JPS6334787B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はスプレイ・ヘツド装置に係り、更に具
体的には加圧推進流体を用いるスプレイ・ヘツド
装置に係る。

スプレイ材料を霧化するスプレイ系に加圧推進
流体を用いることは、先行技術の当業者に公知で
ある。たとえば、材料の一様な且つ（あるいは）
非常に薄い層を形成するようにスプレイすること
が望まれるような応用に高圧推進流体系が不適当
であることがわかつている。即ち、高圧系は層が
スプレイによつて形成される時にこの層において
材料を吹き飛ばす傾向がある。従つて、高圧推進
流体系の有害な影響を最小にしすなわち緩和する
ために低圧推進流体を用いることはこれらの形式
の応用において慣例である。

たとえば、プリント回路及び（あるいは）集積
回路の製造に用いられるフオトレジスト・マスク
の製作において、このマスクはワークピースの表
面に連続したフオトレジスト層を最初に被着する
ことにより作られる。このワークピースはこのマ
スクが後で最終仕上げをなされる時にこのマスク
により加工されるべく意図されたものである。次
に、マスクは公知のフオトリソグラフイツク技法
を用いてフオトレジスト層から作られる。先行技
術においてこのフオトレジスト層を被着する１つ
の公知方法は、フオトレジストをスプレイするこ
とである。スプレイは液体フオトレジストの放出
流から形成され、この放出流は低圧推進流体系に
よつて霧化される。もしもフオトレジストが高圧
推進流体によりスプレイされるならば、フオトレ
ジスト層が被着される時にこの推進流体によつて
吹き飛ばされる結果、このフオトレジスト層の不
連続性が生じる。従つて、フオトレジスト層の連
続性そしてこれ故にこのフオトレジスト層から次
に形成されたマスクの完全性及び（あるいは）こ
のマスクを用いて作られた回路の完全性は悪影響
を受ける。かくして、低圧推進流体の使用はこの
ような応用に非常に適している。

今まで、先行技術の公知のスプレイ・ヘツド装
置において、フオトレジスト流体の流れはノズル
の無障害オリフイスから放出される。オリフイス
から出る流れは低圧推進流体たとえば濾過された
窒素ガスによつて妨害されそしてこの結果乱れは
フオトレジスト流体を霧化し、これによりスプレ
イを発生させる。しかしながら、乱れがフオトレ
ジスト流体を霧化する場合に流れの外周よりも流
れのコアすなわち中心において効果を小さくする
ことがわかつた。かくして、スプレイによつて形
成された領域において、フオトレジストはスプレ
イ領域の外周よりも中心に非常に厚く被着される
傾向があつた。これ故に、先行技術の装置は略一
様な厚さのフオトレジスト層を形成しなかつた。
この問題は、被着されたフオトレジスト層の厚さ
が0.001mm以下の範囲に近づく場合に極端に生じ
る。当業者に公知であるように、フオトレジスト
層の非一様性は、次に形成されたマスクを用いて
作られた回路素子の電気的特性に悪影響を与え
る。たとえば、もしも複数個の導体の幅が0.0254
mmでありそしてこれらの導体の間の間隔が0.0076
mmの最小間隔である導体パターンにおいて80000
Åの厚さである金属化層を食刻するためにこのマ
スクが用いられたならば、非一様な厚さのフオト
レジスト層がオープン回路導体あるいはシヨート
回路導体のような不利な特性及び（あるいは）導
体線の非一様なインピーダンス特性等を生じるこ
とが当業者に容易に認識される。

更に、前述した先行技術のスプレイ・ヘツド装
置のノズルのオリフイスはつまりやすく、このつ
まりはオリフイスの設計すなわち意図した方向か
ら流れを偏向させそして或いは更にこの流れの霧
化に悪影響を与えた。結果的に、スプレイの方向
は又偏向されそしてこれ故にこのスプレイは所望
の位置座標でスプレイされようとする部材をカバ
ーしなかつた。

