JPS6343435U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6343435U JPS6343435U JP13574486U JP13574486U JPS6343435U JP S6343435 U JPS6343435 U JP S6343435U JP 13574486 U JP13574486 U JP 13574486U JP 13574486 U JP13574486 U JP 13574486U JP S6343435 U JPS6343435 U JP S6343435U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe card
- contact needle
- contact
- semiconductor chip
- pieces
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
第１図及び第２図は本考案の第１及び第２の実
施例の平面図、第３図は従来のプローブカードの
一例を示す平面図である。 １ａ，１ｂ，６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，２１…
…プローブカード本体、２，７，２２……半導体
基板、３，８，２３……接触針、４，９，２４…
…パツド、５，１０，２５……半導体チツプ、１
１……増設針、２６……穴。
施例の平面図、第３図は従来のプローブカードの
一例を示す平面図である。 １ａ，１ｂ，６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，２１…
…プローブカード本体、２，７，２２……半導体
基板、３，８，２３……接触針、４，９，２４…
…パツド、５，１０，２５……半導体チツプ、１
１……増設針、２６……穴。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 半導体チツプ上に一定間隔で形成されたパ
ツドに対応する位置に接触針を有するプローブカ
ード本体からなるプローブカードにおいて、前記
プローブカード本体が少なくとも二個に分割され
てなることを特徴とするプローブカード。 (2) 前記プローブカード本体が前記接触針に加
えて設置された増設接触針を有することを特徴と
する実用新案登録請求の範囲第(1)項記載のプロ
ーブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13574486U JPS6343435U (ja) | 1986-09-03 | 1986-09-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13574486U JPS6343435U (ja) | 1986-09-03 | 1986-09-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6343435U true JPS6343435U (ja) | 1988-03-23 |
Family
ID=31038225
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13574486U Pending JPS6343435U (ja) | 1986-09-03 | 1986-09-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6343435U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01143983A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-06 | Teru Kyushu Kk | プローブ装置 |
-
1986
- 1986-09-03 JP JP13574486U patent/JPS6343435U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01143983A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-06 | Teru Kyushu Kk | プローブ装置 |