JPS6334706B2 - - Google Patents

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JPS6334706B2
JPS6334706B2 JP57173815A JP17381582A JPS6334706B2 JP S6334706 B2 JPS6334706 B2 JP S6334706B2 JP 57173815 A JP57173815 A JP 57173815A JP 17381582 A JP17381582 A JP 17381582A JP S6334706 B2 JPS6334706 B2 JP S6334706B2
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JP
Japan
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moving member
housing
working fluid
compression piston
compression
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JP57173815A
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JPS5879462A (ja
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Jooji Geisaa Matsukusu
Shaaman Aran
Arubaato Suchuudaa Fuiritsupu
Daniiruzu Arekisandaa
Fuiritsupu Gorudosukii Maikeru
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NASHONARU EERONOOTEIKUSU ENDO SUPEESU ADOMINISUTOREESHON
Original Assignee
NASHONARU EERONOOTEIKUSU ENDO SUPEESU ADOMINISUTOREESHON
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Publication date
Application filed by NASHONARU EERONOOTEIKUSU ENDO SUPEESU ADOMINISUTOREESHON filed Critical NASHONARU EERONOOTEIKUSU ENDO SUPEESU ADOMINISUTOREESHON
Publication of JPS5879462A publication Critical patent/JPS5879462A/ja
Publication of JPS6334706B2 publication Critical patent/JPS6334706B2/ja
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406Magnetic bearings
    • F16C32/044Active magnetic bearings
    • F16C32/0444Details of devices to control the actuation of the electromagnets
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02GHOT GAS OR COMBUSTION-PRODUCT POSITIVE-DISPLACEMENT ENGINE PLANTS; USE OF WASTE HEAT OF COMBUSTION ENGINES; NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F02G1/00Hot gas positive-displacement engine plants
    • F02G1/04Hot gas positive-displacement engine plants of closed-cycle type
    • F02G1/043Hot gas positive-displacement engine plants of closed-cycle type the engine being operated by expansion and contraction of a mass of working gas which is heated and cooled in one of a plurality of constantly communicating expansible chambers, e.g. Stirling cycle type engines
    • F02G1/0435Hot gas positive-displacement engine plants of closed-cycle type the engine being operated by expansion and contraction of a mass of working gas which is heated and cooled in one of a plurality of constantly communicating expansible chambers, e.g. Stirling cycle type engines the engine being of the free piston type
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02GHOT GAS OR COMBUSTION-PRODUCT POSITIVE-DISPLACEMENT ENGINE PLANTS; USE OF WASTE HEAT OF COMBUSTION ENGINES; NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F02G1/00Hot gas positive-displacement engine plants
    • F02G1/04Hot gas positive-displacement engine plants of closed-cycle type
    • F02G1/043Hot gas positive-displacement engine plants of closed-cycle type the engine being operated by expansion and contraction of a mass of working gas which is heated and cooled in one of a plurality of constantly communicating expansible chambers, e.g. Stirling cycle type engines
    • F02G1/053Component parts or details
