JPS6349083B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6349083B2 JPS6349083B2 JP57222028A JP22202882A JPS6349083B2 JP S6349083 B2 JPS6349083 B2 JP S6349083B2 JP 57222028 A JP57222028 A JP 57222028A JP 22202882 A JP22202882 A JP 22202882A JP S6349083 B2 JPS6349083 B2 JP S6349083B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spool
- bobbin
- small
- force motor
- yoke
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 15
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 14
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
- F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
- F15B13/04—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with a single servomotor
- F15B13/0401—Valve members; Fluid interconnections therefor
- F15B13/0402—Valve members; Fluid interconnections therefor for linearly sliding valves, e.g. spool valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
- F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
- F15B13/04—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with a single servomotor
- F15B13/044—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with a single servomotor operated by electrically-controlled means, e.g. solenoids, torque-motors
- F15B13/0446—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with a single servomotor operated by electrically-controlled means, e.g. solenoids, torque-motors with moving coil, e.g. voice coil
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/86493—Multi-way valve unit
- Y10T137/86574—Supply and exhaust
- Y10T137/86622—Motor-operated
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Servomotors (AREA)
- Magnetically Actuated Valves (AREA)
- Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は振動試験機や圧延機などの油圧駆動系
に使用される直動型サーボ弁に関するものであ
る。
に使用される直動型サーボ弁に関するものであ
る。
従来のこの種の直動型サーボ弁は、特開昭55−
10198号などで示す如くヨーク、永久磁石および
ボビンからなるフオースモータにより、ボデイ内
に軸方向に移動自在に設けたスプールを直接に駆
動する構成されており、このサーボ弁は他のサー
ボ弁に比較して、可動部を軽量化できることによ
り応答性に優れているという特徴があり、振動台
や圧延機などの油圧駆動系に採用されている。
10198号などで示す如くヨーク、永久磁石および
ボビンからなるフオースモータにより、ボデイ内
に軸方向に移動自在に設けたスプールを直接に駆
動する構成されており、このサーボ弁は他のサー
ボ弁に比較して、可動部を軽量化できることによ
り応答性に優れているという特徴があり、振動台
や圧延機などの油圧駆動系に採用されている。
上述のようなサーボ弁では、スプールの位置決
