JPS6350720A - 位置センサ - Google Patents
位置センサInfo
- Publication number
- JPS6350720A JPS6350720A JP61196246A JP19624686A JPS6350720A JP S6350720 A JPS6350720 A JP S6350720A JP 61196246 A JP61196246 A JP 61196246A JP 19624686 A JP19624686 A JP 19624686A JP S6350720 A JPS6350720 A JP S6350720A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reticle
- scale
- stripe pattern
- parallel stripe
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
A産業上の利用分野
本発明は位置センサに関し、例えばハードディスク駆動
装置においてヘッドを位置決めする場合などのように、
可動部材を所定位置に位置決めするようになされた駆動
装置に通用して好適なものである。
装置においてヘッドを位置決めする場合などのように、
可動部材を所定位置に位置決めするようになされた駆動
装置に通用して好適なものである。
B発明の概要
本発明は、反射光型の位置センサにおいて、レンチキラ
ーレンズ構成のレチクルを用いることによって簡単な構
成で畜い精度の位置検出をなし得る位置センサを容易に
実現し得る。
ーレンズ構成のレチクルを用いることによって簡単な構
成で畜い精度の位置検出をなし得る位置センサを容易に
実現し得る。
C従来の技術
ハードディスク装置においては、円板状ハードディスク
上に多数の同心円状記録トラックを形成し又は各記録ト
ラックから記録情報をピックアップするために、ヘッド
をディスクの半径方向に高い精度で位置決めできるよう
にする必要があり、そのため光エンコーダを用いてヘッ
ドの粗い位置決めをし、この後トラッキングザーボ系を
用いてヘッドをトラッキング制御することにより高い精
度の位置決めをする構成のものが提案されている(特公
昭51−13641号)。
上に多数の同心円状記録トラックを形成し又は各記録ト
ラックから記録情報をピックアップするために、ヘッド
をディスクの半径方向に高い精度で位置決めできるよう
にする必要があり、そのため光エンコーダを用いてヘッ
ドの粗い位置決めをし、この後トラッキングザーボ系を
用いてヘッドをトラッキング制御することにより高い精
度の位置決めをする構成のものが提案されている(特公
昭51−13641号)。
この種の光エンコーダの原理は、第3図に示すように、
平行光束でなる照射光1を、互いに重ね合わせるように
配設された平板状レチクル2及びスケール3上に照射し
、その透過光を光センサ4によって位置検出信号DTに
変換する構成を有する。
平行光束でなる照射光1を、互いに重ね合わせるように
配設された平板状レチクル2及びスケール3上に照射し
、その透過光を光センサ4によって位置検出信号DTに
変換する構成を有する。
レチクル2及びスケール3は、それぞれ等ピッチ間隔x
0を有する光学的スリブ1−2A及び3Aを同一方向に
形成してなり、スケール3の光学的スリット3Aがレチ
クル2の光学的スリット2Aに位置合わせされたとき、
第4図に示すように位置検出信号DTの信号レベルVが
最大値■、Axをもつのに対して、スケール3が横方向
にスライドして、その光学的スリット3Aがレチクル2
の光学的スリット2A間に対向する位置に来たとき、位
置検出信号DTの信号レベル■の値が、最小値V□8に
なり、スケール3をスリット2A及び3Aの延長方向と
直行する方向に所定速度でスライドさせて行ったとき、
位置検出信号DTの信号レベルが直線的に最小値VMI
Nから最大値V 、4AXにまで上昇した後、直線的に
最小値■1.I1.4まで減少して行くような三角波形
を描くように構成されている。
0を有する光学的スリブ1−2A及び3Aを同一方向に
形成してなり、スケール3の光学的スリット3Aがレチ
クル2の光学的スリット2Aに位置合わせされたとき、
第4図に示すように位置検出信号DTの信号レベルVが
最大値■、Axをもつのに対して、スケール3が横方向
にスライドして、その光学的スリット3Aがレチクル2
の光学的スリット2A間に対向する位置に来たとき、位
置検出信号DTの信号レベル■の値が、最小値V□8に
なり、スケール3をスリット2A及び3Aの延長方向と
直行する方向に所定速度でスライドさせて行ったとき、
位置検出信号DTの信号レベルが直線的に最小値VMI
Nから最大値V 、4AXにまで上昇した後、直線的に
最小値■1.I1.4まで減少して行くような三角波形
を描くように構成されている。
第4図において、位置検出信号DTの例えば最大値V
14AX間の時間T0は、スケール3が隣合う2木の光
学的スリット3八間の間隔すなわちピッチx0だけ移動