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25BREFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
    • F25B9/00Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point
    • F25B9/14Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point characterised by the cycle used, e.g. Stirling cycle
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02GHOT GAS OR COMBUSTION-PRODUCT POSITIVE-DISPLACEMENT ENGINE PLANTS; USE OF WASTE HEAT OF COMBUSTION ENGINES; NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F02G2258/00Materials used
    • F02G2258/10Materials used ceramic
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02GHOT GAS OR COMBUSTION-PRODUCT POSITIVE-DISPLACEMENT ENGINE PLANTS; USE OF WASTE HEAT OF COMBUSTION ENGINES; NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F02G2280/00Output delivery
    • F02G2280/10Linear generators
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25BREFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
    • F25B2309/00Gas cycle refrigeration machines
    • F25B2309/001Gas cycle refrigeration machines with a linear configuration or a linear motor

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、低温冷却装置に関するものであ
り、特にスターリングサイクルによつて動作する
低温冷却装置に関する。
多くの分野、特に航空機部品や宇宙船機器、に
おいては、非常に長期間にわたつて確実に動作す
ることができるコンパクトな低温冷却装置を必要
としている。現在多くのこのような低温冷却装置
が存在しているが、これらは摩耗して部品の取り
換えを必要としたりあるいは構成が極端に複雑で
あつて組み立てに大きな費用がかかる。スターリ
ングサイクルは、多くの低温冷却装置において従
来から採用されている。とはいうものの、これら
の低温冷却装置は、複雑な駆動機構・こすれ密閉
部材・そして潤滑を必要とする軸受を必然的に備
えている。こすれ密閉部材・軸受・潤滑剤が、摩
耗に加えて、この低温冷却装置内で使用されてい
る有機物質及び他のガス放出物質によつて汚染が
一層悪化されるような内部汚染を創出するので、
複雑な駆動機構は動作不良を多く生じる。
これ故に、例えば3年ないし5年もの非常な長
期間に渡り保守をすることなく確実に動作するこ
とができる可動部品を備えた密閉サイクル装置を
創出することが望まれている。今日まで、何十億
回ものサイクルを故障することなく確実に動作す
ることができる長寿命の宇宙船冷却システムを創
出しようとする以前からの試みは何等成功してい
ない。
この発明は上記事情に基づいてなされ、この発
明の目的は、比較的長期間にわたつて保守を必要
とすることなく確実に動作することができる低温
冷却装置を提供することである。
この発明の他の目的は、宇宙船に適用すること
ができる低温冷却装置を提供することである。
またこの発明のさらに別の目的は、機械的構成
が比較的簡単でスターリングサイクルにおいて動
作する低温冷却装置を提供することである。
またこの発明のさらに別な目的は、可動部品に
おいて通常発生する摩耗を減少させることができ
る長寿命のスターリングサイクル低温冷却装置を
提供することである。
またこの発明のさらに別な目的は、宇宙船に適
用することができ潤滑剤による汚染・摩耗・ガス
放出を実質的に行なわないスターリングサイクル
低温冷却装置を提供することである。
さらにまたこの発明の別な目的は、高効率で電
気的に駆動される機械的な構成の低温冷却装置を
提供することである。
上述した如き種々の目的は、その一端に作動流
体圧縮空間を含んだ略円筒形状の圧縮領域のハウ
ジング中に配置され、ハウジング中で往復移動す
ることにより作動流体圧縮空間の容量を変化させ
る圧縮ピストンと;その一端に作動流体膨張空間
を含みハウジングと相互に連結された略円筒形状
の膨張領域のハウジング中に配置され、ハウジン
グ中で往復移動することにより作動流体膨張空間
の容量を変化させる移動部材と;ハウジングに設
けられ、作動流体圧縮空間と作動流体膨張空間と
の間に作動流体を連通させる通路手段と;圧縮ピ
ストン及び移動部材に連結され、制御された位相
関係で圧縮ピストン及び移動部材を相互に往復動
作させて作動流体の圧縮及び膨張により所望の冷
却サイクルを行なわせる駆動モータ手段と;ハウ
ジングに配置され、圧縮ピストン及び移動部材を
夫々の対応するハウジング中で中心に位置させる
非接触型軸受手段と;圧縮ピストン及び移動部材
のまわりの作動流体の流れを制限する非接触型密
閉手段と;を備えており、非接触型軸受手段が、
ハウジングの夫々の上で長手方向に相互に離間し
て配置された2対のマグネチツク軸受を備えてお
り、圧縮ピストンと移動部材とが磁性材料を備え
ており、個々のマグネチツク軸受が、対応するハ
ウジングの周囲に略90゜相互に周方向に離間して
配置され圧縮ピストン及び移動部材に対して相互
に垂直に交差する半径方向の1対の軸に沿つて誘
引力を作用させる少なくとも4つの電磁石を備え
ており、個々のマグネチツク軸受の複数の電磁石
の近傍には、圧縮ピストン及び移動部材が中心位
置から離間した状態を検知し検知された上記状態
の程度に対応した出力信号を発生させる半径方向
位置検知手段が設けられており、個々の電磁石に
は、上記出力信号に対応して個々の電磁石を選択
的に励起し圧縮ピストン及び移動部材を夫々が対
応するハウジングの中心の位置に配置させるマグ
ネチツク軸受制御電気回路手段が連結されてお
り、非接触型軸受手段と非接触型密閉手段とが圧
縮ピストンとハウジングとの間及び移動部材とハ
ウジングとの間の物理的な接触を減少させて寿命
を延長させるとともに作動流体の汚染を防止す
る、ことを特徴とした本願発明の低温冷却装置に
よつて達成することが出来る。
以下この発明の実施例を図面を参照して説明す
る。
複数の図において使用される同じ参照符号は、
同じ部品を示す。
第1図には、非接触型線形マグネチツク軸受手
段を有した単一膨張型のスターリングサイクル低