これ故に、前述の先行技術のスプレイ・ヘツド
装置は、容易に制御できないのみならず、信頼で
きる一様な厚さのフオトレジスト層を形成するよ
うにスプレイできずそしてこのフオトレジスト層
から次に形成されたフオトマスクの信頼性及び
（あるいは）このフオトマスクからこの後に作ら
れた回路の信頼性に悪影響を与えた。

過去に、細長いピン状部材が霧化用ノズル及び
スプレイ装置に関連づけられたことが知られてい
る（たとえば米国特許第1812234号、同第2614408
号、英国特許第26575号参照）。しかしながら、後
述する本発明の原理に従つて、スプレイ材料を中
空状ストリームとして放出するための構成手段及
び（あるいは）加圧推進流体系との組み合わせは
これらの先行技術に与えられていない。

本発明の目的は、略一様な厚さの層を形成する
ようにスプレイするスプレイ・ヘツド装置を提供
することである。

本発明の別の目的は、信頼でき且つ制御できる
スプレイを発生するスプレイ・ヘツドを提供する
ことである。

更に、本発明の別の目的は、低圧推進流体系と
組み合わせたスプレイ・ヘツド装置を提供して信
頼でき且つ制御できるスプレイ及び（又は）スプ
レイされた略一様な厚さの層を発生させることで
ある。

更に、本発明の別の目的は、信頼でき且つ制御
できる方式で略一様な厚さのフオトレジスト層
を、形成するようにスプレイすることにそして
（又は）プリント回路及び集積回路等の製造に用
いられるフオトレジスト・マスクを作ることに特
に有益であるスプレイ・ヘツドを提供することで
ある。

本発明の一面に従えば、スプレイ・ヘツド装置
は予定の流体を放出するための少なくとも１つの
放出オリフイスを備えたノズル手段を設けられて
いる。流体をオリフイスから中空状の流れとして
放出するための手段が設けられている。加圧推進
流体の供給源も設けられている。加圧推進流体
は、オリフイスの外部で放出された流体をさえぎ
る。流体をオリフイスから中空形の流れとして放
出するための手段は推進流体と相互作用してこの
流体を霧化しそして少なくとも１つの予定の制御
特性を有するスプレイを発生させる。

第１図乃至第８図を参照するに、本発明のスプ
レイ・ヘツド装置の良好な実施例が示されてい
る。スプレイ・ヘツド装置は放出オリフイス１１
を備えたノズル１０を有し、予定のスプレイ流体
（図示せず）がこのオリフイスから放出される。
良好な実施例において、スプレイ・ヘツド装置は
プリント回路及び集積回路の製造においてフオト
マスクを作るために用いられる種類の液体フオト
レジストをスプレイできる方が好ましい。

ノズル１０の内部構造は、少し長目の円筒状の
小さな直径の穴を有す。この穴は、第３図で眺め
た時その下方端で円形オリフイス１１として終端
する。長い円筒形の穴１４の下方端は穴１３の大
きい方の直径の開口に連通される。穴１４の直径
は穴１３の大きい方の直径の開口とほぼ同じ寸法
である。次に、穴１４の上方端は短い漏斗形の穴
１５ほぼ等しい寸法の小さい直径の開口と連通す
る。穴１５の上方端はわずかに大きな直径の円形
開口１６で終端する。素子１１乃至１６は対称的
に整列されそして中心軸Ａと同心である。スプレ
イ流体（図を明瞭にするために図示せず）は円形
開口１６を通過してノズル１０に入り、連続的に
穴１５，１４，１３及び１２を通過しそしてオリ
フイス１１から放出される。

ノズル１０の外部構成は、第３図で眺めた時そ
の上方端に面取りされた円錐形のシール用フラン
ジ１７を有する。フランジの下方に円筒形凹所１
８があり、この凹所に円筒形部分１９が続きそし
てこの円筒形部分はその上部に部分的にねじを切
られている（ねじ２０参照）。大きくした直径の
面取りされた円錐形フランジ２１は、ノズル１０
の中心部分付近に配置されそしてこのフランジの
下方により小さい直径のフランジ２２がある。フ
ランジ２２は、逆向きに面取りされた円錐形であ
る。次の部分２３は、四角形断面部分を有す結果
４つの偏平な外面を生じ、フランジ２２と逆向き
に面取りされた円錐形フランジ２４との間に位置
する。ノズル１０の漏斗形底部２５は、面取され
た円錐形部分２６及びそこから延びた円筒形先端
部２７を含んでいる。外部構成の素子１７乃至２
７は対称的に整列しそして中心軸Ａと同心である
ことがわかる。

