JPS63313883A - 高気圧横放電励起型金属蒸気レ−ザ - Google Patents
高気圧横放電励起型金属蒸気レ−ザInfo
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- JPS63313883A JPS63313883A JP15048787A JP15048787A JPS63313883A JP S63313883 A JPS63313883 A JP S63313883A JP 15048787 A JP15048787 A JP 15048787A JP 15048787 A JP15048787 A JP 15048787A JP S63313883 A JPS63313883 A JP S63313883A
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
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- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、高気圧横放電励起型金属蒸気レーザに係り、
特にレーザによる同位体分離用の原子の励起源、あるい
は高出力高級り返しが可能なことを利用した原子力分野
における再処理の光化学反応の励起源として有用な高気
圧横放電励起型金属蒸気レーザに関する。
特にレーザによる同位体分離用の原子の励起源、あるい
は高出力高級り返しが可能なことを利用した原子力分野
における再処理の光化学反応の励起源として有用な高気
圧横放電励起型金属蒸気レーザに関する。
近年、レーザは広〈産業分野において利用され、光通信
分野、計測技術分野あるいは工作機械の分野におけるレ
ーザ加工にと、その応用範囲は多岐に亘っている。殊に
、原子力分野でのレーザ技術の活用はこのところ大きな
関心を集めている。その応用例として、レーザ光による
同位体分離用の原子の励起源や再処理廃棄物の再利用に
おける光化学反応の励起源として、殊に注目されている
が、これらの用途に用いられる金属レーザは、大出力、
高効率、高品位ビーム、運転コストの低減等が強く望ま
れている。そのために、現在、複合金属塩（金属＋ＡＡ
ｚ、Ｂｒ６）を使用することにより、室温での昇華を可
能にし、室温発振が可能になっており、これは、それ以
前の金属蒸気レーザのように金属を高温に加熱して蒸気
化させ、金属原子を放電により励起するタイプのものに
比べると、放電管の保温、断熱のための装置を不要にし
、それなりの効果を上げているが、依然として種々の問
題点を含んでいる。
分野、計測技術分野あるいは工作機械の分野におけるレ
ーザ加工にと、その応用範囲は多岐に亘っている。殊に
、原子力分野でのレーザ技術の活用はこのところ大きな
関心を集めている。その応用例として、レーザ光による
同位体分離用の原子の励起源や再処理廃棄物の再利用に
おける光化学反応の励起源として、殊に注目されている
が、これらの用途に用いられる金属レーザは、大出力、
高効率、高品位ビーム、運転コストの低減等が強く望ま
れている。そのために、現在、複合金属塩（金属＋ＡＡ
ｚ、Ｂｒ６）を使用することにより、室温での昇華を可
能にし、室温発振が可能になっており、これは、それ以
前の金属蒸気レーザのように金属を高温に加熱して蒸気
化させ、金属原子を放電により励起するタイプのものに
比べると、放電管の保温、断熱のための装置を不要にし
、それなりの効果を上げているが、依然として種々の問
題点を含んでいる。
（発明が解決すべき問題点〕
現在の複合金属塩（金属＋ＡＡｚＢｒ６）を用いるタイ
プの金属蒸気レーザは、発振に際して金属原子と昇華材
をパルス放電で解離しなければならず、そのためレーザ
発振のためには２回の放電を必要とし、エネルギ効率が
悪い。また、大出力化のためには、一度に多数の原子を
励起する必要があるが、今までの縦放電方式では放電の
安定性から高気圧放電が得られない。さらに、放電によ
るガスの劣化、及び金属原子の準安定準位への蓄積等の
問題から放電中は常時高価なＮｅガス等を流し続けなけ
ればならず、運転コストを低減化できない等の問題点が
あった。
プの金属蒸気レーザは、発振に際して金属原子と昇華材
をパルス放電で解離しなければならず、そのためレーザ
発振のためには２回の放電を必要とし、エネルギ効率が
悪い。また、大出力化のためには、一度に多数の原子を
励起する必要があるが、今までの縦放電方式では放電の
安定性から高気圧放電が得られない。さらに、放電によ
るガスの劣化、及び金属原子の準安定準位への蓄積等の
問題から放電中は常時高価なＮｅガス等を流し続けなけ
ればならず、運転コストを低減化できない等の問題点が
あった。
本発明は上記問題点を解決するためのもので、高気圧放
電を可能にして一度の放電で多数の金属原子を励起し、
エネルギ効率の向上を図り、かつバッファガスの劣化の
防止、及び原子の準安定準位からの脱励起が促進され、
高価なＮｅガス等を封じ切り、繰り返し使用を可能とす
る高気圧横放電励起金属蒸気レーザを提供することを目
的とする。
電を可能にして一度の放電で多数の金属原子を励起し、
エネルギ効率の向上を図り、かつバッファガスの劣化の
防止、及び原子の準安定準位からの脱励起が促進され、
高価なＮｅガス等を封じ切り、繰り返し使用を可能とす
る高気圧横放電励起金属蒸気レーザを提供することを目
的とする。
