JPS6353831A - 陰極の形成方法 - Google Patents
陰極の形成方法Info
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- JPS6353831A JPS6353831A JP19711886A JP19711886A JPS6353831A JP S6353831 A JPS6353831 A JP S6353831A JP 19711886 A JP19711886 A JP 19711886A JP 19711886 A JP19711886 A JP 19711886A JP S6353831 A JPS6353831 A JP S6353831A
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- alkaline earth
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- earth metal
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は電子源としての陰極の形成方法に係り。
特に文字や画像などを表示する直流ガス放電型表示パネ
ルの陰極として好適なアルカリ土類金属酸化物陰極の形
成方法に関する。
ルの陰極として好適なアルカリ土類金属酸化物陰極の形
成方法に関する。
従来の陰極は、特願昭４８−１２７６７１号に記載され
ているように、Ｂａ（Ｎ３）２のような取扱いが簡単で
活性処理温度の低いアルカリ土類金属のアジ化物を真空
中で熱分解（１２０〜２００Ｃ）Ｌ１３ａ金属を析出さ
せて、Ｂａ１ｉとして用いていた。また、このＢａ陰極
の直流ガス放電型表示パネルへの適用の一例が特開昭５
７−８７０４２号公報に記載されている。すなわち、ガ
ラス基板とに互いに平行な複数の陰極母線上にドツト状
Ｋ Ｂ ａ（Ｎ ３） ２に５重着チのガラス粉末を混
合し印刷乾燥した陰極と、透明なガラス板から成る面仮
には前記陰極母線と直交するように互いに平行な複数の
１蜜甑をＡＵペーストを印ｔ’１ｉｌｌ焼成して設け、
これら面板と基板とを前記交点に対応して複数の放電空
間を有するスペーサを介して重ね合わせ、周囲にガラス
フリットを設ける。このように７狙立てたパネルを真空
容器中にセットする。次に、パネル全体を第２図に示す
温１度工程に従いながら、Ｂａ（Ｎ３）ｚ の熱分解、
ガラスフリットの溶解と凝固、およびパネル中への所定
ガス（Ｘｅ）の封入を経て１３ａ陰極付のパネルを完成
する。
ているように、Ｂａ（Ｎ３）２のような取扱いが簡単で
活性処理温度の低いアルカリ土類金属のアジ化物を真空
中で熱分解（１２０〜２００Ｃ）Ｌ１３ａ金属を析出さ
せて、Ｂａ１ｉとして用いていた。また、このＢａ陰極
の直流ガス放電型表示パネルへの適用の一例が特開昭５
７−８７０４２号公報に記載されている。すなわち、ガ
ラス基板とに互いに平行な複数の陰極母線上にドツト状
Ｋ Ｂ ａ（Ｎ ３） ２に５重着チのガラス粉末を混
合し印刷乾燥した陰極と、透明なガラス板から成る面仮
には前記陰極母線と直交するように互いに平行な複数の
１蜜甑をＡＵペーストを印ｔ’１ｉｌｌ焼成して設け、
これら面板と基板とを前記交点に対応して複数の放電空
間を有するスペーサを介して重ね合わせ、周囲にガラス
フリットを設ける。このように７狙立てたパネルを真空
容器中にセットする。次に、パネル全体を第２図に示す