垂直な４つの円筒形内部ダクト２８はノズル１
０を通りぬけている。ダクト２８は円筒形部分１
９の頂部からフランジ２２の底部へ延びそして中
心軸Ａに平行である。４つの円筒形外部ダクト２
９は、中心軸Ａに向つて下方向に傾斜されそして
フランジ２１の頂部からフランジ２２の底部に延
びるようにノズル１０を通りぬける。ダクト２８
及び２９は中心軸Ａのまわりに角度的に対称に配
置されている（第６図及び第７図参照）。図を明
瞭にするために、第２図及び第３図においてノズ
ル１０が第７図の線２―２に沿つて図示されそし
て外部ダクトの１つが示されることがわかる。よ
り詳細に後述するように、ダクト２８及び２９は
推進流体供給ネツトワークすなわち推進流体供給
源の一部であり、この推進供給源はオリフイスの
外部に低圧の推進力を与える。

更に具体的には、上述の推進流体供給源は又、
この後拡散機とも称される下側の中空部材３０を
含む。中空部材３０の下方部分は、一体構造の１
対の翼状部品３１を備えて逆向きに面取りされた
円錐形の外部構成を通常有し、これらの翼状部品
は互いに直径方向に整列されそして中心軸Ａと同
一平面に整列される。中空部材３０の外部構成の
上方部分は円形フランジでありそしてその中間部
分は円筒形凹所３３である。

中空部材３０の内部構成は円形フランジ３２の
円筒形開口３２Ｂの斜角付リム３２Ａから始ま
る。次に、逆向きに面取りされた円錐形部分３４
があり、その上方端はフランジ３２の開口３２Ｂ
に連通する。円錐形部分３４の下方端は円錐形の
穴３６の斜角付リム３５と連通する。次に、面取
りされた円錐形の穴３７は中心の円形開口３８で
終端する。対称的に整列されそして面取りされた
中空部材３０の外側部分、フランジ３２並びに対
称的に整列された内部構成素子３２Ａ，３２Ｂ及
び３３乃至３８は中心軸Ａと同心である。

１対のダクト３９は翼状部品３１に設けられ
る。更に具体的には、夫々のダクト３９が上部に
垂直な穴４０を含み、この穴は斜角付リム３５か
ら下方向に延びそして翼状部品３１の１つへ部分
的に延びている。夫々の穴４０は、垂直に整列さ
れそして直径を減少した穴４１と連通し、この穴
４１は関連した特定なダクト３９の一部である。
次に、夫々の垂直な穴４１は、下方向に傾いた穴
４２と連通する。２つの穴４２は側面４３の夫々
の外表面へ延び、そして向い合つた関係に整列さ
れている。ダクト３９は上述の推進流体供給ネツ
トワークに接続される。

２つのポート４４及び４５は又推進流体供給ネ
ツトワークに接続されそして開口３８のまわりに
対称的に配置される。３つの素子３８，４４，４
５の全ては中空部材３０の底側４６に配置され
る。ダクト３９並びにポート４４及び４５は対称
でありそして中心軸Ａと同一平面である。

内側にねじ４８を有するぎざぎざをつけた連結
リング４７は、回転可能にフランジ３１の外側の
リムまわりに係合される。リング４７は大きな中
央の開口４９を有し、この開口を通過してノズル
１０の下方部分すなわちフランジ２１の下側の部
分が延びる。ねじ４８を介してリング４７は、取
付部品５０のねじ５１によつてこの取付部品に連
結できる。ねじ５１はスプレイ・ヘツド装置の取
付部品の外部構成の円筒形下方部分５２の底部に
設けられている。

