JPS6350716A - 振動型角速度検出装置 - Google Patents
振動型角速度検出装置Info
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- JPS6350716A JPS6350716A JP61194009A JP19400986A JPS6350716A JP S6350716 A JPS6350716 A JP S6350716A JP 61194009 A JP61194009 A JP 61194009A JP 19400986 A JP19400986 A JP 19400986A JP S6350716 A JPS6350716 A JP S6350716A
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- 101000860173 Myxococcus xanthus C-factor Proteins 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
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- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
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- Gyroscopes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、コリオリカによって発生される変位を電気信
号に変換することにより角加速度を検出する振動型角速
度検出装置に関するものである。
号に変換することにより角加速度を検出する振動型角速
度検出装置に関するものである。
斯かる角速度検出装置には、第4図に示すような構成の
検知素子が使用されている。すなわち、検知素子は振動
体としての柱状のビーム1がらなり、その主要面の1つ
1aに付着された圧電トランスジューサ2aによって正
弦波で駆動されると共に、その不動点a、bが支持体3
a、3bによってそれぞれ支持されている。
検知素子が使用されている。すなわち、検知素子は振動
体としての柱状のビーム1がらなり、その主要面の1つ
1aに付着された圧電トランスジューサ2aによって正
弦波で駆動されると共に、その不動点a、bが支持体3
a、3bによってそれぞれ支持されている。
ヒーム1が振動しているとき、ビームの長手軸Zの回り
に角速度が加わると、振動周波数で正弦波的に変化する
力(コリオリカ)が駆動面1aに直角な方向に発生する
。この力はビーム1の駆動と同じ周波数の振動を発生す
る。そして、このコリオリカによってビーム1に誘起さ
れた振動は駆動面1aに直角な面1bに付着された読出
し用圧電トランスジューサ2bを介して読出し回路(図
示せず)によって検知される。
に角速度が加わると、振動周波数で正弦波的に変化する
力(コリオリカ)が駆動面1aに直角な方向に発生する
。この力はビーム1の駆動と同じ周波数の振動を発生す
る。そして、このコリオリカによってビーム1に誘起さ
れた振動は駆動面1aに直角な面1bに付着された読出
し用圧電トランスジューサ2bを介して読出し回路(図
示せず)によって検知される。
また、ビーム1の駆動面1aに平行な面1cには、ビー
ム1の振幅を一定に保持して機械的共振周波数で励振す
るために使用されるフィードバック用圧電トランスジュ
ーサ2cが、そして面1bに平行な面1dにダンピンク
用圧電トランスジューサ2dがそれぞれ付着されている
。
ム1の振幅を一定に保持して機械的共振周波数で励振す
るために使用されるフィードバック用圧電トランスジュ
ーサ2cが、そして面1bに平行な面1dにダンピンク
用圧電トランスジューサ2dがそれぞれ付着されている
。
第4図について上述したような検知素子を使用した従来
の振動型角速度検出装置では、読出し用の圧電トランス
ジューサによって検知される角速度で振幅変調された信
号を増幅し、その後復調してから整流して入力角速度に
比例した大きさの直流信号を発生するようになっている
。
の振動型角速度検出装置では、読出し用の圧電トランス
ジューサによって検知される角速度で振幅変調された信
号を増幅し、その後復調してから整流して入力角速度に
比例した大きさの直流信号を発生するようになっている