そのために本発明の高気圧横放電励起型金属蒸気レーザ
は、放電管内に、光軸に対して直角に対向配置された一
対の平等電界電極と、該平等電界、 電極の対向空間
の近傍に配設された一対の予備電離機構と、バッファガ
スおよび金属原子を高速で循環させるガス循環ファンと
、平等電界電極及び予備電離機構に放電電圧を供給する
電源装置とを備えたことを特徴とする。
は、放電管内に、光軸に対して直角に対向配置された一
対の平等電界電極と、該平等電界、 電極の対向空間
の近傍に配設された一対の予備電離機構と、バッファガ
スおよび金属原子を高速で循環させるガス循環ファンと
、平等電界電極及び予備電離機構に放電電圧を供給する
電源装置とを備えたことを特徴とする。
本発明の高気圧横放電励起型金属蒸気レーザは、横放電
励起タイプとすることにより高気圧放電を可能にし、予
備電離機構により放電を安定化させると共に、複合金属
塩も同時に解離させることができ、また、高気圧状態の
放電管内をガス循環ファンで循環させることにより、劣
化ガスを除去し、原子の準安定準位からの脱励起を促進
し、高価なＮｅガス等を封じ切り、繰り返し使用するこ
とができる。
励起タイプとすることにより高気圧放電を可能にし、予
備電離機構により放電を安定化させると共に、複合金属
塩も同時に解離させることができ、また、高気圧状態の
放電管内をガス循環ファンで循環させることにより、劣
化ガスを除去し、原子の準安定準位からの脱励起を促進
し、高価なＮｅガス等を封じ切り、繰り返し使用するこ
とができる。
゛ 〔実施例〕
以下、実施例を図面を参照して説明する。
図は本発明による高気圧横放電励起型金属蒸気レーザの
一実施例の断面を示す図で、１は２次コンデンサ、２は
平等電界電極、３はガス循環ファン、４は予備電離ピン
、５は充電用インダクタンス、６は１次コンデンサ、７
はサイラトロン、８は放電管である。
一実施例の断面を示す図で、１は２次コンデンサ、２は
平等電界電極、３はガス循環ファン、４は予備電離ピン
、５は充電用インダクタンス、６は１次コンデンサ、７
はサイラトロン、８は放電管である。
図において、レーザの放電管８の内部には光軸に対して
直角に放電がなされるように平等電界電極２，２を配置
する。即ち、かかる電極配置により横放電励起が実現で
き、その結果、放電長を短くすることができ高気圧放電
を可能にしている。
直角に放電がなされるように平等電界電極２，２を配置
する。即ち、かかる電極配置により横放電励起が実現で
き、その結果、放電長を短くすることができ高気圧放電
を可能にしている。
平等電界電極２の放電空間の近傍には予備電離ピン４．
４が配置される。予備電離にはアーク放電、コロナ放電
、沿面放電、Ｘ線、電子線が利用できる。また、放電管
８中にはバッファガスおよび金属原子を含んだガスを循
環させるガス循環ファン３が配置され、Ｎｅガス等のバ
ッファガスを密封経路に沿って矢印方向に循環すること
により、スパツタリング等によるガスの劣化および原子
の準安定準位からの脱励起が促進される。そして併せて
、放電の高繰り返し発振、高効率を可能にすると共に、
高価なＮｅガス等を封じ切り、繰り返し使用を可能にし
ている。さらに、放電管８内には２次コンデンサ１が設
けられ、平等電界電極２゜２に高電位パルスを供給する
。
４が配置される。予備電離にはアーク放電、コロナ放電
、沿面放電、Ｘ線、電子線が利用できる。また、放電管
８中にはバッファガスおよび金属原子を含んだガスを循
環させるガス循環ファン３が配置され、Ｎｅガス等のバ
ッファガスを密封経路に沿って矢印方向に循環すること
により、スパツタリング等によるガスの劣化および原子
の準安定準位からの脱励起が促進される。そして併せて
、放電の高繰り返し発振、高効率を可能にすると共に、
高価なＮｅガス等を封じ切り、繰り返し使用を可能にし
ている。さらに、放電管８内には２次コンデンサ１が設
けられ、平等電界電極２゜２に高電位パルスを供給する
。
放電管８の外部には、高電圧発生のための電源装置が準
備されており、サイラトロン７と、そのエネルギ充電用
の１次コンデンサ６及び充電用インダクタンス５が配設
される。
備されており、サイラトロン７と、そのエネルギ充電用
の１次コンデンサ６及び充電用インダクタンス５が配設
される。
かかる構成において、放電管８内部を高気圧にし、図示
しない供給手段により、複合金属と昇華材を該放電管中
に供給し昇華させる。次に、平等電界電極２．２及び予
備電離ピン４．４に電圧を印加してガスのイオン化と金
属原子と昇華材の解離を同時に行い放電の効率化を図る
ことができる。
しない供給手段により、複合金属と昇華材を該放電管中
に供給し昇華させる。次に、平等電界電極２．２及び予
備電離ピン４．４に電圧を印加してガスのイオン化と金
属原子と昇華材の解離を同時に行い放電の効率化を図る
ことができる。
そして、放電管内部が高気圧であるため、ガス循環ファ
ン３を回転させることによりガスの高速循環が可能にな
り、これを利用して放電領域における劣化ガスの除去、
準安定準位にある原子の脱励起が促進され、高繰り返し
発振、高効率が可能になる。また、放電管内部にガスを
封じきることが可能となり、高価なＮｅガスの節約がで
き、運転コストを低減化することができる。
ン３を回転させることによりガスの高速循環が可能にな
り、これを利用して放電領域における劣化ガスの除去、
準安定準位にある原子の脱励起が促進され、高繰り返し
発振、高効率が可能になる。また、放電管内部にガスを
