JPS6347036A - 物品の移載装置 - Google Patents
物品の移載装置Info
- Publication number
- JPS6347036A JPS6347036A JP61191256A JP19125686A JPS6347036A JP S6347036 A JPS6347036 A JP S6347036A JP 61191256 A JP61191256 A JP 61191256A JP 19125686 A JP19125686 A JP 19125686A JP S6347036 A JPS6347036 A JP S6347036A
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- plate
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
この発明は搬送機構によって搬送されてきた物品を移載
するための移載装置に関する。
するための移載装置に関する。
（従来の技術）
たとえば半導体の製造工程においては、インゴットから
ウェハをスライスしたなら、このウェハをキャリアボッ
クスに収納して次の工程へ搬送するようにしている。そ
の際、ウェハが収納さンまたキャリアボックスを搬送機
構から移載装置に移載し、この移載装置から次の工程へ
搬送するということが行われている。つまり、上記移載
装置は各工程間における作業時間の違いを調節司るなと
の役割も備えている。
ウェハをスライスしたなら、このウェハをキャリアボッ
クスに収納して次の工程へ搬送するようにしている。そ
の際、ウェハが収納さンまたキャリアボックスを搬送機
構から移載装置に移載し、この移載装置から次の工程へ
搬送するということが行われている。つまり、上記移載
装置は各工程間における作業時間の違いを調節司るなと
の役割も備えている。
従来、このような移載装置としては搬送区構によって搬
送されてきたキャリアボックス（物品）を作業者が手で
受取り、移載装置の本体に固定し。
送されてきたキャリアボックス（物品）を作業者が手で
受取り、移載装置の本体に固定し。
て設けられた棚に移載するということが行われていた。
そのため、搬送機構によって搬送されてきたキャリアボ
ックスを移載装置の棚に移載するのに多大な手間が掛か
るばかりか、固定的に設けられた棚から上記キャリアボ
ックスを取出して次の工程へ渡すのも作業性が悪く、手
間が掛かるということがあった。
ックスを移載装置の棚に移載するのに多大な手間が掛か
るばかりか、固定的に設けられた棚から上記キャリアボ
ックスを取出して次の工程へ渡すのも作業性が悪く、手
間が掛かるということがあった。
（発明が解決しようとする問題点）
この発明は上記事情にもとずきなされたもので、その目
的とするところは、搬送機構によって搬送されてきた物
品を自動的に移載することができ、しかも移載された物
品の取出も容易に行なうことができるようにした物品の
移載装置を提供することを目的とする。
的とするところは、搬送機構によって搬送されてきた物
品を自動的に移載することができ、しかも移載された物
品の取出も容易に行なうことができるようにした物品の
移載装置を提供することを目的とする。
「発明の構成コ
（問題点を解決するための手段及び作用）この発明は、
装置本体と、この装置本体に上下方向と水平方向とに駆
動される状態で設けられ上昇することによって搬送機構
により搬送されてきた物品を受取る受渡し体と、上記装
置本体に前後方向にスライド自在かつ上下方向に多段に
設けられ物品を受取った上記受渡し体が下降したのち前
進することによってこの受渡し体が保持した物品が受渡
される複数のスライド体と、これらスライド体を水平方
向の所定の位置に磁気力によってスライド不能に保持す
る保持手段とを具備する。
装置本体と、この装置本体に上下方向と水平方向とに駆
動される状態で設けられ上昇することによって搬送機構
により搬送されてきた物品を受取る受渡し体と、上記装
置本体に前後方向にスライド自在かつ上下方向に多段に
設けられ物品を受取った上記受渡し体が下降したのち前
進することによってこの受渡し体が保持した物品が受渡
される複数のスライド体と、これらスライド体を水平方
向の所定の位置に磁気力によってスライド不能に保持す
る保持手段とを具備する。
そして、上記搬送機構からスライド体への物品の受渡し
を受渡し体によって自動で行ない、またスライド体がス
ライド自在なことによって、ここからの物品の取出を容
易に行なえるようにした。
を受渡し体によって自動で行ない、またスライド体がス
ライド自在なことによって、ここからの物品の取出を容