。
上述したように従来の角速度検出装置では、角速度に比
例して変調された検出信号を復調して得られる直流信号
の大きさで角速度を検知するようにしているが、角速度
入力の方向を知るために複雑な信号処理が必要で、その
ための回路構成などが複雑になるなどの問題があった。
例して変調された検出信号を復調して得られる直流信号
の大きさで角速度を検知するようにしているが、角速度
入力の方向を知るために複雑な信号処理が必要で、その
ための回路構成などが複雑になるなどの問題があった。
そこで、このような問題を解消するために、本願出願人
は先に、角速度に応じて変化する振幅によってではなく
、振幅と同時に変化するが電圧や温度変化などの外乱に
よって変化しにくい位相を利用して角速度を検出すると
共に位相比較により基準位相に対する遅れ、進みに応じ
て正、負の信号を節単に発生することができるようにし
、方向検知を簡単に行えるようにした振動型角速度検出
装置を提案している。
は先に、角速度に応じて変化する振幅によってではなく
、振幅と同時に変化するが電圧や温度変化などの外乱に
よって変化しにくい位相を利用して角速度を検出すると
共に位相比較により基準位相に対する遅れ、進みに応じ
て正、負の信号を節単に発生することができるようにし
、方向検知を簡単に行えるようにした振動型角速度検出
装置を提案している。
しかし、該提案の装置では、十分に大きなレベルの出力
が得られないという問題があった。
が得られないという問題があった。
そこで、本発明は角速度方向を面倒な信号処理なしに知
ることができ、しかも十分に大きな出力が得られ角速度
検出能力の向上を図った振動型角速度検出装置を提供し
ようとするものである。
ることができ、しかも十分に大きな出力が得られ角速度
検出能力の向上を図った振動型角速度検出装置を提供し
ようとするものである。
〔問題点を解決するための手段及び作用〕上記問題点を
解消するため本発明によりなされた振動型角速度検出装
置は、柱状の振動体と、該振動体の第1の側面に取付け
られた駆動用圧電トランスジューサと、前記第1の側面
と直交する第2の側面に取付けられた続出し用圧電トラ
ンスジューサとを備え、前記駆動用圧電トランスジュー
サにより駆動された前記振動体の振動を前記読出し用圧
電トランスジューサにより電気信号に変換し、該電気信
号により角速度を検出するようになした振動型角速度検
出装置において、前記電気信号の位相の変化を検出する
位相検出手段と、前記電気信号の振幅の変化を検出する
振幅検出手段とを備え、該位相検出手段により検出した
位相と前記振幅検出手段により検出した振幅とに基づい
て角速度を検出することを特徴とする。
解消するため本発明によりなされた振動型角速度検出装
置は、柱状の振動体と、該振動体の第1の側面に取付け
られた駆動用圧電トランスジューサと、前記第1の側面
と直交する第2の側面に取付けられた続出し用圧電トラ
ンスジューサとを備え、前記駆動用圧電トランスジュー
サにより駆動された前記振動体の振動を前記読出し用圧
電トランスジューサにより電気信号に変換し、該電気信
号により角速度を検出するようになした振動型角速度検
出装置において、前記電気信号の位相の変化を検出する
位相検出手段と、前記電気信号の振幅の変化を検出する
振幅検出手段とを備え、該位相検出手段により検出した
位相と前記振幅検出手段により検出した振幅とに基づい
て角速度を検出することを特徴とする。
以上の構成により、角速度の大きさを位相と振幅検出に
より判定することができるようになり、それ丈精度が高
くなると共に、方向を位相により判定することができる
ため、面倒な信号処理が不要になり、回路構成が節単に
なっている。
より判定することができるようになり、それ丈精度が高
くなると共に、方向を位相により判定することができる
ため、面倒な信号処理が不要になり、回路構成が節単に
なっている。
以下、本発明による装置の一実施例を図に基づいて説明
する。
する。
第1図は本発明による振動型角速度検出装置のブロック
図であり、図において第4図中のものと同等の部材には
同一の符号を付しである。
図であり、図において第4図中のものと同等の部材には
同一の符号を付しである。
図において、ビーム1に付着されている駆動用圧電トラ
ンスジューサ2aとフィードバンク用圧電トランスジュ
ーサ2Cとは、圧電素子が逆極性となるように取付けら
れており、このことによって、駆動用圧電トランスジュ