温冷却装置が概略的に示されている。このスター
リングサイクル低温冷却装置は、相互に機械的に
連結されている圧縮領域10と膨張領域12とを
備えており、圧縮領域10は、細長い円筒形状の
スリーブ型のハウジング18中に位置し横断面が
略円形状であつて線形往復動型である圧縮ピスト
ン14を有しており、膨張領域12は、細長い円
筒形状のスリーブ型のハウジング20中に位置し
横断面が略円形状であつて線形往復動型である移
動部材16を有している。2つのハウジング1
8,20は、共通の長手方向中心線に沿つて端と
端を付き合わせた状態で隣接フランジ22,24
によつて相互に連結されている。このように長手
方向に沿つて配置することにより、例えば単一の
釣り合わせ機構の如く釣り合わせが容易となる。
圧縮ピストン14及び移動部材16の両者は、
強磁性体、即わち磁性材料、を含んでおり、複数
の相互に独立して作用する2対の非接触型軸受手
段であるマグネチツク軸受26,28,30,3
2の夫々によつて、ハウジング18,20の夫々
の中で磁力によつて支持されている。複数のマグ
ネチツク軸受26,28,30,32の夫々は、
第4図に示す如く、略90゜ごとに配置された4つ
の電磁石を有している。また複数のマグネチツク
軸受26,28,30,32は、夫々の近傍に配
置されている半径方向位置検知手段である半径方
向位置検知器34,36,38,40から発せら
れる出力信号に従つて選択的に励起される。半径
方向位置検知器34,36,38,40の夫々
は、少なくとも2つ、好ましくは第5図に示す如
く4つ、の検知探査子を備えており、4つの検知
探査子は、複数の半径方向線に沿つた方向におけ
る圧縮ピストン14及び移動部材16のあらゆる
移動を検知する為に、周方向において相互に略
90゜ずつ離間して配置されている。複数のマグネ
チツク軸受26,28,30,32は、圧縮ピス
トン14及び移動部材16がハウジング18,2
0の内表面と接触することなく線形移動を行うこ
とができるようにする手段を構成している。この
ような構成は、圧縮ピストン14及び移動部材1
6がハウジング18,20の内表面と接触するこ
とにより生じる摩耗を防止する。圧縮ピストン1
4と移動部材16とは自由に回転できるとはい
え、これらは回転しようとしない。さらに移動部
材16がばねと関連してない一方で、圧縮ピスト
ン14は、ハウジング18の内端に配置されてい
て作動流体圧縮空間として機能する可変容量圧縮
空間44中の圧力波によつて創出されるガススプ
リングと関連して動作する。2つのハウジング1
8及び20は、密閉されており、図示しない注入
弁を介して加圧されている作動流体が流入されて
いる。この作動流体としては大部分がヘリウムを
採用しているが、ネオン、水素、あるいはヘリウ
ムとネオンと水素との混合物の如き他の適当な気
体状の媒体であつても良い。可変容量圧縮空間4
4は、隣接フランジ22の場所に位置している。
他方のハウジング20は、作動流体膨張空間とし
て機能する可変容量膨張空間46をハウジング2
0の外端に有している。可変容量圧縮空間44と
可変容量膨張空間46とは、図示しない複数の通
路によつて相互に連結されており、これから叙述
されるスターリング冷却サイクルに影響を及ぼす
為に図示しない蓄熱器が含まれている。
圧縮ピストン14は、2つのマグネチツク軸受
26,28の間の拡大ハウジング部50中に配置
されている線形モータ手段である線形駆動モータ
48に連結されており、この線形駆動モータ48
によつて線形往復動作をさせられる。また移動部
材16は、2つのマグネチツク軸受30,32の
間でハウジング20中に配置されている線形モー
タ手段である線形駆動モータ52によつてハウジ
ング20中を前後方向に動作させられる。圧縮ピ
ストン14の一端は、線形移動検知手段である線
形位置検知器54に連結されており、移動部材1
6の一端は、線形移動検知手段である線形位置検
知器56に連結されている。線形位置検知器5
4,56は、例えば線形変位差動変圧器であつ
て、この線形変位差動変圧器は、ハウジング18
及び20中における圧縮ピストン14及び移動部
材16の軸方向位置に対応して電気的な出力信号
を発生する。
圧縮領域10の線形駆動モータ48と膨張領域
12の線形駆動モータ52とは、線形位置検知器
54,56の発する出力信号に対応して駆動さ
れ、これによつて圧縮ピストン14と移動部材1
6とは、理想のスターリングサイクル動作に近づ
くように適切な関係で略サイン曲線を描くように
往復動作される。さらに圧縮ピストン14は、可
変容量圧縮空間44中の作動流体に対して作用
し、スターリングサイクル低温冷却装置の駆動の
為に要求される力を最小にするような共鳴振動数
で駆動される。圧縮ピストン14及び移動部材1
6の相対的な移動によつて発生する振動を最小に
する為に、機械的な釣り合わせ装置58がハウジ
ング18の外端にとりつけられている。最も簡単
な構成の釣り合わせ装置58は、圧縮ピストン1
4及び移動部材16と共通な長手方向中心線上で
ばねによつて支持され往復移動する釣り合い重り
を備えている。希望によつて他の型式の釣り合わ
せ装置を採用することもできる。
第2図を参照して圧縮領域10をより詳しく見
てみると、圧縮ピストン14は、細長い中空の金
属製の本体を備えており、この本体には拡大ハウ
ジング部50の内部と連通した1つあるいは複数
の通気孔60が設けられている。通気孔60の目
的は、圧縮ピストン14と拡大ハウジング部50
との間の内圧を等しくする為である。複数の同様
な通気孔59が、ハウジング18の外端の空間4
2中の圧力変動を減少あるいは実質的になくすた
めに圧縮ピストン14の外端に形成されている。
圧縮ピストン14は1対のくびれ部位61,62
を有しており、このくびれ部位61,62には、
1対のマグネチツク軸受26,28の下で電磁力
による支持力を増大させる為の局部的な強磁性領
域を創出する為に、金属製のリング63,64が
圧縮ピストン14の外周面と周面を一致させた状
態で装着されている。リング63,64は、軸方
向においてマグネチツク軸受26,28を超えて
延出し、圧縮ピストン14の全行程を通しての磁
力線通路を提供する。ヨーク型構造物66が、圧
縮ピストン14の外表面にとり付けられており、
ヨーク型構造物66は、円筒形状の永久磁石電機
子68で終了している。永久磁石電機子68は、
半径方向に磁化された2つの永久磁石リング6
7,69を備えており、2つの永久磁石リング6
7,69は、固定子である2対の円筒形状のモー
タコイル70,72の間で線形状に移動するよう
に強制されている円筒形状の非磁性部材65によ
つて相互に分離されている。永久磁石電機子6
8、モータコイル70、及びモータコイル72か
らガスが放出されるのを防ぐために、これらは図
示しない金属製の容器中に密閉されている。モー
タコイル70,72は、円筒形状の極片74,7
6の間に配置されており、これらによつて内側及
び外側の固定子を形成している。
圧縮ピストン14の為の線形位置検知器54
は、空間42中に配置されており、線形移動検知
手段の為の回路手段の一部であつて第1の線形変
位差動変圧器の一部を構成する複数の巻線78を
備えている。そして複数の巻線78の中空部を巻
線78と同様に線形移動検知手段の為の回路手段
の一部であつて第1の線形変位差動変圧器の一部