温１度工程に従いながら、Ｂａ（Ｎ３）ｚ の熱分解、
ガラスフリットの溶解と凝固、およびパネル中への所定
ガス（Ｘｅ）の封入を経て１３ａ陰極付のパネルを完成
する。
第２図はＢａ陰画付パネル裏作におけるパネル温度とそ
の時の作業工程を示す。パネルの内外を高真空（’；
１０−”ｆ：ｏｒｒ ）に保ちながら、バネル温度を常
温からゆっくり上昇し、１ｏｏｒの（ａ）−（ｂ）でＮ
２０などを排気する。さらに温度を上昇し１２０ｉｃ〜
２００Ｃで（Ｃ） （ｄ） Ｂａ（Ｎ３ ）ｚを熱分
解し。
の時の作業工程を示す。パネルの内外を高真空（’；
１０−”ｆ：ｏｒｒ ）に保ちながら、バネル温度を常
温からゆっくり上昇し、１ｏｏｒの（ａ）−（ｂ）でＮ
２０などを排気する。さらに温度を上昇し１２０ｉｃ〜
２００Ｃで（Ｃ） （ｄ） Ｂａ（Ｎ３ ）ｚを熱分
解し。
Ｂａ金属を陰極表面に析出させる。さらにパネルの内外
を、高Ａ空（≦１０−”ｆｏｒｒ ）を保ちながら、フ
リットガラスが溶解する（ｅ）（４５０Ｃ）まで上昇し
、フリットガラスが泡立つようになれば（０パネルの内
外が大気圧程度になるようにＡｒガスなどの希ガスを封
入する。完全に溶解するまで高温に保った後、余々に温
度を下げ（ω→（ｈ）、ガラスフリットが完全に凝固し
た時点（ｈ）（約２００ｃ）でパネルの内部を排気する
。次に、パネルの内部が高”Ｎ２ （〜１０−７Ｔｏｒ
ｒ ）になツタ状態（」）テ所定のガス、例えばカラー
表示の場合にはＸｅやＨｅ 十Ｘ ｅ混合ガスなど、ま
たモノクロ表示の場合にばＮ ｅ ＋Ａ ｒベニンガス
などｋ １０〜６００Ｔｏｒｒかを選定して封入し、パ
ネルをチップして完成する。
を、高Ａ空（≦１０−”ｆｏｒｒ ）を保ちながら、フ
リットガラスが溶解する（ｅ）（４５０Ｃ）まで上昇し
、フリットガラスが泡立つようになれば（０パネルの内
外が大気圧程度になるようにＡｒガスなどの希ガスを封
入する。完全に溶解するまで高温に保った後、余々に温
度を下げ（ω→（ｈ）、ガラスフリットが完全に凝固し
た時点（ｈ）（約２００ｃ）でパネルの内部を排気する
。次に、パネルの内部が高”Ｎ２ （〜１０−７Ｔｏｒ
ｒ ）になツタ状態（」）テ所定のガス、例えばカラー
表示の場合にはＸｅやＨｅ 十Ｘ ｅ混合ガスなど、ま
たモノクロ表示の場合にばＮ ｅ ＋Ａ ｒベニンガス
などｋ １０〜６００Ｔｏｒｒかを選定して封入し、パ
ネルをチップして完成する。
このようなプロセスを用いると、良質のＪ３ａ金属の陰
極が形成でき、Ｘｅガスを封入し之場合の最小放電維持
電圧は約９０Ｖで、Ｎｉ陰極の場合の約２５０Ｖに比べ
約１／３に低電圧化できた。
極が形成でき、Ｘｅガスを封入し之場合の最小放電維持
電圧は約９０Ｖで、Ｎｉ陰極の場合の約２５０Ｖに比べ
約１／３に低電圧化できた。
上記従来技術のＢａ陰極の仕事関数は、約２〜２．５ｅ
Ｖである。ところがｔ ＨａＣＯ３などを熱分解（約１
０００Ｃ）して形成したＢａＯの仕事関数は約１．１〜
１．６ ｅ ＶでＸｅ放電の場合の最小放電維持電圧は
４７Ｖと１３ａの場合の約１／２が得られており、 Ｂ
ａ（Ｎ３）２を熱分解して生成したＢａをさらに酸化し
てＢａＯとし、低電圧化を計ることは考慮されていなか
った。
Ｖである。ところがｔ ＨａＣＯ３などを熱分解（約１
０００Ｃ）して形成したＢａＯの仕事関数は約１．１〜
１．６ ｅ ＶでＸｅ放電の場合の最小放電維持電圧は
４７Ｖと１３ａの場合の約１／２が得られており、 Ｂ
ａ（Ｎ３）２を熱分解して生成したＢａをさらに酸化し
