JPS63308930A - 板状物体の自動処理装置 - Google Patents
板状物体の自動処理装置Info
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- JPS63308930A JPS63308930A JP63117172A JP11717288A JPS63308930A JP S63308930 A JPS63308930 A JP S63308930A JP 63117172 A JP63117172 A JP 63117172A JP 11717288 A JP11717288 A JP 11717288A JP S63308930 A JPS63308930 A JP S63308930A
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- Japan
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- pallet
- plate
- automatic processing
- gripping arm
- magazine
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/34—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H10P72/3411—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/70—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping
- H10P72/76—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using mechanical means, e.g. clamps or pinches
- H10P72/7602—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using mechanical means, e.g. clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade or gripped by a gripper for conveyance
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分艷
本発明は、高さ調整可能で水平に重ねられた複数個の引
き出しを具備しているマガジンと、直線的に移動可能で
且つ旋回可能なマニピュレータとを有している板状物体
の自動処理装置に関するものである。
き出しを具備しているマガジンと、直線的に移動可能で
且つ旋回可能なマニピュレータとを有している板状物体
の自動処理装置に関するものである。
開法」Ｉ４
この種の装置はドイツ特許第３２１９５０２号公報から
知られている。マガジン内には、同じ大きさと形状の多
数のウェーハー板がある。ウェーハーの大きさは規格化
されており、従ってマガジンの種類は少なくて済む。製
造過程でウェーハーを自動的に処理する必要がある場合
には、常に多数の同種類のウェーハーが問題になる。従
って。
知られている。マガジン内には、同じ大きさと形状の多
数のウェーハー板がある。ウェーハーの大きさは規格化
されており、従ってマガジンの種類は少なくて済む。製
造過程でウェーハーを自動的に処理する必要がある場合
には、常に多数の同種類のウェーハーが問題になる。従
って。
特殊な交換可能なマガジンを使用することは経済的に意
味がある。マガジンは、例えば空調室に設けたエアロツ
ク及び清浄室を介して挿入することができる。
味がある。マガジンは、例えば空調室に設けたエアロツ
ク及び清浄室を介して挿入することができる。
抜取り検査のためには、ウェーハー板を選択自由に把持
することが必要である。これは、マニピュレータに設け
られた把持アームを特殊に構成することにより達成され
る。ウェーハー板が比較的軽１１（なので、把持アーム
