JPS6340852A - 超音波探査装置 - Google Patents
超音波探査装置Info
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- JPS6340852A JPS6340852A JP61182704A JP18270486A JPS6340852A JP S6340852 A JPS6340852 A JP S6340852A JP 61182704 A JP61182704 A JP 61182704A JP 18270486 A JP18270486 A JP 18270486A JP S6340852 A JPS6340852 A JP S6340852A
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- Japan
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- probe
- optical fiber
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- fiber scope
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- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 48
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 21
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 4
- 239000000835 fiber Substances 0.000 abstract description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 6
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 abstract description 6
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、液浸法により被検体を探査する超音波探査装
置に関し、特に探触子を被検体上の所望位置に位置合わ
せするのに好適なものである。
置に関し、特に探触子を被検体上の所望位置に位置合わ
せするのに好適なものである。
液槽内に設置されている被検体の探査は1通常は被検体
の種類に応じてあらかじめ必要な探査領域を決め、その
領域内を探触子を走査して行うが、その際全走査範囲を
洩れなくしかも当初から正確に走査することが走査結果
の解析上必要であり。
の種類に応じてあらかじめ必要な探査領域を決め、その
領域内を探触子を走査して行うが、その際全走査範囲を
洩れなくしかも当初から正確に走査することが走査結果
の解析上必要であり。
同時に走査時間を短縮することにもなる。これは電子部
品などの同一形状の被検体を多数連続して自動探査する
場合などのほか、多種類の異なる形状および寸法の場合
において特に重要な問題となる。しかし走査の開始に当
って探触子が被検体の走査の始点に正確に相対していな
い状態のまま走査が始まると、走査洩れや不必要な領域
の走査をすることになり再探査をしなければならなくな
る。
品などの同一形状の被検体を多数連続して自動探査する
場合などのほか、多種類の異なる形状および寸法の場合
において特に重要な問題となる。しかし走査の開始に当
って探触子が被検体の走査の始点に正確に相対していな
い状態のまま走査が始まると、走査洩れや不必要な領域
の走査をすることになり再探査をしなければならなくな
る。
また、特に詳細1こ探査したい位1t〔がある場合や、
探査領域が複数ある被検体の場合などにおいてもその都
度被検体のそれらの位置に探触子を相対させなければな
らないが、前記と同様に正確に相対していないまま走査
を開始すると再探査が必要になり、それだけ余計な時間
を要することになる。
探査領域が複数ある被検体の場合などにおいてもその都
度被検体のそれらの位置に探触子を相対させなければな
らないが、前記と同様に正確に相対していないまま走査
を開始すると再探査が必要になり、それだけ余計な時間
を要することになる。
」−2の問題点に対しては探触子を随時、被検体の所望
の位置に正確に相対させることにより対応することがで
きるが、従来の探査装置には相対位置を当初から正確に
かつ容易に位置合わせする手段がなく、このため液槽内
の被検体をその周りからのぞく方法、つまり検査員の勘
に頼る目視による方法で行われてきた。具体的にはこの
目視により決めた位置で被検体の一部を試験的に走査し
、所望の探査領域が走査されているか否かを表示装(4
の表示をIPNして目視による位置の正否を決め、否の
場合には、目視により再位置決めを行い前記試験的な走
査を繰り返す方法であるが、探査が不正確になり易いだ
けでなく、多くの走査時間と労力とを費やす問題がある
。
の位置に正確に相対させることにより対応することがで