ーサ2aに駆動信号が印加されると、フィードバック用
圧電トランスジューサ2cの出力には、駆動信号より9
0°位相の進んだフィードバック信号が得られる。
ンスジューサ2aとフィードバンク用圧電トランスジュ
ーサ2Cとは、圧電素子が逆極性となるように取付けら
れており、このことによって、駆動用圧電トランスジュ
ーサ2aに駆動信号が印加されると、フィードバック用
圧電トランスジューサ2cの出力には、駆動信号より9
0°位相の進んだフィードバック信号が得られる。
10はフィードバック用圧電トランスジューサ2cによ
るフィードバック信号を増幅するアンプ、11はアンプ
10によって増幅されたフィードバック信号のレベルを
一定に保持して出力するオートゲインコントロール(A
GC) 、12はACCllの出力に得られるフィード
ハック信号を移相するf多相器である。
るフィードバック信号を増幅するアンプ、11はアンプ
10によって増幅されたフィードバック信号のレベルを
一定に保持して出力するオートゲインコントロール(A
GC) 、12はACCllの出力に得られるフィード
ハック信号を移相するf多相器である。
移相器12の出力に得られる移相されたフィー−ドパツ
ク信号は駆動信号として駆動用圧電トランスジューサ2
aに印加されると共に、整流器13において整流された
後比較器14の一方の入力に印加される。比較器14の
一方の入力に印加された信号は、比較器14の他方の入
力に印加されている基準電圧■えと比較される。比較器
14の出力には、その比較結果が出力され、該出力によ
りAGCllの利得が制御される。このことにより、A
CCIIの出力には基準電圧■8に応じたレベルに保た
れたフィードバック信号が得られ、駆動用圧電トランス
ジューサ2aによるビーム1の駆動が常に一定振幅で安
定に行われるようになる。移相器12の出力はまた、位
相検波器15の一方の入力に基準位相信号として印加さ
れている。
ク信号は駆動信号として駆動用圧電トランスジューサ2
aに印加されると共に、整流器13において整流された
後比較器14の一方の入力に印加される。比較器14の
一方の入力に印加された信号は、比較器14の他方の入
力に印加されている基準電圧■えと比較される。比較器
14の出力には、その比較結果が出力され、該出力によ
りAGCllの利得が制御される。このことにより、A
CCIIの出力には基準電圧■8に応じたレベルに保た
れたフィードバック信号が得られ、駆動用圧電トランス
ジューサ2aによるビーム1の駆動が常に一定振幅で安
定に行われるようになる。移相器12の出力はまた、位
相検波器15の一方の入力に基準位相信号として印加さ
れている。
16は読出し用圧電トランスジューサ2bによる読出し
信号を増幅するアンプ、17はアンプ16により増幅さ
れた読出し信号を濾波し読出し信号中の不用成分を除去
するフィルタ、18はフィル17の出力に得られる読出
し信号の振幅を振幅検出する振幅検出器であり、読出し
信号の振幅に応じたAC信号を出力する。
信号を増幅するアンプ、17はアンプ16により増幅さ
れた読出し信号を濾波し読出し信号中の不用成分を除去
するフィルタ、18はフィル17の出力に得られる読出
し信号の振幅を振幅検出する振幅検出器であり、読出し
信号の振幅に応じたAC信号を出力する。
上記アンプ16により増幅された読出し信号は位相検波
器15の他方の入力に印加されることにより、位相検波
器15はアンプ16からの読出し信号の位相を移相器1
2からの基準位相信号の位相と比較し、両者の位相のず
れ量とそのずれ方向とに応じたAC信号を出力する。
器15の他方の入力に印加されることにより、位相検波
器15はアンプ16からの読出し信号の位相を移相器1
2からの基準位相信号の位相と比較し、両者の位相のず
れ量とそのずれ方向とに応じたAC信号を出力する。
上記位相検波器15及び振幅検出器18からのAC信号
はそれぞれAC−DC変換器19及び20に印加され、
ここでDC信号にそれぞれ変換される。AC−DC変換
器19及び20により得られるDC信号はA−D変換器
21及び22によりデジタル信号にそれぞれ変換され、
このデジタル信号が例えばマイクロコンピュータにより
構成されうる信号処理部23に印加されて処理され、そ
の処理結果が表示部24により表示される。
はそれぞれAC−DC変換器19及び20に印加され、
ここでDC信号にそれぞれ変換される。AC−DC変換
