する。
となるTを探す。そして、このh”(T)を最小とする
温度が被測定物の温度であるとして出力する。
実際には、(i)様々な制約条件〔ε(λ。
T)≦1など)や測定状況から決まる温度範囲内で、最
小となるTを探したり、(ii) h” (T)を特徴
とする請求めたり、(iii )ある小さな数△を決め
、d h” (T) /d TがΔより小さくなるTを
探したりして被測定物の温度を決定すればよい。
小となるTを探したり、(ii) h” (T)を特徴
とする請求めたり、(iii )ある小さな数△を決め
、d h” (T) /d TがΔより小さくなるTを
探したりして被測定物の温度を決定すればよい。
第4図、第5図は上述の第2の演算方法によって演算手
段TC内で正解を求めるための演算プログラムのフロチ
ャートを示している。
段TC内で正解を求めるための演算プログラムのフロチ
ャートを示している。
まず、第4図の実施例では、(11)において測定値か
ら放射輝度測定値D(λi)、測定反射率L(λi)、
背景放射輝度測定値Db(λi)、並びに光学定数αi
を読み込む。
ら放射輝度測定値D(λi)、測定反射率L(λi)、
背景放射輝度測定値Db(λi)、並びに光学定数αi
を読み込む。
次に、(112)において0式に対し代入する温度Tの
演算開始温度をToに、該Toから測定温度領域までの
演算個数を噴・endにそれぞれ設定する。
演算開始温度をToに、該Toから測定温度領域までの
演算個数を噴・endにそれぞれ設定する。
例えば、温度1″Cから500°Cまでの温度領域にお
いて、500個の演算個数とする場合、TOに1@C,
m−endに500をセットする。前記(#2)におい
てはh”minに対しても数値を設定するが、この数値
は後述するように求めたh”(Tm)と比較され、h”
(Tm)の方が小さければ、h“(Tw)が取って代わ
ることになるものであって、いわば温度を変えて行う演
算結果ごとのデータを順次比較していって最終的に1番
手さな値が残るように処理する過程における初期値であ
るから任意の比較的大きな値を選べばよい。次に各波長
の光学定数αiと温度TImの黒体から放射されるエネ
ルギーE(λi、Tm)とからDIll(λi)を求め
る(I3)。しかる後、このDffl(λi)と、前記
(#1)で読み込んだD(λi)、L(λi)、Db(
λi)を(#4)に示す式に代入してallm及びal
mを求める。尚、この式は上述した第3図の04)式に
対応している。続いて、(#5)に示す式に前記a e
l!l、 a 1llls D (λi)、Dn+(λ
1)、L(λi)、Db(λi)の値を代入してh(T
m)を求める。更に、このh(Ts1)とnとからh”
(Tm)を算出する(116)、 (117)では、h
”(Tm)とh”minの大きさを比較し、h”(Tm
)の方が小さければ、(#10)でh” sin =
h” (Tw)とすると共に温度Tenp=Tmとして
から(#8)へ進む、h“(Tm)の方が大きければ直
接(I8)へ進み、mがH−endになっているか否か
チェックし、一致していなければmを1だけインクリメ
ント(Il1) して(!13)へ戻り、一致してい
ればTempが求める温度であるから、これを(19)
で出力して演算フローを終了する。このようにして、真
の温度が得られる。
いて、500個の演算個数とする場合、TOに1@C,
m−endに500をセットする。前記(#2)におい
てはh”minに対しても数値を設定するが、この数値
は後述するように求めたh”(Tm)と比較され、h”
(Tm)の方が小さければ、h“(Tw)が取って代わ
ることになるものであって、いわば温度を変えて行う演
算結果ごとのデータを順次比較していって最終的に1番
手さな値が残るように処理する過程における初期値であ
るから任意の比較的大きな値を選べばよい。次に各波長
の光学定数αiと温度TImの黒体から放射されるエネ
ルギーE(λi、Tm)とからDIll(λi)を求め
る(I3)。しかる後、このDffl(λi)と、前記
(#1)で読み込んだD(λi)、L(λi)、Db(
λi)を(#4)に示す式に代入してallm及びal
mを求める。尚、この式は上述した第3図の04)式に
対応している。続いて、(#5)に示す式に前記a e
l!l、 a 1llls D (λi)、Dn+(λ
1)、L(λi)、Db(λi)の値を代入してh(T
m)を求める。更に、このh(Ts1)とnとからh”
(Tm)を算出する(116)、 (117)では、h
”(Tm)とh”minの大きさを比較し、h”(Tm
)の方が小さければ、(#10)でh” sin =
h” (Tw)とすると共に温度Tenp=Tmとして
から(#8)へ進む、h“(Tm)の方が大きければ直
接(I8)へ進み、mがH−endになっているか否か
チェックし、一致していなければmを1だけインクリメ