めに機械的手段として例えばばねを、また、電気
的手段として例えば差動変圧器のセンサを使用し
ているが、前者のばねを用いたものは応答性（約
600Hz）が悪く、また後者のセンサを用いたもの
でも超高度の応答性（約1KHz以上）をうること
が困難であつた。
めに機械的手段として例えばばねを、また、電気
的手段として例えば差動変圧器のセンサを使用し
ているが、前者のばねを用いたものは応答性（約
600Hz）が悪く、また後者のセンサを用いたもの
でも超高度の応答性（約1KHz以上）をうること
が困難であつた。
本発明の目的は、超高度の応答性を有する直動
型サーボ弁を提供することにある。
型サーボ弁を提供することにある。
上記目的は、フオースモータによりスプールを
直接に駆動し、前記スプールのフオースモータ側
および反フオースモータ側の各端部にスプールの
速度検出器および変位検出器を設けてなる直動型
サーボ弁において、前記スプール速度検出器は、
フオースモータのボビンの内側に設けた小ヨーク
および小磁石と、この小ヨークと小磁石との間に
介設され、かつ前記フオースモータのボビンと一
体に結合された小ボビンとから構成することによ
り達成される。
直接に駆動し、前記スプールのフオースモータ側
および反フオースモータ側の各端部にスプールの
速度検出器および変位検出器を設けてなる直動型
サーボ弁において、前記スプール速度検出器は、
フオースモータのボビンの内側に設けた小ヨーク
および小磁石と、この小ヨークと小磁石との間に
介設され、かつ前記フオースモータのボビンと一
体に結合された小ボビンとから構成することによ
り達成される。
サーボ弁のスプール速度は、小ヨーク、小磁石
および小ボビンからなる速度検出器により検出す
る。このため、高周波数においてもリアクタンス
効果が発生せず、小ボビンに比例したＳ／Ｎ比の
良好な出力電圧が得られる。
および小ボビンからなる速度検出器により検出す
る。このため、高周波数においてもリアクタンス
効果が発生せず、小ボビンに比例したＳ／Ｎ比の
良好な出力電圧が得られる。
第１図は本発明の直動型サーボ弁の一実施例を
示すものである。
示すものである。
第１図において、Ａはフオースモータで、この
フオースモータＡは大ヨーク１および大ヨーク１
内に取付けられた大永久磁石２と、大ヨーク１内
に軸方向に対して移動可能に挿入された円筒状の
大ボビン３とからなり、この大ボビン３は後述す
るボデイ６に取付けられた板ばね５により支持さ
れている。また、大ボビン３の円筒部の外周面に
はコイル４が巻回されており、このコイル４に外
部から指令電流を通電することにより、大ボビン
３は板ばね５を介して軸方向に移動される。
フオースモータＡは大ヨーク１および大ヨーク１
内に取付けられた大永久磁石２と、大ヨーク１内
に軸方向に対して移動可能に挿入された円筒状の
大ボビン３とからなり、この大ボビン３は後述す
るボデイ６に取付けられた板ばね５により支持さ
れている。また、大ボビン３の円筒部の外周面に
はコイル４が巻回されており、このコイル４に外
部から指令電流を通電することにより、大ボビン
３は板ばね５を介して軸方向に移動される。
Ｂは油圧部で、この油圧部Ｂは前記大ヨーク１
と一体的に結合されたボデイ６と、このボデイ６
の内周面に装着されたスリーブ７と、このスリー
ブ７内に軸方向に摺動自在に収納されたスプール
８とから成り、このスプール８の一端（図では右
端）は板ばね５に固着され、その他端には一対の
磁石９ａ，９ｂが相対向するように取付けられて
いる。前記両磁石９ａ，９ｂと、この両磁石９
ａ，９ｂ間に介設された応答性の良好な磁気抵抗
素子片９ｃとによりスプール変位検出器９が設け
られている。前記ばね５はスプール８の回転を防
止すると共に初期状態における中立位置を保持す
る機能を有するもので、スプール８の移動時に悪
影響をおよぼさない程度のばね係数のものを使用
する。また、前記ボデイ６およびスリーブ７に
は、油室１５とアクチユエータ（図示せず）とを
連通する制御ポート１４ａ，１４ｂ、圧油供給ポ
ート１６ａおよび圧油排出ポート１６ａ，１６ｃ
が設けられている。
と一体的に結合されたボデイ６と、このボデイ６
の内周面に装着されたスリーブ７と、このスリー
ブ７内に軸方向に摺動自在に収納されたスプール
８とから成り、このスプール８の一端（図では右
端）は板ばね５に固着され、その他端には一対の
磁石９ａ，９ｂが相対向するように取付けられて
いる。前記両磁石９ａ，９ｂと、この両磁石９
ａ，９ｂ間に介設された応答性の良好な磁気抵抗
素子片９ｃとによりスプール変位検出器９が設け
られている。前記ばね５はスプール８の回転を防
止すると共に初期状態における中立位置を保持す
る機能を有するもので、スプール８の移動時に悪
影響をおよぼさない程度のばね係数のものを使用
する。また、前記ボデイ６およびスリーブ７に
は、油室１５とアクチユエータ（図示せず）とを
連通する制御ポート１４ａ，１４ｂ、圧油供給ポ
ート１６ａおよび圧油排出ポート１６ａ，１６ｃ
が設けられている。