きるが、従来の探査装置には相対位置を当初から正確に
かつ容易に位置合わせする手段がなく、このため液槽内
の被検体をその周りからのぞく方法、つまり検査員の勘
に頼る目視による方法で行われてきた。具体的にはこの
目視により決めた位置で被検体の一部を試験的に走査し
、所望の探査領域が走査されているか否かを表示装(4
の表示をIPNして目視による位置の正否を決め、否の
場合には、目視により再位置決めを行い前記試験的な走
査を繰り返す方法であるが、探査が不正確になり易いだ
けでなく、多くの走査時間と労力とを費やす問題がある
。
前記の如〈従来の探査装置には、被検体の所望位置に対
して探触子を当初から正確にしかも容易に位に合わせす
る手段がなく、このため検査員の目視による方法が行わ
れているが、この方法によるとどうしても再位置決めを
繰り返すことが避けられず、探査が不正確になり易いだ
けでなく、多(の時間と労力を要する問題点を有する。
して探触子を当初から正確にしかも容易に位に合わせす
る手段がなく、このため検査員の目視による方法が行わ
れているが、この方法によるとどうしても再位置決めを
繰り返すことが避けられず、探査が不正確になり易いだ
けでなく、多(の時間と労力を要する問題点を有する。
本発明は、随記従来技術の問題点を解消するものであっ
て、被検体の所望の位置に1.探触子を当初から正確に
しかも容易に位置合わせすることのできる超音波探査装
置を提供することを目的とする。
て、被検体の所望の位置に1.探触子を当初から正確に
しかも容易に位置合わせすることのできる超音波探査装
置を提供することを目的とする。
本発明は、液に浸漬している被検体を探査する超音波探
査装置において、振動子の中心およびその前面および背
面にケース外より光ファイバースコープを挿通する穴を
穿設し、光ファイバースコープを市記穴にその先端を探
触子の下面とほぼ一致させて埋設した探触子と、該探触
子を前記被検体に対して走査させるスキャナーと、光フ
ァイバースコープを作動して得られる前記被検体の画像
をモニターするモニター装置とを備える構成にしたこと
により、探触子を被検体の所望の位置に、当初から正確
にしかも容易に位置合わせすることができるようにした
探査装置である。
査装置において、振動子の中心およびその前面および背
面にケース外より光ファイバースコープを挿通する穴を
穿設し、光ファイバースコープを市記穴にその先端を探
触子の下面とほぼ一致させて埋設した探触子と、該探触
子を前記被検体に対して走査させるスキャナーと、光フ
ァイバースコープを作動して得られる前記被検体の画像
をモニターするモニター装置とを備える構成にしたこと
により、探触子を被検体の所望の位置に、当初から正確
にしかも容易に位置合わせすることができるようにした
探査装置である。
本発明に係わる超音波探査装置で探触子を被検体の所望
の位置に位置決めする場合、振動子の中心およびその前
・背面に穴を穿設して光ファイバースコープを埋設し、
その埋設した光ファイバースコープの先端を探触子下面
とほぼ一致させた探触子を使用するから、光ファイバー
スコープを作動させることにより被検体の画像を容易に
モニタリングすることが可能になる。モニタリングは被
検体の画像を接眼光学系で直接捉えて行う方法、探査時
に使用するテレビモニターの兼用により間接的に表示し
て行う方法等いずれの方法でもよく、光ファイバースコ
ープで照射した視野内に被検体の探査領域が位置するよ
うにスキャナーを桿作して行う、ざらにモニタリング中
の視野内の特定位置(たとえば中央のマーク)を、被検
体の探査領域内の所望位Ii′i(たとえば走査の始点
)に一致するようにスキャナーを微小移動させることに
より、探触子と被検体の所望位置とが正確に相対させら
れる。なお、本装置においては、光ファイバースコープ
により探触子と被検体との相対位置をモニタリングしな
がら位置合わせをするから、他の所望位置への変更も容
易である。
の位置に位置決めする場合、振動子の中心およびその前
・背面に穴を穿設して光ファイバースコープを埋設し、
その埋設した光ファイバースコープの先端を探触子下面
とほぼ一致させた探触子を使用するから、光ファイバー
スコープを作動させることにより被検体の画像を容易に
モニタリングすることが可能になる。モニタリングは被
検体の画像を接眼光学系で直接捉えて行う方法、探査時
に使用するテレビモニターの兼用により間接的に表示し
て行う方法等いずれの方法でもよく、光ファイバースコ
ープで照射した視野内に被検体の探査領域が位置するよ
うにスキャナーを桿作して行う、ざらにモニタリング中
の視野内の特定位置(たとえば中央のマーク)を、被検
体の探査領域内の所望位Ii′i(たとえば走査の始点
)に一致するようにスキャナーを微小移動させることに
より、探触子と被検体の所望位置とが正確に相対させら
れる。なお、本装置においては、光ファイバースコープ
により探触子と被検体との相対位置をモニタリングしな
がら位置合わせをするから、他の所望位置への変更も容
易である。
〔実施例〕
本発明の第1の実施例を第1図ないし第3図を参照して
説明する。第1図はその要部説明図、第2図は探査装置