ント(Il1) して(!13)へ戻り、一致してい
ればTempが求める温度であるから、これを(19)
で出力して演算フローを終了する。このようにして、真
の温度が得られる。
次に第5図の実施例では、予め小さな闇値△を設定して
おき、引き続く2つの演算により求めらるh”(Tm)
について両者の差が始めて閾値へ以下になるときの温度
を真の温度とするものであり、従って、第4回の場合の
ように演算個数全てについて必ずしも行う必要がないの
で、演算時間の短縮が期待できる。尚、引き続く2つの
h”(Tm)の差が1番小さくなるときの温度Tmが真
の温度になりうることは上述したh (T)が測成で示
すように未知数a0とa、の二次関数で下に凸のグラフ
(白部分が最小値)となることからも窺知できよう。
おき、引き続く2つの演算により求めらるh”(Tm)
について両者の差が始めて閾値へ以下になるときの温度
を真の温度とするものであり、従って、第4回の場合の
ように演算個数全てについて必ずしも行う必要がないの
で、演算時間の短縮が期待できる。尚、引き続く2つの
h”(Tm)の差が1番小さくなるときの温度Tmが真
の温度になりうることは上述したh (T)が測成で示
すように未知数a0とa、の二次関数で下に凸のグラフ
(白部分が最小値)となることからも窺知できよう。
第5図では、まず、(#1)において、放射輝度測定値
D(λi)、測定反射率L(λi)、背景放射輝度値D
b(λi)、並びに光学定数αiを読み込む。
D(λi)、測定反射率L(λi)、背景放射輝度値D
b(λi)、並びに光学定数αiを読み込む。
続いて、(#2)において、Toに演算開始温度、Δに
闇値を設定する。しかる後、(!3)で各波長の光学定
数αiと温度Tmの黒体から放射されるエネルギーE(
λi、’r1)からDa(λi)を求め、このDm(λ
i)と先に読み込まれているL(λi)、D(λi)、
Db(λi)を(114)に示す式に代入してaom及
びa−を求める。そして、(#5)では、このa0…、
aIII+1並びL(λi)、Dm(λi)、D(λi
)、Db(λi)からh(Tm)を算出する。h”(T
m)は(#6)において前記h(Tm)とnとから容易
に計算できる。
闇値を設定する。しかる後、(!3)で各波長の光学定
数αiと温度Tmの黒体から放射されるエネルギーE(
λi、’r1)からDa(λi)を求め、このDm(λ
i)と先に読み込まれているL(λi)、D(λi)、
Db(λi)を(114)に示す式に代入してaom及
びa−を求める。そして、(#5)では、このa0…、
aIII+1並びL(λi)、Dm(λi)、D(λi
)、Db(λi)からh(Tm)を算出する。h”(T
m)は(#6)において前記h(Tm)とnとから容易
に計算できる。
(#7)では、前記h“(Tm)について、前回の温度
で算出されたh” (T−1)との差が上記闇値Δより
小さいか否か判断され、大きければmをインクリメント
(#9) して(l13)へ戻り、(#3)以降のフロ
ーを操り返す。Δより小さければ、そのときの温度Tm
を真の温度として出力する。尚、Tmの代わりにT、−
1を真の温度として出力するようにしてもよい。
で算出されたh” (T−1)との差が上記闇値Δより
小さいか否か判断され、大きければmをインクリメント
(#9) して(l13)へ戻り、(#3)以降のフロ
ーを操り返す。Δより小さければ、そのときの温度Tm
を真の温度として出力する。尚、Tmの代わりにT、−
1を真の温度として出力するようにしてもよい。
以上において、本発明を実施例に沿って説明したが、本
発明はこの実施例に限定されるものでな(、特許請求の
範囲に記載した発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の
変更、修正が可能であり、例えば評価関数h (T)を
0の式のように推定放射輝度と放射輝度測定値D(λ)
の差の二乗の各波長ごとの和としたが、h (T)は推
定放射輝度と放射輝度測定値の誤差を評価する関数であ
れば何れでもよい0例えば推定放射輝度と放射輝度測定
値の差の絶対値の各波長ごとの和としてもよい。
発明はこの実施例に限定されるものでな(、特許請求の
範囲に記載した発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の
変更、修正が可能であり、例えば評価関数h (T)を
0の式のように推定放射輝度と放射輝度測定値D(λ)
の差の二乗の各波長ごとの和としたが、h (T)は推
定放射輝度と放射輝度測定値の誤差を評価する関数であ
れば何れでもよい0例えば推定放射輝度と放射輝度測定
値の差の絶対値の各波長ごとの和としてもよい。
尚、そのときは、0!9式の代わりにh”(T)=h(
T)/nとして、誤差評価する。
T)/nとして、誤差評価する。
また、上記実施例では背景放射の影響除去のために、背