てＢａＯとし、低電圧化を計ることは考慮されていなか
った。
本発明の目的は上記低電圧化を計ることにある。
上記目的は、例えば第１図に示すような温度プロセスで
、Ｂａ（Ｎ３）ｚなどアルカリ土類金属のアジ化物全低
温度（１２０〜２０ＣＩ’）で熱分解し、析出したアル
カリ土類金属を酸素雰囲気中で酸化することにより、ア
ルカリ土類金属の酸化物（例えばＢａＯなど）が得られ
、達成される。
、Ｂａ（Ｎ３）ｚなどアルカリ土類金属のアジ化物全低
温度（１２０〜２０ＣＩ’）で熱分解し、析出したアル
カリ土類金属を酸素雰囲気中で酸化することにより、ア
ルカリ土類金属の酸化物（例えばＢａＯなど）が得られ
、達成される。
アルカリ土類金属のアジ化物の熱分解によって析出した
アルカリ土類金属は、酸素雰囲気中で化学反応を起こし
、アルカリ土類金属の酸化物全生成する。このときの反
応速度は＠度に依存し、高温はどその速度は速くなり、
単位時間当りの酸化層の厚さも厚くなる。このようにし
て形成したアルカリ土類金属の酸化物の仕事関数は、例
えばＢａＯは約１．５’ｅＶである。その他Ｃａ０ＪＰ
ＳｒＯも同じような傾向を示すと考えられる。
アルカリ土類金属は、酸素雰囲気中で化学反応を起こし
、アルカリ土類金属の酸化物全生成する。このときの反
応速度は＠度に依存し、高温はどその速度は速くなり、
単位時間当りの酸化層の厚さも厚くなる。このようにし
て形成したアルカリ土類金属の酸化物の仕事関数は、例
えばＢａＯは約１．５’ｅＶである。その他Ｃａ０ＪＰ
ＳｒＯも同じような傾向を示すと考えられる。
し友がって、仕事関係ばＢａの２〜２．５ｅＶからＢａ
Ｏの約１．５ｅＶに低減でき、最小放電維持電圧も、例
えば’ｆ＝ｅ放電のとさ、Ｂａの約９０ＶからＢａＯの
約５０’ｉｉ’と約１／２に低減できた。さらに、Ｎｅ
＋Ａｒａ合ガスのときも約８０Ｖから約７０Ｙに低減で
きた。
Ｏの約１．５ｅＶに低減でき、最小放電維持電圧も、例
えば’ｆ＝ｅ放電のとさ、Ｂａの約９０ＶからＢａＯの
約５０’ｉｉ’と約１／２に低減できた。さらに、Ｎｅ
＋Ａｒａ合ガスのときも約８０Ｖから約７０Ｙに低減で
きた。
以下、本発明の実施例を第１図、第３図および第４図を
用いて説明する。
用いて説明する。
第１図はＢａＯ陰極付直流ガス放電型表示パネル裏作時
の代表的なパネル温度プログラムを示す。
の代表的なパネル温度プログラムを示す。
パネルの構造は１例えば第３図に示すように、ガラスな
どから成る基板２０上に互いに平行な複数の陰極母線１
００ｉ１′ＩＪｉペーストなどを印刷焼成して形成する
。その上に、アルカリ土類金属のアジ化物１例えばＢａ
（Ｎ３）２ ＋Ｃａ（Ｎ＋） ２なとの単体又はこれ
らの混合物に５〜２０重盪チのガラス粉末を混合してペ
ースト状にし、例えば第３図（Ｏ）のように陰極として
稼働する部分１１０金ドツト状に印刷技術などを用いて
形成乾燥する。一方、ガラスなどから成る透明な面板１
０の裏面に、互いに平行な複数のｌ″ＪＪ極２００をＮ
１ペーストなど全印刷乾燥し、次にガラスペーストなど
金属いて複数の放電空間３００を形成するためのバリア
３０を印刷乾燥し、前記陽極２００と同時焼成する。
どから成る基板２０上に互いに平行な複数の陰極母線１
００ｉ１′ＩＪｉペーストなどを印刷焼成して形成する
。その上に、アルカリ土類金属のアジ化物１例えばＢａ
（Ｎ３）２ ＋Ｃａ（Ｎ＋） ２なとの単体又はこれ
らの混合物に５〜２０重盪チのガラス粉末を混合してペ