に対しては真空水込みが適切である。把持アームと共に
直線的に走行可能なマニピュレータは１つの機能ユニツ
Ｉ〜を形成している。
することが必要である。これは、マニピュレータに設け
られた把持アームを特殊に構成することにより達成され
る。ウェーハー板が比較的軽１１（なので、把持アーム
に対しては真空水込みが適切である。把持アームと共に
直線的に走行可能なマニピュレータは１つの機能ユニツ
Ｉ〜を形成している。
ウェーハー上に構造部を形成する場合、露光過程のため
に用いられるマスクが重要な意味をもっている。マスク
フィールドの寸法安定性と傷がないことに関してはかな
りの要求がなされる。マスク担持体としては、通常膨彊
係数が非常に小さなガラスから成る安定な、従って比較
的重いガラス板が使用される。各マスク担持体は特殊な
カセッ１−に保管され、搬送される。このカセノ１へか
らマスク担持体が必要な場合に手で取り出さ才り、使用
位ｉｉ’ｒにもたらされる。マスクフィールドが敏感な
ので マスクは縁領域で把持すればよい。
に用いられるマスクが重要な意味をもっている。マスク
フィールドの寸法安定性と傷がないことに関してはかな
りの要求がなされる。マスク担持体としては、通常膨彊
係数が非常に小さなガラスから成る安定な、従って比較
的重いガラス板が使用される。各マスク担持体は特殊な
カセッ１−に保管され、搬送される。このカセノ１へか
らマスク担持体が必要な場合に手で取り出さ才り、使用
位ｉｉ’ｒにもたらされる。マスクフィールドが敏感な
ので マスクは縁領域で把持すればよい。
学導体の構造が微細になるにつれて、構造部をＷｌｌｌ
定しコン［−ロールするための器具にはますます高い要
求がなされる。最近のマスク測定装置はナノメータ範囲
の精度を達成している。手が触れたために体熱でわずか
な温度勾配が生じても訓電範囲に狂いが生じる。測定機
械が空調室に設置されているため、ｉｌｌ’ｌ定前に挿
入されたマスク担持体の温度が均一になるのを待たねば
ならない。
定しコン［−ロールするための器具にはますます高い要
求がなされる。最近のマスク測定装置はナノメータ範囲
の精度を達成している。手が触れたために体熱でわずか
な温度勾配が生じても訓電範囲に狂いが生じる。測定機
械が空調室に設置されているため、ｉｌｌ’ｌ定前に挿
入されたマスク担持体の温度が均一になるのを待たねば
ならない。
この過程を早めるため、温度調整された把持工具を用い
て送入を行なうことが考えられる。どのような場合も、
測定機械を送入するためには操作音がいることが必・要
である。なぜなら従来は多種多様なマスク担持体が存在
していたため、個々のマスク板を別々に処理する・必要
があるからである。
て送入を行なうことが考えられる。どのような場合も、
測定機械を送入するためには操作音がいることが必・要
である。なぜなら従来は多種多様なマスク担持体が存在
していたため、個々のマスク板を別々に処理する・必要
があるからである。
個々の１試験に対しＨ１ｌｌ定時１’ｉｊｌが異なると
、操作片はは余分な注意を払わねばならない。
、操作片はは余分な注意を払わねばならない。
１血
本発明の目的は、選択自由な把持態様で形状と大きさが
異なる板状物体を保管することができ、測定または加工
機械に供給することができるような自動処理装置を提供
することである。また清浄室の条件を考慮して且つ空調
室で自動処理を行なうことができるようにすることをも
目的とするものである。
異なる板状物体を保管することができ、測定または加工
機械に供給することができるような自動処理装置を提供
することである。また清浄室の条件を考慮して且つ空調
室で自動処理を行なうことができるようにすることをも
目的とするものである。
１１又
本発明は、上記目的を達成するため。
ａ）マニピュレータが交換可能な把持アーム（２２）を
有していること、 ｂ）把持アームと板状物体とがマガジンの引き出しのな
かに収納されていること、 Ｃ）引き出しが、板状物体及び付属の把持アームの大き
さと形状をコード化するコード化装置を有していること
、 ｄ）処理されるべき板状物体及び把持アームのコートに
依存してマニピュレータを制御する制御装置が設けられ