したことを表しており、従って位置検出信号DTの信号
レベルが最大値V 、44X及び最小値V M I N
を通過した回数及び現在の信号レベルを判別することに
よって、レチクル2に対するスケール3の位置を高い精
度で知ることができる。
14AX間の時間T0は、スケール3が隣合う2木の光
学的スリット3八間の間隔すなわちピッチx0だけ移動
したことを表しており、従って位置検出信号DTの信号
レベルが最大値V 、44X及び最小値V M I N
を通過した回数及び現在の信号レベルを判別することに
よって、レチクル2に対するスケール3の位置を高い精
度で知ることができる。
このように第3図の構成の位置センサ11において、ス
ケール3を等速度でスライドさせたとき位置検出信号D
Tが描く波形は、第4図に示すように時間の経過と共に
直線的に変化する三角波になり、その周期T0を角度λ
−2π(rad )で表せば、当該周期To (すな
わちピッチxo)の間の位ixを角度λによって表すこ
とができ、かくしてレチクル2を基準としてスケール3
の位置を高い精度で判知し得る。
ケール3を等速度でスライドさせたとき位置検出信号D
Tが描く波形は、第4図に示すように時間の経過と共に
直線的に変化する三角波になり、その周期T0を角度λ
−2π(rad )で表せば、当該周期To (すな
わちピッチxo)の間の位ixを角度λによって表すこ
とができ、かくしてレチクル2を基準としてスケール3
の位置を高い精度で判知し得る。
かかる原理に基づいてハードディスク装置において用い
られる位置センサは、実際上第5図に示すように構成さ
れる。
られる位置センサは、実際上第5図に示すように構成さ
れる。
第5図において、位置センサ11は、例えばLE D
(light emitting diode)でなる
光源12から発生された照射光13を、コリメーション
レンズ14によって平行光線15に折り曲げて暗箱を構
成するケース16に固着されたレチクル17上に照射さ
せる。レチクル17の光学的スリット17Aを透過した
平行光線15は、スケール18上に照射され、スケール
18の光学的スリット18Aを通って光センサ19に入
射する。
(light emitting diode)でなる
光源12から発生された照射光13を、コリメーション
レンズ14によって平行光線15に折り曲げて暗箱を構
成するケース16に固着されたレチクル17上に照射さ
せる。レチクル17の光学的スリット17Aを透過した
平行光線15は、スケール18上に照射され、スケール
18の光学的スリット18Aを通って光センサ19に入
射する。
光センサ19は、入射した光をそのトータル光量に対応
する信号レベルを有する電気的な位置検出信号DTに変
換して外部に送出する。
する信号レベルを有する電気的な位置検出信号DTに変
換して外部に送出する。
スケール18は、ハードディスク上を走査するヘッドと
連動して、矢印aで示すように、スリット17Aに対し
てほぼ平行にスライドし得るようになされ、かくして第
3図について上述したように三角波形でなる位置検出信
号DTを光センサ19から送出する。
連動して、矢印aで示すように、スリット17Aに対し
てほぼ平行にスライドし得るようになされ、かくして第
3図について上述したように三角波形でなる位置検出信
号DTを光センサ19から送出する。
D発明が解決しようとする問題点
ところが第5図の位置センサにおいては、光源12と光
センサ19が対向して配置され、かつその先軸上にコリ
メーションレンズ14、レチクル17及びスケール18
が配設されているため、光軸方向に厚みの厚い構成とな
り、ハードディスク装置の小型、薄型化に際して未だ不
十分である。
センサ19が対向して配置され、かつその先軸上にコリ
メーションレンズ14、レチクル17及びスケール18
が配設されているため、光軸方向に厚みの厚い構成とな
り、ハードディスク装置の小型、薄型化に際して未だ不
十分である。
このため第6図及び第7図に示すように従来の光学的ス
リットが配されたスケールに代え、この光学的スリット
と等間隔で、光を比較的反射し易い反射部と、光を比較
的反射し難い非反射部とを交互に配設し、全体として第
1の平行縞パターンを形成したスケールを用いて、光源
及び光センサをレチクル及びスケールに対して同じ側に
設けることにより厚みを薄<シ得るようにした第1及び
第2のいわゆる反射光型の位1センサが提案されている
。
リットが配されたスケールに代え、この光学的スリット
と等間隔で、光を比較的反射し易い反射部と、光を比較
的反射し難い非反射部とを交互に配設し、全体として第
1の平行縞パターンを形成したスケールを用いて、光源
及び光センサをレチクル及びスケールに対して同じ側に
設けることにより厚みを薄<シ得るようにした第1及び
第2のいわゆる反射光型の位1センサが提案されている
。
ところが、第1の反射光型の位置センサ30においては
、ハーフミラ−32を用いてスケール28で反射した光
を光センサ29に導くようになされているため構造が複
雑となることを避は得ない。