前記フオースモータＡの大ボビン３内には、ス
プール速度検出器１１が設けられている。このス
プール速度検出器１１は小ヨーク１１ａと、この
小ヨーク１１ａの内側に取付けられた小永久磁石
１１ｂと、これらの小ヨーク１１ａと、小永久磁
石１１ｂとの間に挿入された大ボビン１１ｃとか
らなり、この小ポビン１１ｃは、その円筒部にコ
イル１１ｄが巻回され、かつフオースモータＡの
ボビン３の中央部内側に一体的に結合されてい
る。また、上記大ボビン３の内側中央部にはコイ
ルばね１３の一端が固着され、このコイルばね１
３の他端は前記ヨーク１，１１ａおよび永久磁石
２，１１ｂにねじ込まれたスプール８の中立点調
節部材１２内に固着されている。したがつて中立
点調節部材１２を軸方向に移動させてコイルばね
１３のばね力を調節すれば、スプール８をフオー
スモータＡの大ボビン３を介して軸方向に移動さ
せることにより中立位置にセツトすることができ
る。
プール速度検出器１１が設けられている。このス
プール速度検出器１１は小ヨーク１１ａと、この
小ヨーク１１ａの内側に取付けられた小永久磁石
１１ｂと、これらの小ヨーク１１ａと、小永久磁
石１１ｂとの間に挿入された大ボビン１１ｃとか
らなり、この小ポビン１１ｃは、その円筒部にコ
イル１１ｄが巻回され、かつフオースモータＡの
ボビン３の中央部内側に一体的に結合されてい
る。また、上記大ボビン３の内側中央部にはコイ
ルばね１３の一端が固着され、このコイルばね１
３の他端は前記ヨーク１，１１ａおよび永久磁石
２，１１ｂにねじ込まれたスプール８の中立点調
節部材１２内に固着されている。したがつて中立
点調節部材１２を軸方向に移動させてコイルばね
１３のばね力を調節すれば、スプール８をフオー
スモータＡの大ボビン３を介して軸方向に移動さ
せることにより中立位置にセツトすることができ
る。
前記フオースモータＡを極めて高い周波数1K
Hz以上で駆動としようとする場合には、スプール
８を直径は２〜5φの小径に形成してストローク
を大きくするのがよく、スリーブ７の外周も５〜
15φの小径に形成されている。
Hz以上で駆動としようとする場合には、スプール
８を直径は２〜5φの小径に形成してストローク
を大きくするのがよく、スリーブ７の外周も５〜
15φの小径に形成されている。
次に上記のような構成からなる本実施例の動作
について説明する。
について説明する。
先ず、フオースモータＡの駆動に先だつてスプ
ール８の中立位置にセツトする。この中立位置の
セツトは、中立点調節部材１２を回転させながら
コイルばね１３のばね力を調節すれば、スプール
８は大ボビン３を介して軸方向に移動し、スリー
ブ７の各ポートとスプール８のランドが一致した
位置で中立点調節部材１２の回転を停止させる。
この状態をスプール８の中立位置と称する。ま
た、この状態で変位検出器９の中立位置を電気的
に調節する。
ール８の中立位置にセツトする。この中立位置の
セツトは、中立点調節部材１２を回転させながら
コイルばね１３のばね力を調節すれば、スプール
８は大ボビン３を介して軸方向に移動し、スリー
ブ７の各ポートとスプール８のランドが一致した
位置で中立点調節部材１２の回転を停止させる。
この状態をスプール８の中立位置と称する。ま
た、この状態で変位検出器９の中立位置を電気的
に調節する。
次にフオースモータＡの大ボビン３に巻回した
コイル４に指令電流を供給すると、大ヨーク１と
大永久磁石２との間には磁気回路が形成されてい
るため、大ボビン３はフレミングの法則により軸
方向の力を発生する。この大ボビン３に発生する
力によりスプール８はばね５を介してスリーブ７
内を軸方向に移動するので、制御ポート１４ａお
よび１４ｂは交互に切換えられ、アクチユエータ
に圧油を供給するからアクチユエータは駆動され
る。前記アクチユエータに供給される圧油量は、
スプール８のランドとスリーブ７のポート間に形
成される開口量によつて決定される。
コイル４に指令電流を供給すると、大ヨーク１と
大永久磁石２との間には磁気回路が形成されてい
るため、大ボビン３はフレミングの法則により軸
方向の力を発生する。この大ボビン３に発生する
力によりスプール８はばね５を介してスリーブ７
内を軸方向に移動するので、制御ポート１４ａお
よび１４ｂは交互に切換えられ、アクチユエータ
に圧油を供給するからアクチユエータは駆動され
る。前記アクチユエータに供給される圧油量は、
スプール８のランドとスリーブ７のポート間に形
成される開口量によつて決定される。
また、スプール８が左方向に移動すると、圧油
は圧油供給ポート１６ａ、油室１５および制御ポ
ート１４ｂを経てアクチユエータに供給される。
このとき、スプール８の速度はフオースモータＡ
内に設けた速度検出器１１により、スプール８の
変位は変位検出器９によりそれぞれ正確に検出す
ることができる。そして両検出器９，１１による
検出値は後述する制御手段のフイードバツク制御
に利用される。
は圧油供給ポート１６ａ、油室１５および制御ポ
