JPS635235A - 測光装置 - Google Patents
測光装置Info
- Publication number
- JPS635235A JPS635235A JP14897386A JP14897386A JPS635235A JP S635235 A JPS635235 A JP S635235A JP 14897386 A JP14897386 A JP 14897386A JP 14897386 A JP14897386 A JP 14897386A JP S635235 A JPS635235 A JP S635235A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- light source
- specimen
- scanning
- array
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/59—Transmissivity
- G01N21/5907—Densitometers
- G01N21/5911—Densitometers of the scanning type
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ、産業上の利用分野
本発明はたとえば走査型測光顕微鏡等に使用できる測光
装置に関する。
装置に関する。
口、従来の技術
走査型測光顕微鏡における２次元走査方式には試料面走
査或は像面走査が用いられている。像面走査方式は試料
面全体を照明しておき、試料面の全体像を形成して、そ
の像面で走査を行う。この方式では走査は撮像管或は２
次元的な撮像素子において受光面を電気的に走査するの
で、機械的な運動部分がなく高速走査ができると言う利
点があるが、試料全面を照明しているので、試料面上の
一つの画素部分についてみると、隣接部分における散乱
光の影響が避けられない。他方試料面走査方式は試料面
を光スポットで照明走査するので、隣接画素からの散乱
光の影響が避けられる。従って測光顕微鏡とか顕微分光
装置など正確な測光値を要求される場合には、試料面走
査方式によることが必要となる。しかしこの試料面走査
方式は試料面に集光する光ビームを２次元的に撮らせる
か、光ビームを固定しておいて試料不テージをＸ、Ｙ両
方向に移動させるものであるから、機械的な運動部分を
必要とし、装置が高価となり、耐久性、高速走査性等で
像面走査方式に劣り、保守も面倒である。
査或は像面走査が用いられている。像面走査方式は試料
面全体を照明しておき、試料面の全体像を形成して、そ
の像面で走査を行う。この方式では走査は撮像管或は２
次元的な撮像素子において受光面を電気的に走査するの
で、機械的な運動部分がなく高速走査ができると言う利
点があるが、試料全面を照明しているので、試料面上の
一つの画素部分についてみると、隣接部分における散乱
光の影響が避けられない。他方試料面走査方式は試料面
を光スポットで照明走査するので、隣接画素からの散乱
光の影響が避けられる。従って測光顕微鏡とか顕微分光
装置など正確な測光値を要求される場合には、試料面走
査方式によることが必要となる。しかしこの試料面走査
方式は試料面に集光する光ビームを２次元的に撮らせる
か、光ビームを固定しておいて試料不テージをＸ、Ｙ両
方向に移動させるものであるから、機械的な運動部分を
必要とし、装置が高価となり、耐久性、高速走査性等で
像面走査方式に劣り、保守も面倒である。
ハ０発明が解決しようとする問題点
本発明は走査のための機械的運動部分を減らし、しかも
高精度の測光が可能であるような走査型測光顕微鏡を提
供しようとするものである。
高精度の測光が可能であるような走査型測光顕微鏡を提
供しようとするものである。
二０問題点解決のための手段
微小光源を１次元或は２次元的にアレー状に配列した光
源体を用い、この光源体の像を試料面上に投影し、光源
体を構成する微小光源を適宜順序で１箇ずつ点灯させる
ようにした。
源体を用い、この光源体の像を試料面上に投影し、光源
体を構成する微小光源を適宜順序で１箇ずつ点灯させる
ようにした。
ホ０作用
微小光源をアレー状に配列した光源体の像を試料面に投
射し、光源体における１ｉｉの微小光源を点灯させれば
、試料面の一微小点を選択的に照明することができる。
射し、光源体における１ｉｉの微小光源を点灯させれば
、試料面の一微小点を選択的に照明することができる。
従って光源体を構成している微小光源を適宜の順序でＩ
Ｎずつ点灯して行けば光スポットで試料面の走査を行っ
たのと同じ結果が得られ、しかも光源体の点灯ル制御は
電気的に可能である。光源体が微少光源の１次元アレー