、ハーフミラ−32を用いてスケール28で反射した光
を光センサ29に導くようになされているため構造が複
雑となることを避は得ない。
これに加えて、受光部に渾かれる光量もハーフミラ−3
2によって半減し、さらにコリメーションレンズ24に
よって得られる平行光線25が不完全なものであれば、
スケールの反射部28Aで反射される光が、レチクル1
7によって遮断されこれによりS/N比が低下するとい
う問題点があり未だ満足し得ないものである。
2によって半減し、さらにコリメーションレンズ24に
よって得られる平行光線25が不完全なものであれば、
スケールの反射部28Aで反射される光が、レチクル1
7によって遮断されこれによりS/N比が低下するとい
う問題点があり未だ満足し得ないものである。
また、第2の反射光型の位置センサ31においては、レ
チクル17の第1のスリット孔を透過した光がスケール
28の反射部28Aを照射する位置にあるときは、スケ
ール28の反射部28Aによって反射した光が、レチク
ル17の所定間隔だけずれた第2のスリット孔を通って
光センサ29へ導かれるようになされている。
チクル17の第1のスリット孔を透過した光がスケール
28の反射部28Aを照射する位置にあるときは、スケ
ール28の反射部28Aによって反射した光が、レチク
ル17の所定間隔だけずれた第2のスリット孔を通って
光センサ29へ導かれるようになされている。
このため、レチクル17及びスケール28の間隔すを正
確に保つ必要があり、スケール28の移動や、ディスク
装置の温度変化等で、レチクル17及びスケール28の
間隔すが変動すると、位置を正確に検出し得なくなる問
題があり未だ不十分である。
確に保つ必要があり、スケール28の移動や、ディスク
装置の温度変化等で、レチクル17及びスケール28の
間隔すが変動すると、位置を正確に検出し得なくなる問
題があり未だ不十分である。
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、レチクル
の形状及び材質を工夫することによって、節易な構成で
高い精度の位置検出を行い得る位置センサを提案しよう
とするものである。
の形状及び材質を工夫することによって、節易な構成で
高い精度の位置検出を行い得る位置センサを提案しよう
とするものである。
E問題点を解決するための手段
かかる問題点を解決するため本発明においては、第1の
平行縞パターンを有し、かつその第1の平行縞パターン
と直交する方向にスライドし得るようになされたスケー
ル28と、レンチキラーレンズ構成を有し、照射光25
をスケール28上の第1の平行縞パターンと重畳するよ
うに集光して第2の平行縞パターンを形成するレチクル
27とを具え、スケール28上での第1の平行縞パター
ンと第2の平行縞パターンとの位相差によって生じる反
射光量の変化を、再びレチクル27を介して光センサ2
9によって電気信号に変換するようにする。
平行縞パターンを有し、かつその第1の平行縞パターン
と直交する方向にスライドし得るようになされたスケー
ル28と、レンチキラーレンズ構成を有し、照射光25
をスケール28上の第1の平行縞パターンと重畳するよ
うに集光して第2の平行縞パターンを形成するレチクル
27とを具え、スケール28上での第1の平行縞パター
ンと第2の平行縞パターンとの位相差によって生じる反
射光量の変化を、再びレチクル27を介して光センサ2
9によって電気信号に変換するようにする。
F作用
スケール28の第1の平行縞パターンと、レチクル27
によりスケール28上に形成された第2の平行縞パター
ンによって得られる反射光は、再びレチクル27を介し
て光センサ29に入射する。
によりスケール28上に形成された第2の平行縞パター
ンによって得られる反射光は、再びレチクル27を介し
て光センサ29に入射する。
このとき、レチクル27がレンチキラーレンズから構成
されていることにより、レチクル27及びスケール28
間の空隙がわずかにずれても反射光はレチクル27に遮
断されることなく、レチクル27の他の部分を透過して
光センサ29に入射し得るようになされている。
されていることにより、レチクル27及びスケール28
間の空隙がわずかにずれても反射光はレチクル27に遮
断されることなく、レチクル27の他の部分を透過して
光センサ29に入射し得るようになされている。
かくして、レチクル27及びスケール28間の空隙の精
度を必要以上に高(することなく、所定の位置検出結果
を得ることのできる位置センサ21を容易に実現できる
。
度を必要以上に高(することなく、所定の位置検出結果
を得ることのできる位置センサ21を容易に実現できる
。
G実施例
以下図面について、本発明による位置センサの一実施例
について詳述する。
について詳述する。
第5図〜第7図との対応部分に同一符号を付して示す第
1図において、21は全体として反射光型の位置センサ
を示す。
1図において、21は全体として反射光型の位置センサ
を示す。
位置センサ21は、第7図に示す従来の反射光型の位置