取付部品５０の外部構成の中間部分５３及び上
方部分５４も夫々円筒形でありそして部分５２及
び５３は中心軸Ａに同心的に整列される。直径方
向において対向した１対の偏平部５５は、他の外
部取付部品（図示せず）へのヘツドの取付けある
いは取りはずしを容易にするために、適当な工具
（図示せず）たとえばレンチの口部と相互作用す
るように中間部分５３の表面に設けられている。

取付部品５０の内部構成は円筒形の上方の穴５
６を有しそしてこの穴は上部にねじをきられてい
る（ねじ５７参照）。わずかに大きな直径の円筒
形の穴５８は、穴５６の下にありそしてノズル１
０のリム１６を止めるように作用する。面取りさ
れた円錐形の穴５９は、穴５８と直径を大きくし
て円筒形の穴６０との間に位置する。穴６０の下
に、直径を減少した円錐形の穴６１があり、この
穴はノズル１０のねじ２０と相互作用するねじが
設けられている。穴６１は、直径を連続的に増加
した円筒形の穴６３乃至６４に追従される。穴５
６，５８乃至６１，６３及び６４は対称的に整列
しそして中心軸Ａと同心である。

ねじをきられた放射方向の開口６５は、取付部
品５０の外表面から延びそして内部の穴６０によ
つて形成された壁において寸法を減少された開口
で終端する。直径方向に対向した２つの垂直な穴
６７及び６８は、穴６３から穴６１を介して上方
向に延びそして穴６０によつて形成された開口と
連通する。素子６０乃至６３及び６５乃至６８は
又、ノズル１０、中空部材３０及び取付部品５０
のアセンブリが次に説明されるように、推進流体
供給ネツトワークの一部である。

具体的には、ノズル１０が、取付部品５０に
夫々のねじ２０及び６２のねじ係合により組み付
けられる。ノズル１０がねじ２０及び６２の相互
作用により取付部品５０に止められる時に、メカ
ニカル・シールはノズルのフランジ１７及び取付
部品の穴５９の夫々の斜角付表面の間に達成さ
れ、これにより流体供給系と推進流体供給系の間
の漏れが防止される。偏平部５５及びノズルの部
分２３の対向した１対の偏平な側面に適用される
適当な工具たとえばレンチは、組み立て及び前述
のシールを容易に行うために用いられてもよい。

前述のように取付けられたノズル１０を有する
中空部材３０は、取付部品５０のねじ５１とこの
中空部材３０の連結リング４７のねじ４８を係合
させることによりこの取付部品５０に組み付けら
れすなわち取付けられる。柔軟なたとえばポリウ
レタンのリング形のシール用ガスケツト６９（第
２図及び第３図参照）は穴６４に配置される。連
結リングすなわち中空部材３０がねじ４８及び５
１の相互作用により取付部品５０に止められる時
に、シール用ガスケツト６９は、ノズルのフラン
ジ２１と取付部品の穴６４の壁の間に圧縮され、
これによりシールが達成される。更に、連結リン
グ４７が取付部品５０の止められる時に、ノズル
のフランジ２２と中空部材３０のシール用リム３
２Ａとの間のメカニカル・シール及びノズルのフ
ランジ２４と中空部材３０の斜角付リム３５の縁
の間のメカニカル・シールを達成される。ノズル
１０が中空部材３０に組み付けられる時に、ノズ
ル１０の先端部２７の偏平な面すなわちオリフイ
ス１１と同一平面であるこの先端部２７の外側の
偏平な面は、中空部材３０の底側４６の外表面と
略同一平面である。

液体フオトレジストの供給源（図示せず）は、
外部のねじ付パイプ部品（図示せず）を介して取
付部品５０に接続でき、このパイプ部品は穴５６
のねじ５７にねじ込まれる。同様に、窒素である
方が好ましい不活性ガスの推進流体の低圧供給源
（図示せず）は、他方の外部のパイプ部品（図示
せず）を介して取付部品５０に接続でき、このパ
イプ部品はねじ付開口６５にねじ込まれそして穴
６０と連通する。