ート１４ｂを経てアクチユエータに供給される。
このとき、スプール８の速度はフオースモータＡ
内に設けた速度検出器１１により、スプール８の
変位は変位検出器９によりそれぞれ正確に検出す
ることができる。そして両検出器９，１１による
検出値は後述する制御手段のフイードバツク制御
に利用される。
前記変位検出器９の磁気抵抗素子片９ｃにおけ
る誘起電圧は両磁石９ａ，９ｂ間から生ずる磁束
との交差量に比例する性質を有している。したが
つて、スプール８の移動量に伴なつて交差量が変
化し、スプール８の移動量に比例した出力電圧を
得ることができる。この出力電圧は原理的に磁束
による電子の移動量を利用しているため応答性が
高くなる。また、速度検出器１１は小ボビン１１
ｃの運動速度に比例した電圧を出力するものであ
り、小ボビン１１ｃにコイル１１ｄを設けること
によりＳ／Ｎ比の良好な出力電圧を得ることがで
きる。
る誘起電圧は両磁石９ａ，９ｂ間から生ずる磁束
との交差量に比例する性質を有している。したが
つて、スプール８の移動量に伴なつて交差量が変
化し、スプール８の移動量に比例した出力電圧を
得ることができる。この出力電圧は原理的に磁束
による電子の移動量を利用しているため応答性が
高くなる。また、速度検出器１１は小ボビン１１
ｃの運動速度に比例した電圧を出力するものであ
り、小ボビン１１ｃにコイル１１ｄを設けること
によりＳ／Ｎ比の良好な出力電圧を得ることがで
きる。
すなわち、速度検出器は、小ヨーク１１ａ、小
磁石１１ｂおよび小ボビン１１ｃから構成され
る。いわゆるムービング、コイル形であるため、
磁場が強くなり、小ボビン１１ｃに巻かれるコイ
ル１１ｄの巻数が少なくてすみ高周波においても
リアクタンス効果が発生しない。したがつて、小
ボビンに比例したＳ／Ｎ比の良好な出力電圧が主
サーボ系にフイードバツクされるため、高周波数
においても応答性の良好な出力電圧がフイードバ
ツクされる。
磁石１１ｂおよび小ボビン１１ｃから構成され
る。いわゆるムービング、コイル形であるため、
磁場が強くなり、小ボビン１１ｃに巻かれるコイ
ル１１ｄの巻数が少なくてすみ高周波においても
リアクタンス効果が発生しない。したがつて、小
ボビンに比例したＳ／Ｎ比の良好な出力電圧が主
サーボ系にフイードバツクされるため、高周波数
においても応答性の良好な出力電圧がフイードバ
ツクされる。
前記変位検出器９は、その振動しやすい磁気抵
抗素子９ｃがカバー１０に固定され、永久磁石９
ａ，９ｂのみがスプール８と一体となつて移動す
るため、スプール８の変位を確実に検出すること
ができるから、いかなる高周波にも対応して高精
度の応答性（1KHz以上）を発揮する。
抗素子９ｃがカバー１０に固定され、永久磁石９
ａ，９ｂのみがスプール８と一体となつて移動す
るため、スプール８の変位を確実に検出すること
ができるから、いかなる高周波にも対応して高精
度の応答性（1KHz以上）を発揮する。
前記ボビン３，１１ｃは板ばね５により支持さ
れ、かつコイルばね１３を介して中立調節部材１
２に連動するように構成されているので、その中
立点調節部材１２を操作することによりスプール
８を中立位置に保持すると共に、その回転を板ば
ね５により防止することができる。この板ばね５
回転防止効果によつて変位検出器９の検出精度も
向上する。また、ボビン３，１１ｃは一体に形成
できるので、このボビン３，１１ｃと磁石２，１
１ｂ間のアライメントは極めて正確にできる。
れ、かつコイルばね１３を介して中立調節部材１
２に連動するように構成されているので、その中
立点調節部材１２を操作することによりスプール
８を中立位置に保持すると共に、その回転を板ば
ね５により防止することができる。この板ばね５
回転防止効果によつて変位検出器９の検出精度も
向上する。また、ボビン３，１１ｃは一体に形成
できるので、このボビン３，１１ｃと磁石２，１
１ｂ間のアライメントは極めて正確にできる。
第２図は本発明の直動型サーボ弁における制御
回路のモデルのブロツク図を示したもので、前述
の如く速度検出器１１および変位検出器９によ
り、サーボ弁Ｓのスプール８（第１図参照）の速
度Ｖおよび変位Ｘをそれぞれ検出し、これらの検
出値Ｖ，ＸをゲインKv，Kxで増幅してサーボ弁
Ｓの入力側にフイードバツクし、指令値Xcと比
較して偏差信号によりサーボ弁Ｓの変位を制御す
るようにしたものである。ここで、サーボ弁Ｓを
駆動する増幅器（図示せず）は、定電流駆動であ
り、応答性の良好なものを用いる。また、変位検
出器９は高インピーダンスのため、検出器９と増
幅器を接続するケーブルは極力短かくするか、で
きれば検出器に近接して配設し、インピーダンス
を変換する増幅器に導くようにする。
回路のモデルのブロツク図を示したもので、前述
の如く速度検出器１１および変位検出器９によ
り、サーボ弁Ｓのスプール８（第１図参照）の速
度Ｖおよび変位Ｘをそれぞれ検出し、これらの検
出値Ｖ，ＸをゲインKv，Kxで増幅してサーボ弁
Ｓの入力側にフイードバツクし、指令値Xcと比