ースト状にし、例えば第３図（Ｏ）のように陰極として
稼働する部分１１０金ドツト状に印刷技術などを用いて
形成乾燥する。一方、ガラスなどから成る透明な面板１
０の裏面に、互いに平行な複数のｌ″ＪＪ極２００をＮ
１ペーストなど全印刷乾燥し、次にガラスペーストなど
金属いて複数の放電空間３００を形成するためのバリア
３０を印刷乾燥し、前記陽極２００と同時焼成する。
なお、バリア３０は複数の放電空間３００を有するガラ
スなどのスペーサを用いてもよい。また。
スなどのスペーサを用いてもよい。また。
カラー表示の場合には、前記放電空間３００の側壁など
に蛍光体を設ける。
に蛍光体を設ける。
このようにしてできた面板と基板とを、第３図（イ）に
示すように１６合わせて１反り止めし、周囲にガス放出
の少ないガラスフリット４０を設置する。
示すように１６合わせて１反り止めし、周囲にガス放出
の少ないガラスフリット４０を設置する。
次に、このように組上げたパネルを、第４図に示すよう
に、Ｃｕなどのような熱伝導係数の大きな材料ではさみ
５０（パネル取り付は板）、排気装置のある真空容器の
中に固定する。なお、このとき、パネルは独立に排気で
きるよう（排気管６０に接続し、パルプＢ３．Ｂ４ 、
Ｂｓを用いて、各々独立にＡｒなとの希ガスがボンベＧ
ｌから、ま之＊ ０２ガスがボンベＧ２から、さらにｘ
ｅ。
に、Ｃｕなどのような熱伝導係数の大きな材料ではさみ
５０（パネル取り付は板）、排気装置のある真空容器の
中に固定する。なお、このとき、パネルは独立に排気で
きるよう（排気管６０に接続し、パルプＢ３．Ｂ４ 、
Ｂｓを用いて、各々独立にＡｒなとの希ガスがボンベＧ
ｌから、ま之＊ ０２ガスがボンベＧ２から、さらにｘ
ｅ。
）（ｅ＋Ｘｅ、Ｎｅ＋Ａｒなどの放電のための所定のガ
スがボンベＧ３から供給できるようになってイル。一方
、パネル金セットした真空容器７０もバルブ）３＋ｔ’
通して独立に排気で＊、′ｉた。パルプＢ２を通して希
ガスＧ＋が導入でさるようになっている。さらに、パネ
ルは１少なくとも上下いずれかのパネル取り付は仮５０
に設けたヒータの電流制御により、第１図に示したよう
な温度制御ができるようになっている。なお、前記真空
容器７０全体を加熱して第１図のような温度制御を行っ
てももちろんよい。
スがボンベＧ３から供給できるようになってイル。一方
、パネル金セットした真空容器７０もバルブ）３＋ｔ’
通して独立に排気で＊、′ｉた。パルプＢ２を通して希
ガスＧ＋が導入でさるようになっている。さらに、パネ
ルは１少なくとも上下いずれかのパネル取り付は仮５０
に設けたヒータの電流制御により、第１図に示したよう
な温度制御ができるようになっている。なお、前記真空
容器７０全体を加熱して第１図のような温度制御を行っ
てももちろんよい。
次に、この装置の動作を第１図の温度プログラムに従っ
て説明する。先ず、パルプＢ１およびＢａｔ開いてパネ
ルの内部および真空容器７０の内部を高真空（≦１０−
６□ｌ’ｏｒｒ）に排気する。次に、パネルの温度を１
００Ｃ立いまで徐々に上げ＜ａ＞、この温度で１時間位
い保ちＨ２Ｏなどを分解排気する（ｂ）。さらに高真空
（≦１０−”ｐｏｒｒ）を保ちながらゆっくり温度を上
げてゆく（Ｃ）。１０００位いからアルカリ土類金属の
アジ化物の熱分解が始まり、２００Ｃ程度で１時間位い
保ち完全にアルカリ土類金属を析出させる（ｄ）。さら
に、特にパネルの内部は高真空（≦１０ ”’ Ｔｏｒ
ｒ ）を保ちながら温度を上昇し、４５０Ｃ位いてパネ
