JPS6340493B2 - - Google Patents
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- JPS6340493B2 JPS6340493B2 JP56150036A JP15003681A JPS6340493B2 JP S6340493 B2 JPS6340493 B2 JP S6340493B2 JP 56150036 A JP56150036 A JP 56150036A JP 15003681 A JP15003681 A JP 15003681A JP S6340493 B2 JPS6340493 B2 JP S6340493B2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders or supports
- H03H9/0504—Holders or supports for bulk acoustic wave devices
- H03H9/0514—Holders or supports for bulk acoustic wave devices consisting of mounting pads or bumps
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/42—Piezoelectric device making
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は組立を自動化し、かつその周波数微調
整をも自動的に行なう水晶振動子の製造方法に関
する。
整をも自動的に行なう水晶振動子の製造方法に関
する。
従来、水晶振動子の水晶片は、特にATカツト
およびBTカツト形の場合、ワイヤクリツプまた
はリボンクリツプ等により保持されていた。第1
図aはワイヤクリツプ方式による水晶振動子の一
例、同図bはその拡大図を示し、先端をコイル状
のクリツプ1に加工した支持材2により、水晶片
3の周辺部をはさんで保持する。なおリボンクリ
ツプ方式もこれに類似したもので、これらの従来
の方式では組立作業のほとんどを熟錬した作業員
により行なう必要があつた。
およびBTカツト形の場合、ワイヤクリツプまた
はリボンクリツプ等により保持されていた。第1
図aはワイヤクリツプ方式による水晶振動子の一
例、同図bはその拡大図を示し、先端をコイル状
のクリツプ1に加工した支持材2により、水晶片
3の周辺部をはさんで保持する。なおリボンクリ
ツプ方式もこれに類似したもので、これらの従来
の方式では組立作業のほとんどを熟錬した作業員
により行なう必要があつた。
これらの手作業による水晶片の組立作業は、上
記支持材の変形と、これを矯正したことによる機
械的残留応力等が水晶片に作用して生じる特性上
の幣害が避けられず、精密な水晶振動子を得るた
めの均一作業性に欠けるものであつた。
記支持材の変形と、これを矯正したことによる機
械的残留応力等が水晶片に作用して生じる特性上
の幣害が避けられず、精密な水晶振動子を得るた
めの均一作業性に欠けるものであつた。
本発明はこれらの欠点を解消し、作業員の熟錬
に頼ることなく、ロボツトにより水晶振動子の組
立、周波数調整さらに検査に至るまでを自動化し
得る水晶振動子を提供するもので、以下実施例に
よつて詳細に説明する。
に頼ることなく、ロボツトにより水晶振動子の組
立、周波数調整さらに検査に至るまでを自動化し
得る水晶振動子を提供するもので、以下実施例に
よつて詳細に説明する。
第2図aおよびbは本発明による水晶振動子の
実施例を示す平面図および正面図で、破線で示し
た水晶片5を端子金具6a,6bで保持し、その
表、裏からガラス等の絶縁物の容器7a,7bで
覆い、容器7a,7bの各コーテイングを施した
縁端部7−1で端子金具6a,6bをはさんで圧
着、加熱し、気密に封止して一体としたものであ
る。
実施例を示す平面図および正面図で、破線で示し
た水晶片5を端子金具6a,6bで保持し、その
表、裏からガラス等の絶縁物の容器7a,7bで
覆い、容器7a,7bの各コーテイングを施した
縁端部7−1で端子金具6a,6bをはさんで圧
着、加熱し、気密に封止して一体としたものであ
る。
第3図ないし第5図は上記端子金具6a,6b
の詳細を示し、第3図の平面図aおよび側面図b
に示す形状の薄い金属片6を第4図a,bのよう
に屈曲して幹部6−1、その下端の左右に突出し
た枝部6−2、および各枝部の端部に設けた支持
部6−3を形成し、さらに枝部6−2を幹部6−