を構成する細長い金属製の核部材80が複数の巻
線78に接触することなく貫通しており、この核
部材80は通気孔59が設けられている圧縮ピス
トン14の外端に取り付けられている。ハウジン
グ18の内表面と圧縮ピストン14との間であつ
てマグネチツク軸受26,28の位置にある内側
領域82,84は、非接触微小すきま領域を備え
ている。内側領域82,84の一方あるいは両者
は非接触型密閉手段として機能することができ、
ハウジング18の内表面と圧縮ピストン14との
間の摩擦をなくすとともに容認できる量のガスの
吹き込みを許容するのに十分なだけハウジング1
8の内表面から離間した半径方向微小すきま(わ
ずか0.002cm)を有した領域を備えている。内側
領域82,84、即ち半径方向微小すきま領域
は、内側領域82,84に配置されているマグネ
チツク軸受26,28が圧縮ピストン14をハウ
ジング18の内孔中に高度な正確さでもつて中央
に配置させるように動作することによつて利用さ
れる。第2図に示す如き構成によれば、非多孔性
の金属及び無機物質のみが作動流体と接触するの
でガスの放出が最小になる。内側領域82,84
の非接触微小すきま領域のおかげで、何等の粒子
汚染も生じない。モータコイル70,72からの
廃熱は拡大ハウジング部50に導かれ、拡大ハウ
ジング部50からは熱が図示しない冷却ジヤケツ
トによつて運び去られる。
膨張領域12の機械的の構成の詳細について
は、第3図を参照する。
移動部材16は、略円筒形状をしたハウジング
20中に配置されている細長いピストン形状のシ
リングを有している。ハウジング20は、廃熱の
廃棄の為の図示しない冷却ジヤケツトに対向した
拡大内側部86と片持ち梁式に支持された比較的
厚さの薄い外側部87とを備えている。外側部8
7は、外方温度フランジ88と連結フランジ89
とを備えており、連結フランジ89は、拡大内側
部86のフランジ90と連結している。外側部8
7の外端は、重い銅製のキヤツプ92で終了して
いる。移動部材16は、内側本体部94と、中間
冷却蓄熱手段である中間蓄熱部95と、真空の中
空部を有している外端部96とを備えている。中
間蓄熱部95は、燐青銅あるいは他の適当な蓄熱
材料で形成され通路手段としても機能する網目部
材を有している。可変容量膨張空間46は、移動
部材16の外端部96とハウジング20の外側部
87の内側との間に位置している。作動流体は、
可変容量膨張空間46から移動部材16の外端部
96のまわりを通過し、そして通路98によつて
中間蓄熱部95を通過する。中間蓄熱部95から
作動流体は、熱移動領域99を構成する内側本体
部94中の通路100,101,102を通過
し、次に熱移動が行なわれる拡大内側部86中の
通路103,104,105,106を通過す
る。ここにおいて作動流体は、線形駆動モータ5
2に沿つて流れ、そしてさらには後部のマグネチ
ツク軸受30、半径方向位置検知器38、及び線
形位置検知器56のまわりを通過した後隣接フラ
ンジ24中に位置した可変容量圧縮空間44へと
流入する。非接触型密閉手段として作用する非接
触微小すきま領域108が、外方温度フランジ8
8とフランジ89との間で外側のマグネチツク軸
受32の位置に設けられている。第2図に示す内
側領域82,84と同様に、非接触微小すきま領
域108は、移動部材16の外周面とハウジング
部110の内周壁との間に0.002cmの半径方向微
小すきまを有している。この半径方向微小すきま
は、許容できる吹き出しを例外としては、作動流
体を通路100,101,102へと流入させ
る。
移動部材16の為の線形駆動モータ52もま
た、可動磁石型であるが、第2図に示した圧縮ピ
ストン14の為の線形駆動モータ48とは構成が
異なつている。線形駆動モータ52は、2つの環
形状の永久磁石112,113を備えており、こ
の2つの永久磁石112,113は、円筒形状の
モータコイル114,115の近傍で移動部材1
6の内側本体部94中に埋め込まれている。モー
タコイル114,115は到達した作動流体から
のガスの放出を防止する為に図示しない金属製の
容器に密閉されている。共通の極片116が、モ
ータコイル114,115を囲んでいる。さらに
移動部材16の内側本体部94は、マグネチツク
軸受30,32と移動部材16との間の磁力によ
る連結を強化する為にマグネチツク軸受30,3
2の位置の凹所に形成された1対の強磁性体リン
グ118,119をさらに備えている。線形駆動
モータ52の為の線形位置検知器56は、第2の
線形変位差動変圧器を備えており、第2の線形変
位差動変圧器は、線形移動検知手段の為の回路手
段の一部であつて第2の線形変位差動変圧器の一
部を構成する円筒形状の複数のコイル122中を
物理的に接触することなく軸方向に移動する細長
い核部材120を有している。核部材120はコ
イル122と同様に線形移動検知手段の為の回路
手段の一部であつて第2の線形変位差動変圧器の
一部を構成する。
第4図及び第5図には、相互に同一な4つのマ
グネチツク軸受26,28,30,32のうち1
つのマグネチツク軸受26及び相互に同一な4つ
の半径方向位置検知器34,36,38,40中
の1つの半径方向位置検知器34が示されてい
る。マグネチツク軸受26は、第2図に示す如く
U字形状の縦断面を有した極片128,129,
130,131のまわりに巻装されたコイル12
4,125,126,127を有した4つの電磁
石を備えている。4つの電磁石はさらに圧縮ピス
トン14を格納した円筒形状のハウジング18の
まわりに略90゜ずつ離間して配置されており、強
磁性領域を創出する為のリング63がコイル12
4,125,126,127の夫々の下に位置し
ている。4つの電磁石は相互に正反対の位置に配
置されている2つの電磁石が対になつて動作し、
第5図に示されている半径方向位置検知器34に
よつて測定された複数の半径方向線X−Yに沿つ
た方向におけるピストン14の位置に対応して、
複数の半径方向線X−Yに沿つて圧縮ピストン1
4に誘引力を作用させる。また半径方向位置検知
器34は、相互に略90゜離間して配置されハウジ
ング18から半径方向に延出している円筒形状の
管136,137,138,139中に配置され
ている4つの半径方向位置探査子132,13
3,134,135を備えている。これらの管1
36,137,138,139は、4つのセラミ
ツクス製の窓部材136′,137′,138′,
139′によつて作動流体から気密状態に密閉さ
れている。4つの半径方向位置探査子132,1
33,134,135は、通常4つの窓部材13
6′,137′,138′,139′の極めて近傍に
配置されている。
動作時には、圧縮ピストン14の周囲に相互に
略90゜離間して配置されている半径方向位置探査
子132,133,134,135が、ハウジン
グ18内における圧縮ピストン14の半径方向位
置を検知し、マグネチツク軸受26の4つの電磁
石に対して供給される電力を制御する為に使用さ
れる電気的な出力信号を発生する。マグネチツク
軸受26は誘引力を作用するように誘引モードで
動作するので、圧縮ピストン14が一側に片寄つ
た場合には、半径方向位置探査子132,13
3,134,135が差動モードで動作して正反
対の側に位置している電磁石に対して電力が供給
されるようにし、この結果として圧縮ピストン1
4がハウジング18中の中央の位置に復帰させら