ル周囲に設けたガラスフリットが溶解し始め、泡立つよ
うになる（ｅ）。しばらくして（〜１０分位い）、バル
ブＢｌ と８６を閉じるとともに、少しずつバルブ８１
、Ｂ３を開け、Ａｒなどの希ガスを導入し。
て説明する。先ず、パルプＢ１およびＢａｔ開いてパネ
ルの内部および真空容器７０の内部を高真空（≦１０−
６□ｌ’ｏｒｒ）に排気する。次に、パネルの温度を１
００Ｃ立いまで徐々に上げ＜ａ＞、この温度で１時間位
い保ちＨ２Ｏなどを分解排気する（ｂ）。さらに高真空
（≦１０−”ｐｏｒｒ）を保ちながらゆっくり温度を上
げてゆく（Ｃ）。１０００位いからアルカリ土類金属の
アジ化物の熱分解が始まり、２００Ｃ程度で１時間位い
保ち完全にアルカリ土類金属を析出させる（ｄ）。さら
に、特にパネルの内部は高真空（≦１０ ”’ Ｔｏｒ
ｒ ）を保ちながら温度を上昇し、４５０Ｃ位いてパネ
ル周囲に設けたガラスフリットが溶解し始め、泡立つよ
うになる（ｅ）。しばらくして（〜１０分位い）、バル
ブＢｌ と８６を閉じるとともに、少しずつバルブ８１
、Ｂ３を開け、Ａｒなどの希ガスを導入し。
はぼ大気圧になるまで導入する（ｆ）。このようにする
と、ガラスフリットの泡立ちが押えられるとともに、ガ
ラスフリットによる封着が気密になり、高真空に耐えら
れるようになる。この状態を１時間程度保った後（ｇ）
、温度のみを徐々に低下させ。
と、ガラスフリットの泡立ちが押えられるとともに、ガ
ラスフリットによる封着が気密になり、高真空に耐えら
れるようになる。この状態を１時間程度保った後（ｇ）
、温度のみを徐々に低下させ。
２００Ｃ程度になるとガラスフリットは完成に凝固する
（ｈ）。次に、バルブＢｚ 、 ８３ ｔ”閉じると
ともＫ、パルプＢ６を開け（ｈ）、パネルの内部を高真
空（≦１０−７Ｔｏｒｒ ）に加熱排気する（乃→附≦
３５００）。その後、バルブＢ６を閉じるとともにバル
ブＢ４を開けてパネルの内部に酸素ガスを導入しく ＜
７６０ Ｔｏｒｒ）、アルカリ土類金属元素と酸素に
よる化学反応？発生させてアルカリ土類金属の酸化物を
生成する。このときの反応速度は温度に依存し、高温は
ど促進される。次に、酸化反厄が十分進み酸化物が形成
された後、パルプＢ４を閉じるとともにパルプＢ６を開
け、パネルの内部を高真空（≦１０−７’ｌ’ｏｒｒ）
に加熱排気する（ｎ）→（０）。その後、高真空を保っ
たままパネル温度を常＠まで低下させる（ｉ）。次に、
パルプＢ６を閉じるとともにバルブＢｓを開け、ガス放
電に必要なガス、例えばカラー表示のときにばＸｅかＨ
ｅ＋Ｘｅなどの希ガスを１０〜５００Ｔｏｒｒ封入する
。なお、放電の発光そのものを利用するモノクロ表示の
ときにはＮ ｅ ＋Ａ ｒなどを１００〜６００ Ｔｏ
ｒｒ 刺入する。所用のガスをパネルに導入した後、パ
ネルをチップすると、アルカリ土類金属の酸化物から成
る陰極をもつ之パネルが完成する。
（ｈ）。次に、バルブＢｚ 、 ８３ ｔ”閉じると
ともＫ、パルプＢ６を開け（ｈ）、パネルの内部を高真
空（≦１０−７Ｔｏｒｒ ）に加熱排気する（乃→附≦
３５００）。その後、バルブＢ６を閉じるとともにバル
ブＢ４を開けてパネルの内部に酸素ガスを導入しく ＜
７６０ Ｔｏｒｒ）、アルカリ土類金属元素と酸素に
よる化学反応？発生させてアルカリ土類金属の酸化物を
生成する。このときの反応速度は温度に依存し、高温は
ど促進される。次に、酸化反厄が十分進み酸化物が形成
された後、パルプＢ４を閉じるとともにパルプＢ６を開
