JPS6342158U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6342158U JPS6342158U JP13638086U JP13638086U JPS6342158U JP S6342158 U JPS6342158 U JP S6342158U JP 13638086 U JP13638086 U JP 13638086U JP 13638086 U JP13638086 U JP 13638086U JP S6342158 U JPS6342158 U JP S6342158U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- deposition material
- gear
- shaft
- support body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
図面はこの考案の１実施例を示し、第１図は線
条蒸着材料の供給装置の正面図、第２図は平面図
、第３図は第２図における―断面図、第４図
は第１図における―断面図、第５図は第２図
における―断面図である。 １…支持本体、２…蓋体、３…支軸、４…送り
出し用ガイド管、５…結合ネジ、６…押圧調整ナ
ツト、７…圧縮コイルバネ、８…駆動歯車、８′
…従動歯車、９，９′…送りローラ、１１…駆動
軸、１３…従動軸、１４…軸端カバー、１６…軸
カバー、１７…Ｖ溝、１８…筋目、１９…進入用
ガイド管、２０…ネジ棒、２１…座グリ状孔、２
２…ナツト。
条蒸着材料の供給装置の正面図、第２図は平面図
、第３図は第２図における―断面図、第４図
は第１図における―断面図、第５図は第２図
における―断面図である。 １…支持本体、２…蓋体、３…支軸、４…送り
出し用ガイド管、５…結合ネジ、６…押圧調整ナ
ツト、７…圧縮コイルバネ、８…駆動歯車、８′
…従動歯車、９，９′…送りローラ、１１…駆動
軸、１３…従動軸、１４…軸端カバー、１６…軸
カバー、１７…Ｖ溝、１８…筋目、１９…進入用
ガイド管、２０…ネジ棒、２１…座グリ状孔、２
２…ナツト。
Claims (1)
- 互いに噛合して回転する駆動歯車及び従動歯車
と、駆動歯車の駆動軸及び従動歯車の従動軸と同
軸上にそれぞれ固着され、かつ互いの円周面を対
向させて配置され、これら円周面間に線条蒸着材
料を圧接挟持しながらその円周面の接線方向へ送
り出す一対の送りローラと、これら一対の送りロ
ーラによつて送られる前記線条蒸着材料の搬送方
向に設けられてその線条蒸着材料を案内するガイ
ド管を備えてなる線条蒸着材料の供給装置におい
て、前記駆動歯車及び送りローラの一方を支持本
体に軸着するとともに、この支持本体を覆蓋する
蓋体を設けて前記従動歯車及び送りローラの他方
をその蓋体に軸着し、さらに前記支持本体に前記
駆動軸と平行に支軸を設け、この支軸を介して前
記蓋体を支持本体に片開き式に係合したことを特
徴とする線条蒸着材料の供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13638086U JPH0538047Y2 (ja) | 1986-09-04 | 1986-09-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13638086U JPH0538047Y2 (ja) | 1986-09-04 | 1986-09-04 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6342158U true JPS6342158U (ja) | 1988-03-19 |
| JPH0538047Y2 JPH0538047Y2 (ja) | 1993-09-27 |
Family
ID=31039436
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13638086U Expired - Lifetime JPH0538047Y2 (ja) | 1986-09-04 | 1986-09-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0538047Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-09-04 JP JP13638086U patent/JPH0538047Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0538047Y2 (ja) | 1993-09-27 |