かくして、液体フオトレジストは、穴５６を通
つて取付部品５０に入り、この時穴５８を通過
し、次にノズル１０へ直接的に流れそしてこのノ
ズルにおいてオリフイス１１から前述したように
放出される。繰り返して述べると、流体供給系
は、取付部品５０の穴５９とノズル１０のフラン
ジ１７の間に達成されたシールにより穴６０にお
いて推進流体供給系から遮断される。

他方、推進流体は開口６６により穴６０を通つ
て取付部品に入る。推進流体は、その穴６０から
２つの補助ネツトワークを通つてオリフイス１１
の外側へ供給されそしてこれらの補助ネツトワー
クは、互いに遮断されしかも液体フオトレジスト
をオリフイス１１へ供給する前述の流体供給系す
なわち液体フオトレジスト供給系から遮断され
る。一方の補助ネツトワークにおいて、推進流体
は、取付部品５０の遮断された穴６０からノズル
１０の４つのダクト２８を通つて穴３６へ供給さ
れそしてこの穴３６から穴３７へ供給される。推
進流体は、穴３７からポート４４及び４５を通り
且つノズル１０の先端部２７と中空部材３０の底
側４６の開口３８によつて形成された壁との間の
空間を通つて、オリフイス１１の外側へ供給され
る。

他の推進流体供給補助ネツトワークにおいて、
推進流体は穴６０から２つの垂直な穴６７及び６
８を通つて穴６３へ供給され、この穴６３から穴
６４へ供給されそしてこの穴においてこの流体の
外部への漏れを防止するようにガスケツト６９に
よつて遮断される。推進流体は、取付部品５０の
穴６４からノズル１０の４つの傾斜ダクト２９を
通過しそしてフランジ３２の円筒形の開口３２Ｂ
へ流れる。開口３２Ｂのシール用リム３２Ａと相
互作用するノズル１０のフランジ２２は、そこで
の推進流体の外部への漏れを防止する。推進流体
は、開口３２Ｂから穴３４を通過しそして２つの
ダクト３９へ流れる。フランジ２４及び斜角付リ
ム３５の縁が２つの推進流体補助系をシールする
ように相互作用しそして具体的には穴３４と３６
を互いに遮断することがわかる。次に、ダクト３
９の推進流体は、傾斜付穴４２から外方向に流れ
る時にオリフイス１１の外部へ供給される。

部品１０乃至１９及び前述したこれらのアセン
ブリが、先行技術において公知でありそして本発
明の原理の説明を明瞭にするための良好な実施例
の説明に関連してここに用いられることがわか
る。

今まで、流体は前述の先行技術のアセンブリ１
０乃至６９において、中空でない流れとしてオリ
フイス１１から放出された。しかしながら、本発
明の原理に従えば、流体は参照番号７０で示す手
段（第２Ａ図参照）によつて中空状の流れとして
放出される。良好な実施例において、手段７０
は、オリフイス１１の中に配置され且つ外方向に
延びた細長い部材７１を有す。流体がオリフイス
１１から放出される時に、この流体は細長い部材
７１が流れの中心に存在するからこの部材に沿つ
て流れそして中空状の流れを形成する。推進流体
は、側面の２つの穴４２及び２つのポート４４乃
至４５並びにノズルの先端部２７と中空部材３０
の開口３８によつて形成された壁との間の空間か
ら吹き出すことにより、流体の流れをさえぎる。
細長い部材７１は、後述するように、流体を霧化
しそして少なくとも１つの予定の制御特性を有す
るスプレイを発生するために妨害用推進流体と相
互作用する。

更に、細長い部材７１は振動しうる方が好まし
い。このように、推進流体及び（あるいは）放出
流体は細長い部材７１を振動させ、これによりス
プレイの霧化が更に増強されそして（あるいは）
オリフイス１１の自己クリーニング作用が提供さ
れ、これによりオリフイスのつまりが防止され
る。