け、パネルの内部を高真空（≦１０−７’ｌ’ｏｒｒ）
に加熱排気する（ｎ）→（０）。その後、高真空を保っ
たままパネル温度を常＠まで低下させる（ｉ）。次に、
パルプＢ６を閉じるとともにバルブＢｓを開け、ガス放
電に必要なガス、例えばカラー表示のときにばＸｅかＨ
ｅ＋Ｘｅなどの希ガスを１０〜５００Ｔｏｒｒ封入する
。なお、放電の発光そのものを利用するモノクロ表示の
ときにはＮ ｅ ＋Ａ ｒなどを１００〜６００ Ｔｏ
ｒｒ 刺入する。所用のガスをパネルに導入した後、パ
ネルをチップすると、アルカリ土類金属の酸化物から成
る陰極をもつ之パネルが完成する。
なお、第１図における時間軸は一例であって。
パネルの大きさなどによっても変化する。また、第１図
における（ｈ）→（ｉ）までの工程の温度も一例で、温
度は任意に選ぶことができる。すなわち、パネルの場合
はガラスの融点温度で上限が決まるが。
における（ｈ）→（ｉ）までの工程の温度も一例で、温
度は任意に選ぶことができる。すなわち、パネルの場合
はガラスの融点温度で上限が決まるが。
その制限がなければさらに高温でもよい。また。
その他の条件で加熱ができない場合な常温などでもよい
っ さらＶζ、酸素ガスをプラズマ化してアルカリ土類金属
の酸化物を作製してもよい。
っ さらＶζ、酸素ガスをプラズマ化してアルカリ土類金属
の酸化物を作製してもよい。
本説明ではガス放電型表示パネルでの応用についてのみ
述べたが、例えば電子管（ＣＲＴ、ＣＰＴなど）など、
電子源として応用できることは述べるまでもない。
述べたが、例えば電子管（ＣＲＴ、ＣＰＴなど）など、
電子源として応用できることは述べるまでもない。
本発明によれば、アルカリ土類金属のアジ化物を真空中
で熱分解してアルカリ土類金属元素を析出させた後、酸
素雰囲気中で化学反応させてアルカリ土類金属の酸化物
を生成し、これＦＫ子源とすることにより、仕事関数を
できるので、放電電圧の低電圧化など動作電圧を低減で
きる効果がある。例えばＸｅ放電の場合Ｎｉ陰極の２５
０ｖ、１３ａ陰極の９０Ｖに比べ１本発明によるＢａＯ
陰極では５０Ｖと大幅に抵電圧化でき高効率化（省電力
化）とともに、駆動回路のＩＣ化や長寿命化を計ること
ができ、さらに１価格の低減の上からもその効果は絶大
なるものがある。
で熱分解してアルカリ土類金属元素を析出させた後、酸
素雰囲気中で化学反応させてアルカリ土類金属の酸化物
を生成し、これＦＫ子源とすることにより、仕事関数を
できるので、放電電圧の低電圧化など動作電圧を低減で
きる効果がある。例えばＸｅ放電の場合Ｎｉ陰極の２５
０ｖ、１３ａ陰極の９０Ｖに比べ１本発明によるＢａＯ
陰極では５０Ｖと大幅に抵電圧化でき高効率化（省電力
化）とともに、駆動回路のＩＣ化や長寿命化を計ること
ができ、さらに１価格の低減の上からもその効果は絶大
なるものがある。
第１図は本発明の陰画形成の温度プログラムと機能の一
％Ｊ全示す図、第２図は従来の陰極形成の温度プログラ
ムと機能を示す図、第３図はパネルの＃ｆｆｉの一例を
示す図５第４図は本発明の陰極形成装置の模式図である
。 １０・・・面板１２０・・・基板、３０・・・バリア、
４０・・・ガラスフリット、１００・・陰極母線、１１
０・・・アルカリ土類金属の酸化物（最初はアジ化物）
、２００・・・陽極、３００・・・放電空間１５０・・
・パネル取り付は板、６０・・・パネル排気管、７０・