器19及び20により得られるDC信号はA−D変換器
21及び22によりデジタル信号にそれぞれ変換され、
このデジタル信号が例えばマイクロコンピュータにより
構成されうる信号処理部23に印加されて処理され、そ
の処理結果が表示部24により表示される。
以上の構成の振動型角速度検出装置のり1作を第2図及
び第3図の各部を波形図を参照しながろ説明する。
び第3図の各部を波形図を参照しながろ説明する。
まず、読出し信号の位相により角速度を検出する動作を
説明すると、第2図fa)に実線で示す波形fF(tl
は駆動用圧電トランスジューサ2aに印加する駆動信号
のもので、該駆動信号に応じ駆動用圧電トランスジュー
サ2aはビーム1を駆動し該波形に応じた振動をビーム
1に生じさせる。このビーム1の振動はAGCIIによ
り安定化されている。また、第2図(a)に1点鎖線で
示す波形fp0(11は回転入力がないときの読出し用
圧電トランスジューサ2bにより読出される振動波形で
あり、読出し用圧電トランスジューサ2bの出力には該
波形に応じた読出し信号が得られる。両波形の比較によ
って明らかになるように、駆動信号と読出し信号は位相
が90゛ずれている。
説明すると、第2図fa)に実線で示す波形fF(tl
は駆動用圧電トランスジューサ2aに印加する駆動信号
のもので、該駆動信号に応じ駆動用圧電トランスジュー
サ2aはビーム1を駆動し該波形に応じた振動をビーム
1に生じさせる。このビーム1の振動はAGCIIによ
り安定化されている。また、第2図(a)に1点鎖線で
示す波形fp0(11は回転入力がないときの読出し用
圧電トランスジューサ2bにより読出される振動波形で
あり、読出し用圧電トランスジューサ2bの出力には該
波形に応じた読出し信号が得られる。両波形の比較によ
って明らかになるように、駆動信号と読出し信号は位相
が90゛ずれている。
今、ビーム1に時計方向の回転が加えられ、ω1の入力
角速度があると、続出し用圧電トランスジューサ2aか
らは例えば第2図(alに点線で示すf poI (
tlのような波形の読出し信号が得られる。
角速度があると、続出し用圧電トランスジューサ2aか
らは例えば第2図(alに点線で示すf poI (
tlのような波形の読出し信号が得られる。
また、ω、と逆に反時計方向の回転が加えられ、ω2の
入力角速度がある場合には、読出し信号の位相は時計方
向の回転のときとは逆の方向に移動し、例えば第2図(
a)に点線で示ずf 9ω2(t)のような波形となる
。
入力角速度がある場合には、読出し信号の位相は時計方
向の回転のときとは逆の方向に移動し、例えば第2図(
a)に点線で示ずf 9ω2(t)のような波形となる
。
上記駆動信号f、(t)及び読出し信号f po(tl
、f2ω1(t)、f 2ω2(t)は位相検波器15
に印加され、まず第2図(blに示すようにそれぞれ矩
形波rF (t)’ 、 fp、(t)’ 、 f
pω+ (t)’ 、f pω、 it)’に
整形される。その後、駆動信号fp(t)を整形して得
た矩形波fF(tl’と読出し信号fpo(0+ f
po1t)tfpω2(t)を整形して得た矩形波f
、(tl’f 2ω、m’ 、f pω、 ft)
’とを比較し、両市形波の極性が同一である部分のみを
取り出し、第2図(C)に示すような矩形波信号を得、
これを位相検波器15から出力する。第2図(C)にお
いて実線はr、(t)’とfp、ft)’とにより、点
線はfF(t)′とf poI (t)’又はf 2ω
2 (t)’ とによりそれぞれ得られたものであり、
図から判るように各矩形波信号の持続時間は回転のない
場合の矩形波を中心に増減するようになっている。
、f2ω1(t)、f 2ω2(t)は位相検波器15
に印加され、まず第2図(blに示すようにそれぞれ矩
形波rF (t)’ 、 fp、(t)’ 、 f
pω+ (t)’ 、f pω、 it)’に
整形される。その後、駆動信号fp(t)を整形して得
た矩形波fF(tl’と読出し信号fpo(0+ f
po1t)tfpω2(t)を整形して得た矩形波f
、(tl’f 2ω、m’ 、f pω、 ft)
’とを比較し、両市形波の極性が同一である部分のみを
取り出し、第2図(C)に示すような矩形波信号を得、
これを位相検波器15から出力する。第2図(C)にお
いて実線はr、(t)’とfp、ft)’とにより、点
線はfF(t)′とf poI (t)’又はf 2ω
2 (t)’ とによりそれぞれ得られたものであり、
