JPS6336128A - ガス封入機器の漏洩検査装置 - Google Patents
ガス封入機器の漏洩検査装置Info
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- JPS6336128A JPS6336128A JP17864086A JP17864086A JPS6336128A JP S6336128 A JPS6336128 A JP S6336128A JP 17864086 A JP17864086 A JP 17864086A JP 17864086 A JP17864086 A JP 17864086A JP S6336128 A JPS6336128 A JP S6336128A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、原子力発電用燃料棒、その他各種の封じ切シ
装置、全溶接シール構造物等のガス封入様器の漏洩検査
装置に関するものである。
装置、全溶接シール構造物等のガス封入様器の漏洩検査
装置に関するものである。
（従来の技術）
ガス収容１機器の従来漏洩検査法としては、目視検査機
器や超音波検査機器を使用して機器の漏洩部（ピンホー
ルなど）を検査する方法、内部ガスの残圧検出による漏
洩検査法、あるいは、機器内に例えばヘリウム（Ｈθ）
を加圧封入して器外へ流出する微量の前記ヘリウムを周
囲の大気とともに吸入しヘリウムリークディテクタで検
出するヘリウムリークテスト法などがおるが、第４図に
示すガス封入機器（α）のようにガスが封入されている
場合には、内部Ｃｂ）のガス圧を検出できず、またガス
を充填することができないため、残玉検出による漏洩検
査法やヘリウムリークテスト法によることができず目視
検査機器や超音波検査機器によって機器の外側から漏洩
部（Ｃ）を検査している。
器や超音波検査機器を使用して機器の漏洩部（ピンホー
ルなど）を検査する方法、内部ガスの残圧検出による漏
洩検査法、あるいは、機器内に例えばヘリウム（Ｈθ）
を加圧封入して器外へ流出する微量の前記ヘリウムを周
囲の大気とともに吸入しヘリウムリークディテクタで検
出するヘリウムリークテスト法などがおるが、第４図に
示すガス封入機器（α）のようにガスが封入されている
場合には、内部Ｃｂ）のガス圧を検出できず、またガス
を充填することができないため、残玉検出による漏洩検
査法やヘリウムリークテスト法によることができず目視
検査機器や超音波検査機器によって機器の外側から漏洩
部（Ｃ）を検査している。
（発明が解決しようとする問題点）
前記ガス封入機器は、前記残玉検出による漏洩検査法や
前記ヘリウムリークテスト法を適用できず、また、前記
目視検査機器や前記超音波機器による機器の漏洩部検査
は、機器の外側からのみ検査することにな）、機器の損
傷部を発見してもそれが貫通孔かどうかを判断すること
が難しく、漏洩部の検出手段としては不適当であって検
査の信頼性に問題がちり、ガス封入機器が管群のような
場合には前記検査機器の配置が容易でないなどの問題点
がある。
前記ヘリウムリークテスト法を適用できず、また、前記
目視検査機器や前記超音波機器による機器の漏洩部検査
は、機器の外側からのみ検査することにな）、機器の損
傷部を発見してもそれが貫通孔かどうかを判断すること
が難しく、漏洩部の検出手段としては不適当であって検
査の信頼性に問題がちり、ガス封入機器が管群のような
場合には前記検査機器の配置が容易でないなどの問題点
がある。
（問題点の暦法手段）
本発明は、前記のような問題点に対処するために開発さ
れたガス封入機器の漏洩検査装置であって、ガス封入機
器を収容してガス漏洩を検出する密閉検査容器に、排気
ポンプと封入ガス検出器と封入ガス供給器および置換ガ
ス供給器をそれぞれ弁を介して連設した構成に特徴を有
し、ガス封入機器の漏洩検査を容易に実施可能にすると
