JPS63312595A - 真空用フランジの構造 - Google Patents
真空用フランジの構造Info
- Publication number
- JPS63312595A JPS63312595A JP62146334A JP14633487A JPS63312595A JP S63312595 A JPS63312595 A JP S63312595A JP 62146334 A JP62146334 A JP 62146334A JP 14633487 A JP14633487 A JP 14633487A JP S63312595 A JPS63312595 A JP S63312595A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flange
- vacuum
- ring
- side wall
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims description 2
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229920001973 fluoroelastomer Polymers 0.000 description 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Flanged Joints, Insulating Joints, And Other Joints (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
〔発明の概要〕
本発明はＣＦフランジのエツジ部内側の平坦部にゴム製
の０リングを装着して真空シールを行なう真空フランジ
において、前記０リングに適当なつぶし量を与えるため
のりテーナーと、固定のためのリテーナ−２ケから構成
することにより、真空チャンバーの側壁に相手となる他
のＣＦフランジを介することなく直接結合して真空シー
ルを実現したものである。
の０リングを装着して真空シールを行なう真空フランジ
において、前記０リングに適当なつぶし量を与えるため
のりテーナーと、固定のためのリテーナ−２ケから構成
することにより、真空チャンバーの側壁に相手となる他
のＣＦフランジを介することなく直接結合して真空シー
ルを実現したものである。
従来ＣＦフランジをチャンバー等の側壁へ結合する際は
相手となるＣＦフランジを側壁へ溶接する、あるいは側
壁へ直接エツジ部を加工して行なっていた。
相手となるＣＦフランジを側壁へ溶接する、あるいは側
壁へ直接エツジ部を加工して行なっていた。
多数のボートを有し、かつその大部分を例えば弗素ゴム
あるいはメタル０リングによって真空シールを行なう真
空システムの一部にＣＦフランジを有する要素を結合す
る場合、やむを得ず前記の様な技術によって実行してい
た。しかしながら前記の方法では他に相手となるＣＦフ
ランジ１ヶを必要とするあるいはチャンバーの側壁にエ
ツジ部を加工しなければならないという欠点があった。
あるいはメタル０リングによって真空シールを行なう真
空システムの一部にＣＦフランジを有する要素を結合す
る場合、やむを得ず前記の様な技術によって実行してい
た。しかしながら前記の方法では他に相手となるＣＦフ
ランジ１ヶを必要とするあるいはチャンバーの側壁にエ
ツジ部を加工しなければならないという欠点があった。
前記の問題点を解決するため本発明においては、ＣＦフ
ランジのエツジ部の内側に有する平坦部へ０リングを装
着し、かつ前記０リングに適当なつぶし量を与えるため
のりテーナーおよび０リングを固定するためのりテーナ
ーを用いることにより平坦な面を有するチャンバーの側
壁へ直接ＣＦフランジをＯリングを用いて結合する真空
フランジを提供する。
ランジのエツジ部の内側に有する平坦部へ０リングを装
着し、かつ前記０リングに適当なつぶし量を与えるため
のりテーナーおよび０リングを固定するためのりテーナ
ーを用いることにより平坦な面を有するチャンバーの側
壁へ直接ＣＦフランジをＯリングを用いて結合する真空
フランジを提供する。
前記リテーナ−を構成することにより、エツジ部内側の
平坦部とチャンバー側壁の間に装着されたＯリングを固
定するとともに適当なつぶし量を与、ｔ、チャンバーと
ＣＦフランジのシールを実現する。
平坦部とチャンバー側壁の間に装着されたＯリングを固
定するとともに適当なつぶし量を与、ｔ、チャンバーと
ＣＦフランジのシールを実現する。
以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第１
図は本発明を実施した真空用フランジの断面図、第２図
はエツジ部の詳細図で、チャンバー側壁１とエツジ６内
側の平坦部の間に０リングを装着し、リテーナ−５はＣ
Ｆフランジを締め付けた時にＯリング４に適当なつぶし
量を与える厚さに設定されている。リテーナ−３は０リ
ング４に加わる外圧を受けて０リングを固定するための
ものである。
図は本発明を実施した真空用フランジの断面図、第２図
はエツジ部の詳細図で、チャンバー側壁１とエツジ６内
側の平坦部の間に０リングを装着し、リテーナ−５はＣ
Ｆフランジを締め付けた時にＯリング４に適当なつぶし
量を与える厚さに設定されている。リテーナ−３は０リ
ング４に加わる外圧を受けて０リングを固定するための
ものである。
〔発明の効果〕
本発明は以上説明して来たように、容易にＣＦフランジ
をチャンバーへ直接結合しシールを実現できるため、省
スペース、コストダウン等の効果がある。
をチャンバーへ直接結合しシールを実現できるため、省
スペース、コストダウン等の効果がある。
第１図は本発明を実施した真空フランジの断面図、第２
図は本発明を実施した真空フランジエツジ部の詳細図で
ある。 １・・・チャンバー側壁 ２・・・ＣＦフランジ３・・
・リテーナ−４・・・０リング ５・・・リテーナ−６・・・エツジ 以上
図は本発明を実施した真空フランジエツジ部の詳細図で
ある。 １・・・チャンバー側壁 ２・・・ＣＦフランジ３・・
・リテーナ−４・・・０リング ５・・・リテーナ−６・・・エツジ 以上
Claims (1)
- コンフラットフランジ（以下ＣＦフランジと略す）のエ
ッジ部内側の平坦部にゴム製のＯリングを装着し、前記
Ｏリングを固定するリテーナー２ヶから構成されること
を特徴とする真空フランジの構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62146334A JPS63312595A (ja) | 1987-06-12 | 1987-06-12 | 真空用フランジの構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62146334A JPS63312595A (ja) | 1987-06-12 | 1987-06-12 | 真空用フランジの構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63312595A true JPS63312595A (ja) | 1988-12-21 |
Family
ID=15405338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62146334A Pending JPS63312595A (ja) | 1987-06-12 | 1987-06-12 | 真空用フランジの構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63312595A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013027293A1 (ja) * | 2011-08-25 | 2013-02-28 | 株式会社アールバキュームラボ | シール部材、真空容器および真空用配管 |
-
1987
- 1987-06-12 JP JP62146334A patent/JPS63312595A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013027293A1 (ja) * | 2011-08-25 | 2013-02-28 | 株式会社アールバキュームラボ | シール部材、真空容器および真空用配管 |
| JPWO2013027293A1 (ja) * | 2011-08-25 | 2015-03-05 | 株式会社アールバキュームラボ | シール部材、真空容器および真空用配管 |
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