である場合、試料或は光源体或は試料と光源体との間の
光学素子を光源体のアレー配列方向と直角の方向に駆動
する必要があるが、その駆動速度とか往復回数はアレー
上の発光点の移動速度とか発光繰返数より遥かに少なく
てすみ、実際上２次元的走査のための運動部分は最少に
することができる。
Ｎずつ点灯して行けば光スポットで試料面の走査を行っ
たのと同じ結果が得られ、しかも光源体の点灯ル制御は
電気的に可能である。光源体が微少光源の１次元アレー
である場合、試料或は光源体或は試料と光源体との間の
光学素子を光源体のアレー配列方向と直角の方向に駆動
する必要があるが、その駆動速度とか往復回数はアレー
上の発光点の移動速度とか発光繰返数より遥かに少なく
てすみ、実際上２次元的走査のための運動部分は最少に
することができる。
へ、実施例
第１図は本発明の一実施例を示す。図でＬは光源装置、
Ｃは照明用コンデンサレンズ系、Ｓは試料、Ｐは対物レ
ンズ、Ｈはハーフミラ−１Ｒは単一型（解像性がない）
の光センサ、Ｋは対物レンズ−透過光を光センサＲの受
光面に集光させるレンズ、■は接眼レンズである。
Ｃは照明用コンデンサレンズ系、Ｓは試料、Ｐは対物レ
ンズ、Ｈはハーフミラ−１Ｒは単一型（解像性がない）
の光センサ、Ｋは対物レンズ−透過光を光センサＲの受
光面に集光させるレンズ、■は接眼レンズである。
光源装置りにおいて、１は２次元アレー型光源で、ＬＥ
Ｄデイスプレィが用いられるが、高密度型のプラズマデ
イスプレィ型ガス放電発光アレーも用い得る。２は光フ
アイバー束で、−本一本の光ファイバーは一端がアレー
型光源１の個々の発光点に対向させてあり、反対側の端
が一つにまとめられて一つのアレー状発光面ｆを形成し
ており、コンデンサレンズ系Ｃはこの発光面ｆの縮小像
を試料Ｓの上に形成するようになっている。３は走査回
路であり、４は光源１を駆動するドライブ回路である。
Ｄデイスプレィが用いられるが、高密度型のプラズマデ
イスプレィ型ガス放電発光アレーも用い得る。２は光フ
アイバー束で、−本一本の光ファイバーは一端がアレー
型光源１の個々の発光点に対向させてあり、反対側の端
が一つにまとめられて一つのアレー状発光面ｆを形成し
ており、コンデンサレンズ系Ｃはこの発光面ｆの縮小像
を試料Ｓの上に形成するようになっている。３は走査回
路であり、４は光源１を駆動するドライブ回路である。
第２図は上述実施例における制御回路を示す。
第１図の各部と対応する部分には同じ符号がつけである
。走査回路３はアドレス制御回路３１とアドレスデコー
ダ３２とよりなっている。アドレス制御回路３１はクロ
ックパルスを計数するカウンタでもよいが、マイクロコ
ンピュータからの司令により所定のアドレス指定信号を
出力する構成であってもよい。アドレス制御回路３１か
ら出力されるアドレス指定データはアドレスデコーダ３
２によって光源１の一つの発光素子に対応する駆動信号
に変換されドライバ４に入力される。光センサＲの出力
はプリアンプ、Ａ／Ｄ変換器等よりなる信号変換回路５
によってディジタル光強度信号に変換される。６は画像
メモリであって、アドレス制御回路３１の出力によって
アドレス指定が行われて、上記光強度信号をメモリする
。７は画像表示の場合のＸＹ走査信号発生回路で、メモ
リ６内のデータを画像表示する場合、メモリ６内のデー
タは走査信号発生回路７からの信号でアドレス指定され
て読出され、Ｄ／Ａ変換器等よりなる輝度信号変換回路
８によって輝度変調信号となり、ＣＲＴに印加される。
。走査回路３はアドレス制御回路３１とアドレスデコー
ダ３２とよりなっている。アドレス制御回路３１はクロ
ックパルスを計数するカウンタでもよいが、マイクロコ
ンピュータからの司令により所定のアドレス指定信号を
出力する構成であってもよい。アドレス制御回路３１か
ら出力されるアドレス指定データはアドレスデコーダ３
２によって光源１の一つの発光素子に対応する駆動信号
に変換されドライバ４に入力される。光センサＲの出力
はプリアンプ、Ａ／Ｄ変換器等よりなる信号変換回路５
によってディジタル光強度信号に変換される。６は画像
メモリであって、アドレス制御回路３１の出力によって
アドレス指定が行われて、上記光強度信号をメモリする
。７は画像表示の場合のＸＹ走査信号発生回路で、メモ
リ６内のデータを画像表示する場合、メモリ６内のデー
タは走査信号発生回路７からの信号でアドレス指定され
て読出され、Ｄ／Ａ変換器等よりなる輝度信号変換回路
８によって輝度変調信号となり、ＣＲＴに印加される。
ＣＲＴにはまた走査信号発生回路７から走査信′号が送
られ、Ｘ料Ｓの透過光による像がＣＲＴ上に表示される
。
られ、Ｘ料Ｓの透過光による像がＣＲＴ上に表示される