ともに検査性能、信頼性を向上させて前記のような問題
点を解消している。
れたガス封入機器の漏洩検査装置であって、ガス封入機
器を収容してガス漏洩を検出する密閉検査容器に、排気
ポンプと封入ガス検出器と封入ガス供給器および置換ガ
ス供給器をそれぞれ弁を介して連設した構成に特徴を有
し、ガス封入機器の漏洩検査を容易に実施可能にすると
ともに検査性能、信頼性を向上させて前記のような問題
点を解消している。
（作用）
密閉検査容器内にガス封入機器を被検体として収容し、
排気ポンプによシ密閉検査容器内を真空引きして封入ガ
ス検出器によ）密閉検査容器内の封入ガスを検出し、封
入ガスが検出されない場合は、封入ガス供給器によシ密
閉検査容器内に封入ガスを加圧流入したのち、置換ガス
検出器によシ密閉検査容器内の封入ガスを置換ガスに置
換して、再び前記真空引きおよび前記封入ガスの検出を
繰シ返すことにより、ガス封入機器の漏洩の有無が検査
される。
排気ポンプによシ密閉検査容器内を真空引きして封入ガ
ス検出器によ）密閉検査容器内の封入ガスを検出し、封
入ガスが検出されない場合は、封入ガス供給器によシ密
閉検査容器内に封入ガスを加圧流入したのち、置換ガス
検出器によシ密閉検査容器内の封入ガスを置換ガスに置
換して、再び前記真空引きおよび前記封入ガスの検出を
繰シ返すことにより、ガス封入機器の漏洩の有無が検査
される。
（実施例）
第１図に本発明の一実施例を示しておシ、図中（１）は
第４図に示すようにヘリウムなどが封入されているガス
封入機器でちって、同ガス封入機器（１）が吊持などの
手段によシ吊設されて収容されガス漏洩を検出する密閉
可能な密閉検査容器（２）を有し、該密閉検査容器（２
）に、排気ポンプ（５）、封入ガス検出器（７，９）を
それぞれ配管（３）、弁（４）、 （６）、（８）を介
して連設するとともに、封入ガス供給器（１３）および
置換ガス供給器（１５）をそれぞれ配管（１１） 、弁
（１２）。
第４図に示すようにヘリウムなどが封入されているガス
封入機器でちって、同ガス封入機器（１）が吊持などの
手段によシ吊設されて収容されガス漏洩を検出する密閉
可能な密閉検査容器（２）を有し、該密閉検査容器（２
）に、排気ポンプ（５）、封入ガス検出器（７，９）を
それぞれ配管（３）、弁（４）、 （６）、（８）を介
して連設するとともに、封入ガス供給器（１３）および
置換ガス供給器（１５）をそれぞれ配管（１１） 、弁
（１２）。
（１４）を介して連設し九構成になっている。図中α値
は配管（３）の先端部に設けた弁である。
は配管（３）の先端部に設けた弁である。
さらに具体的に説明すると、前記密閉検査容器（２）は
、密閉して内部を真空状態にできる真空容器になってお
シ、前記排気ポンプ（５）には、ガス封入機器（１）内
の封入ガスを排気しないソープションポンプなどの真空
ポンプが使用されて密閉検査容器（２）内を真空引きす
る。また、前記封入ガス検出器（７，９）は、封入ガス
の質量分析機器（７）、ヘリウムリークディテクタ（９
）からなシ、ガス封入機器（１）の封入ガスが例えばヘ
リウム（Ｈｅ ）の場合は、封入ガス供給器（１３）と
してヘリウムガスボンベが使用され、置換ガス供給器（
１５）として乾燥空気ボンベが使用される。
、密閉して内部を真空状態にできる真空容器になってお
シ、前記排気ポンプ（５）には、ガス封入機器（１）内
の封入ガスを排気しないソープションポンプなどの真空
ポンプが使用されて密閉検査容器（２）内を真空引きす
る。また、前記封入ガス検出器（７，９）は、封入ガス
の質量分析機器（７）、ヘリウムリークディテクタ（９
）からなシ、ガス封入機器（１）の封入ガスが例えばヘ
リウム（Ｈｅ ）の場合は、封入ガス供給器（１３）と
してヘリウムガスボンベが使用され、置換ガス供給器（
１５）として乾燥空気ボンベが使用される。
本発明の実施例は、前記のような構成になっておシ第２
図に示すフローチャートによって漏洩検査を説明すると