図から判るように各矩形波信号の持続時間は回転のない
場合の矩形波を中心に増減するようになっている。
第2図(C)に示す信号はAC−DC変換器19に印加
され、ここで全波整流されまず第2図(d)に示すよう
な波形に変換された後平滑さね1、第2Ik(e+に示
すようなりC信号に変換される。第2図(e)において
、VIlllは回転が加えられていないときのDC信号
のレベルである。その後、このレベル■。
され、ここで全波整流されまず第2図(d)に示すよう
な波形に変換された後平滑さね1、第2Ik(e+に示
すようなりC信号に変換される。第2図(e)において
、VIlllは回転が加えられていないときのDC信号
のレベルである。その後、このレベル■。
を0レベルとする信号に変換して第2図(f)に示すよ
うな信号を得、これをAC−DC変換器19の出力から
送出する。
うな信号を得、これをAC−DC変換器19の出力から
送出する。
第2図(f)におけるDCC信号、、V、は時計方向、
反時計方向回転時のDC信号で、その出力レベルはVO
1、VO2となっている。従って、Vω、及びVO2の
大きさと極性によって角速度の大きさとその方向を検出
することができる。
反時計方向回転時のDC信号で、その出力レベルはVO
1、VO2となっている。従って、Vω、及びVO2の
大きさと極性によって角速度の大きさとその方向を検出
することができる。
次に、読出し信号の振幅により角速度を検出する動作を
説明すると、回転のないとき、回転が時計方向のとき、
反時計方向のときに読出し信号はそれぞれ第3図(a)
に実線及び点線で示すf 、 (t) 。
説明すると、回転のないとき、回転が時計方向のとき、
反時計方向のときに読出し信号はそれぞれ第3図(a)
に実線及び点線で示すf 、 (t) 。
rpω+ (tl、fl、ω2(t)ノヨうな波形トナ
ル。なお、振幅検出には位相の違いは考慮する必要がな
いので、便宜上、第3図(a)では3つの波形は全て同
相で示しているが、実際には、第2図fa)に示すよう
に位相が互に異なる。また、振幅の変化は図示のように
f 2ω、(tl>f、ω、(tl>f、ω2(t)と
なるとは限らず、この逆の場合、或いはf 、ω1(t
)、f、ω2(t)の両方がfp、(t)に対して大き
くなったり小さくなったりすることがある。
ル。なお、振幅検出には位相の違いは考慮する必要がな
いので、便宜上、第3図(a)では3つの波形は全て同
相で示しているが、実際には、第2図fa)に示すよう
に位相が互に異なる。また、振幅の変化は図示のように
f 2ω、(tl>f、ω、(tl>f、ω2(t)と
なるとは限らず、この逆の場合、或いはf 、ω1(t
)、f、ω2(t)の両方がfp、(t)に対して大き
くなったり小さくなったりすることがある。
第3図(a)に示す波形の信号は振幅検出器18、AC
−DC変換器20を通じて処理されるが、まず全波整流
することにより第3図中)に示すような波形のAC信号
に変換され、次に平滑することにより第3図(C)に示
すような波形のDC信号に変換される。その後更に回転
なしの場合のDC信号のレベルV。2がOレベルとなる
ようにシフトして第3図(dlに示すような信号を得、
これをAC−DC変換器20の出力に送出する。
−DC変換器20を通じて処理されるが、まず全波整流
することにより第3図中)に示すような波形のAC信号
に変換され、次に平滑することにより第3図(C)に示
すような波形のDC信号に変換される。その後更に回転
なしの場合のDC信号のレベルV。2がOレベルとなる
ようにシフトして第3図(dlに示すような信号を得、
これをAC−DC変換器20の出力に送出する。
第3図(d)におけるDCC信号 l ’ t v2
′は時計方向、反時計方向回転時のDC信号であり、そ
の出力レベルはVω、′ 、Vω2′となっている。
′は時計方向、反時計方向回転時のDC信号であり、そ
の出力レベルはVω、′ 、Vω2′となっている。
従って、■ω、′ 、Vω2′の大きさによって角速度
の大きさを検出することができる。また、第3図(a)
のように時計方向と反時計方向の回転時の読出し信号の
振幅変化が回転なしの読出し信号を中心に上下に変化す
る場合には、Vω1′ 、vω2′の極性によって角速
度の方向をも同時に検出することができる。
の大きさを検出することができる。また、第3図(a)
のように時計方向と反時計方向の回転時の読出し信号の