の全体構成説明図、第3図はモニター装置の画像説明図
である。図において1は探触子で、1aはそのケース、
1bはケース1a内に背面をダンパで保持されている振
動子、1cは整合層である。振動子1bの中心およびそ
の前面の整合層1cおよび背面のダンパには、ケース1
a外より光ファイバースコープ2を挿通するための穴が
穿設されており、光ファイバースコープ2が1)6穴に
その先端を探触子1の下面にほぼ一致させた状態で埋設
される。埋設された状態では探触子1内に水6が浸入し
ないように各部隙間が、シールされる。2aはイメージ
用のファイバーケーブル。
説明する。第1図はその要部説明図、第2図は探査装置
の全体構成説明図、第3図はモニター装置の画像説明図
である。図において1は探触子で、1aはそのケース、
1bはケース1a内に背面をダンパで保持されている振
動子、1cは整合層である。振動子1bの中心およびそ
の前面の整合層1cおよび背面のダンパには、ケース1
a外より光ファイバースコープ2を挿通するための穴が
穿設されており、光ファイバースコープ2が1)6穴に
その先端を探触子1の下面にほぼ一致させた状態で埋設
される。埋設された状態では探触子1内に水6が浸入し
ないように各部隙間が、シールされる。2aはイメージ
用のファイバーケーブル。
2bはライト用のファイバーケーブルで、3はその光源
である。4は被検体で、探触子1とともに水M5に注入
されている水6に浸漬されている。
である。4は被検体で、探触子1とともに水M5に注入
されている水6に浸漬されている。
7はスキャナーで、探触子1を探触子ホルダ8で支持し
、XYZ方向の微細な移動可能に水槽5をまたいで設置
されている。探触子1は高周波ケーブル9を介してパル
サー10およびレシーバ−IIと接続され、レシーバ−
11はピークディテクター12゜A/D変換器13を経
てCPU14に接続されている。
、XYZ方向の微細な移動可能に水槽5をまたいで設置
されている。探触子1は高周波ケーブル9を介してパル
サー10およびレシーバ−IIと接続され、レシーバ−
11はピークディテクター12゜A/D変換器13を経
てCPU14に接続されている。
CPU14はスキャナー7にその動作を制御するスキャ
ナーコントローラー15を介して接続されるとともに、
画像入出力装置16を介して被検体4の画像をモニタリ
ングするテレビモニター17に接続されている。テレビ
モニター17と画像入出力装置16とを結ぶ回路中には
、光ファイバースコープ2を作動した場合と探触子1を
作動した場合の画像の切換えを行う切換装置18が介設
され、光ファイバースコープ2からの光学像を電気信号
に変換する撮像装置19を介してイメージ用のファイバ
ーケーブル2aに接続されている。
ナーコントローラー15を介して接続されるとともに、
画像入出力装置16を介して被検体4の画像をモニタリ
ングするテレビモニター17に接続されている。テレビ
モニター17と画像入出力装置16とを結ぶ回路中には
、光ファイバースコープ2を作動した場合と探触子1を
作動した場合の画像の切換えを行う切換装置18が介設
され、光ファイバースコープ2からの光学像を電気信号
に変換する撮像装置19を介してイメージ用のファイバ
ーケーブル2aに接続されている。
被検体4上の所望位置の一例として探査領域の走査始点
に探触子1を位置合わせする場合、まず切換装置18を
光ファイバースコープ2が作動する側に切換え、撮像装
(Q 19で撮影した被検体4の画像20をテレビモニ
ター17上に表示する。この場合探査領域2Iを含む画
像20が、第1図に1点鎖線で示す光ファイバースコー
プ2の視野22内に入るように被検体4と探触子1との
間隔を調整する。点線で示す23はファイバーケーブル
2bによる照明範囲を示すもので、視野22より広い範
囲を照明する。視野22の中央にはマーク24(本実施
例の場合+印)が設けられており1画像20をモニタリ
ングしながらスキャナー7を操作して探査領域21の走
査始点にマーク24を一致させる。探査領域21は被検
体4の種類により予め設定されており、同時に走査順序
や走査始点も決められているから、走査始点にマーク2
4を一致させることは容易であり、この状態で探触子1
の中心が走査始点に一致し正確に位置合わせされた状態
になる6位置合わせが終ると切換装置18を探触子1を
作動させる探査側に切換え超音波ビーム25を発射して
探査が行われる。なお探査の途中必要に応じて切換装置
18を操作し、その被検体4の他の位置に探触子1を位
置合わせすることも容易に行うことができる。
に探触子1を位置合わせする場合、まず切換装置18を
光ファイバースコープ2が作動する側に切換え、撮像装
(Q 19で撮影した被検体4の画像20をテレビモニ
ター17上に表示する。この場合探査領域2Iを含む画
像20が、第1図に1点鎖線で示す光ファイバースコー
プ2の視野22内に入るように被検体4と探触子1との
間隔を調整する。点線で示す23はファイバーケーブル
2bによる照明範囲を示すもので、視野22より広い範
囲を照明する。視野22の中央にはマーク24(本実施
例の場合+印)が設けられており1画像20をモニタリ