、密閉検査容器（２）即ち真空容器内にガス封入機器（
１）即ち被検体を収容して密閉し、排気ポンプ（５）即
ち真空ポンプによシ真空容器（２）内の真空引き（真空
排気）をして（操作（Ａ））、封入ガス検出器（７，９
）即ち質量分析機器（力内に真空容器（２）内の残留ガ
スを導入して、例えばヘリウム濃度を計測し封入ガスの
有無を調べる（操作（Ｂ））。
図に示すフローチャートによって漏洩検査を説明すると
、密閉検査容器（２）即ち真空容器内にガス封入機器（
１）即ち被検体を収容して密閉し、排気ポンプ（５）即
ち真空ポンプによシ真空容器（２）内の真空引き（真空
排気）をして（操作（Ａ））、封入ガス検出器（７，９
）即ち質量分析機器（力内に真空容器（２）内の残留ガ
スを導入して、例えばヘリウム濃度を計測し封入ガスの
有無を調べる（操作（Ｂ））。
この場合、弁（４）、（６）は開、弁（８）、 （１０
）、（１２）、（１４）は閉状態にある。
）、（１２）、（１４）は閉状態にある。
前記操作（Ａ）（Ｂ）において、封入ガスが検出された
場合は被検体（ガス封入機器）に封入ガスの漏洩部が存
在することが検知されたことになるが、被検体の封入ガ
スが漏洩して残留していない場合は、ガス漏洩を検知で
きないためさらに次の操作によって検知する。
場合は被検体（ガス封入機器）に封入ガスの漏洩部が存
在することが検知されたことになるが、被検体の封入ガ
スが漏洩して残留していない場合は、ガス漏洩を検知で
きないためさらに次の操作によって検知する。
即ち、弁（１２）を開、他の弁を閉にし封入ガス供給器
（１３）例えばヘリウムガスボンベから真空容器（２）
内へヘリウムを十分に導入して高圧の同ヘリウムで加圧
状態にしたのち（操作（Ｃ））、弁（１４）、（１０）
を開、他の弁を閉にし置換ガス供給器（１５）即ち乾燥
空気ボンベから真空容器（２）内に乾燥空気を導入して
前記ヘリウムと置換し、再び弁（４）、（６）を開、他
の弁を閉にして真空ポンプ（５）によシ真空容器（２）
内の真空引きをして（操作（Ｄ））、質量分析機器（７
）によう真空容器（２）内の残留ガスを導入してヘリウ
ム濃度を計測し封入ガスの有無を調べる（操作）））。
（１３）例えばヘリウムガスボンベから真空容器（２）
内へヘリウムを十分に導入して高圧の同ヘリウムで加圧
状態にしたのち（操作（Ｃ））、弁（１４）、（１０）
を開、他の弁を閉にし置換ガス供給器（１５）即ち乾燥
空気ボンベから真空容器（２）内に乾燥空気を導入して
前記ヘリウムと置換し、再び弁（４）、（６）を開、他
の弁を閉にして真空ポンプ（５）によシ真空容器（２）
内の真空引きをして（操作（Ｄ））、質量分析機器（７
）によう真空容器（２）内の残留ガスを導入してヘリウ
ム濃度を計測し封入ガスの有無を調べる（操作）））。
前記操作（Ｃ）（Ｄ）（ト）によって、ヘリウム即ち封
入ガスが検知されると真空容器（２）に漏洩部が存在す
ることが確認される。
入ガスが検知されると真空容器（２）に漏洩部が存在す
ることが確認される。
前記操作（Ａ）（Ｂ）において、真空容器（２）内を真
空引きすると、被検体（１）内のヘリウム（封入ガス）
が漏洩部の存在によって真空容器（２）内へ積極的に漏
洩されるとともに、被検体（１）内のヘリウム（封入ガ
ス）が既に漏洩していても、前記操作（Ｃ）（Ｄ）（ト
）において、真空容器（２）内に導入され加圧されたヘ
リウム（封入ガス）が漏洩部の存在によって被検体（１
）内へ積極的に漏洩、流入されるとともに、置換ガス（
空気）にしたのち再度の真空容器（２）内の真空引きに
よシ再び同真空容器（２）へ積極的に漏洩されるため、
前記操作（Ａ）（Ｂ）、さらにまた前記操作（ｑ（Ｄ）
■によって被検体（ガス封入機器）（１）のガス漏洩を
容易に、精度よく検知、検査できる。
空引きすると、被検体（１）内のヘリウム（封入ガス）
が漏洩部の存在によって真空容器（２）内へ積極的に漏