1に対してY字状に曲げて、第5図の平面図aお
よび側面図bに示す形状の端子金属6a,6bと
する。
の詳細を示し、第3図の平面図aおよび側面図b
に示す形状の薄い金属片6を第4図a,bのよう
に屈曲して幹部6−1、その下端の左右に突出し
た枝部6−2、および各枝部の端部に設けた支持
部6−3を形成し、さらに枝部6−2を幹部6−
1に対してY字状に曲げて、第5図の平面図aお
よび側面図bに示す形状の端子金属6a,6bと
する。
組立に際しては、このように形成した端子金具
6a,6bを、第6図aおよびbに示すように対
向して水平に配置し、その上に水晶片5を載せ、
水晶片が端子金具の各支持部6−3により支持さ
れるようにする。この場合、水晶片5は表、裏の
電極5−1の引出し部5−1aが端子金具6a,
6bの各2個の支持部6−3の少なくとも一方に
接するようにすることが必要である。
6a,6bを、第6図aおよびbに示すように対
向して水平に配置し、その上に水晶片5を載せ、
水晶片が端子金具の各支持部6−3により支持さ
れるようにする。この場合、水晶片5は表、裏の
電極5−1の引出し部5−1aが端子金具6a,
6bの各2個の支持部6−3の少なくとも一方に
接するようにすることが必要である。
次いで上記各支持部に導電性塗料を滴下し加
熱、硬化させれば、水晶片5はそれぞれ支持部に
固着し4箇所で機械的に十分な強度で保持される
と共に、表、裏の電極5−1はそれぞれ端子金具
6a,6bに接続される。
熱、硬化させれば、水晶片5はそれぞれ支持部に
固着し4箇所で機械的に十分な強度で保持される
と共に、表、裏の電極5−1はそれぞれ端子金具
6a,6bに接続される。
その後第7図に示すように、あらかじめコーテ
イングを各縁端部7−1の内面に施した容器7
a,7bで表、裏から覆い、電気炉または赤外線
等で加熱軟化させて接合したのちコーテイングを
硬化させ、気密に封止された水晶振動子8が得ら
れる。このようにして構成された水晶振動子は、
端子金具6a,6bの各Y字状に曲げられた枝部
先端の支持部6−3で水晶片を保持するため、水
晶片は非常に可撓性の大きな支持材で保持された
状態となり、その特性は極めて安定のものとな
る。また、この構造は第6図に示したように、
種々異なる大きさの水晶片に対応できる。すなわ
ち、端子金具の枝部6−2を幹部6−1に対して
適宜の角度でY字形となるように曲げて、水晶片
に適合させることができる。
イングを各縁端部7−1の内面に施した容器7
a,7bで表、裏から覆い、電気炉または赤外線
等で加熱軟化させて接合したのちコーテイングを
硬化させ、気密に封止された水晶振動子8が得ら
れる。このようにして構成された水晶振動子は、
端子金具6a,6bの各Y字状に曲げられた枝部
先端の支持部6−3で水晶片を保持するため、水
晶片は非常に可撓性の大きな支持材で保持された
状態となり、その特性は極めて安定のものとな
る。また、この構造は第6図に示したように、
種々異なる大きさの水晶片に対応できる。すなわ
ち、端子金具の枝部6−2を幹部6−1に対して
適宜の角度でY字形となるように曲げて、水晶片
に適合させることができる。
なお端子金具6a,6bを形成する金属片の材
質や厚さ、および幹部、枝部の幅、長さ等は、水
晶片5の特性に影響を及ぼすおそれのないように
選定することが必要であり、プレス打抜きまたは
エツチング加工等による通常の薄板金属加工技術
で容易に実現できる。
質や厚さ、および幹部、枝部の幅、長さ等は、水
晶片5の特性に影響を及ぼすおそれのないように
選定することが必要であり、プレス打抜きまたは
エツチング加工等による通常の薄板金属加工技術
で容易に実現できる。
この構造の水晶振動子は次のように端子金具を
多数連続して設けることにより、組立作業を自動
化することができる。第8図はその一例を示し、
薄い帯状金属板に前記第3図に示した形状の端子
金具6を打抜加工等の手段により多数形成し、フ
レーム9とする。なおフレーム9は周辺部にガイ
ド孔10を設け、各工程における自動送りを行な
わせる。
多数連続して設けることにより、組立作業を自動
化することができる。第8図はその一例を示し、
薄い帯状金属板に前記第3図に示した形状の端子
金具6を打抜加工等の手段により多数形成し、フ
レーム9とする。なおフレーム9は周辺部にガイ
ド孔10を設け、各工程における自動送りを行な
わせる。
すなわち、フレーム9には1区画ごとに端子金
具6を2個ずつ上下に相対して形成され、換言す
れば区画ごとに端子金具6は1個の水晶振動子を
形成するように配置されている。各端子金具はさ