センサ31の光学的スリット17Aが設けられたレチク
ル17に代え、シリンドリカルレンズ27Aの集合体で
なるいわゆるレンチキラーレンズ構成の透明部材(実施
例ではプラスチック)でなるレチクル27を用いている
。
センサ31の光学的スリット17Aが設けられたレチク
ル17に代え、シリンドリカルレンズ27Aの集合体で
なるいわゆるレンチキラーレンズ構成の透明部材(実施
例ではプラスチック)でなるレチクル27を用いている
。
レチクル27は第2図実線で示すように、スケール28
上の平行縞パターンのピッチP1の整数倍のピッチ(実
施例では1倍)と同じ口径N1を有する複数のシリンド
リカルレンズの集合体で構成され、斜めに入射する平行
光線25を各シリンドリカルレンズ27Aで受けてこれ
をスケール28上に集光し、第1の平行縞パターンの反
射部28Aと同じ幅の明部が整数倍で現れ(実施例では
1倍)、か(して第2の平行縞パターンを形成するよう
になされている。
上の平行縞パターンのピッチP1の整数倍のピッチ(実
施例では1倍)と同じ口径N1を有する複数のシリンド
リカルレンズの集合体で構成され、斜めに入射する平行
光線25を各シリンドリカルレンズ27Aで受けてこれ
をスケール28上に集光し、第1の平行縞パターンの反
射部28Aと同じ幅の明部が整数倍で現れ(実施例では
1倍)、か(して第2の平行縞パターンを形成するよう
になされている。
これに加えてレチクル27の各シリンドリカルレンズ2
7Aは、スケール28上の反射部28Aで反射した反射
光を、大きく折り曲げずに透過して、光センサ29へ導
くために、各シリンドリカルレンズ27Aの断面形状の
F値(=焦点距離/口径)が大きい値に選定されている
。
7Aは、スケール28上の反射部28Aで反射した反射
光を、大きく折り曲げずに透過して、光センサ29へ導
くために、各シリンドリカルレンズ27Aの断面形状の
F値(=焦点距離/口径)が大きい値に選定されている
。
さらに光センサ29がシリンドリカルレンズ27Aの口
径より十分に大きい受光面をもつように選定されており
、かくして、レチクル27及びスケール28のわずかな
空隙の変動に対しても光センサ29に入射する光量が変
化しないようになされている。
径より十分に大きい受光面をもつように選定されており
、かくして、レチクル27及びスケール28のわずかな
空隙の変動に対しても光センサ29に入射する光量が変
化しないようになされている。
以上の構成において、光源22より射出される光23は
、コリメーションレンズ24を透過して平行光線25と
なされ、斜め方向よりレチクル27に入射する。
、コリメーションレンズ24を透過して平行光線25と
なされ、斜め方向よりレチクル27に入射する。
レチクル27を通過した光は、スケール28上において
第2の平行縞パターンを形成する。
第2の平行縞パターンを形成する。
ここで第2の平行縞パターンの明部と、スケール28上
の第1の平行縞パターンの反射部28Aとが一致するよ
うに位置合せされたときには、レチクル27を介して入
射した入射光の大部分がスケール2日上の反射部28A
で反射され、この反射光が再びレチクル27をj3過し
て、レチクル27により少し折曲げられ斜め方向に出射
して光センサ29に導かれる。
の第1の平行縞パターンの反射部28Aとが一致するよ
うに位置合せされたときには、レチクル27を介して入
射した入射光の大部分がスケール2日上の反射部28A
で反射され、この反射光が再びレチクル27をj3過し
て、レチクル27により少し折曲げられ斜め方向に出射
して光センサ29に導かれる。
か(して光センサ29によって検出される位置検出信号
DTは、第4図に示すように信号レベルVが最大値V
MAXをもつ。
DTは、第4図に示すように信号レベルVが最大値V
MAXをもつ。
この状態からスケール28が横方向aにスライドして、
第2の平行縞パターンの明部の大部分がスケール28上
の第1の平行縞パターンの非反射部28B上に入射する
ようになったときは、光センサ29で検出される位W>
”k比信号DTの信号レベル■は最小値V08をもつよ
うになる。
第2の平行縞パターンの明部の大部分がスケール28上
の第1の平行縞パターンの非反射部28B上に入射する
ようになったときは、光センサ29で検出される位W>
”k比信号DTの信号レベル■は最小値V08をもつよ
うになる。
かくしてスケール28を、第1及び第2の平行縞パター
ンの延長方向と直行する方向に所定速度でスライドさせ
て行ったとき、位置検出信号DTの信号レベルが直線的
に最小値V M I Nから最大値VMAXにまで上昇
した後、直線的に最小値VNI、まで減少して行くよう
な三角波形を繰返して描くように構成されている。
ンの延長方向と直行する方向に所定速度でスライドさせ
て行ったとき、位置検出信号DTの信号レベルが直線的
に最小値V M I Nから最大値VMAXにまで上昇
した後、直線的に最小値VNI、まで減少して行くよう
な三角波形を繰返して描くように構成されている。
以上の構成によれば、反射光型の位置センサ21におい