易に行なえるようにした。
（実施例）
以下、この発明の一実施例を図面を参照して説明する。
第１図に示す移載装置は装置本体１を備えている。この
装置本体１は角パイプを直方体状に組んだ枠部２と、こ
の枠部２の背面側に高さ方向全長にわたって設けられた
ダクト状のカバー３とから構成されている。このカバー
３内には第１のモータ４によって回転駆動されるねじ軸
５が上下方向に沿って設けられている。このねじ軸５に
はこれが回転駆動されることによって上下方向に駆動さ
れる受渡し体６が連結されている。この受渡し体６は第
２図に示すように基部７を有する。
装置本体１は角パイプを直方体状に組んだ枠部２と、こ
の枠部２の背面側に高さ方向全長にわたって設けられた
ダクト状のカバー３とから構成されている。このカバー
３内には第１のモータ４によって回転駆動されるねじ軸
５が上下方向に沿って設けられている。このねじ軸５に
はこれが回転駆動されることによって上下方向に駆動さ
れる受渡し体６が連結されている。この受渡し体６は第
２図に示すように基部７を有する。
この基部７にはガイド溝８が設けられ、このガイドＭ８
には第１の可動体９がスライド自在に設けられている。
には第１の可動体９がスライド自在に設けられている。
この第１の可動体９には第２の可動体１１がスライド自
在に設けられ、この第２の可動体１１には載置板１２が
取付けられている。この載置板１２には一対の透孔１３
が穿設されているとともに、各透孔１３の周辺部にはそ
れぞれ４つずつの係止片１４が設けられている。また、
上記基部７には第２のモータ１５が設けられ、この第２
のモータ１５によって上記第１の可動体９と第２の可動
体１１とが第２図に示すように上記基部７から突出する
方向に駆動されるようになっている。
在に設けられ、この第２の可動体１１には載置板１２が
取付けられている。この載置板１２には一対の透孔１３
が穿設されているとともに、各透孔１３の周辺部にはそ
れぞれ４つずつの係止片１４が設けられている。また、
上記基部７には第２のモータ１５が設けられ、この第２
のモータ１５によって上記第１の可動体９と第２の可動
体１１とが第２図に示すように上記基部７から突出する
方向に駆動されるようになっている。
また、装置本体１の前方部分には上記受渡し休６と対向
して棚１６が設けられている。この棚１６は横に２列で
、縦に３段に形成されていて、各段にはそれぞれ横２列
にわたるスライド体１７がスライド自在に設けられてい
る。このスライド体１７は第４図に示すように端板１８
と、この端板１８の幅方向両端に前端を固着した一対の
側板１９と、上記端板１８の幅方向中央部分に前端を固
着した中間板２１とから構成されている。上記側板１９
および中間板２１の上端にはそれぞれ一ての一対のキャ
リアボックス２３が保持されるようになっている。上記
側板１つの外面には第１のレール部材２４が設けられて
いる。この第１のレール部材２４には断面口字状の一対
の部材を接合させてなるスライダ２５がその一方の部ｔ
Ｊ ２５ ａをスライド自在に挿入して設けられている
。このスライダ２５の他方の部材２５ｂは上記棚１６の
奥行き方向に沿って設けられた第２のレール部材２６に
スライド自在に設けられている。したがって、上記スラ
イド体１７はスライダ２５によって装置本体１の前後方
向に沿い水平にスライドさせることができるようになっ
ている。上記第１のレール部材２４の後端部とスライダ
２５の他方の部材２５ｂの後端部にはそれぞれ磁石２７
が固着されている。また、スライダ２５の一方の部材２
５ａの前後端部と第１のレール部材２４の前後端部には
それぞれ磁性板２８が段番プられている。
して棚１６が設けられている。この棚１６は横に２列で
、縦に３段に形成されていて、各段にはそれぞれ横２列
にわたるスライド体１７がスライド自在に設けられてい
る。このスライド体１７は第４図に示すように端板１８
と、この端板１８の幅方向両端に前端を固着した一対の
側板１９と、上記端板１８の幅方向中央部分に前端を固
着した中間板２１とから構成されている。上記側板１９
および中間板２１の上端にはそれぞれ一ての一対のキャ
リアボックス２３が保持されるようになっている。上記
側板１つの外面には第１のレール部材２４が設けられて
いる。この第１のレール部材２４には断面口字状の一対
の部材を接合させてなるスライダ２５がその一方の部ｔ
Ｊ ２５ ａをスライド自在に挿入して設けられている
。このスライダ２５の他方の部材２５ｂは上記棚１６の
奥行き方向に沿って設けられた第２のレール部材２６に
スライド自在に設けられている。したがって、上記スラ
イド体１７はスライダ２５によって装置本体１の前後方