洩されるとともに、被検体（１）内のヘリウム（封入ガ
ス）が既に漏洩していても、前記操作（Ｃ）（Ｄ）（ト
）において、真空容器（２）内に導入され加圧されたヘ
リウム（封入ガス）が漏洩部の存在によって被検体（１
）内へ積極的に漏洩、流入されるとともに、置換ガス（
空気）にしたのち再度の真空容器（２）内の真空引きに
よシ再び同真空容器（２）へ積極的に漏洩されるため、
前記操作（Ａ）（Ｂ）、さらにまた前記操作（ｑ（Ｄ）
■によって被検体（ガス封入機器）（１）のガス漏洩を
容易に、精度よく検知、検査できる。
質量分析機器（力による検出について説明したが、真空
ポンプ（５）とヘリウムリークディテクタ（９）の組合
せによっても検知できる。
ポンプ（５）とヘリウムリークディテクタ（９）の組合
せによっても検知できる。
第３図に封じ切少装置あるいは容器（特に配管群など）
における内圧と漏洩部等価孔径との関係の一例を示して
おシ、製作時に２５ ｋｇｆ／ｃｒｔｔ”のガスが封入
されている被験体において、漏洩部の孔径（等側孔径）
によって内部の残留圧力が図示実線のように減シ、操作
（Ａ）（Ｂ）による再検範囲は、等側孔径が比較的に小
さい場合に限られ、等側孔径が程よく大きくなると残留
ガスがなくなって検査できなくなるが、真空容器内に封
入ガスを加圧流入すると、被検体のガス圧が図示点線の
ように増圧され、操作（Ｃ）（ＤＪ（２）による再検範
囲によって前記操作（Ａ）（Ｂ）を補うことができる。
における内圧と漏洩部等価孔径との関係の一例を示して
おシ、製作時に２５ ｋｇｆ／ｃｒｔｔ”のガスが封入
されている被験体において、漏洩部の孔径（等側孔径）
によって内部の残留圧力が図示実線のように減シ、操作
（Ａ）（Ｂ）による再検範囲は、等側孔径が比較的に小
さい場合に限られ、等側孔径が程よく大きくなると残留
ガスがなくなって検査できなくなるが、真空容器内に封
入ガスを加圧流入すると、被検体のガス圧が図示点線の
ように増圧され、操作（Ｃ）（ＤＪ（２）による再検範
囲によって前記操作（Ａ）（Ｂ）を補うことができる。
（発明の効果）
本発明は、前述のような構成になっておシ、密閉検査容
器内にガス封入機器を被検体として収容し、排気ポンプ
によシ密閉検査容器内を真空引きし封入ガス検出器によ
シ密閉検査容器内の封入ガスを検出するとともに、封入
ガスが検出されない場合は、封入ガス供給器によシ密閉
検査容器内に封入ガスを、流入加圧したのち、置換ガス
検出器によシ密閉検査容器内の封入ガスを置換ガスに置
換して、前記真空引きおよび前記封入ガスの検出を繰シ
返すことによシ、ガス封入容器の漏洩を検査でき、ガス
封入機器の漏洩検査を容易に実施できるとともに検査性
能、信頼性が著しく向上される。
器内にガス封入機器を被検体として収容し、排気ポンプ
によシ密閉検査容器内を真空引きし封入ガス検出器によ
シ密閉検査容器内の封入ガスを検出するとともに、封入
ガスが検出されない場合は、封入ガス供給器によシ密閉
検査容器内に封入ガスを、流入加圧したのち、置換ガス
検出器によシ密閉検査容器内の封入ガスを置換ガスに置
換して、前記真空引きおよび前記封入ガスの検出を繰シ
返すことによシ、ガス封入容器の漏洩を検査でき、ガス
封入機器の漏洩検査を容易に実施できるとともに検査性
能、信頼性が著しく向上される。
以上本発明を実施例について説明したが、勿論本発明は
このような実施例にだけ局限されるものでは々く、本発
明の精神を逸脱しない範囲内で種々の設計の改変を施し
うるものである。
このような実施例にだけ局限されるものでは々く、本発
明の精神を逸脱しない範囲内で種々の設計の改変を施し
うるものである。
第１図は本発明の一実施例を示す縦断機構図、第２図は
漏洩検査のフローチャート図、第３図は内圧と漏洩部等
価孔径との関係図、第４図はガス封入容器の一例を示す
縦断面図である。 １：ガス封入機器（被検体） ２：密閉検査容器（真空容器） ５：排気ポンプ（真空ポンプ） ７．９：封入ガス検出器 １３：封入ガス供給器１５：