景放射輝度Db(λ)を測定または入力したが、代わり
に代表的な周囲温度Tsと、背景放射輝度全体に対する
温度Tsの物体から放射されるエネルギーの寄与率β(
λ)を測定、または入力して、Db(λ)=β(λ)
Do(λ、Ts)として計算してもよい。
景放射輝度Db(λ)を測定または入力したが、代わり
に代表的な周囲温度Tsと、背景放射輝度全体に対する
温度Tsの物体から放射されるエネルギーの寄与率β(
λ)を測定、または入力して、Db(λ)=β(λ)
Do(λ、Ts)として計算してもよい。
第1図に示した実施例は三波長のものであるが、四波長
以上であってもよい。その場合、検出器や増幅部等の数
が変わるだけである。
以上であってもよい。その場合、検出器や増幅部等の数
が変わるだけである。
また、第1図では光の三分岐に光ファイバーFBを用い
ているが、ハーフミラ−を使ったり機械的に三つのフィ
ルターを交互に出入させるようにしてもよい。光源に関
しても、ストロボのようなパルス光にしてチョパをなく
すこともできる。
ているが、ハーフミラ−を使ったり機械的に三つのフィ
ルターを交互に出入させるようにしてもよい。光源に関
しても、ストロボのようなパルス光にしてチョパをなく
すこともできる。
発明の効果
本発明では放射率に該放射率と関係の深い測定反射情報
値L(λ)を参入すると共にその係数を未知数を含む波
長λの関数k(λ)として放射率εを1−k(λ)×L
(λ)に選んでいるので、たとえ被測定物の放射率スペ
クトルが複雑な場合であっても、被測定物の温度を精度
よ(求めることができるという効果がある。
値L(λ)を参入すると共にその係数を未知数を含む波
長λの関数k(λ)として放射率εを1−k(λ)×L
(λ)に選んでいるので、たとえ被測定物の放射率スペ
クトルが複雑な場合であっても、被測定物の温度を精度
よ(求めることができるという効果がある。
図はいずれも本発明の放射温度計に関するものであって
、第1図は全体の概略構成を示すブロック図であり、第
2図は反射率についての説明図、第3図は本発明の原理
を数式的に説明するための説明図、第4図は演算動作に
ついてのフロチャート、第5図は異なる演算動作例を示
すフロチャートである。 L・・・光源、 TG・・・被測定物、 CP・・
・チョッパ、 S I s St 、S2 、S
’l % S’g 、S゛、・・・光検出器、 ■
、2.3、l”、2”、3”・・・ACアンプ、 1
°、2°、3゛・・・DCアンプ、 Fl、F2、F
3、Fl、 、F’! 、p+、・・・光学フィルタ、
TC・・・演算手段、 DM・・・背景放射輝度測定
手段、 DI・・・背景放射輝度入力手段。
、第1図は全体の概略構成を示すブロック図であり、第
2図は反射率についての説明図、第3図は本発明の原理
を数式的に説明するための説明図、第4図は演算動作に
ついてのフロチャート、第5図は異なる演算動作例を示
すフロチャートである。 L・・・光源、 TG・・・被測定物、 CP・・
・チョッパ、 S I s St 、S2 、S
’l % S’g 、S゛、・・・光検出器、 ■
、2.3、l”、2”、3”・・・ACアンプ、 1
°、2°、3゛・・・DCアンプ、 Fl、F2、F
3、Fl、 、F’! 、p+、・・・光学フィルタ、
TC・・・演算手段、 DM・・・背景放射輝度測定
手段、 DI・・・背景放射輝度入力手段。
Claims (4)
- (1)波長の異なる3以上の参照光を被測定物に向けて
照射する照光手段と、前記各波長の参照光を測光する参
照光測光手段と、前記被測定物により反射された前記各
波長の参照光の反射光を測光する反射光測光手段と、前
記被測定物からの放射輝度を各波長別に測光する放射輝
度測光手段と、放射率ε(λ)をε(λ)=1−k(λ
)×L(λ)〔k(λ)は未知数を含む波長λの関数、
L(λ)は測定反射情報値〕として前記各波長について
前記各測光手段で得られる測光値から前記被測定物の温
度を算出する演算手段と、から成る放射温度計。 - (2)前記参照光が三波長の場合、前記演算手段はa_
0、a_1を定数、λを波長、D(λ)を放射輝度測定
値、Do(λ)を黒体放射輝度と測定装置定数から求ま
る黒体放射輝度測定値としたとき、前記k(λ)をk(
λ)=a_1+a_1λと仮定し、(F_2−F_1)
/(λ_2−λ_1)=(F_3−F_2)/(λ_3
−λ_2)〔但しF={1−D(λ)/Do(λ)}/
L(λ)〕を充足する温度を幾つかの用意された温度値
で演算して求めることを特徴とする特許請求の範囲第1
項に記載の放射温度計。 - (3)前記演算手段が前記放射率を用いて得られる推定
放射輝度と前記放射輝度測光手段で得られる測定放射輝
度との差を最小とする温度を真の温度として算出するこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の放射温度