較して偏差信号によりサーボ弁Ｓの変位を制御す
るようにしたものである。ここで、サーボ弁Ｓを
駆動する増幅器（図示せず）は、定電流駆動であ
り、応答性の良好なものを用いる。また、変位検
出器９は高インピーダンスのため、検出器９と増
幅器を接続するケーブルは極力短かくするか、で
きれば検出器に近接して配設し、インピーダンス
を変換する増幅器に導くようにする。
本発明の直動型サーボ弁によれば、サーボ弁の
スプールの速度および変位を確実に検出すること
ができるため、超高度の応答性が得られる。
スプールの速度および変位を確実に検出すること
ができるため、超高度の応答性が得られる。
第１図は本発明の直動型サーボ弁の一実施例を
示す断面図、第２図は同実施例の制御回路図であ
る。 Ａ…フオースモータ、３，１１ｃ…ボビン、５
…板ばね、８…スプール、９…スプール変位検出
器、９ａ，９ｂ，１１ｂ…磁石、９ｃ…磁気抵抗
素子、１１…スプール速度検出器、１１ａ…ヨー
ク、１２…中立点調節部材、１３…コイルばね、
１６…主サーボ系。
示す断面図、第２図は同実施例の制御回路図であ
る。 Ａ…フオースモータ、３，１１ｃ…ボビン、５
…板ばね、８…スプール、９…スプール変位検出
器、９ａ，９ｂ，１１ｂ…磁石、９ｃ…磁気抵抗
素子、１１…スプール速度検出器、１１ａ…ヨー
ク、１２…中立点調節部材、１３…コイルばね、
１６…主サーボ系。
Claims (1)
- １ フオースモータによりスプールを直接に駆動
し、前記スプールのフオースモータ側および反フ
オースモータ側の各端部にスプールの速度検出器
および変位検出器を設けてなる直動型サーボ弁に
おいて、前記スプール速度検出器は、フオースモ
ータのボビンの内側に設けた小ヨークおよび小磁
石と、この小ヨークと小磁石との間に介設され、
かつ前記フオースモータのボビンと一体に結合さ
れた小ボビンとから構成したことを特徴とする直
動型サーボ弁。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57222028A JPS59113303A (ja) | 1982-12-20 | 1982-12-20 | 直動型サ−ボ弁 |
| US06/560,177 US4544129A (en) | 1982-12-20 | 1983-12-12 | Direct-acting servo valve |
| DE19833345880 DE3345880A1 (de) | 1982-12-20 | 1983-12-19 | Direktwirkendes steuerventil |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57222028A JPS59113303A (ja) | 1982-12-20 | 1982-12-20 | 直動型サ−ボ弁 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59113303A JPS59113303A (ja) | 1984-06-30 |
| JPS6349083B2 true JPS6349083B2 (ja) | 1988-10-03 |
Family
ID=16775956
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57222028A Granted JPS59113303A (ja) | 1982-12-20 | 1982-12-20 | 直動型サ−ボ弁 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4544129A (ja) |
| JP (1) | JPS59113303A (ja) |
| DE (1) | DE3345880A1 (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59194106A (ja) * | 1983-04-19 | 1984-11-02 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 直動型電気・流体圧サ−ボ弁 |
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-
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- 1983-12-19 DE DE19833345880 patent/DE3345880A1/de active Granted
Also Published As
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|---|---|
| US4544129A (en) | 1985-10-01 |
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