Ｒ換ガス供給器 ４，６，８，１２．１４：弁復代理
人 弁理士開本重文 外２名 第１図
漏洩検査のフローチャート図、第３図は内圧と漏洩部等
価孔径との関係図、第４図はガス封入容器の一例を示す
縦断面図である。 １：ガス封入機器（被検体） ２：密閉検査容器（真空容器） ５：排気ポンプ（真空ポンプ） ７．９：封入ガス検出器 １３：封入ガス供給器１５：
Ｒ換ガス供給器 ４，６，８，１２．１４：弁復代理
人 弁理士開本重文 外２名 第１図
Claims (1)
- ガス封入機器を収容してガス漏洩を検出する密閉検査容
器に、排気ポンプと封入ガス検出器と封入ガス供給器お
よび置換ガス供給器をそれぞれ弁を介して連設したこと
を特徴とするガス封入機器の漏洩検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17864086A JPS6336128A (ja) | 1986-07-31 | 1986-07-31 | ガス封入機器の漏洩検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17864086A JPS6336128A (ja) | 1986-07-31 | 1986-07-31 | ガス封入機器の漏洩検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6336128A true JPS6336128A (ja) | 1988-02-16 |
Family
ID=16051992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17864086A Pending JPS6336128A (ja) | 1986-07-31 | 1986-07-31 | ガス封入機器の漏洩検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6336128A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6286362B1 (en) * | 1999-03-31 | 2001-09-11 | Applied Materials, Inc. | Dual mode leak detector |
| JP2012514743A (ja) * | 2009-01-08 | 2012-06-28 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 漏れ検出方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5225190U (ja) * | 1975-08-13 | 1977-02-22 |
-
1986
- 1986-07-31 JP JP17864086A patent/JPS6336128A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5225190U (ja) * | 1975-08-13 | 1977-02-22 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6286362B1 (en) * | 1999-03-31 | 2001-09-11 | Applied Materials, Inc. | Dual mode leak detector |
| JP2012514743A (ja) * | 2009-01-08 | 2012-06-28 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 漏れ検出方法 |
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