JPS6349060U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6349060U JPS6349060U JP14342986U JP14342986U JPS6349060U JP S6349060 U JPS6349060 U JP S6349060U JP 14342986 U JP14342986 U JP 14342986U JP 14342986 U JP14342986 U JP 14342986U JP S6349060 U JPS6349060 U JP S6349060U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow path
- valve
- valve body
- shutoff valves
- passage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の真空遮断弁装置の断面図、第
２図は第１図の―矢視図、第３図は第１図の
―矢視図、第４図は本考案の真空遮断弁装置
の使用状態説明図、第５図は原料供給装置の一例
を示す斜視図、第６図は同上切断側面図、第７図
は第６図の―矢視図、第８図は第６図の―
矢視図、第９図は押上げブロツクの説明図、第
１０図は押上げブロツクの連結状態を示す説明図
である。 ２は流路、３は弁箱、４は弁体、５は通路、６
は弁座、７ａは上部遮断弁、７ｂは下部遮断弁、
８はボルト、９はシリンダを示す。
２図は第１図の―矢視図、第３図は第１図の
―矢視図、第４図は本考案の真空遮断弁装置
の使用状態説明図、第５図は原料供給装置の一例
を示す斜視図、第６図は同上切断側面図、第７図
は第６図の―矢視図、第８図は第６図の―
矢視図、第９図は押上げブロツクの説明図、第
１０図は押上げブロツクの連結状態を示す説明図
である。 ２は流路、３は弁箱、４は弁体、５は通路、６
は弁座、７ａは上部遮断弁、７ｂは下部遮断弁、
８はボルト、９はシリンダを示す。
Claims (1)
- 直線状の流路を有する弁箱内に、シリンダの作
動によつて移動するようにした弁体を上記流路と
直交するよう配設すると共に、該弁体に、上記流
路と連通し得る通路と上記流路の周縁に接して流
路を遮断し得る弁座とを設けることにより構成し
た２つの遮断弁を備え、且つ該両遮断弁を、上記
弁体の移動方向が直角になるよう着脱可能に連結
して成ることを特徴とする真空遮断弁装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14342986U JPS6349060U (ja) | 1986-09-18 | 1986-09-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14342986U JPS6349060U (ja) | 1986-09-18 | 1986-09-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6349060U true JPS6349060U (ja) | 1988-04-02 |
Family
ID=31053106
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14342986U Pending JPS6349060U (ja) | 1986-09-18 | 1986-09-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6349060U (ja) |
-
1986
- 1986-09-18 JP JP14342986U patent/JPS6349060U/ja active Pending