て、レチクル27としてレンチキラーレンズ構成の透明
部材を用いたことにより、スケール28とレチクル27
の空隙が変動するようなことがあっても、スケール28
の反射部28Aよりの反射光がレチクル27を通過し得
なくなるような状態になるおそれはなく、かくして位置
検出の誤差が小さく、かつ簡易な構造の反射光型の位置
センサ21を容易に実現できる。
て、レチクル27としてレンチキラーレンズ構成の透明
部材を用いたことにより、スケール28とレチクル27
の空隙が変動するようなことがあっても、スケール28
の反射部28Aよりの反射光がレチクル27を通過し得
なくなるような状態になるおそれはなく、かくして位置
検出の誤差が小さく、かつ簡易な構造の反射光型の位置
センサ21を容易に実現できる。
また上述の位置センサ21においては、スケールの材質
を光透過性のものに限定する必要がなく、例えばプラス
チック板上に白及び黒色で第1の平行縞パターンを描い
たような洒易な構成のものも用途に合せ選択し得る。
を光透過性のものに限定する必要がなく、例えばプラス
チック板上に白及び黒色で第1の平行縞パターンを描い
たような洒易な構成のものも用途に合せ選択し得る。
なお上述の実施例においては、レチクル27の各シリン
ドリカルレンズ27Aの口径を、スケール上の第1の平
行縞パターンのピッチP、と同じ口径N、に選定したが
(第2図実線)、これに代え、第2図破線で示すように
第1の平行縞パターンのピッチの整数倍(第2図破線で
は2倍)の口径N2をもち、スケール上で反射部と同じ
幅の明部をもつようにしても上述の場合と同様の効果を
得ることができる。
ドリカルレンズ27Aの口径を、スケール上の第1の平
行縞パターンのピッチP、と同じ口径N、に選定したが
(第2図実線)、これに代え、第2図破線で示すように
第1の平行縞パターンのピッチの整数倍(第2図破線で
は2倍)の口径N2をもち、スケール上で反射部と同じ
幅の明部をもつようにしても上述の場合と同様の効果を
得ることができる。
また上述の実施例においては、光センサ29によって得
られる位置検出信号DTを第4図に示す三角波状のもの
としたが、位置検出信号DTはこれに限らず正弦波状の
ものでも良い。
られる位置検出信号DTを第4図に示す三角波状のもの
としたが、位置検出信号DTはこれに限らず正弦波状の
ものでも良い。
さらに上述の実施例においては、本発明による位置セン
サをハードディスク駆動装置のヘッドを位置決めする位
置センサに適用したが、本発明はこれに限らず、例えば
モータを使った工作機械等、その他の位置センサに広く
適用し得るものである。
サをハードディスク駆動装置のヘッドを位置決めする位
置センサに適用したが、本発明はこれに限らず、例えば
モータを使った工作機械等、その他の位置センサに広く
適用し得るものである。
H発明の効果
上述のように本発明によれば、反射光型の位置センサに
おいて、レチクルにレンチキラーレンズ構成の透明部材
を用いることによって、比較的節易な構成で、高い位置
検出精度を有する位置センサを容易に実現できる。
おいて、レチクルにレンチキラーレンズ構成の透明部材
を用いることによって、比較的節易な構成で、高い位置
検出精度を有する位置センサを容易に実現できる。
第1図は本発明による位置センサを示す路線的断面図、
第2図はレチクルとスケールの関係の説明に供する路線
図、第3図は従来の位置センサの原理を示す路線的斜視
図、第4図は位置センサの受光部より出力される位置検
出信号を示す信号波形図、第5図は従来の位置センサを
示す路線的断面図、第6図及び第7図は、従来の反射光
型の位置センサを示す路線的断面図である。 21・・・・・・位置センサ、22・・・・・・光源、
23・・・・・・1’を光、24・・・・・・コリメー
ションレンズ、25・・・・・・平行光線、26・・・
・・・ケース、27・・・・・・レチクル、28・・・
・・・スケール、29・・・・・・光センサ、P、・・
・・・・第1の平行縞パターンのピッチ、N・・・・・
・シリンドリカルレンズの口径、DT・・・・・・位置
検出信号。
第2図はレチクルとスケールの関係の説明に供する路線
図、第3図は従来の位置センサの原理を示す路線的斜視
図、第4図は位置センサの受光部より出力される位置検
出信号を示す信号波形図、第5図は従来の位置センサを
示す路線的断面図、第6図及び第7図は、従来の反射光
型の位置センサを示す路線的断面図である。 21・・・・・・位置センサ、22・・・・・・光源、
23・・・・・・1’を光、24・・・・・・コリメー
ションレンズ、25・・・・・・平行光線、26・・・
・・・ケース、27・・・・・・レチクル、28・・・
・・・スケール、29・・・・・・光センサ、P、・・
・・・・第1の平行縞パターンのピッチ、N・・・・・
・シリンドリカルレンズの口径、DT・・・・・・位置
検出信号。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 第1の平行縞パターンを有し、かつ当該第1の平行縞パ
ターンと直行する方向にスライドし得るようになされた