ていること、 を特徴とするものである。
有していること、 ｂ）把持アームと板状物体とがマガジンの引き出しのな
かに収納されていること、 Ｃ）引き出しが、板状物体及び付属の把持アームの大き
さと形状をコード化するコード化装置を有していること
、 ｄ）処理されるべき板状物体及び把持アームのコートに
依存してマニピュレータを制御する制御装置が設けられ
ていること、 を特徴とするものである。
実施例−
次に、本発明の実施例を添付の図面を用いて説明する。
第１図は、マスク担持体のような板状の物体のための引
き出し１１と、異なる把持アームを収容するための引き
出し１２とを幾重にも重ねたマガジン１０である。マガ
ジン全体は、モータ１３により昇降棒１４を介して高さ
を調整することができる。
き出し１１と、異なる把持アームを収容するための引き
出し１２とを幾重にも重ねたマガジン１０である。マガ
ジン全体は、モータ１３により昇降棒１４を介して高さ
を調整することができる。
第１図では１つの引き出し１１に対して１枚のパレット
１５が図示されている。パレット］５ば、引き出しの壁
に改番づた側方のガイド１６を滑動して引き出しのなか
へ挿入することができる。パレットの摩耗部分や汚染し
た部分が下の引き出しに落下しないようにするため、引
き出しが硬い底板を有するのが有利である。
１５が図示されている。パレット］５ば、引き出しの壁
に改番づた側方のガイド１６を滑動して引き出しのなか
へ挿入することができる。パレットの摩耗部分や汚染し
た部分が下の引き出しに落下しないようにするため、引
き出しが硬い底板を有するのが有利である。
パレット１５上には載置用角材１７が設けられている。
載置用角材１７に関しては後に第２図と第３図を用いて
詳細に説明する。その位置は、それぞれ収容される物体
に適合させることができる。
詳細に説明する。その位置は、それぞれ収容される物体
に適合させることができる。
さらにパレット１５の後部にはコード化装置が設けられ
ている。図ではこのコード化装置を簡単に箱体１８で示
したが、具体的には光学的、電気的、機械的または光電
子的に読み取り可能なコード化装置である。コード化装
置には、それぞれパレット１５に置かれた物体の大きさ
及び形状に関する情報がコード化されて担持されている
。パレット１５を中に入れるとコードがコード読み取り
器１９によって読み取られて制御装置２０に送られる。
ている。図ではこのコード化装置を簡単に箱体１８で示
したが、具体的には光学的、電気的、機械的または光電
子的に読み取り可能なコード化装置である。コード化装
置には、それぞれパレット１５に置かれた物体の大きさ
及び形状に関する情報がコード化されて担持されている
。パレット１５を中に入れるとコードがコード読み取り
器１９によって読み取られて制御装置２０に送られる。
パ１ノット１５は交換可能である。載置用角材１７の位
置と配置によりパレット１５はある特定の物体に対して
個別化される。パレット１５の同一性はコード化装置に
伝送される。同種の複数個のパレットは引き出しを番号
づけることによって区別可能である。最も簡単な場合に
は、引き出しの番号と引き出しの中へ挿入されたパレッ
トのコードとを制御装置に伝送するコード読み取り器を
それぞれの引き出しに付設することができる。一方ただ
１つのニー１〜読み取り器１９を設けて、マガジン１０
を高さ調整することにより順次側々の引き出しをこのコ
ード読み取り器１９のそばを通過させるようにしてもよ
い。このようにすると引き出しの数を数えることによっ
て引き出しの個々の内容を一義的に関係づけることが可
能になる。
置と配置によりパレット１５はある特定の物体に対して
個別化される。パレット１５の同一性はコード化装置に
伝送される。同種の複数個のパレットは引き出しを番号
づけることによって区別可能である。最も簡単な場合に
は、引き出しの番号と引き出しの中へ挿入されたパレッ
トのコードとを制御装置に伝送するコード読み取り器を
それぞれの引き出しに付設することができる。一方ただ
１つのニー１〜読み取り器１９を設けて、マガジン１０
を高さ調整することにより順次側々の引き出しをこのコ