らに前記第3図〜第5図に示したように屈曲加工
して、第9図に示すように各区画ごとに先端をY
字状に加工された端子金具6a,6bを形成させ
る。次いで前記第2図a,bに示した容器7a,
7bのうち、一方の容器7bを、その縁端部7−
1の内側の所定部分にあらかじめ低融点ガラス等
のコーテイングを施し、第10図に示すように、
各区画ごとに端子金具6a,6bに裏側から接
着、固定する。
具6を2個ずつ上下に相対して形成され、換言す
れば区画ごとに端子金具6は1個の水晶振動子を
形成するように配置されている。各端子金具はさ
らに前記第3図〜第5図に示したように屈曲加工
して、第9図に示すように各区画ごとに先端をY
字状に加工された端子金具6a,6bを形成させ
る。次いで前記第2図a,bに示した容器7a,
7bのうち、一方の容器7bを、その縁端部7−
1の内側の所定部分にあらかじめ低融点ガラス等
のコーテイングを施し、第10図に示すように、
各区画ごとに端子金具6a,6bに裏側から接
着、固定する。
なお、このように一方の容器を双方の端子金具
に固定するのは、後述するパーシヤル蒸着時に水
晶振動子を発振させるため一方の端子金具6aを
フレームから切断するので、水晶片5は他方の端
子金具6bのみで支持されるようになり、このま
までは端子金具6bの枝部6−2および水晶片5
の支持点に大きな応力が加わる。よつて、あらか
じめ一方の容器を端子金具6a,6bに接着、固
定することにより、これを防止する。なお、端子
6bのみで水晶片を支持しても差し支えなけれ
ば、もちろんこの操作は不要であり、最後の封止
時に表、裏の容器7a,7bを取付ければよい。
に固定するのは、後述するパーシヤル蒸着時に水
晶振動子を発振させるため一方の端子金具6aを
フレームから切断するので、水晶片5は他方の端
子金具6bのみで支持されるようになり、このま
までは端子金具6bの枝部6−2および水晶片5
の支持点に大きな応力が加わる。よつて、あらか
じめ一方の容器を端子金具6a,6bに接着、固
定することにより、これを防止する。なお、端子
6bのみで水晶片を支持しても差し支えなけれ
ば、もちろんこの操作は不要であり、最後の封止
時に表、裏の容器7a,7bを取付ければよい。
次いで第11図に示すように水平に置かれたフ
レーム9上に、ロボツトのアーム先端に設けたエ
ヤーチヤツク(いずれも図示せず)に吸付けられ
た水晶片5を、各区画ごとに、前記第6図a,b
に示したように載置し、水晶片が端子金具6a,
6bの支持部6−3に支持されるようにする。そ
の後、定量吐出装置等により導電性塗料を端子金
具の各支持部に滴下したのち、加熱し硬化させ
る。
レーム9上に、ロボツトのアーム先端に設けたエ
ヤーチヤツク(いずれも図示せず)に吸付けられ
た水晶片5を、各区画ごとに、前記第6図a,b
に示したように載置し、水晶片が端子金具6a,
6bの支持部6−3に支持されるようにする。そ
の後、定量吐出装置等により導電性塗料を端子金
具の各支持部に滴下したのち、加熱し硬化させ
る。
ここで、水晶片をフレームの各区画に載置する
場合、前記第6図aにおいて説明したように、電
極引出し部5−1aが電極金具の支持部6−3の
少なくとも一方に接するように水晶片の方向を定
める必要がある。しかし、水晶片に電極5−1を
蒸着する場合、その電極引出し部5−1aの方向
を定めて処理する故、このとき定められた水晶片
の方向を用いることにより、水晶片のフレーム上
への載置時に方向判定の労力を省くことができ
る。次いで、第11図における各区画の一方の端
子金具6aを破線で示したA部分で切断すれば、
各区画の水晶振動子は、他方の端子金具6bで共
通接続された、それぞれ独立の水晶振動子とな
る。続いてパーシヤル蒸着による周波数の微細調
整を行なう。
場合、前記第6図aにおいて説明したように、電
極引出し部5−1aが電極金具の支持部6−3の
少なくとも一方に接するように水晶片の方向を定
める必要がある。しかし、水晶片に電極5−1を
蒸着する場合、その電極引出し部5−1aの方向
を定めて処理する故、このとき定められた水晶片
の方向を用いることにより、水晶片のフレーム上
への載置時に方向判定の労力を省くことができ
る。次いで、第11図における各区画の一方の端
子金具6aを破線で示したA部分で切断すれば、
各区画の水晶振動子は、他方の端子金具6bで共
通接続された、それぞれ独立の水晶振動子とな
る。続いてパーシヤル蒸着による周波数の微細調
整を行なう。
第12図はその工程を説明するための模式平面
図で、11は真空槽、12は銀(Ag)などの蒸