スケールと、 レンチキラーレンズ構成を有し、照射光を上記スケール
上の上記第1の平行縞パターンと重畳するように集光し
て第2の平行縞パターンを形成するレチクルと を具え、上記スケール上での上記第1の平行縞パターン
と上記第2の平行縞パターンとの位相差によつて生じる
反射光量の変化を、再びレチクルを介して光センサによ
つて電気信号に変換することを特徴とする位置センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61196246A JPS6350720A (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 | 位置センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61196246A JPS6350720A (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 | 位置センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6350720A true JPS6350720A (ja) | 1988-03-03 |
Family
ID=16354616
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61196246A Pending JPS6350720A (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 | 位置センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6350720A (ja) |
-
1986
- 1986-08-20 JP JP61196246A patent/JPS6350720A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4746792A (en) | Optical transducer element and displacement meter comprising such an element | |
| US6803560B1 (en) | Optical encoder | |
| JPH063167A (ja) | エンコーダー | |
| JPH04157319A (ja) | 影絵パターンを利用するエンコーダ | |
| GB2084315A (en) | Interferometer | |
| JPH11120724A (ja) | 光トラック検知装置 | |
| US5825023A (en) | Auto focus laser encoder having three light beams and a reflective grating | |
| US5506681A (en) | Method for detecting a reference position and displacement detector using the same | |
| US7054095B2 (en) | Displacement detection apparatus, and magnetic recording apparatus and encoder using the displacement detection apparatus | |
| US5369271A (en) | Rotation detector using dual position interference light | |
| JPS6350720A (ja) | 位置センサ | |
| JP2670457B2 (ja) | 零点位置検出装置 | |
| KR100555875B1 (ko) | 인코더 조립체 | |
| JPH09126723A (ja) | 変位情報検出装置 | |
| EP0486050A2 (en) | Method and apparatus for measuring displacement | |
| JP2785202B2 (ja) | 光学式ディスク装置 | |
| JP2540113B2 (ja) | エンコ―ダ | |
| JP2541947B2 (ja) | 絶対位置検出装置 | |
| JP2810524B2 (ja) | 回転検出計 | |
| JPH1123321A (ja) | 光学スケール及びそれを用いた変位情報測定装置 | |
| JPH05256670A (ja) | ロータリーエンコーダー及びエンコーダー | |
| JP4292568B2 (ja) | 光学式エンコーダ及びこれを用いた駆動システム | |
| JP2655121B2 (ja) | 光エンコーダ | |
| JPH0399220A (ja) | エンコーダ | |
| JPH11258001A (ja) | 光学素子及びそれを用いた変位情報検出装置 |