ングしながらスキャナー7を操作して探査領域21の走
査始点にマーク24を一致させる。探査領域21は被検
体4の種類により予め設定されており、同時に走査順序
や走査始点も決められているから、走査始点にマーク2
4を一致させることは容易であり、この状態で探触子1
の中心が走査始点に一致し正確に位置合わせされた状態
になる6位置合わせが終ると切換装置18を探触子1を
作動させる探査側に切換え超音波ビーム25を発射して
探査が行われる。なお探査の途中必要に応じて切換装置
18を操作し、その被検体4の他の位置に探触子1を位
置合わせすることも容易に行うことができる。
つぎに第2の実施例について第4図および第5図を参照
して説明する。本実施例は、前記第1の実施例が被検体
の画像のモニタリングを探査時に使用するテレビモニタ
ーにより行うのに対し、光ファイバースコープに接続し
た接眼光学系を設け、画像を直接捉えてモニタリングす
るものである。
して説明する。本実施例は、前記第1の実施例が被検体
の画像のモニタリングを探査時に使用するテレビモニタ
ーにより行うのに対し、光ファイバースコープに接続し
た接眼光学系を設け、画像を直接捉えてモニタリングす
るものである。
第4図は第1図に、第5図は第2図にそれぞれ対応する
図で、図中第1図ないし第3図と同じ符号のものは同じ
部品を示す。本構成はイメージ用のファイバーケーブル
2aに接眼光学系26が接続され、切換装vi18 、
撮像装置19を除外したほかは前記第1の実施例の構成
と同じである。
図で、図中第1図ないし第3図と同じ符号のものは同じ
部品を示す。本構成はイメージ用のファイバーケーブル
2aに接眼光学系26が接続され、切換装vi18 、
撮像装置19を除外したほかは前記第1の実施例の構成
と同じである。
接眼光学系26で得られる被検体4の両像20と視野2
2は、前記テレビモニター17で表示される第3図に示
すものと同一のもので、本実施例においてはこれをミラ
ーを介して直接検査員の目で捉えることになる。したが
って、第1の実施例と同様に探査領域21の走査始点に
探触子1を位置合わせする場合においては、視野22の
中央の十印のマーク24を接眼光学、¥826で画像2
0をモニタリングしながらスキャナー7を操作して一致
させることができる。また必要に応じて被検体4の他の
位置に位置合わせすることも第1の実施例と同様に容易
である。本実施例においては被検体4の画像20を常時
観察できるほか、切換装v!、18や撮像装置19を操
作する必要がないから、一層正確にかつ速やかに位置合
わせをすることが可能になる。
2は、前記テレビモニター17で表示される第3図に示
すものと同一のもので、本実施例においてはこれをミラ
ーを介して直接検査員の目で捉えることになる。したが
って、第1の実施例と同様に探査領域21の走査始点に
探触子1を位置合わせする場合においては、視野22の
中央の十印のマーク24を接眼光学、¥826で画像2
0をモニタリングしながらスキャナー7を操作して一致
させることができる。また必要に応じて被検体4の他の
位置に位置合わせすることも第1の実施例と同様に容易
である。本実施例においては被検体4の画像20を常時
観察できるほか、切換装v!、18や撮像装置19を操
作する必要がないから、一層正確にかつ速やかに位置合
わせをすることが可能になる。
なお、前記各実施例における探触子1は非焦点形の垂直
探触子を使用して説明したが、焦点形の探触子や斜角探
触子を使用した場合においてもその作用および効果は同
一である。また前記ライ1〜用のファイバーケーブル2
bおよびその光源3は。
探触子を使用して説明したが、焦点形の探触子や斜角探
触子を使用した場合においてもその作用および効果は同
一である。また前記ライ1〜用のファイバーケーブル2
bおよびその光源3は。
被検体が発光体であるような場合や可視状態の11)合
には不要である。
には不要である。
以上説明したように本発明に係わる超音波探査装砿は、
振動子の中心およびその前面および背面にケース外より
光ファイバースコープを挿通する穴を穿設し、光ファイ
バースコープを前記穴にその先端を探触子の下面と一致
させて埋設した探触子と、該探触子を被検体に対して走
査させるスキャナーと、光ファイバースコープを作動し
て得られる被検体の画像をモニタリングするモニター装
置とを備えた構成にしたから、探触子を被検体上の所望
の位已に当初から正確にしかも容易に位に合わせするこ
とができる実用上顕著な効果を有する。
振動子の中心およびその前面および背面にケース外より
光ファイバースコープを挿通する穴を穿設し、光ファイ
バースコープを前記穴にその先端を探触子の下面と一致
させて埋設した探触子と、該探触子を被検体に対して走
査させるスキャナーと、光ファイバースコープを作動し
て得られる被検体の画像をモニタリングするモニター装
置とを備えた構成にしたから、探触子を被検体上の所望
の位已に当初から正確にしかも容易に位に合わせするこ
とができる実用上顕著な効果を有する。
/1.1M面の簡単な説明
図面はいずれも本発明の詳細な説明図で、第1図は第1
の実施例の要部説明図、第2図は第1の実施例の探査装
