JPS6336049U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例を示す斜視図、第
２図は従来のウエハキヤリアを示す斜視図、第３
図、第４図は、この考案を説明するための一連の
部分断面図である。 図において、１は第１の方向、２は側板、３は
溝、４は結合板、８は第１の上部平担面、１１は
切り欠き部、１２は第１の鍔、１３は第２の上部
平担面、１６は突起部、１７は第２の鍔である。
各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 第１の方向に平行に対向する２つの側板をそれ
   ぞれの両端部で結合して４辺形の枠組みを構成す
   る２つの結合板と 前記第１の方向に垂直に複数のウエハを案内保
   持するように前記枠組み上部開口より内部に向け
   前記側板の内側面に掘られた複数対の溝と、 一方の前記側板と第１の上部平担面を共有しこ
   の側板の外側面上部より突き出されたはり出し部
   分であつて、前記第１の方向に対し、それぞれ垂
   直、平行となるいずれも位置合せのための第１面
   と第２面とで切り欠かれた第１の鍔と 前記第１の上部平担面と平行な第２の上部平担
   面を他方の前記側板と共有し、この側板の外側面
   上部より突き出された部分の上部に、さらに、前
   記第１の方向にそれぞれ垂直平行となるいずれも
   位置合せのための、前記第１面とほぼ同一平面内
   にある第３面と第４面を有する突起部を継ぎ足さ
   れてなる第２の鍔とを 備え、自身と同一物を用意し、いずれか一方に
   前記ウエハを収納している場合に、一方の前記第
   １面と他方の前記第３面を摺動接触させかつ、一
   方の前記第２面と他方の前記第４面をそれぞれ境
   界をも含む部分また全面で接触するように押しつ
   けつつ、両者の相対的な方向を回転させ、互の前
   記第１の上部平担面と第２の上部平担面を接触さ
   せた時に、あらかじめ両者の前記溝の底の位置が
   互に一致するように前記第２面前記第４面それぞ
   れの位置を定めておくと共に、前記ウエハを収納
   する側を高くすることにより、前記ウエハの移し
   かえが行えることを特徴とするウエハキヤリア。