JPS6333632U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6333632U JPS6333632U JP12694986U JP12694986U JPS6333632U JP S6333632 U JPS6333632 U JP S6333632U JP 12694986 U JP12694986 U JP 12694986U JP 12694986 U JP12694986 U JP 12694986U JP S6333632 U JPS6333632 U JP S6333632U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- main body
- holding claw
- movable holding
- operating
- claw provided
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 5
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例のウエハースハン
ドリング治具の側面図、第２図は第１図の要部拡
大断面図、第３図は第１図の治具で半導体ウエハ
ースを保持した状態の正面図である。第４図は従
来のウエハースハンドリング治具の斜視図、第５
図ないし第８図は他のウエハースハンドリングの
治具の要部斜視図である。 １２……本体、１３……固定保持爪、１４……
可動保持爪、１５……操作部、１９……圧縮ばね
。
ドリング治具の側面図、第２図は第１図の要部拡
大断面図、第３図は第１図の治具で半導体ウエハ
ースを保持した状態の正面図である。第４図は従
来のウエハースハンドリング治具の斜視図、第５
図ないし第８図は他のウエハースハンドリングの
治具の要部斜視図である。 １２……本体、１３……固定保持爪、１４……
可動保持爪、１５……操作部、１９……圧縮ばね
。
Claims (1)
- 棒状の本体と、この本体の一端に設けた固定保
持爪と、前記本体の長さ方向の中途部に設けた可
動保持爪と、この可動保持爪を操作する操作部と
を具備してなるウエハースハンドリング治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12694986U JPS6333632U (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12694986U JPS6333632U (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6333632U true JPS6333632U (ja) | 1988-03-04 |
Family
ID=31021235
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12694986U Pending JPS6333632U (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6333632U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04360774A (ja) * | 1991-06-03 | 1992-12-14 | Canon Inc | シート材把持具 |
-
1986
- 1986-08-20 JP JP12694986U patent/JPS6333632U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04360774A (ja) * | 1991-06-03 | 1992-12-14 | Canon Inc | シート材把持具 |