良好な実施例において、手段すなわち部材７０
は金属線のコイル・スプリングでありそして真直
な部品の細長い部材７１はこの端部のコイル７２
と一体である。細長い部材７１はコイル部分７３
の中心軸に整列されている。コイル部分７３の長
さはノズル１０の穴１４の長さと一致し、この穴
の中にこのコイル部分が収納される。コイル７２
に近接した他方の端部の直径D2よりもコイル部
分７３の遠方端部７４の直径D1がわずかに大き
いようにそして直径D1及びD2が穴１４の直径よ
りも大きいように適当に選択することにより、コ
イル部分７３は部材７０が開口１６から穴１４に
挿入されれば一時的に半径方向に圧縮されそして
この結果細長い端部７１は穴１２を通つてオリフ
イス１１から外方向に延び出る。挿入後に、コイ
ルは一時的な圧縮を解放されて拡張しそして部材
７０がノズル１０の中の所定位置にしつかりと保
持される。この後、ノズル１０は取付部品５０に
組み付けされそして次に中空部材３０は前述した
ようにノズル取付け済みの取付部品５０に連結で
きる。

第９図を参照するに、本発明の部材７０及びこ
の部材の細長い部材７１を含んでいない先行技術
のフオトレジスト用スプレイ・ヘツド・アセンブ
リを用いた結果が示されている。従つて、妨害用
推進流体の乱流は、中空でない流れの外周よりも
この流れのコアすなわち中心においてこのフオト
レジストを霧化する効果が小さい。かくして、ス
プレイによつて形成された区域７５′すなわち領
域において、フオトレジストＲは、スプレイ領域
の外周７７′よりもスプレイ領域７５′の中心７
６′においてワークピースWPたとえば導電性金
属層の上に非常に厚く被着される傾向がある。こ
れ故に、先行技術の装置は略一様な厚さTuの層
を被着することはできず、結果的に第９図に示す
ように低い厚さTL及び高い厚さTHの一様でな
い被着層を形成した。

他方、第１０図に示すように、細長い部材７１
が本発明の原理に従つて部材１０乃至６９に組み
込んで用いられる時に、フオトレジストＲはスプ
レイ領域全体７５を横切つてすなわち領域７５の
中心７６から外周７７へ略一様な厚さの層に被着
される。かくして、本発明のプレイ・ヘツド装置
は又、制御された特性のスプレイを与えることが
できる。

更に、細長い部材７１が振動しうる時に、この
部材は他の制御された特性を与える。たとえば、
この細長い部材はスプレイ領域の寸法を実質的に
増加させる。かくして、第１１図に示すように、
直径d1は先行技術のアセンブリ１０乃至６９に
より発生したスプレイ領域７５′の底辺の相対的
寸法をあらわしそして直径d2は細長い部材７１
を用いた時のアセンブリ１０乃至６９のスプレイ
領域７５の底辺の増加寸法をあらわし、領域７５
及び７５′の両者は略等しい高度すなわち高さを
有す。たとえば、８／５の直径比d2／d1は細長
い部材７１を備えたスプレイ・ヘツド及びこの部
材を備えていないスプレイ・ヘツドを用いて得ら
れた。

更に、振動しうる部材７１を用いることにより
スプレイ領域の付随した偏向がこの振動に応答し
て発生されるので第１２図に示す如く効果的な且
つ制御できる大きな面積A1がスプレイでき、こ
れに対して振動しない部材７１が用いられあるい
は部材７１が用いられない時のようにもしもスプ
レイが固定されたならばこの様にはスプレイでき
ない。

第１３図を参照するに、任意のフオトレジスト
Ｒがオリフイス１１において乾くことにより先行
技術のアセンブリ１０乃至６９のオリフイスがつ
まりそしてこの結果発生されたスプレイの中心７
６′がこのオリフイスの意図した垂直方向７６Ｎ
から偏向量Ｄだけ偏向することが示されている。
しかしながら、先行技術のアセンブリ１０乃至６
９が振動しうる細長い部材７１を組み込んでいる
時に前述したように、オリフイス１１は振動によ
りつまりを効果的に防止しそして結果的にクリー
ニング作用が起り、かくしてスプレイ方向すなわ
ち配向は非常に簡単に制御でき且つ悪影響されな
い。