計。 - (4)前記演算手段が前記推定放射輝度に背景放射輝度
を加えた値と前記測定放射輝度との差を最小にする温度
を真の温度として算出することを特徴とする特許請求の
範囲第1項に記載の放射温度計。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14173987A JPS63305228A (ja) | 1987-06-06 | 1987-06-06 | 放射温度計 |
| EP19880109008 EP0294747B1 (en) | 1987-06-06 | 1988-06-06 | Pyrometer |
| DE19883887775 DE3887775T2 (de) | 1987-06-06 | 1988-06-06 | Pyrometer. |
| US07/782,750 US5231595A (en) | 1983-06-06 | 1991-10-18 | Pyrometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14173987A JPS63305228A (ja) | 1987-06-06 | 1987-06-06 | 放射温度計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63305228A true JPS63305228A (ja) | 1988-12-13 |
Family
ID=15299078
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14173987A Pending JPS63305228A (ja) | 1983-06-06 | 1987-06-06 | 放射温度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63305228A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06147998A (ja) * | 1992-11-09 | 1994-05-27 | Nippon Avionics Co Ltd | 赤外画像システム |
| US5474381A (en) * | 1993-11-30 | 1995-12-12 | Texas Instruments Incorporated | Method for real-time semiconductor wafer temperature measurement based on a surface roughness characteristic of the wafer |
| US11430676B2 (en) | 2019-08-07 | 2022-08-30 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Heat treatment method of light irradiation type |
-
1987
- 1987-06-06 JP JP14173987A patent/JPS63305228A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06147998A (ja) * | 1992-11-09 | 1994-05-27 | Nippon Avionics Co Ltd | 赤外画像システム |
| US5474381A (en) * | 1993-11-30 | 1995-12-12 | Texas Instruments Incorporated | Method for real-time semiconductor wafer temperature measurement based on a surface roughness characteristic of the wafer |
| US5741070A (en) * | 1993-11-30 | 1998-04-21 | Texas Instruments Incorporated | Apparatus for real-time semiconductor wafer temperature measurement based on a surface roughness characteristic of the wafer |
| US11430676B2 (en) | 2019-08-07 | 2022-08-30 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Heat treatment method of light irradiation type |
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