着材料を加熱しその蒸気を発生するための蒸気発
生器、13はシヤツタ、14はマスクである。ま
ず、前記第11図の各区画ごとに水晶片を取付け
たフレーム9を、蒸気発生器12の小孔12aを
中心に送り得るように架台(図示せず)に円弧状
に取付ける。
図で、11は真空槽、12は銀(Ag)などの蒸
着材料を加熱しその蒸気を発生するための蒸気発
生器、13はシヤツタ、14はマスクである。ま
ず、前記第11図の各区画ごとに水晶片を取付け
たフレーム9を、蒸気発生器12の小孔12aを
中心に送り得るように架台(図示せず)に円弧状
に取付ける。
蒸気発生器12は小孔12aより蒸着材料の銀
の蒸気を噴出するが、常時はこの蒸気はシヤツタ
13により遮断されている。周波数調整を行なう
場合、所定位置の水晶片5は接触子15を介して
外部の発振回路16に接続され、水晶発振器を構
成する。一方、その発振周波数fは監視装置17
により所定周波数からの偏差を監視される。
の蒸気を噴出するが、常時はこの蒸気はシヤツタ
13により遮断されている。周波数調整を行なう
場合、所定位置の水晶片5は接触子15を介して
外部の発振回路16に接続され、水晶発振器を構
成する。一方、その発振周波数fは監視装置17
により所定周波数からの偏差を監視される。
水晶片5は、あらかじめ上記組立工程に入る前
に周波数が所定周波数よりわずか高くなるように
厚さを粗調整されており、微細調整に際してはシ
ヤツタ13を開き、蒸気発生器の小孔12aより
噴出した銀の蒸気をマスク14を通じて、第13
図に示すように水晶片5の電極5−1上に5−2
のように蒸着する。この5−2部分へ蒸着された
銀の量は時間と共に増加し、これに伴なつて発振
周波数は低下する。監視装置17により発振周波
数が所定値になつたことを検知したときシヤツタ
13を閉じると共にフレーム9を矢印18の方向
に1区画送り、次の水晶片が所定蒸着位置にくる
ようにする。かくして、フレームの各区画の水晶
振動子は所定の周波数に調整される。
に周波数が所定周波数よりわずか高くなるように
厚さを粗調整されており、微細調整に際してはシ
ヤツタ13を開き、蒸気発生器の小孔12aより
噴出した銀の蒸気をマスク14を通じて、第13
図に示すように水晶片5の電極5−1上に5−2
のように蒸着する。この5−2部分へ蒸着された
銀の量は時間と共に増加し、これに伴なつて発振
周波数は低下する。監視装置17により発振周波
数が所定値になつたことを検知したときシヤツタ
13を閉じると共にフレーム9を矢印18の方向
に1区画送り、次の水晶片が所定蒸着位置にくる
ようにする。かくして、フレームの各区画の水晶
振動子は所定の周波数に調整される。
その後、適当な雰囲気たとえば乾燥した窒素
(N2)ガス中において、各区画ごとに水晶片と端
子金具に、縁端部7−1の内側にコーテイングを
施した表面側の絶縁容器7aで覆い、加熱、硬化
させれば、それぞれ窒素ガスを封入、密封された
水晶振動子が構成され、最後に端子金具6bを前
記第11図における破線Bの部分で切断すれば、
独立した水晶振動子が得られる。
(N2)ガス中において、各区画ごとに水晶片と端
子金具に、縁端部7−1の内側にコーテイングを
施した表面側の絶縁容器7aで覆い、加熱、硬化
させれば、それぞれ窒素ガスを封入、密封された
水晶振動子が構成され、最後に端子金具6bを前
記第11図における破線Bの部分で切断すれば、
独立した水晶振動子が得られる。
このように本発明による水晶振動子は、帯状の
金属板に端子金具をそれぞれ振動子を形成するよ
うに配置した多数の区画を連続して設け、これに
順次裏面側容器の取付、水晶片装填、一方の端子
金具の切断、パーシヤル蒸着による周波数の微調
整、および処定雰囲気中における表面側容器の取
付を行ない、最後に共通側端子金具を切断して各
独立した水晶振動子とするもので、上記の各工程
はいずれも容易に自動化され、従来のように作業
員の熟練に頼ることなく、すべて自動化して特性
の均一化された水晶振動子を得ることができる。
金属板に端子金具をそれぞれ振動子を形成するよ
うに配置した多数の区画を連続して設け、これに
順次裏面側容器の取付、水晶片装填、一方の端子
金具の切断、パーシヤル蒸着による周波数の微調
整、および処定雰囲気中における表面側容器の取
付を行ない、最後に共通側端子金具を切断して各
独立した水晶振動子とするもので、上記の各工程
はいずれも容易に自動化され、従来のように作業
員の熟練に頼ることなく、すべて自動化して特性
の均一化された水晶振動子を得ることができる。
さらに本発明の他の実施例について説明する。