振幅変化が回転なしの読出し信号を中心に上下に変化す
る場合には、Vω1′ 、vω2′の極性によって角速
度の方向をも同時に検出することができる。
しかし、f 2ω、(t)、f pω2(t)がf、
(t)に対して共に同一方向に変化する場合には、角速
度の方向は検出することができない。
(t)に対して共に同一方向に変化する場合には、角速
度の方向は検出することができない。
AC−DC変換器19及び20の出力であるDC信号は
A−D変換器21及び22においてそれぞれデジタル信
号に変換された後信号処理部23に印加される。
A−D変換器21及び22においてそれぞれデジタル信
号に変換された後信号処理部23に印加される。
信号処理部23においては、A−D変換器21及び22
の出力の絶対値をそれぞれ加算してこれに基づいて角速
度の大きさが検出され、A−D変換器21の出力の極性
によって角速度の方向が検出される。
の出力の絶対値をそれぞれ加算してこれに基づいて角速
度の大きさが検出され、A−D変換器21の出力の極性
によって角速度の方向が検出される。
以上のように角速度の大きさはIVω、1+IVω、’
: * lVωz l+lVωz’ lによッ
テ得られるため、位相検波によってのみ角速度の大きさ
を検出する場合に比べ1■ωl’llVω2′ 1分大
きくなり、それ丈精度の高い角速度検出ができるように
なる。
: * lVωz l+lVωz’ lによッ
テ得られるため、位相検波によってのみ角速度の大きさ
を検出する場合に比べ1■ωl’llVω2′ 1分大
きくなり、それ丈精度の高い角速度検出ができるように
なる。
以上説明したように本発明によれば、読出し用圧電トラ
ンスジューサからの読出し信号の位相と振幅に基づいて
角速度を検出するようになっているため、角速度の大き
さを表わす大きな信号が得られ、角速度の検出性能の向
上が図られると共に、角速度の方向も簡単に判定するこ
とができるなどの多くの効果が得られる。
ンスジューサからの読出し信号の位相と振幅に基づいて
角速度を検出するようになっているため、角速度の大き
さを表わす大きな信号が得られ、角速度の検出性能の向
上が図られると共に、角速度の方向も簡単に判定するこ
とができるなどの多くの効果が得られる。
第1図は本発明による振動型角速度検出装置の一実施例
を示すブロック図、第2図及び第3図は第1図の装置の
動作を説明するための各部の波形を示す波形図、第4図
は振幅型角速度検出装置に使用される一般的な検知素子
の構成を示す斜視図である。 1・・・ビーム、2a・・・駆動用圧電トランスジュー
サ、2b・・・読出し用圧電トランスジューサ、15・
・・位相検波器、18・・・振幅検出器。
を示すブロック図、第2図及び第3図は第1図の装置の
動作を説明するための各部の波形を示す波形図、第4図
は振幅型角速度検出装置に使用される一般的な検知素子
の構成を示す斜視図である。 1・・・ビーム、2a・・・駆動用圧電トランスジュー
サ、2b・・・読出し用圧電トランスジューサ、15・
・・位相検波器、18・・・振幅検出器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 柱状の振動体と、該振動体の第1の側面に取付けられ
た駆動用圧電トランスジューサと、前記第1の側面と直
交する第2の側面に取付けられた読出し用圧電トランス
ジューサとを備え、前記読出し用圧電トランスジューサ
により電気信号に変換し、該電気信号により角速度を検
出するようになした振動型角速度検出装置において、 前記電気信号の位相の変化を検出する位相検出手段と、 前記電気信号の振幅の変化を検出する振幅検出手段とを
備え、 前記位相検出手段により検出した位相と前記振幅検出手
段により検出した振幅とに基づいて角速度を検出する、 ことを特徴とする振動型角速度検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61194009A JPS6350716A (ja) | 1986-08-21 | 1986-08-21 | 振動型角速度検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61194009A JPS6350716A (ja) | 1986-08-21 | 1986-08-21 | 振動型角速度検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6350716A true JPS6350716A (ja) | 1988-03-03 |