れる。同じ動作が、移動部材16をハウジング2
0中の中央の位置に配置させるのに使用されてい
る。
スターリングサイクルの動作は、以下のようで
ある。圧縮ピストン14と移動部材16とは、線
型駆動モータ48,52へと供給された電流に対
応してハウジング18と20中で往復動作する。
理想のスターリングサイクルにおいては、4つの
熱移動工程が行なわれ、この中の第1番目の熱移
動工程は等温圧縮である。ここにおいて熱は、作
動流体から雰囲気温度の外部の熱だめ(hest
sink)へと移動する。次の工程は、作動流体から
蓄熱物質への定容積における熱の移動の1つであ
る。第3の工程は、作動流体の等温膨張における
冷却温度の外部の源からの熱の移動であり、最后
の工程は、蓄熱物質から作動流体への定容積にお
ける熱の移動である。
第1図ないし第3図に示したこの発明の実施例
に関しては、この実施例によつて概略的に達成さ
れる理想のスターリングサイクルを、まず最初に
以下のように仮定することにより説明することが
できる。この仮定においては、圧縮ピストン14
が可変容量圧縮空間44から最大限離間した外死
点に位置しているとともに移動部材16が可変容
量膨張空間46に向つて最大限近づいた外死点に
位置しており、これによつて可変容量圧縮空間4
4が最大の容積となるとともに略全ての作動流体
が圧縮空間44中に雰囲気温度で位置している。
次の等温圧縮工程の間、圧縮ピストン14は、静
止している移動部材16に向かつて移動し、これ
によつて作動流体が可変容量圧縮空間44中で圧
縮されるので可変容量圧縮空間44中の圧力が増
大するとはいうものの、可変容量圧縮空間44か
ら熱が抽出されるので、温度は一定に保たれる。
次には、作動流体の量が一定に保たれつつ移動部
材16が可変容量膨張空間46から離間するの
で、作動流体は可変容量圧縮空間44から中間蓄
熱部95の多孔性の金属製物質を介して可変容量
膨張空間46へと移動する。中間蓄熱部95を通
過した作動流体は、蓄熱材料の網目部材へ向つて
の熱の移動により冷却され、中間蓄熱部95から
可変容量膨張空間46へ向つて低温度で移動す
る。定量の状態で蓄熱材料の網目部材を通過させ
ることによる温度の低下は圧力の低下を生じさせ
る。これに続いて圧縮ピストン14が可変容量圧
縮空間44から離間する。膨張が行なわれる間
に、容積の増大とともに可変容量膨張空間46中
の圧力が減少し、第3図に示すキヤツプ92から
熱が放出されるので温度は一定に保たれる。これ
がスターリングサイクルの有効な冷却部分であ
り、低温冷却が達成される。最后には、移動部材
16が可変容量膨張空間46に向かつて移動し
て、作動流体を定量で可変容量膨張空間46から
中間蓄熱部95を介して可変容量圧縮空間44へ
と戻させる。蓄熱材料の網目部材を通過すること
によつて、蓄熱材料の網目部材から熱が伝達され
るので作動流体の温度が上昇し、比較的高い温度
で可変容量圧縮空間44へと戻る。
第6図ないし第9図には、ハウジング18及び
20中における圧縮ピストン14及び移動部材1
6の中心位置への配置、圧縮ピストン14及び移
動部材16の行程長さ(即わち線形移動距離の制
御)、圧縮ピストン14と移動部材16との間に
おいてスターリングサイクルを実施する為の略
90゜の位相角の制御、を行う為に使用される電気
回路を開示したブロツクダイヤグラムが示されて
いる。従つて第6図においては、参照符号14
0,142が、マグネチツク軸受26,28,3
0,32を介しての圧縮ピストン14と移動部材
16との軸方向における配置を維持しスターリン
グ低温冷却サイクルの制御を行う為の2つの電気
的なサブシステムを構成するマグネチツク軸受制
御電気回路手段及び冷却装置制御回路手段(即わ
ちスターリングサイクル制御回路手段でありモー
タ制御回路手段である)を示している。図に示す
如く、マグネチツク軸受制御電気回路手段140
は、圧縮領域10の2つの半径方向位置検知器3
4,36からの入力144,145と2つのマグ
ネチツク軸受26,28の励起を制御する為の2
つの出力146,147を有している。また同様
に、マグネチツク軸受制御電気回路手段140に
向う2つの半径方向位置検出器38,40からの
2つの入力148,149と、膨張領域12の2
つのマグネチツク軸30,32に連結された2つ
の出力150,151も存在している。スターリ
ングサイクル制御回路手段142は、2つの線形
駆動モータ48,52へと向う出力152,15
3を有しているとともに、圧縮ピストン14及び
移動部材16の線形移動に関しての入力154,
155による線形位置検知器54からの入力情報
を受け取つている。
マグネチツク軸受制御電気回路手段140に関
しては、第5図に示されている半径方向位置探査
子132の出力に対応して、ある1つの軸、例え
ばY軸、に沿つて第1図に示したある1つのマグ
ネチツク軸受、例えばマグネチツク軸受26、を
制御するのに使用される代表的な回路156が第
7図にブロツクダイヤグラムの形で詳細に示され
ている。同じマグネチツク軸受26のX軸の為の
回路は独立しており、従つてこれら1対の回路と
同じ対の回路が他の3つのマグネチツク軸受2
8,30,32にも使用されている。第7図に示
すブロツクダイヤグラムには、圧縮ピストン14
に連結されている半径方向位置検知器34中で正
反対の位置に配置されている2つの半径方向位置
探査子132,134が示されている。この実施
例において渦電流検知器で構成されている半径方
向位置探査子132,134からの出力は、加算
回路158中で相互に減算をされて制御の差動モ
ードが発生される。同時に加算回路158からの
出力は利得制御回路160及び微分回路162へ
と適用され、利得制御回路160及び微分回路1
62の夫々は軸受の剛さと減衰とを制御する信号
を発する。利得制御回路160及び微分回路16
2の出力が加算回路164において相互に加算さ
れることにより、加算された出力信号がフイルタ
及び補償回路166に供給されて高周波ノイズが
取り除かれ、閉鎖回路における応答特性を安定さ
せる為の所定の必要な遅延補償を行う。補償信号
は、2つの電流駆動回路172,174に連結さ
れている2つの半波整流器168,170へと供
給され、さらに第4図における上側の電磁石のコ
イル124と下側の電磁石のコイル126とに供
給される。電流駆動回路172,174は支持コ
イルインダクタンスの効果を無効にするので、す
ばやい応答が得られる。従つて、フイルタ及び補
償回路166からの出力信号が正である時には、
2つのコイル124,126のいずれか一方、例
えばコイル124、が励起され、これによつて上
記出力信号が負になつた時には、2つのコイル1
24,126のいずれか他方が、例えばコイル1
26、が励起される。この結果、コイル124又
は126に対応した電磁石が圧縮ピストン14に
作用し、マグネチツク軸受26の連続的な検知と
励起とが閉鎖型の制御ループにおいて行なわれ
る。これによつて圧縮ピストン14が空中に浮揚
されて自身の長方向中心線を圧縮領域10のハウ
ジング18に対して同心的に配置するよう制御さ
れる。希望する時には、電磁コイル124,12
5,126,127を介して適当な軸受剛性を中
心位置において得られるように、低いDCコイル
電流が図示しない手段によつて保持される。マグ
ネチツク軸受26,28,30,32の空中浮揚