ード読み取り器１９のそばを通過させるようにしてもよ
い。このようにすると引き出しの数を数えることによっ
て引き出しの個々の内容を一義的に関係づけることが可
能になる。
コード読み取り器１９によって検知された引き出し１１
の内容は、信号導線３６を介して、制御装置２０に設け
られたメモリー（図示せず）に入力される。
の内容は、信号導線３６を介して、制御装置２０に設け
られたメモリー（図示せず）に入力される。
引き出し１２は、図の例では、引き出し１１よりも幾分
大きなサイズを有している。後に第４１４を用いて説明
するように１把持アームを収容するために必要なパＩノ
ットは適宜により大きな面積をもっている。引き出し１
２に挿入されるパレソ］〜も前記バレッ１−１５と同様
に交換可能であり大きさが異なるので、パレット１５と
取り違えることはない。
大きなサイズを有している。後に第４１４を用いて説明
するように１把持アームを収容するために必要なパＩノ
ットは適宜により大きな面積をもっている。引き出し１
２に挿入されるパレソ］〜も前記バレッ１−１５と同様
に交換可能であり大きさが異なるので、パレット１５と
取り違えることはない。
本発明による自動処理装置の作用を詳細に説明する前に
、第２図から第４図までを用いてパレット１５上での物
体の貯蔵に関し説明しておく。
、第２図から第４図までを用いてパレット１５上での物
体の貯蔵に関し説明しておく。
第２ａ図において、パレット１５上には正方形の板２１
が支持されている。板２１は４つの角材１７によって保
持される。角材１７は、板２１の縁領域での小さな支持
面を形成しているにすぎない。
が支持されている。板２１は４つの角材１７によって保
持される。角材１７は、板２１の縁領域での小さな支持
面を形成しているにすぎない。
角材の載置面は上方へ引き延ばした縁を有しており、そ
の結果パレット１５を突いたときに板２１がずれないよ
うになっている。
の結果パレット１５を突いたときに板２１がずれないよ
うになっている。
載置面の縁を上方へ引き延ばした態様は第２ｂ図かられ
かる。第２ｂ図からはさらに、板２１がパレット１５に
対して間隔をもっていることもわかる。第２ｂ図は、負
荷されたパレットを取り出し方向に見た図である。この
場合重要なのは、角材が載置面の下方で内側へＵ字形に
切断されていることである。この切断部に、第２ａ図に
図示した把持アーム２２が挿入される。把持アーム２２
はフォークとして形成されている。
かる。第２ｂ図からはさらに、板２１がパレット１５に
対して間隔をもっていることもわかる。第２ｂ図は、負
荷されたパレットを取り出し方向に見た図である。この
場合重要なのは、角材が載置面の下方で内側へＵ字形に
切断されていることである。この切断部に、第２ａ図に
図示した把持アーム２２が挿入される。把持アーム２２
はフォークとして形成されている。
載置用角材の形状を図示したように選定することにより
、把持アーム２２が板２１と接触することなくこの板２
１の縁領域の下方へ移動することができる。
、把持アーム２２が板２１と接触することなくこの板２
１の縁領域の下方へ移動することができる。
板２１を取り出すためには、板２１をその衝突阻止位置
を越えて持ち上げねばならない。その際把持アーム２２
が載置面と衝突しないようにするため、両フォーク部分
２３は載置面の位置にＵ字形の凹部２４を有している。
を越えて持ち上げねばならない。その際把持アーム２２
が載置面と衝突しないようにするため、両フォーク部分
２３は載置面の位置にＵ字形の凹部２４を有している。
フォーク部分２３」二での板２１の載置面は幾分深くな
っており、その結果把持アーム２２上でも板２１の側方
へのずれが阻止されている。
っており、その結果把持アーム２２上でも板２１の側方
へのずれが阻止されている。
第３図には、他の例として丸い板２５が図示されている
。この丸い板２５を衝突しないように支持するには、上
方へ延びる縁を備えた３つの載置用角材２６を設ければ
十分である。把持アーム２２のフォーク部分２３を板２
５の下方へ移動させても載置用角材による妨害はない。
。この丸い板２５を衝突しないように支持するには、上