向に沿い水平にスライドさせることができるようになっ
ている。上記第１のレール部材２４の後端部とスライダ
２５の他方の部材２５ｂの後端部にはそれぞれ磁石２７
が固着されている。また、スライダ２５の一方の部材２
５ａの前後端部と第１のレール部材２４の前後端部には
それぞれ磁性板２８が段番プられている。
したがって、スライド体１７を装置本体１の前面から突
出する方向にスライドさせると、スライダ２５の一方の
部材２５ａの前端に設けられた磁性板２８に第１のレー
ル部材２４に設けられた磁石２７が磁気的に結合される
とともに、上記スライダ２５の他方の部材２５ｂの後端
に設けられた磁石２７が第２のレール部材２６の前端に
段けられた磁性板２８に磁気的に結合して上記スライド
体１７の前進位置が位置決めされる。また、スライド体
１７を後退させれば、スライダ２５の他方の部材２５ｂ
の磁石２７が第２のレール部材２６の後端の磁性板２８
に磁気的に結合し、第１のレーール部材２４の磁石２７
がスライダ２５の一方の部材２５ａの後端の磁性板２８
に磁気的に結合してスライド体１７が後退位置で位置決
め保持される。
出する方向にスライドさせると、スライダ２５の一方の
部材２５ａの前端に設けられた磁性板２８に第１のレー
ル部材２４に設けられた磁石２７が磁気的に結合される
とともに、上記スライダ２５の他方の部材２５ｂの後端
に設けられた磁石２７が第２のレール部材２６の前端に
段けられた磁性板２８に磁気的に結合して上記スライド
体１７の前進位置が位置決めされる。また、スライド体
１７を後退させれば、スライダ２５の他方の部材２５ｂ
の磁石２７が第２のレール部材２６の後端の磁性板２８
に磁気的に結合し、第１のレーール部材２４の磁石２７
がスライダ２５の一方の部材２５ａの後端の磁性板２８
に磁気的に結合してスライド体１７が後退位置で位置決
め保持される。
すなわち、スライド体１７は前進位置と後退位置とで磁
気力によってスライド不能に保持される。
気力によってスライド不能に保持される。
一方、上記装置本体１の上方には搬送機構３１が配設さ
れている。この搬送機構３１は上記装置本体１の幅方向
に沿って設けられたＭ道３２を有する。この軌道３２に
は搬送体３３がたとえば磁気浮上方式などによって移動
自在に設けられている。上記装置本体１の上方にはステ
ーション３４が設けられ、このステーション３４におい
て上記搬送体３３は第１図に矢印で示す上記軌道３２か
ら外れる方向に移動できるようになっている。なお、上
記搬送体３３は板体３５と、この板体３５の下面に設け
られた一対の爪３６からなる２組の吊持部３７とから構
成されていて、各吊持部３７にはそれぞれキャリアボッ
クス２３が上記型３６によって係合保持されて搬送され
てくる。
れている。この搬送機構３１は上記装置本体１の幅方向
に沿って設けられたＭ道３２を有する。この軌道３２に
は搬送体３３がたとえば磁気浮上方式などによって移動
自在に設けられている。上記装置本体１の上方にはステ
ーション３４が設けられ、このステーション３４におい
て上記搬送体３３は第１図に矢印で示す上記軌道３２か
ら外れる方向に移動できるようになっている。なお、上
記搬送体３３は板体３５と、この板体３５の下面に設け
られた一対の爪３６からなる２組の吊持部３７とから構
成されていて、各吊持部３７にはそれぞれキャリアボッ
クス２３が上記型３６によって係合保持されて搬送され
てくる。
つぎに上記構造の移載装置の作動について説明する。ま
ず、搬送機構３１の搬送体３３がステーション３４に到
達すると、第１のモータ４が作動して受渡し体６がねじ
軸５によって上昇方向に駆動される。そして、受渡し体
６の載置板１２が装置本体１の上端面よりもわずかに上
方へ上昇すると、この載置板１２の上面に上記搬送体３
３に保持された一対のキャリアボックス２３が押し上げ
られ、これらと爪３６との係合が外れる。すると、搬送
体３３がその軌道３２と直交する矢示方向にスライドす
るとともに、受渡し体６がその載置板１２上にキャリア
ボックス２３が載置された状態で所定位置まで下降する
。つまり、受渡し体６はキャリアボックス２３が保持さ
れていないスライド体１７と対応する位置まで下降する
。ついで、第２のモーター５が作動して上記受渡し体６
の載置板１２が第１図に実線で示す位置から鎖線で示す
ように前進方向に駆動されたのち、わずかに下降方向に
駆動される。すると、上記載置板１２に載置された一対
のキャリアボックス２３の周辺部て が第４図に示すように後退位置に位置決めされＩ上記ス
ライド体１７の側板１つと中間板２１との上端に設けら
れた受は部材２２に係合する。したがって、上記キャリ
アボックス２３は上記受渡し体６からスライド体１７に