機能及び中心位置保持機能は、圧縮ピストン14
及び移動部材16の軸方向に沿つた移動から独立
しており、線形駆動モータ48,52が起動及び
停止を行つている間に圧縮ピストン14及び移動
部材16が夫々のハウジング18,20と接触し
ないように維持される。
要約すると、内側領域82,84の非接新微小
すきま領域ともう1つの非接触微小すきま領域1
08の寸法と夫々の軸方向に沿つた長さとの間の
関係は、圧縮ピストン14及び移動部材16の中
心位置保持の適度とともに、過度な漏れや非常に
大きな隙間によつて生ずる抵抗を生じさせること
なく効果的な密閉を創出することに関して、不可
欠な関係にある。さらにこれらの関係は、非線形
である。
ここでスターリングサイクル制御回路手段(モ
ータ制御回路手段)142を示した第8図を見て
みると、圧縮ピストン14の為の線形駆動モータ
48と、移動部材16の為の線形駆動モータ52
とが、閉鎖型ループ位置制御回路176及び17
8を備えている。閉鎖型ループ位置制御回路17
6を考えてみると、所望の冷却装置往復周波数と
圧縮ピストン14の振幅とが、設定値制御ユニツ
ト180によつて基準値として設定されている。
所望の周波数及び振幅に対応した信号が基準値と
して利得(Kp)創出回路182へと適用される。
利得創出回路182においては、周波数及び振幅
に対応した信号が連合されて加算回路184へと
供給され、加算回路184においては、線形位置
検知器54によつて検知された圧縮ピストン14
の位置がフイードバツクされ、そして連合された
基準値と比較される。加算回路184からの誤差
信号は、補償回路186へと供給され、補償回路
186は、安定した制御システムを得る為に、上
述した如く線形変位差動変圧器とモータ電気力学
とを備えた線形位置検知器54と対応した位相ず
れを正すように作動する。補償回路186の出力
は、線形駆動モータ48を駆動させる出力増幅器
あるいは駆動回路188へと供給される。
閉鎖型ループ位置制御回路178に関しては、
線形位置検知器54によつて検知された圧縮ピス
トン14の位置が、位相固定ループ190への入
力としてフイードバツクされる。位相固定ループ
190はまた、移動部材16の為の線形位置検知
器56から入力を受け取り、これらによつて圧縮
ピストン14に対しての移動部材16の相対的な
位置が得られ移動部材設定値制御ユニツト192
によつて創出された如き所望の基準位相と比較さ
れる。位相固定ループ190の出力は、移動部材
16の速度を上昇させるかあるいは低下させるよ
うに強勢する為の周波数を上昇させるか低下させ
る信号を備えている。移動部材16の所望の振幅
は、利得(KD)創出回路194中で位相固定ル
ープの出力と連合され、利得(KD)創出回路1
94からの出力は補償器として機能する加算回路
196へと供給され、加算回路196において線
形位置検知器56からのフイードバツク信号との
間の差信号が創出される。加算回路196は、補
償回路186と実質的に同一な補償回路198へ
と供給される誤差信号を発生し、補償回路198
においては、線形駆動モータ52を起動させる駆
動回路200へと制御信号が供給される。動作時
には、位相固定ループ190が移動部材16を強
熱して例えば90゜の如き一定の位相角で圧縮ピス
トン14を追跡させ、間断のない状態の追跡誤差
をなくすように移動部材位相誤差を調整する。
駆動回路188及び200は、同一の電流フイ
ードバツク閉鎖型ループ調整器を備えている。こ
の電流フイードバツク閉鎖型ループ調整器は、モ
ータインダクタンスの代わりに線形駆動モータ4
8及び52の為に比較的速い力の応答を発生す
る。このことは個々の瞬間における所望のモータ
電流が制御されたパラメータであることを意味し
ている。1つの駆動回路200を示した第9図を
見てみると、モータ電流は、低ひずみの為に使用
される逓昇フエライト変圧器204の低抵抗一次
巻線202によつて検知される。逓昇フエライト
変圧器204においては、二次巻線206におけ
る電圧がモータ電流の導関数に比例した信号を発
生させる。二次巻線206が積分器及び利得発生
回路208に連結され、ここにおいてモータ電流
に比例した信号が得られる。積分器及び利得発生
回路208からの電流出力電圧信号は、加算回路
210において、第8図に示す補償回路198か
らの電流基準電圧信号と比較され、ここにおいて
誤差信号が発生され、この誤差信号が第2の補償
回路212へと供給されてループの安定性を生じ
させる。第2の補償回路212の出力は、線形駆
動モータ52を駆動させるブリツジ型増幅器21
4に連結されている。補償回路198からの基準
信号はサイン波であり、従つてモータ電流がサイ
ン波に従属するように強勢される。従つてモータ
出力がサイン波になり、移動部材16のサイン波
に従つた移動が所望の如くスターリング冷却サイ
クルを行なわせる為に発生される。同じサイン波
移動が駆動回路188によつて圧縮ピストン14
の為に発生される。
図に示し上述された低温冷却装置は、マグネチ
ツク軸受と所定の長さにわたる非接触微小すきま
領域とを備えており、非接触微小すきま領域は、
スターリングサイクル低温冷却を作動させる為に
作動流体を含み相互に連結されたスリーブ中で圧
縮ピストン及び移動部材が摩耗を生ずることなく
往復動作するのを許容し、寿命を延ばす。
上述した実施例はこの発明を説明するためのも
のであり、この発明を何んら限定するものでな
く、この発明の技術範囲内の変形、改造等の施さ
れたもの全てこの発明に包含されることはいうま
でもない。
例えば、移動の振幅及び圧縮ピストン14と移
動部材16との間の位相の関係を動作中に変更す
ることができるし、これらの要素を、マイクロプ
ロセツサによつて遠隔制御したりあるいはプログ
ラム化しても良い。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明の実施例によるスターリン
グサイクル低温冷却装置を概略的に示す正面図;
第2図は、第1図の圧縮領域の中心線に沿つた縦
断面図;第3図は、第1図の膨張領域の中心線に
沿つた縦断面図;第4図は、第2図の線4−4に
沿つてマグネチツク軸受の1つを示す横断面図;
第5図は、マグネチツク軸受に関連して使用され
る半径方向位置検出器を第2図の線5−5に沿つ
て示す横断面図;第6図は、第1図に示したこの
発明の実施例によるスターリングサイクル低温冷
却装置を動作させる制御回路の全体を概略的に示
す電気的なブロツク図であり;第7図は、個々の
マグネチツク軸受における1つの軸方向への励起
の為のマグネチツク軸受制御電気回路手段を概略
的に示すブロツク図であり;第8図は、圧縮領域
及び膨張領域の夫々に配置されている線形駆動モ
ータを制御する為の電気的なスターリングサイク
ル制御回路手段(モータ制御回路手段)を概略的
に示すブロツク図であり;第9図は、第8図に示
した線形駆動モータの1つを駆動する為の電気的
な駆動回路を概略的に示すブロツク図である。 10……圧縮領域、12……膨張領域、14…
…圧縮ピストン、16……移動部材、18,20
……ハウジング、22,24……隣接フランジ、
26,28,30,32……マグネチツク軸受
(非接触型軸受手段)、34,36,38,40…
…半径方向位置検知器(半径方向位置検知手段)、
42……空間、44……可変容量圧縮空間(作動
