JPS6343021Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は回転砥石を用いて研削する装置の効果
的な冷却構造に関する。

研削装置は通常数mmないし数100Åの少い切削
量を研削するもので、その材質は脆くて切断する
と欠け易い材料の表面仕上げに適用されることが
多い。

例えば絶縁セラミツクや磁性体などの表面仕上
げにも利用されるが、特に半導体材料であるシリ
コン基板などに良く利用されており、シリコン単
結晶は脆くて破損し易いために比較的厚い基板上
に半導体素子を形成せしめた後、裏面を研削して
薄板とする工程に適用される。第１図はかような
研削装置の機構断面図であり、シリコン基板１を
保持した回転テーブル２に対して１〜2゜の斜角で
回転砥石３が当接して研削がなされ、回転砥石３
は碗形基体４の先端に適当な粒度のダイヤモンド
５をメタルボンドしたものである。研削の際に、
回転砥石３は約4500〜7500rpm程度の高速で回転
して研削するために摩擦熱が発生し、これを冷却
する必要があり、基体４の中心口６より冷却水が
操作中絶えず流入し、研削紛末を流い落すと共に
当接部分７に発生する摩擦熱を冷却させている。

しかし、第１図に示す冷却水の流入構造では、
回転砥石３は斜角で被加工材であるシリコン基板
１に当接するので、流入した冷却水は直接シリコ
ン基板に当つて当接部分７とは反対方向に流入す
る量が多いためか、水量を増やしても所望の冷却
がなされずに表面に加熱による酸化物が形成され
る。

本考案は上記の問題点を除去するために、効率
よく研削の当接部分を冷却することを目的とし
て、碗形回転砥石の凸側上部の中心位置には冷却
水ノズルが、開口側下部端にはダイヤモンド砥石
が設けられ、前記ノズルには流入口より流入した
冷却水を前記碗形回転砥石の上部内表面へ吹き出
す流出口が設けられており、該流出口より流出し
た前記冷却水が前記碗形回転砥石の上部内表面か
ら下部端へ該内表面を伝わつて流下する研削装置
の冷却構造を提案するものである。

以下、詳述すると、第２図は本考案の冷却水ノ
ズル１０を回転砥石３に取り付けた断面構造であ
る。該冷却水ノズル１０は第３図ａに側断面図、
第３図ｂに横断面図を示しているように流入口１
１より入つた冷却水を直角に方向を変えて、横方
向に吹き出す流出口１２をもつたノズルで、これ
を取り付けると、第２図の点線で示す様に冷却水
は碗形基体４の上方に当つて基体の内表面に沿つ
て、回転砥石３の回転に伴つて回わりながら流下
することになり、先端のダイヤモンド５部分に均
等に冷却水が供給され、当接部分７も効率よく冷
却されることになる。なお冷却水ノズル１０はあ
らかじめ回転砥石３と一体構造に設計しておいて
も良いし、後で取付ける構造であつても良い。

その結果、本考案を適用して冷却水ノズルを附
設した研削装置を用いると、被加工材であるシリ
コン基板の研削面の変色もなくなり、又金の蒸着
を行なつた際、接着力も強くなつた。研削装置の
従来の構造では、研削面にSiOxの如きシリコン
酸化物が形成され、弗酸で処理しても除去され
ず、金蒸着するとはがれを生じていたが、本考案
を適用することによつてはがれが生じなくなつ
た。これは研削面の状態が良好となつた効果と言
える。

以上は、半導体材料のシリコン基板裏面を研削
する実施例で説明したが、その他の被加工材の研
削にも応用して、その表面状態を良くすることが
できるのは当然で、本考案により一層すぐれた研
削面が得られて、その品質も向上する効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の研削機構断面図、第２図は本考
案を適用した研削機構断面図、第３図ａとｂはそ
れぞれ冷却水ノズルの側断面図と横断面図であ
る。 図中、１……シリコン基板、２……テーブル、
３……回転砥石、１０……冷却水ノズルを示す。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 テーブル上に保持せる被加工材に回転ダイヤモ
   ンド砥石を当接させて研削する研削装置におい
   て、 碗形回転砥石の凸側上部の中心位置には冷却水
   ノズルが、開口側下部端にはダイヤモンド砥石が
   設けられ、 前記ノズルには流入口より流入した冷却水を前
   記碗形回転砥石の上部内表面へ吹き出す流出口が
   設けられており、 該流出口より流出した前記冷却水が前記碗形回
   転砥石の上部内表面から下部端へ該内表面を伝わ
   つて流下することを特徴とした研削装置の冷却構
   造。