方へ延びる縁を備えた３つの載置用角材２６を設ければ
十分である。把持アーム２２のフォーク部分２３を板２
５の下方へ移動させても載置用角材による妨害はない。
従って載置用角材２６もフォーク部分２３も簡単に構成
することができる。
することができる。
第４図は、例えば第２ａ図に図示したような把持アーム
２２を受容するために適したパレット２７である。把持
アーム２２と結合される連結手段２８が設けられている
ため、このパレット２７は前記パレット１５よりも幾分
大きくなければならない。フォーク部分２３を例えばＵ
字形の保持要素２９に挿入することにより、把持アーム
２２はパレット２７上で保持される。パレット２７は連
結手段２８の領域に四部を有しており、その結果マニピ
ュレータに設けられる対応する対向部材を連結手段２８
に這なく噛み合わせることができる。
２２を受容するために適したパレット２７である。把持
アーム２２と結合される連結手段２８が設けられている
ため、このパレット２７は前記パレット１５よりも幾分
大きくなければならない。フォーク部分２３を例えばＵ
字形の保持要素２９に挿入することにより、把持アーム
２２はパレット２７上で保持される。パレット２７は連
結手段２８の領域に四部を有しており、その結果マニピ
ュレータに設けられる対応する対向部材を連結手段２８
に這なく噛み合わせることができる。
第５図は、把持アーム２２とマニピュレータ３０との簡
単な連結を示したものである。把持アーム２２に固定さ
れる連結手段２８は、上面に支持点３３を有し、下面に
は支持点３３に対してずれた支持点３１．３２を凹部の
形状で有している。
単な連結を示したものである。把持アーム２２に固定さ
れる連結手段２８は、上面に支持点３３を有し、下面に
は支持点３３に対してずれた支持点３１．３２を凹部の
形状で有している。
マニピュレータ３０には、対応する対向部材３４゜３５
が設けられている。把持アーム２２は、保持要素２９に
より、パレット２７に対して傾斜した位置で保持される
。
が設けられている。把持アーム２２は、保持要素２９に
より、パレット２７に対して傾斜した位置で保持される
。
把持アーム２２を受容するため、マニピュレータ３０は
その連結部材と共に連結手段２８の上へ移動せしめられ
る。マガジン１０を下げると、従ってパレット２７を下
げると、まず支持点３１゜３２が対向部材３５と噛み合
う。さらにマガジン１０とパレット２７を下げると、把
持アーム２２はそのレバー特性により支持点３３も対向
部材３４と噛み合うまで前記支持点の回りを回転する。
その連結部材と共に連結手段２８の上へ移動せしめられ
る。マガジン１０を下げると、従ってパレット２７を下
げると、まず支持点３１゜３２が対向部材３５と噛み合
う。さらにマガジン１０とパレット２７を下げると、把
持アーム２２はそのレバー特性により支持点３３も対向
部材３４と噛み合うまで前記支持点の回りを回転する。
この位置でフォーク部分２３の載置面は水平になり、把
持アームはマニピュレータ３０を戻すことによってパレ
ット２７から簡単に取り外すことができ、適当な方向に
向けた後、測定されるべきパレット２５．２７の一方の
下方へもたらしてパレットを取り出すことができる。
持アームはマニピュレータ３０を戻すことによってパレ
ット２７から簡単に取り外すことができ、適当な方向に
向けた後、測定されるべきパレット２５．２７の一方の
下方へもたらしてパレットを取り出すことができる。
次に、本発明による自動処理装置の作用を第１図を用い
てもう一度総括的に説明する。その際。
てもう一度総括的に説明する。その際。
本発明による自動処理装置の利点をも述べることにする
。
。
本発明による装置は総じてコンパクトに構成されている
ので、空調箱に格納することもできる。
ので、空調箱に格納することもできる。
この種の空調箱の壁には密閉可能なスリット状の穴を設
けることができ、この穴はマガジンの引き出しに対向す
る。空調箱内部のマガジンがこの穴の個を通り過ぎるよ
うにして、この穴から順次側々の引き出しを送り込むこ
とができる。
けることができ、この穴はマガジンの引き出しに対向す