。
第３図は光源系の一例で、ｄは発光ダイオードであり、
２次元にアレー状に配列され、一つ一つの発光ダイオー
ドに光ファイバーが一本ずつ対向させである。第４図は
光源１の他の一実施例で、微小光源を多数並べる代わり
に電気光学的結晶シャッタや液晶シャッターアレーを用
い、光源そのものは面状光源としたものである。９が液
晶シャッターアレーで、Ｘ座標指定電極ＸとＹ座標指定
電極ｙが直交関係で液晶をはさんでおり、夫々の電極の
一つにアドレスデコーダ３２．ドライバ４を介して電圧
が印加され、液晶の電圧印加部分が透明となって下にあ
る面状光源１０の光を上方へ透過させる。この透過光は
直接第１図のコンデンサレンズ系Ｃによって試料上に集
光させるようにしても、第１図の例と同様オプチカルフ
ァイバー束で一旦小面積に収約した上でコンデンサレン
ズに導くようにしてもよい。面状光源１０は文字通りの
面状発光面でもよい′がＺ光拡散面を通常光源で均一に
照明したものでもよい。
２次元にアレー状に配列され、一つ一つの発光ダイオー
ドに光ファイバーが一本ずつ対向させである。第４図は
光源１の他の一実施例で、微小光源を多数並べる代わり
に電気光学的結晶シャッタや液晶シャッターアレーを用
い、光源そのものは面状光源としたものである。９が液
晶シャッターアレーで、Ｘ座標指定電極ＸとＹ座標指定
電極ｙが直交関係で液晶をはさんでおり、夫々の電極の
一つにアドレスデコーダ３２．ドライバ４を介して電圧
が印加され、液晶の電圧印加部分が透明となって下にあ
る面状光源１０の光を上方へ透過させる。この透過光は
直接第１図のコンデンサレンズ系Ｃによって試料上に集
光させるようにしても、第１図の例と同様オプチカルフ
ァイバー束で一旦小面積に収約した上でコンデンサレン
ズに導くようにしてもよい。面状光源１０は文字通りの
面状発光面でもよい′がＺ光拡散面を通常光源で均一に
照明したものでもよい。
上述実施例では光源は２次元的な広がりを有するが、１
次元的な光源を用い、光源の延びている方向と直角の方
向には揺動鏡を用いるか試料ステージを移動させるかし
て走査を行ってもよい。第５図は反射或は蛍光測定系に
そのような１次元的光源装置を適用した例を示す。上述
した実施例と対応する部分には同じ符号を付し−々の説
明は省略する。１は１次元アレー状光源で、対物レンズ
Ｐがコンデンサレンズを兼ねており、光源１の像は試料
Ｓ上にＸ方向（図の紙面に垂直）に形成され、試料ステ
ージ（不図示）は試料を矢印Ｙ方向に駆動する。光源１
の１次元的走査が一回行われる毎に試料Ｓは一画素ピッ
チ分ずつＹ方向に移動せしめられて試料面の２次元走査
が行われる。
次元的な光源を用い、光源の延びている方向と直角の方
向には揺動鏡を用いるか試料ステージを移動させるかし
て走査を行ってもよい。第５図は反射或は蛍光測定系に
そのような１次元的光源装置を適用した例を示す。上述
した実施例と対応する部分には同じ符号を付し−々の説
明は省略する。１は１次元アレー状光源で、対物レンズ
Ｐがコンデンサレンズを兼ねており、光源１の像は試料
Ｓ上にＸ方向（図の紙面に垂直）に形成され、試料ステ
ージ（不図示）は試料を矢印Ｙ方向に駆動する。光源１
の１次元的走査が一回行われる毎に試料Ｓは一画素ピッ
チ分ずつＹ方向に移動せしめられて試料面の２次元走査
が行われる。
走査でなく一点一点を測定する方式のものもこの発明は
包含する。
包含する。
ト、効果
本発明の測光装置は上述したような構成で、試料を光ス
ポットで測定する型であるから、試料の隣接部分の散乱
光の影響がなく正確な測光が可能であり、しかも光スポ
ットによる測定は１次元或は２次元的な広がりを持つ光
源面の発光位置の制御によって行われるので、測定のた
めの機械的運動部分は無しか或は最少にすることができ
、機械運動部分の使用による種々な問題例えば価格、保
守、耐久性、速度の問題が等が全て解消される。
ポットで測定する型であるから、試料の隣接部分の散乱
光の影響がなく正確な測光が可能であり、しかも光スポ
ットによる測定は１次元或は２次元的な広がりを持つ光
源面の発光位置の制御によって行われるので、測定のた
めの機械的運動部分は無しか或は最少にすることができ
、機械運動部分の使用による種々な問題例えば価格、保
守、耐久性、速度の問題が等が全て解消される。
透過光あるいは反射光を測光する手段が１個でよく、面
センサでは不可能である超高感度センサ（たとえば光電
子増倍管）を用いることができ光子計数モードの測定も
可能となる。
センサでは不可能である超高感度センサ（たとえば光電
子増倍管）を用いることができ光子計数モードの測定も
可能となる。
第１図は本発明の一実施例装置の全体構成図、第２図は