かくして、当業者に明らかなように、本発明の
装置は、フオトレジスト層を信頼できる一様な厚
さにスプレイすることそして（あるいは）次にこ
のフオトレジスト層から形成されたフオトマスク
の信頼性及び（あるいは）この後にこのマスクか
ら製作された回路の信頼性を改良するために簡単
に制御でき且つ役立つ。更に、振動しうることに
より、非常に制御された信頼できるスプレイ寸法
及び（あるいは）スプレイ方向が与えられる。

第１図乃至第８図のスプレイ・ヘツド装置の他
のパラメータは次の表に示される。

表 オリフイス１１の直径 0.508mm 細長い部材７１の直径 0.254mm 細長い部材７１の長さ 1.041mm フオトレジスト放出流量 20c.c.／分 推進流体の圧力 0.5624Kg／cm² かくして、一様な厚さの被着層が唯一の厳密な
関心事である場合の応用において、細長い部材７
１は振動しうる必要がない。装置は、特定な構造
を有し且つ対称形である特定な部品に関して記述
されているが、他の構造を有し且つ対称形及び
（あるいは）非対称形である他の部品が用いられ
てもよい。更に、多オリフイス及び（あるいは）
他の構成の流体供給系並びに（あるいは）ダクト
あるいはポートを多くあるいは少なく含んだ推進
流体供給系が用いられてもよい。更に、本発明は
当業者に明らかなように他の圧力の推進供給系及
び（あるいは）他の種類のスプレイ流体にも適用
できる。更に、本発明がたとえば印刷処理のよう
な他のスプレイに応用できることがわかる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の良好な実施例のスプレイ・ヘ
ツド装置を分解して示す斜視図、第２図は第１図
の装置を分解して示す断面図、第２Ａ図は第１図
の装置の部品を示す側面図、第３図は第２図に相
当した第１図の装置を示し且つ装置の部品をアセ
ンブリして示す断面図、第４図乃至第８図は第２
図の切断線４―４，５―５，７―７及び８―８に
沿つて切り取つて第１図の装置の種々の部品を示
す夫々の側面図、第９図及び第１０図は先行技術
のスプレイ・ヘツド装置及び第１図の装置のスプ
レイから発生された夫々の層を比較して示す断面
図、第１１図は先行技術のスプレイ・ヘツド装置
及び第１図の装置のスプレイの夫々の相対的寸法
を比較して示す平面図、第１２図は第１図の装置
のスプレイによつて覆われた面積を示す平面図、
第１３図は先行技術のスプレイ・ヘツド装置のオ
リフイス及び先端部を部分的に示し且つこのオリ
フイスのつまり作用を示す断面図である。 １０…ノズル、３０…中空部材、５０…取付部
品、７１…細長い部材、４４，４５…ポート、４
２，４０，１２，１４，５６，６６，６７，６８
…穴、２８，２９，３９…ダクト、１１…オリフ
イス、７３…コイル部分。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ フオトレジスト層をスプレイ被着するための
   スプレイ・ヘツド装置であつて、 フオトレジスト流体を放出するためのオリフイ
   スを有するノズル手段と、 そのコイル径を減じるように圧縮して上記ノズ
   ル手段内に保持されたコイル・スプリング部材で
   あつて、上記オリフイスの側のコイル端に、この
   コイル端と一体であり且つ上記ノズル手段の中心
   軸に沿つて延びて上記オリフイスを貫通し、上記
   フオトレジスト流体を上記オリフイスから中空状
   の流れとして放出する細長い線状部分を有するも
   のと、 上記フオトレジスト流体の上記中空状の流れに
   乱れを与えるように上記オリフイスの外部に加圧
   推進流体を与えるための加圧推進流体供給源と、 を有し、上記線状部分は上記加圧推進流体及び上
   記中空状の流れの相互作用によつて上記中心軸を
   横切る方向に振動するように上記オリフイスの出
   口端から十分な長さで真直ぐに突出しており、上
   記線状部分の振動、上記加圧推進流体及び上記中
   空状の流れの相互作用により上記フオトレジスト
   流体を霧化して一様な分布のフオトレジスト・ス
   プレイを発生することを特徴とするフオトレジス
   ト層被着用スプレイ・ヘツド装置。