る。空調箱内部のマガジンがこの穴の個を通り過ぎるよ
うにして、この穴から順次側々の引き出しを送り込むこ
とができる。
パレットは予め外部で４！！備することができる。
この場合パレットにマスク板を積載するため特殊な工具
を使用することができ、予め温度調整することも可能で
ある。従って準備作業の合理化を図ることができる。
を使用することができ、予め温度調整することも可能で
ある。従って準備作業の合理化を図ることができる。
次に、積載されたマスク板に応じて付属の把持アームを
パレットの上に置き、引き出しの中に挿入する。コード
読み取り器１９と、制御装置２０に付設され信号導線３
６を介してコード読み取り器１９と連結されているメモ
リとにより、どの引き出しにどの物体があり、どこに付
属の把持アームが見出されるかがわかる。制御装置２０
は、信号導線３７を介して、所定のプログラムに応じた
命令をマガジン１０の位置調整モータ１３に送り、所望
の引き出しをマニピュレータ３０に対向する取り出し位
置にもたらし、マニピュレータ３０を制御する。マニピ
ュレータ３０は案内軌道３９を直線的に移動可能である
。案内軌道３９は、回転可能な軸４０に固定されている
。軸４０は、モータ４１により駆動される。マニピュレ
ータ３０が積載された状態で回転する際案内軌道３９を
次のように移動すること、即ちマスク板に作用する加速
力をできるだけ小さく保持するため、マスク板が回転軸
の上にあるのが有利である。
パレットの上に置き、引き出しの中に挿入する。コード
読み取り器１９と、制御装置２０に付設され信号導線３
６を介してコード読み取り器１９と連結されているメモ
リとにより、どの引き出しにどの物体があり、どこに付
属の把持アームが見出されるかがわかる。制御装置２０
は、信号導線３７を介して、所定のプログラムに応じた
命令をマガジン１０の位置調整モータ１３に送り、所望
の引き出しをマニピュレータ３０に対向する取り出し位
置にもたらし、マニピュレータ３０を制御する。マニピ
ュレータ３０は案内軌道３９を直線的に移動可能である
。案内軌道３９は、回転可能な軸４０に固定されている
。軸４０は、モータ４１により駆動される。マニピュレ
ータ３０が積載された状態で回転する際案内軌道３９を
次のように移動すること、即ちマスク板に作用する加速
力をできるだけ小さく保持するため、マスク板が回転軸
の上にあるのが有利である。
本発明による自動処理装置はモジュールな構成であるた
め、マガジンを公知構造の任意の昇降装置に固定するこ
とができる。この場合、物体の供給または把持に不必要
なマガジン壁に固定することもできる。マガジン壁は、
すべての引き出しに均一な空調を生じさせることを簡単
にするほど十分に開口している。引き出し１１と１２の
数量は、必要に応じて選定できる。
め、マガジンを公知構造の任意の昇降装置に固定するこ
とができる。この場合、物体の供給または把持に不必要
なマガジン壁に固定することもできる。マガジン壁は、
すべての引き出しに均一な空調を生じさせることを簡単
にするほど十分に開口している。引き出し１１と１２の
数量は、必要に応じて選定できる。
マニピュレータシステム３０，３９，４０゜４１に対し
ても公知構造の任意のシステムを選定することができる
。なぜなら、マニピュレータと把持アームとの複数個の
連結手段だけを互いに適合させればよいからである。
ても公知構造の任意のシステムを選定することができる
。なぜなら、マニピュレータと把持アームとの複数個の
連結手段だけを互いに適合させればよいからである。
幕末
本発明により、選択自由な把持態様で形状と大きさが異
なる板状物体を保管することができ、測定または加工機
械に供給することができる。また清浄室の条件を考慮し
て且つ空調室で自動処理を行なうことができるようにな
った。
なる板状物体を保管することができ、測定または加工機
械に供給することができる。また清浄室の条件を考慮し
て且つ空調室で自動処理を行なうことができるようにな
った。
第１図は本発明による自動処理装置の各構成要素の組み
立て図、第２ａ、ｂ図はそれぞれ長方形の物体を積載し
たパレットを示した図、第３図は丸い物体を積載したパ