受は渡されることになる。 ・ スライド体１７に受（プ渡されたキャリアボックス２３
は、このスライド体１７を前方へ引出すことによってこ
こから取出すことができる。上記スライド体１７は後退
位置と前進位置とでそれぞれ磁石２７と磁性板２８との
磁気結合によってスライド不能に位置決めされている。
ず、搬送機構３１の搬送体３３がステーション３４に到
達すると、第１のモータ４が作動して受渡し体６がねじ
軸５によって上昇方向に駆動される。そして、受渡し体
６の載置板１２が装置本体１の上端面よりもわずかに上
方へ上昇すると、この載置板１２の上面に上記搬送体３
３に保持された一対のキャリアボックス２３が押し上げ
られ、これらと爪３６との係合が外れる。すると、搬送
体３３がその軌道３２と直交する矢示方向にスライドす
るとともに、受渡し体６がその載置板１２上にキャリア
ボックス２３が載置された状態で所定位置まで下降する
。つまり、受渡し体６はキャリアボックス２３が保持さ
れていないスライド体１７と対応する位置まで下降する
。ついで、第２のモーター５が作動して上記受渡し体６
の載置板１２が第１図に実線で示す位置から鎖線で示す
ように前進方向に駆動されたのち、わずかに下降方向に
駆動される。すると、上記載置板１２に載置された一対
のキャリアボックス２３の周辺部て が第４図に示すように後退位置に位置決めされＩ上記ス
ライド体１７の側板１つと中間板２１との上端に設けら
れた受は部材２２に係合する。したがって、上記キャリ
アボックス２３は上記受渡し体６からスライド体１７に
受は渡されることになる。 ・ スライド体１７に受（プ渡されたキャリアボックス２３
は、このスライド体１７を前方へ引出すことによってこ
こから取出すことができる。上記スライド体１７は後退
位置と前進位置とでそれぞれ磁石２７と磁性板２８との
磁気結合によってスライド不能に位置決めされている。
したがって、スライト体１７が後退位置で位置決めされ
ていることによって受渡し体６からスライド体１７への
キャリアボックス２３の受渡しを確実に行なえ、また前
進位置で位置決めされていることにより、たどえば無人
搬送車に設けられたロボットなどによって上記スライド
体１７からのキャリアボックス２３の取出しを確実に行
なえる。
ていることによって受渡し体６からスライド体１７への
キャリアボックス２３の受渡しを確実に行なえ、また前
進位置で位置決めされていることにより、たどえば無人
搬送車に設けられたロボットなどによって上記スライド
体１７からのキャリアボックス２３の取出しを確実に行
なえる。
なお、この発明は上記−実流例に限定されず、たとえば
スライド体のスライド構造は棚に設（ブられたレール部
材に上記スライド体の両側外面に設けた部材を直接スラ
イド自在に係合させるようにしてもよい。この場合、レ
ール部材とスライド体のどちらか一方に磁石、他方に磁
性板を設けるようにすればよい。
スライド体のスライド構造は棚に設（ブられたレール部
材に上記スライド体の両側外面に設けた部材を直接スラ
イド自在に係合させるようにしてもよい。この場合、レ
ール部材とスライド体のどちらか一方に磁石、他方に磁
性板を設けるようにすればよい。
［発明の効果］
以上述べたようにこの発明は、搬送機構により搬送され
てきた物品を受渡し体によって受取り、その物品を上記
装置本体に水平方向にスライド自在かつ上下方向に多段
に設けられた複数のスライド体に受渡すとともに、これ
らスライド体を水平方向の所定の位置で磁気力によって
スライド不能に保持できるようにした。したがって、従
来人手に頼っていた受渡し作業を自動で行なうことがで
きるばかりか、上下方向に多段に設けられたスライド体
によってスペースを効率よく利用して物品を収納してお
くことができる。また、スライド体は前進位置と後退位
置とでそれぞれ磁気力によってスライド不能に位置決め
保持することができるから、各位置においてスライド体
への物品の移載あるいはスライド体からの物品の取出を
それぞれ確実に行なうことができる。
てきた物品を受渡し体によって受取り、その物品を上記
装置本体に水平方向にスライド自在かつ上下方向に多段
に設けられた複数のスライド体に受渡すとともに、これ
らスライド体を水平方向の所定の位置で磁気力によって
スライド不能に保持できるようにした。したがって、従
来人手に頼っていた受渡し作業を自動で行なうことがで
きるばかりか、上下方向に多段に設けられたスライド体
によってスペースを効率よく利用して物品を収納してお
くことができる。また、スライド体は前進位置と後退位
置とでそれぞれ磁気力によってスライド不能に位置決め
保持することができるから、各位置においてスライド体