流体圧縮空間)、46……可変容量膨張空間(作
動流体膨張空間)、48……線形駆動モータ(駆
動モータ手段)、50……拡大ハウジング部、5
2……線形駆動モータ(駆動モータ手段)、54,
56……線形位置検知器(線形移動検知手段)、
58……釣り合わせ装置、59,60……通気
孔、61,62……くびれ部位、63,64……
リング、65……非磁性部材、66……ヨーク型
構造物、67……永久磁石リング、68……永久
磁石電機子、69……永久磁石リング、70,7
2……モータコイル(固定子)、74,76……
極片、78……巻線(回路手段の第1の線形変位
差動変圧器)、80……核部材(回路手段の第1
の線形変位差動変圧器)、82,84……内側領
域(非接触型密閉手段)、86……拡大内側部、
87……外側部、88……外方温度フランジ、8
9,90……フランジ、92……キヤツプ、94
……内側本体部、95……中間蓄熱部(中間冷却
蓄熱手段であり通路手段)、96……外端部、9
8……通路(通路手段)、99……熱移動領域、
100,101,102,103,104,10
5,106……通路(通路手段)、108……非
接触微小すきま領域(非接触型密閉手段)、11
0……ハウジング部、112,113……永久磁
石、114,115……モータコイル、116…
…極片、118……強磁性体リング、120……
核部材(回路手段の第2の線形変位差動変圧器)、
122……コイル(回路手段の第2の線形変位差
動変圧器)、124,125,126,127…
…コイル(電磁石)、128,129,130,
131……極片、132,133,134,13
5……半径方向探査子、136,137,13
8,139……管、136′,137′,138′,
139′……窓部材、140……マグネチツク軸
受制御電気回路手段、142……スターリングサ
イクル制御回路手段(モータ制御回路手段)、1
44,145……入力、146,147……出
力、148,149……入力、150,151…
…出力、152,153……出力、154,15
5……入力、156……回路、158……加算回
路、160……利得制御回路、162……微分回
路、164……加算回路、166……フイルタ及
び補償回路、168,170……半波整流器、1
72,174……電流駆動回路、176,178
……閉鎖型ループ位置制御回路、180……設定
値制御ユニツト、182……利得(Kp)創出回
路、184……加算回路、186……補償回路、
188……駆動回路、190……位相固定ルー
プ、192……移動部材設定値制御ユニツト、1
94……利得(KD)創出回路、196……加算
回路、198……補償回路、200……駆動回
路、202……低抵抗一次巻線、204……逓昇
フエライト変圧器、206……二次巻線、208
……積分器及び利得発生回路、210……加算回
路、212……第2の補償回路、214……ブリ
ツジ型増幅器。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 その一端に作動流体圧縮空間44を含んだ略
    円筒形状の圧縮領域10のハウジング18中に配
    置され、ハウジング18中で往復移動することに
    より作動流体圧縮空間44の容量を変化させる圧
    縮ピストン14と; その一端に作動流体膨張空間46を含みハウジ
    ング18と相互に連結された略円筒形状の膨張領
    域12のハウジング20中に配置され、ハウジン
    グ20中で往復移動することにより作動流体膨張
    空間46の容量を変化させる移動部材16と; ハウジング18,20に設けられ、作動流体圧
    縮空間44と作動流体膨張空間46との間に作動
    流体を連通させる通路手段95,98,100,
    101,102,103,104,105,10
    6と; 圧縮ピストン14及び移動部材16に連結さ
    れ、制御された位相関係で圧縮ピストン14及び
    移動部材16を相互に往復動作させて作動流体の
    圧縮及び膨張により所望の冷却サイクルを行なわ
    せる駆動モータ手段48,52と; ハウジング18,20に配置され、圧縮ピスト
    ン14及び移動部材16を夫々の対応するハウジ
    ング18,20中で中心に位置させる非接触型軸
    受手段26,28,30,32と; 圧縮ピストン14及び移動部材16のまわりの
    作動流体の流れを制限する非接触型密閉手段8
    4,108と; を備えており、 非接触型軸受手段26,28,30,32が、
    ハウジング18,20の夫々の上で長手方向に相
    互に離間して配置された2対のマグネチツク軸受
    26,28、及び30,32を備えており、 圧縮ピストン14と移動部材16とが磁性材料
    を備えており、 個々のマグネチツク軸受26,28,30,3
    2が、対応するハウジング18,20の周囲に略
    90゜相互に周方向に離間して配置され圧縮ピスト
    ン14及び移動部材16に対して相互に垂直に交
    差する半径方向の1対の軸(X−Y)に沿つて誘
    引力を作用させる少なくとも4つの電磁石12
    4,125,126,127を備えており、 個々のマグネチツク軸受26,28,30,3
    2の複数の電磁石124,125,126,12
    7の近傍には、圧縮ピストン14及び移動部材1
    6が中心位置から離間した状態を検知し検知され
    た上記状態の程度に対応した出力信号を発生させ
    る半径方向位置検知手段34,36,38,40
    が設けられており、 個々の電磁石124,125,126,127
    には、上記出力信号に対応して個々の電磁石12
    4,125,126,127を選択的に励起し圧
    縮ピストン14及び移動部材16を夫々が対応す
    るハウジング18,20の中心の位置に配置させ
    るマグネチツク軸受制御電気回路手段140が連
    結されており、 非接触型軸受手段26,28,30,32と非
    接触型密閉手段84,108とが圧縮ピストン1
    4とハウジング18との間及び移動部材16とハ
    ウジング20との間の物理的な接触を減少させて
    寿命を延長させるとともに作動流体の汚染を防止
    する、 ことを特徴とした低温冷却装置。 2 非接触型密閉手段84,108が、圧縮ピス
    トン14と圧縮ピストン14に対応したハウジン
    グ18との間及び移動部材16と移動部材16に
    対応したハウジング20との間の隙間によつて形
    成されていることを特徴とする特許請求の範囲第
    1項記載の低温冷却装置。 3 圧縮領域10のハウジング18と膨張領域1
    2のハウジング20とが、共通の長手方向中心線
    に沿つて端と端とを付き合わせた状態で連結され
    ていることを特徴とする特許請求の範囲第1項記
    載の低温冷却装置。 4 作動流体が、ヘリウム、ネオン、水素からな
    るグループから選択された気体であることを特徴
    とする特許請求の範囲第1項記載の低温冷却装
    置。 5 作動流体が、ヘリウムであることを特徴とす
    る特許請求の範囲第1項記載の低温冷却装置。 6 駆動モータ手段48,52が、圧縮ピストン
    14及び移動部材16をスターリングサイクルで
