JPS6350126U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6350126U JPS6350126U JP14268886U JP14268886U JPS6350126U JP S6350126 U JPS6350126 U JP S6350126U JP 14268886 U JP14268886 U JP 14268886U JP 14268886 U JP14268886 U JP 14268886U JP S6350126 U JPS6350126 U JP S6350126U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- processing
- observation window
- processing apparatus
- observing
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例であるプラズマ処理
装置を示す断面図、第２図は第１図のＡ部詳細図
、第３図は本考案の他の実施例を示す第１図のＡ
部詳細図である。 ７……観察窓、１２……窓ケース、１３ａ，１
３ｂ……マグネツトキヤツチ、１４ａ，１４ｂ…
…遮光板。
装置を示す断面図、第２図は第１図のＡ部詳細図
、第３図は本考案の他の実施例を示す第１図のＡ
部詳細図である。 ７……観察窓、１２……窓ケース、１３ａ，１
３ｂ……マグネツトキヤツチ、１４ａ，１４ｂ…
…遮光板。
Claims (1)
- プラズマを用いて試料を処理するプラズマ処理
装置において、前記プラズマによる処理状態を観
察する観察窓と、該観察窓の前部に磁石により保
持される保護カバーとを具備したことを特徴とす
るプラズマ処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14268886U JPS6350126U (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14268886U JPS6350126U (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6350126U true JPS6350126U (ja) | 1988-04-05 |
Family
ID=31051652
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14268886U Pending JPS6350126U (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6350126U (ja) |
-
1986
- 1986-09-19 JP JP14268886U patent/JPS6350126U/ja active Pending
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