はの全体構成説明図、第3図は第1の実施例のモニター
装ぼにおける画像説明図。
の実施例の要部説明図、第2図は第1の実施例の探査装
はの全体構成説明図、第3図は第1の実施例のモニター
装ぼにおける画像説明図。
第4図は第2の実施例の要部説明図、第5図は第2の実
施例の全体構成説明図である。
施例の全体構成説明図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、液に浸漬されている被検体を探査する超音波探査装
置において、振動子の中心およびその前面および背面に
ケース外より光ファイバースコープを挿通する穴を穿設
し、光ファイバースコープを前記穴にその先端を探触子
の下面とほぼ一致させて埋設した探触子と、該探触子を
前記被検体に対して走査させるスキャナーと、光ファイ
バースコープを作動して得られる前記被検体の画像をモ
ニタリングするモニター装置とを備えたことを特徴とす
る超音波探査装置。 2、モニター装置が、前記探触子を作動して得られる被
検体の探査時における出力表示と兼用のモニター装置で
あることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の超音
波探査装置。 3、モニター装置が、光ファイバースコープに接続され
た接眼光学系であることを特徴とする特許請求の範囲第
1項記載の超音波探査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61182704A JPS6340852A (ja) | 1986-08-05 | 1986-08-05 | 超音波探査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61182704A JPS6340852A (ja) | 1986-08-05 | 1986-08-05 | 超音波探査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6340852A true JPS6340852A (ja) | 1988-02-22 |
Family
ID=16122977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61182704A Pending JPS6340852A (ja) | 1986-08-05 | 1986-08-05 | 超音波探査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6340852A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0250349A (ja) * | 1988-08-12 | 1990-02-20 | Canon Electron Inc | 記録または再生装置 |
| JPH0250348A (ja) * | 1988-08-12 | 1990-02-20 | Canon Electron Inc | 記録または再生装置 |
| US5038240A (en) * | 1988-08-31 | 1991-08-06 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Thin apparatus for etched on apparatus body recording medium with wiring pattern |
| US6769473B1 (en) | 1995-05-29 | 2004-08-03 | Ube Industries, Ltd. | Method of shaping semisolid metals |
-
1986
- 1986-08-05 JP JP61182704A patent/JPS6340852A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0250349A (ja) * | 1988-08-12 | 1990-02-20 | Canon Electron Inc | 記録または再生装置 |
| JPH0250348A (ja) * | 1988-08-12 | 1990-02-20 | Canon Electron Inc | 記録または再生装置 |
| US5038240A (en) * | 1988-08-31 | 1991-08-06 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Thin apparatus for etched on apparatus body recording medium with wiring pattern |
| US6769473B1 (en) | 1995-05-29 | 2004-08-03 | Ube Industries, Ltd. | Method of shaping semisolid metals |
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