封じきることが可能となり、高価なＮｅガスの節約がで
き、運転コストを低減化することができる。
以上のように本発明によれば、金属蒸気レーザを横放電
励起方式を採用し、放電長を短くすると共に、予備電離
を併用することにより、高気圧放電が可能になり、１度
の放電が多数の原子を励起することができる。そして、
高気圧放電の安定化が得られるばかりでなく、複合金属
塩（金属＋ＡｌｔＢｒ、）蒸気の解離を促進させること
ができる。さらに、放電管内部が高気圧であるためガス
循環ファンによるガスの高速循環が可能となり、放電領
域における劣化ガスを除去でき、原子の準安定準位から
の脱励起が促進され、放電の高繰り返し、高効率を可能
にすると共に、高価なＮｅガス等を封じ切り繰り返し使
用することができる。
励起方式を採用し、放電長を短くすると共に、予備電離
を併用することにより、高気圧放電が可能になり、１度
の放電が多数の原子を励起することができる。そして、
高気圧放電の安定化が得られるばかりでなく、複合金属
塩（金属＋ＡｌｔＢｒ、）蒸気の解離を促進させること
ができる。さらに、放電管内部が高気圧であるためガス
循環ファンによるガスの高速循環が可能となり、放電領
域における劣化ガスを除去でき、原子の準安定準位から
の脱励起が促進され、放電の高繰り返し、高効率を可能
にすると共に、高価なＮｅガス等を封じ切り繰り返し使
用することができる。
図は本発明による高気圧横放電励起型金属蒸気レーザの
一実施例の断面図である。 １・・・２次コンデンサ、２・・・平等電界電極、３・
・・ガス循環ファン、４・・・予備電離ピン、５・・・
充電用インダクタンス、６・・・１次コンデンサ、７・
・・サイラトロン、８・・・放電管。
一実施例の断面図である。 １・・・２次コンデンサ、２・・・平等電界電極、３・
・・ガス循環ファン、４・・・予備電離ピン、５・・・
充電用インダクタンス、６・・・１次コンデンサ、７・
・・サイラトロン、８・・・放電管。
Claims (1)
- （１）放電管内に、光軸に対して直角に対向配置された
一対の平等電界電極と、該平等電界電極の対向空間の近
傍に配設された一対の予備電離機構と、バッファガスお
よび金属原子を高速で循環させるガス循環ファンと、平
等電界電極及び予備電離機構に放電電圧を供給する電源
装置とを備えた高気圧横放電励起型金属蒸気レーザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15048787A JPS63313883A (ja) | 1987-06-17 | 1987-06-17 | 高気圧横放電励起型金属蒸気レ−ザ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15048787A JPS63313883A (ja) | 1987-06-17 | 1987-06-17 | 高気圧横放電励起型金属蒸気レ−ザ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63313883A true JPS63313883A (ja) | 1988-12-21 |
Family
ID=15497946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15048787A Pending JPS63313883A (ja) | 1987-06-17 | 1987-06-17 | 高気圧横放電励起型金属蒸気レ−ザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63313883A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0502228A1 (de) * | 1991-03-06 | 1992-09-09 | Rustem Dr. Osmanow | Multigas-Excimerlaser |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6197879A (ja) * | 1984-10-18 | 1986-05-16 | Toshiba Corp | 金属蒸気レ−ザ装置 |
| JPS61253875A (ja) * | 1985-05-07 | 1986-11-11 | Toshiba Corp | ガスレ−ザ発振装置 |
-
1987
- 1987-06-17 JP JP15048787A patent/JPS63313883A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6197879A (ja) * | 1984-10-18 | 1986-05-16 | Toshiba Corp | 金属蒸気レ−ザ装置 |
| JPS61253875A (ja) * | 1985-05-07 | 1986-11-11 | Toshiba Corp | ガスレ−ザ発振装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0502228A1 (de) * | 1991-03-06 | 1992-09-09 | Rustem Dr. Osmanow | Multigas-Excimerlaser |
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