    動作させることを特徴とする特許請求の範囲第1
    項記載の低温冷却装置。 7 駆動モータ手段48,52が、線形駆動モー
    タを備えていることを特徴とする特許請求の範囲
    第1項記載の低温冷却装置。 8 駆動モータ手段48,52が、2つの駆動モ
    ータを有しており、2つの駆動モータの一方が圧
    縮ピストン14を駆動し、他方が移動部材16を
    駆動することを特徴とする特許請求の範囲第1項
    記載の低温冷却装置。 9 圧縮ピストン14と移動部材16との間の制
    御された位相及び振幅が電気的に制御されること
    を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の低温冷
    却装置。 10 半径方向位置検知手段34,36,38,
    40が、対応するハウジング18,20のまわり
    に略90゜周方向に離間しかつ前記少なくとも4つ
    の電磁石124,125,126,127の中の
    隣接した2つ124,125と略一直線状に対応
    した状態で配置され相互に垂直に交差する半径方
    向の1対のX−Y軸に沿つた方向におけるハウジ
    ング18,20の中心位置からの圧縮ピストン1
    4あるいは移動部材16の離間した状態を検知す
    る少なくとも2つの半径方向位置探査子132,
    133を備えていることを特徴とする特許請求の
    範囲第1項記載の低温冷却装置。 11 半径方向位置検知手段34,36,38,
    40が、対応するハウジング18,20のまわり
    に略90゜相互に周方向に離間しかつ前記少なくと
    も4つの電磁石124,125,126,127
    と略一直線状に対応した状態で配置され相互に垂
    直に交差する半径方向の1対のX−Y軸に沿つた
    方向におけるハウジング18,20の中心位置か
    らの圧縮ピストン14あるいは移動部材16の離
    間した状態を検知する2対の半径方向位置探査子
    132,133,134,135を備えているこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第10項記載の低
    温冷却装置。 12 非接触型密閉手段84,108が、作動流
    体圧縮空間44に近接して配置された隙間密閉部
    材84と、作動流体膨張空間46に近接して配置
    された隙間密閉部材108と、を備えていること
    を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の低温冷
    却装置。 13 駆動モータ手段48,52が、圧縮ピスト
    ン14の両端に対応して配置されている1対のマ
    グネチツク軸受26,28の中間に配置されてい
    る第1の線形駆動モータ48と、移動部材16の
    両端に対応して配置されている1対のマグネチツ
    ク軸受30,32の中間に配置されている第2の
    線形駆動モータ52と、を備えていることを特徴
    とする特許請求の範囲第1項記載の低温冷却装
    置。 14 第1と第2の線形駆動モータ48,52
    が、圧縮ピストン14と移動部材16とを相互に
    往復移動させてスターリングサイクルを行なわせ
    るモータ制御回路手段142に連結されているこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第13項記載の低
    温冷却装置。 15 モータ制御回路手段142が、圧縮ピスト
    ン14及び移動部材16の線形移動を検知し、フ
    イードバツク信号を発生させてモータ制御回路手
    段142に圧縮ピストン14及び移動部材16の
    略サイン波移動を行なわせる線形移動検知手段5
    4,56を備えていることを特徴とする特許請求
    の範囲第14項記載の低温冷却装置。 16 線形移動検知手段54,56が、ハウジン
    グ18及びハウジング20中に配置され圧縮ピス
    トン14及び移動部材16に連結された電気的な
    回路手段78,80及び120,122を備えて
    いることを特徴とする特許請求の範囲第15項記
    載の低温冷却装置。 17 電気的な回路手段78,80及び120,
    122が、圧縮ピストン14に連結されハウジン
    グ18中で作動流体圧縮空間44とは反対側に位
    置している他端の空間42に配置されている第1
    の線形変位差動変圧器78,80と、移動部材1
    6に連結されハウジング20中で作動流体膨張空
    間46とは反対側に位置している他端の空間に配
    置された第2の線形変位差動変圧器120,12
    2と、を備えていることを特徴とする特許請求の
    範囲第16項記載の低温冷却装置。 18 第1の線形駆動モータ48が、ハウジング
    18の一部分50中に配置された同心的な円筒形
    状の電機子及び固定子68及び70,72を備え
    ており、固定子及び電機子は密閉されて作動流体
    への汚染を防止しており、ここにおいて圧縮ピス
    トン14が中空であり、圧縮領域10のハウジン
    グ18の内部空間へ向けて開口し圧縮ピストン1
    4とハウジング18の内部空間との間の圧力差を
    なくす少なくとも1つの開口60,59を備えて
    いることを特徴とする特許請求の範囲第13項記
    載の低温冷却装置。 19 作動流体圧縮空間44を含んだハウジング
    18の端部が、作動流体膨張空間46を含んだ端
    部とは反対側に位置しているハウジング20の端
    部に連結されていることを特徴とする特許請求の
    範囲第1項記載の低温冷却装置。 20 移動部材16が、マグネチツク軸受30,
    32よりも外方のハウジング20の膨張空間側端
    部に配置されている外端部材96と中間冷却蓄熱
    手段95とを備えており、中間冷却蓄熱手段95
    が、作動流体膨張空間46及び作動流体圧縮空間
    44に連通しており冷却のスターリングサイクル
    を行なわせることを特徴とする特許請求の範囲第
    19項記載の低温冷却装置。 21 ハウジング20が、外端部96の位置に端
    キヤツプ92を備えており、端キヤツプ92はス
    ターリング冷却サイクル中における作動流体膨張
    空間46中の作動流体の膨張の結果による近傍の
    冷却を強めることを特徴とする特許請求の範囲第
    20項に記載の低温冷却装置。 22 移動部材16に連結されている駆動モータ
    手段52が、移動部材16の両端に対応して配置
    されている1対のマグネチツク軸受30,32の
    中間に配置されている線形駆動モータを備えてい
    ることを特徴とする特許請求の範囲第21項記載
    の低温冷却装置。 23 線形駆動モータ52が、ハウジング20の
    一部分86中に配置されている同心的な円筒形状
    の電機子及び固定子112,113,114,1
    15,116を備えていることを特徴とする特許
    請求の範囲第22項記載の低温冷却装置。
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