ここで上記実施例では、各端子金具に2個ずつ
設けた支持部により水晶片を周辺の4個所で支持
する構造であつたが、支持部は3個所としても差
し支えない。すなわち、第8図における2個の端
子金具6を同一形状とせず、一方を変形して1個
所で支持するようにし、合計3個所で水晶片を支
持させることもできる。なお、水晶片は円形に限
らず、矩形、短冊状その他任意の形状とすること
ができる。
設けた支持部により水晶片を周辺の4個所で支持
する構造であつたが、支持部は3個所としても差
し支えない。すなわち、第8図における2個の端
子金具6を同一形状とせず、一方を変形して1個
所で支持するようにし、合計3個所で水晶片を支
持させることもできる。なお、水晶片は円形に限
らず、矩形、短冊状その他任意の形状とすること
ができる。
次に、第14図は前記第8図における端子金具
の他の実施例を示し、端子金具の幹部の根本6−
1aと6−1b、および枝部から両側の支持部に
続く部分6−3aと6−3bにそれぞれ図示のよ
うに切り欠けを設けることにより、前記第3図な
いし第5図における端子金具の屈曲を容易に行な
うことができる。
の他の実施例を示し、端子金具の幹部の根本6−
1aと6−1b、および枝部から両側の支持部に
続く部分6−3aと6−3bにそれぞれ図示のよ
うに切り欠けを設けることにより、前記第3図な
いし第5図における端子金具の屈曲を容易に行な
うことができる。
また第15図に示すように、端子金具6の幹部
6−1の幅を、枝部6−2より所定距離aの間は
Dとし、これよりフレームに至る距離bの間はd
とし、dをDよりはるかに狭くしてb部分をリー
ド線状とすることにより完成した水晶振動子8の
形状を第16図aのようにし、プリント配線盤に
取付ける場合、同図bに示すように端子金具の細
いリード線状の部分を屈曲して取付孔に挿入する
ことにより、極めて容易に取付けることができ
る。
6−1の幅を、枝部6−2より所定距離aの間は
Dとし、これよりフレームに至る距離bの間はd
とし、dをDよりはるかに狭くしてb部分をリー
ド線状とすることにより完成した水晶振動子8の
形状を第16図aのようにし、プリント配線盤に
取付ける場合、同図bに示すように端子金具の細
いリード線状の部分を屈曲して取付孔に挿入する
ことにより、極めて容易に取付けることができ
る。
さらに容器7a,7bは、前記第7図において
端子金具6a,6bを適宜屈曲する等の手段によ
り水晶片を一方に例えば容器7b側に突出させ、
容器7aは単に板状の蓋とすることもできる。
端子金具6a,6bを適宜屈曲する等の手段によ
り水晶片を一方に例えば容器7b側に突出させ、
容器7aは単に板状の蓋とすることもできる。
以上説明したように、本発明によるときは組
立、周波数微調整等をすべて自動化し、特性の均
一化した多数の水晶振動子を容易に得ることがで
きる。
立、周波数微調整等をすべて自動化し、特性の均
一化した多数の水晶振動子を容易に得ることがで
きる。
第1図aおよびbはワイヤクリツプ方式による
従来の水晶振動子を示す正面図および拡大図、第
2図aおよびbは本発明による水晶振動子の実施
例を示す平面図および正面図、第3図aおよびb
は端子金具となる金属片の原形を示す平面図およ
び側面図、第4図aおよびbは該金属片の屈曲途
中を示す平面図および側面図、第5図はさらに枝
部をY字状に屈曲して得られた端子金具を示す平
面図および側面図、第6図aおよびbは相対して
配置した端子金具上に水晶片を載せた状態を示す
平面図および側面図、第7図はさらに表、裏より
容器で覆い密封し完成した水晶振動子を示す側断
面図、第8図は端子金具の原形を打抜いた帯状金
属片よりなるフレームを示す平面図、第9図はフ
レームの原形を屈曲して端子金具を形成した状態
を示す平面図、第10図は裏面より容器で覆つた
状態を示す平面図、第11図はさらに水晶片を載
置した状態を示す平面図、第12図はパーシヤル
蒸着工程を示す模式平面図、第13図は銀をパー
シヤル蒸着された水晶片を示す平面図、第14
図、第15図はそれぞれ端子金具の他の実施例を
示す平面図、第16図aおよびbはさらに他の実
施例による端子金具を設けた水晶振動子を示す平
面図および端子金具を屈曲した状態を示す水晶振
動子の部分斜視図である。 5−1…電極、5−1a…電極引出し部、6
a,6b…端子金具、6−1…幹部、6−2,6
−2a,6−2b…枝部、6−3a,6−3b,
6−3…支持部、7a,7b…容器、8…水晶振
動子、9…フレーム。
従来の水晶振動子を示す正面図および拡大図、第
2図aおよびbは本発明による水晶振動子の実施