レットを示した図、第４図は把持アームを積載しパレッ
トを示した図、第５図はマニピュレータの把持アームと
連結部材の横断面図である。 １０・・・・・マガジン １１．１２・・・・・引き出し １５．２７・・・・・パレット １６・・・・・ガイド １８・・・・・コード化装置 １９・・・・・コード読み取り器 ２０・・・・・制御装置 ２１．２５・・・・・板状物体 ２２・・・・・把持アーム ３０・・・・・マニピュレータ
立て図、第２ａ、ｂ図はそれぞれ長方形の物体を積載し
たパレットを示した図、第３図は丸い物体を積載したパ
レットを示した図、第４図は把持アームを積載しパレッ
トを示した図、第５図はマニピュレータの把持アームと
連結部材の横断面図である。 １０・・・・・マガジン １１．１２・・・・・引き出し １５．２７・・・・・パレット １６・・・・・ガイド １８・・・・・コード化装置 １９・・・・・コード読み取り器 ２０・・・・・制御装置 ２１．２５・・・・・板状物体 ２２・・・・・把持アーム ３０・・・・・マニピュレータ
Claims (9)
- （１）高さ調整可能で水平に重ねられた複数個の引き出
しを具備しているマガジンと、直線的に移動可能で且つ
旋回可能なマニピュレータとを有している板状物体の自
動処理装置において、 ａ）マニピュレータ（３０）が交換可能な把持アーム（
２２）を有していること、 ｂ）把持アーム（２２）と板状物体（２１、２５）とが
マガジン（１０）の引き出し（１２）のなかに収納され
ていること、 ｃ）引き出しが、板状物体（２１、２５）及び付属の把
持アーム（２２）の大きさと形状をコード化するコード
化装置（１８）を有していること、 ｄ）処理されるべき板状物体（２１、２５）及び把持ア
ーム（２２）のコードに依存してマニピュレータ（３０
）を制御する制御装置（２０）が設けられていること、 を特徴とする自動処理装置。 - （２）異なったサイズの板状物体（２１、２５）及び把
持アーム（２２）を支持するためのパレット（１５、２
７）が設けられ、該パレット（１５、２７）は、マガジ
ン（１０）の引き出しの壁に設けたガイド（１６）に沿
って手動で移動可能であることを特徴とする、特許請求
の範囲第１項に記載の自動処理装置。 - （３）パレット（１５、２７）の送り方向が、マニピュ
レータ（３０）の把持方向とは異なっていることを特徴
とする、特許請求の範囲第２項に記載の自動処理装置。 - （４）コード化装置（１８）がパレット（１５、２７）
に装着され、マガジン（１０）に、制御装置（２０）と
連結されている少なくとも１つのコード化用検知装置が
付設されていることを特徴とする、特許請求の範囲第２
項に記載の自動処理装置。 - （５）板状物体（２１、２５）のための支持部（１７、
２６）が次のように形成されていること、即ち板状物体
の下面を縁領域で支持し、板状物体の縁がずれないよう
に阻止し、把持アーム（２２）が縁領域を接触なしに通
り抜けるように板状物体（２１、２５）とパレット面と
の間隔を保持するように形成されていることことを特徴
とする、特許請求の範囲第２項に記載の自動処理装置。 - （６）支持部がパレット（１５、２７）上に位置調整可
能に設けられていることを特徴とする、特許請求の範囲
第５項に記載の自動処理装置。 - （７）マニピュレータ（３０）と把持アーム（２２）が
自動心合わせの連結手段（３１、３２、３３、３４、３
５）を具備していることを特徴とする、特許請求の範囲
第１項または第２項に記載の自動処理装置。 - （８）３点支持の掛合手段が設けられていることを特徴
とする、特許請求の範囲第７項に記載の自動処理装置。 - （９）把持アーム（２２）がパレット（２７）の適当な
位置で保持され、マニピュレータ（３０）の直線的な接
近とマガジン（１０）の降下とによりまず支持部の２点
（３１、３２）が係合し、マガジン（１０）をさらに降
下させることによって第３の支持位置（３３）が係合し
、パレット上での保持が解けることを特徴とする、特許
請求の範囲第８項に記載の自動処理装置。
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