同実施例の制御系のブロック図、第３図は光源系の一例
の側面図、第４図は光源系の他の一例の斜視図、第５図
は本発明の他の一実施例の全体構成図である。 Ｌ・・・光源装置、Ｃ・・・コンデンサレンズ、Ｓ・・
・試料、Ｐ・・・対物レンズ、Ｒ・・・光センサ、１・
・・光源、２・・・光フアイバー束、３・・・走査回路
、４・・・ドライブ回路、ｄ・・・発光ダイオード、９
・・・液晶シャッタ代理人 弁理士 縣 浩 介 第１図 第２図 第４図 □Ｙ
同実施例の制御系のブロック図、第３図は光源系の一例
の側面図、第４図は光源系の他の一例の斜視図、第５図
は本発明の他の一実施例の全体構成図である。 Ｌ・・・光源装置、Ｃ・・・コンデンサレンズ、Ｓ・・
・試料、Ｐ・・・対物レンズ、Ｒ・・・光センサ、１・
・・光源、２・・・光フアイバー束、３・・・走査回路
、４・・・ドライブ回路、ｄ・・・発光ダイオード、９
・・・液晶シャッタ代理人 弁理士 縣 浩 介 第１図 第２図 第４図 □Ｙ
Claims (1)
- １次元或は２次元的な広りを持つ光源と、その発光点の
位置を制御する制御回路と、上記光源の像を試料面に投
射する手段と、試料透過光或は反射光等を測光する手段
とよりなることを特徴とする測光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14897386A JPS635235A (ja) | 1986-06-25 | 1986-06-25 | 測光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14897386A JPS635235A (ja) | 1986-06-25 | 1986-06-25 | 測光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS635235A true JPS635235A (ja) | 1988-01-11 |
Family
ID=15464816
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14897386A Pending JPS635235A (ja) | 1986-06-25 | 1986-06-25 | 測光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS635235A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014085252A (ja) * | 2012-10-24 | 2014-05-12 | Toyota Motor Corp | フィルム検査方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS521313A (en) * | 1975-06-24 | 1977-01-07 | Jinei Kawamura | Rotary engine having multi-polar suctioncompression cylinders in the s ame circumference |
| JPS55164336A (en) * | 1979-06-08 | 1980-12-22 | Olympus Optical Co Ltd | Inspecting material detecting method |
-
1986
- 1986-06-25 JP JP14897386A patent/JPS635235A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS521313A (en) * | 1975-06-24 | 1977-01-07 | Jinei Kawamura | Rotary engine having multi-polar suctioncompression cylinders in the s ame circumference |
| JPS55164336A (en) * | 1979-06-08 | 1980-12-22 | Olympus Optical Co Ltd | Inspecting material detecting method |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014085252A (ja) * | 2012-10-24 | 2014-05-12 | Toyota Motor Corp | フィルム検査方法 |
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