例を示す平面図および正面図、第3図aおよびb
は端子金具となる金属片の原形を示す平面図およ
び側面図、第4図aおよびbは該金属片の屈曲途
中を示す平面図および側面図、第5図はさらに枝
部をY字状に屈曲して得られた端子金具を示す平
面図および側面図、第6図aおよびbは相対して
配置した端子金具上に水晶片を載せた状態を示す
平面図および側面図、第7図はさらに表、裏より
容器で覆い密封し完成した水晶振動子を示す側断
面図、第8図は端子金具の原形を打抜いた帯状金
属片よりなるフレームを示す平面図、第9図はフ
レームの原形を屈曲して端子金具を形成した状態
を示す平面図、第10図は裏面より容器で覆つた
状態を示す平面図、第11図はさらに水晶片を載
置した状態を示す平面図、第12図はパーシヤル
蒸着工程を示す模式平面図、第13図は銀をパー
シヤル蒸着された水晶片を示す平面図、第14
図、第15図はそれぞれ端子金具の他の実施例を
示す平面図、第16図aおよびbはさらに他の実
施例による端子金具を設けた水晶振動子を示す平
面図および端子金具を屈曲した状態を示す水晶振
動子の部分斜視図である。 5−1…電極、5−1a…電極引出し部、6
a,6b…端子金具、6−1…幹部、6−2,6
−2a,6−2b…枝部、6−3a,6−3b,
6−3…支持部、7a,7b…容器、8…水晶振
動子、9…フレーム。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 幹部と、その1端より両側に突出した枝部
と、該枝部の各先端より上記幹部と反対方向に突
出した支持部とよりなる端子金具を互いに上記支
持部を相対して配置すると共に上記枝部を上記幹
部に対しY字状に屈曲し、上記支持部は一平面を
形成して水晶片を支持し、かつ該水晶片の電極を
上記支持部を介して上記端子金具に接続し、さら
に上記端子金具をはさんで表、裏より容器を接着
して一体に気密に封止したことを特徴とする水晶
振動子。 2 前記幹部と枝部および支持部を金属板より打
抜き一体に形成したことを特徴とする特許請求の
範囲第1項記載の水晶振動子。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56150036A JPS5850816A (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 水晶振動子 |
| US06/417,451 US4486681A (en) | 1981-09-21 | 1982-09-13 | Y-Shaped support for piezoelectric resonator |
| US06/567,541 US4550475A (en) | 1981-09-21 | 1984-01-03 | Quartz unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56150036A JPS5850816A (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 水晶振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5850816A JPS5850816A (ja) | 1983-03-25 |
| JPS6340493B2 true JPS6340493B2 (ja) | 1988-08-11 |
Family
ID=15488091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56150036A Granted JPS5850816A (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 水晶振動子 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US4486681A (ja) |
| JP (1) | JPS5850816A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020171172A1 (ja) * | 2019-02-21 | 2020-08-27 | 黒田精工株式会社 | 液圧式クランプ装置、液圧式クランプ装置におけるワーク把持開始点検出方法、ワーク把持開始点検出装置及びワーク把持方法 |