への物品の移載あるいはスライド体からの物品の取出を
それぞれ確実に行なうことができる。
図面はこの発明の一実施例を示し、第１図は全体の概略
的構成の斜視図、第２図は受渡し体の載置板が前進した
状態の斜視図、第３図は同じく後退した状態の斜視図、
Ｍ４図は棚に設けられたスライド体の斜視図、第５図は
このスライド体を磁気力で保持する手段を示す断面図で
ある。 １・・・装置本体、６・・・受渡し体、１７・・・スラ
イド体、２３・・・キャリアボックス、２７・・・磁石
、２８・・・磁性板、３１搬送機構。
的構成の斜視図、第２図は受渡し体の載置板が前進した
状態の斜視図、第３図は同じく後退した状態の斜視図、
Ｍ４図は棚に設けられたスライド体の斜視図、第５図は
このスライド体を磁気力で保持する手段を示す断面図で
ある。 １・・・装置本体、６・・・受渡し体、１７・・・スラ
イド体、２３・・・キャリアボックス、２７・・・磁石
、２８・・・磁性板、３１搬送機構。
Claims (1)
- 装置本体と、この装置本体に上下方向と水平方向とに駆
動される状態で設けられ上昇することによって搬送機構
により搬送されてきた物品を受取る受渡し体と、上記装
置本体に水平方向にスライド自在かつ上下方向に多段に
設けられ物品を受取つた上記受渡し体が下降したのち前
進することによつてこの受渡し体が保持した物品が受渡
される複数のスライド体と、これらスライド体を水平方
向の所定の位置に磁気力によつてスライド不能に保持す
る保持手段とを具備したことを特徴とする物品の移載装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61191256A JPS6347036A (ja) | 1986-08-15 | 1986-08-15 | 物品の移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61191256A JPS6347036A (ja) | 1986-08-15 | 1986-08-15 | 物品の移載装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6347036A true JPS6347036A (ja) | 1988-02-27 |
Family
ID=16271511
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61191256A Pending JPS6347036A (ja) | 1986-08-15 | 1986-08-15 | 物品の移載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6347036A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111071680A (zh) * | 2019-12-27 | 2020-04-28 | 席宏榕 | 一种物流运输用物件运输装置 |
| JPWO2020090517A1 (ja) * | 2018-10-31 | 2021-09-16 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 収納装置および基板加工装置 |
| JPWO2020090518A1 (ja) * | 2018-10-31 | 2021-09-16 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 基板供給システムおよび基板加工装置 |
-
1986
- 1986-08-15 JP JP61191256A patent/JPS6347036A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2020090517A1 (ja) * | 2018-10-31 | 2021-09-16 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 収納装置および基板加工装置 |
| JPWO2020090518A1 (ja) * | 2018-10-31 | 2021-09-16 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 基板供給システムおよび基板加工装置 |
| CN111071680A (zh) * | 2019-12-27 | 2020-04-28 | 席宏榕 | 一种物流运输用物件运输装置 |
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