JPS633571U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS633571U JPS633571U JP9687886U JP9687886U JPS633571U JP S633571 U JPS633571 U JP S633571U JP 9687886 U JP9687886 U JP 9687886U JP 9687886 U JP9687886 U JP 9687886U JP S633571 U JPS633571 U JP S633571U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure control
- control device
- rotary blades
- pressure
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Lift Valve (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の外観図、第２図は
実効コンダクタンスーバルブ開度特性の一例であ
る。 図において、１，２，３……回転翼、４，５，
６，７……ギア、８……モータ。
実効コンダクタンスーバルブ開度特性の一例であ
る。 図において、１，２，３……回転翼、４，５，
６，７……ギア、８……モータ。
Claims (1)
- 真空装置の排気装置との間に設置され、回転翼
を有するバタフライ・バルブの開閉によつて前記
真空装置内の圧力を制御する圧力制御装置におい
て、同心円状に分割区分されて単独もしくは所定
の組合せにおいて動作する複数の回転翼を備える
ことを特徴とする圧力制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9687886U JPS633571U (ja) | 1986-06-24 | 1986-06-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9687886U JPS633571U (ja) | 1986-06-24 | 1986-06-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS633571U true JPS633571U (ja) | 1988-01-11 |
Family
ID=30963157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9687886U Pending JPS633571U (ja) | 1986-06-24 | 1986-06-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS633571U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115899282A (zh) * | 2022-10-08 | 2023-04-04 | 王义安 | 一种用于蝶阀的组合密封机构 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6127374A (ja) * | 1984-07-17 | 1986-02-06 | Akira Oshima | 複軸バタフライバルブ |
-
1986
- 1986-06-24 JP JP9687886U patent/JPS633571U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6127374A (ja) * | 1984-07-17 | 1986-02-06 | Akira Oshima | 複軸バタフライバルブ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115899282A (zh) * | 2022-10-08 | 2023-04-04 | 王义安 | 一种用于蝶阀的组合密封机构 |