Families Citing this family (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60108030U (ja) * | 1983-12-27 | 1985-07-23 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動子 |
| GB2146839B (en) * | 1983-07-27 | 1987-04-01 | Nihon Dempa Kogyo Co | Piezoelectric resonator |
| JPS60108029U (ja) * | 1983-12-23 | 1985-07-23 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動子 |
| JPS60108031U (ja) * | 1983-12-27 | 1985-07-23 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動子 |
| JPS6079827U (ja) * | 1983-11-07 | 1985-06-03 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動子 |
| JPS60143358U (ja) * | 1984-03-05 | 1985-09-24 | 呉羽化学工業株式会社 | アレイ型超音波探触子 |
| JPS6129530U (ja) * | 1984-07-26 | 1986-02-22 | 関西日本電気株式会社 | 圧電振動片の保持構造 |
| JPS6129529U (ja) * | 1984-07-26 | 1986-02-22 | 関西日本電気株式会社 | フラツトパツケ−ジ |
| JPS6150413A (ja) * | 1984-08-20 | 1986-03-12 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動子の製造方法 |
| JPS6152827U (ja) * | 1984-09-12 | 1986-04-09 | ||
| JPS6176972U (ja) * | 1984-10-26 | 1986-05-23 | ||
| JPS61131607A (ja) * | 1984-11-29 | 1986-06-19 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動子ウエハおよび圧電振動子の製造方法 |
| JPS61103921U (ja) * | 1984-12-11 | 1986-07-02 | ||
| US4706350A (en) * | 1985-01-07 | 1987-11-17 | Motorola, Inc. | Self-locating, self-fixturing hard crystal blank mounting system |
| FR2612021A1 (fr) * | 1987-03-06 | 1988-09-09 | Cepe | Ressorts de suspension d'une lame vivrante piezoelectrique |
| US5235472A (en) * | 1991-10-18 | 1993-08-10 | Seagate Technology, Inc. | Apparatus for sensing operating shock on a disk drive |
| US5447066A (en) * | 1993-09-01 | 1995-09-05 | Matsushita Electric Industrial Co. Ltd. | Angular velocity sensor having a tuning fork construction and its method of manufacture |
| JPH07318351A (ja) * | 1994-05-23 | 1995-12-08 | Murata Mfg Co Ltd | 振動子の支持構造 |
| US6791241B1 (en) * | 1997-01-13 | 2004-09-14 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrator and manufacture thereof, and piezoelectric vibrator unit |
| JP3613117B2 (ja) * | 2000-02-23 | 2005-01-26 | 株式会社村田製作所 | 振動子及びそれを用いた振動ジャイロ及びそれを用いた電子装置 |