| JPH0535967B2 JPH0535967B2 (ja) | 1993-05-27 |
Family
ID=16317445
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61194009A Granted JPS6350716A (ja) | 1986-08-21 | 1986-08-21 | 振動型角速度検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6350716A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6422078B2 (en) | 1992-08-21 | 2002-07-23 | Denso Corporation | Semiconductor mechanical sensor |
| US6929385B2 (en) | 2001-12-21 | 2005-08-16 | Musco Corporation | Apparatus and method for increasing light output over operational life of arc lamp |
-
1986
- 1986-08-21 JP JP61194009A patent/JPS6350716A/ja active Granted
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6422078B2 (en) | 1992-08-21 | 2002-07-23 | Denso Corporation | Semiconductor mechanical sensor |
| US6463803B2 (en) | 1992-08-21 | 2002-10-15 | Nippon Denso Co., Ltd. | Semiconductor mechanical sensor |
| US6550331B2 (en) | 1992-08-21 | 2003-04-22 | Denso Corporation | Semiconductor mechanical sensor |
| US6868727B2 (en) | 1992-08-21 | 2005-03-22 | Denso Corporation | Semiconductor mechanical sensor |
| US6938486B2 (en) | 1992-08-21 | 2005-09-06 | Denso Corporation | Semiconductor mechanical sensor |
| US7040165B2 (en) | 1992-08-21 | 2006-05-09 | Denso Corporation | Semiconductor mechanical sensor |
| US7407827B2 (en) | 1992-08-21 | 2008-08-05 | Denso Corporation | Semiconductor mechanical sensor |
| US7685877B2 (en) | 1992-08-21 | 2010-03-30 | Denso Corporation | Semiconductor mechanical sensor |
| US7866210B2 (en) | 1992-08-21 | 2011-01-11 | Denso Corporation | Semiconductor mechanical sensor |
| US6929385B2 (en) | 2001-12-21 | 2005-08-16 | Musco Corporation | Apparatus and method for increasing light output over operational life of arc lamp |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0535967B2 (ja) | 1993-05-27 |
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