| JP2002365123A (ja) * | 2001-06-11 | 2002-12-18 | Yamato Scale Co Ltd | 水晶振動子を用いた荷重センサ |
| JP3669431B2 (ja) * | 2001-08-20 | 2005-07-06 | 株式会社村田製作所 | 圧電型電気音響変換器 |
| AU2003234672A1 (en) * | 2002-05-28 | 2003-12-12 | Vectron International | Low acceleration sensitivity mounting structures for crystal resonators |
| KR102299988B1 (ko) * | 2018-01-16 | 2021-09-09 | 주식회사 엘지에너지솔루션 | 이차전지용 노칭장치 및 노칭방법 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2824219A (en) * | 1954-11-08 | 1958-02-18 | Midland Mfg Co Inc | Piezoelectric crystal assembly |
| CH528177A (fr) * | 1970-11-23 | 1972-09-15 | Centre Electron Horloger | Résonateur piézoélectrique et son procédé de fabrication |
| CH548136A (fr) * | 1972-04-13 | 1974-04-11 | Suisse Horlogerie | Resonateur a barreau de quartz. |
| US3913195A (en) * | 1974-05-28 | 1975-10-21 | William D Beaver | Method of making piezoelectric devices |
| JPS5242088A (en) * | 1975-07-30 | 1977-04-01 | Citizen Watch Co Ltd | Crystal oscillating element |
| JPS5251886A (en) * | 1975-10-23 | 1977-04-26 | Seikosha Co Ltd | Holding device for crystal resonators, etc. |
| US4267479A (en) * | 1977-09-16 | 1981-05-12 | Citizen Watch Co., Ltd. | Mounting clips for thickness shear piezoelectric oscillator |
| JPS55112019A (en) * | 1979-02-22 | 1980-08-29 | Murata Mfg Co Ltd | Elastic surface wave device |
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-
1981
- 1981-09-21 JP JP56150036A patent/JPS5850816A/ja active Granted
-
1982
- 1982-09-13 US US06/417,451 patent/US4486681A/en not_active Expired - Lifetime
-
1984
- 1984-01-03 US US06/567,541 patent/US4550475A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020171172A1 (ja) * | 2019-02-21 | 2020-08-27 | 黒田精工株式会社 | 液圧式クランプ装置、液圧式クランプ装置におけるワーク把持開始点検出方法、ワーク把持開始点検出装置及びワーク把持方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4550475A (en) | 1985-11-05 |
| US4486681A (en) | 1984-12-04 |
| JPS5850816A (ja) | 1983-03-25 |
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