・・真空容器。 代理人 弁理士 小川勝′負 ゛ ノＶ−ンルシｕ（’ｃ） ハ・ネ）見益濱（°６） ｆ ４ 図 ハ′ｌル ＺＯ基耘 ３θ ノぐ り了 ４０ 力゛ラスフリ・シト ５０ バ、ネル月ライ寸）１オ及 ６Ｉ−θ３ か゛又嘩Ａ唸引
％Ｊ全示す図、第２図は従来の陰極形成の温度プログラ
ムと機能を示す図、第３図はパネルの＃ｆｆｉの一例を
示す図５第４図は本発明の陰極形成装置の模式図である
。 １０・・・面板１２０・・・基板、３０・・・バリア、
４０・・・ガラスフリット、１００・・陰極母線、１１
０・・・アルカリ土類金属の酸化物（最初はアジ化物）
、２００・・・陽極、３００・・・放電空間１５０・・
・パネル取り付は板、６０・・・パネル排気管、７０・
・・真空容器。 代理人 弁理士 小川勝′負 ゛ ノＶ−ンルシｕ（’ｃ） ハ・ネ）見益濱（°６） ｆ ４ 図 ハ′ｌル ＺＯ基耘 ３θ ノぐ り了 ４０ 力゛ラスフリ・シト ５０ バ、ネル月ライ寸）１オ及 ６Ｉ−θ３ か゛又嘩Ａ唸引
Claims (1)
- １、導体にアルカリ土類金属のアジ化物を付着し、真空
中で熱分解してアルカリ土類金属を析出させた後、酸素
雰囲気中で前記アルカリ土類金属を酸化させたことを特
徴とするアルカリ土類金属酸化物の陰極の形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19711886A JPS6353831A (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 | 陰極の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19711886A JPS6353831A (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 | 陰極の形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6353831A true JPS6353831A (ja) | 1988-03-08 |
Family
ID=16369031
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19711886A Pending JPS6353831A (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 | 陰極の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6353831A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5192239A (en) * | 1990-11-27 | 1993-03-09 | Patent Treuhand Gesellschaft Fur Elektrische Gluhlampen M.B.H. | Method and apparatus to make a discharge vessel for a sodium high-pressure discharge lamp |
-
1986
- 1986-08-25 JP JP19711886A patent/JPS6353831A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5192239A (en) * | 1990-11-27 | 1993-03-09 | Patent Treuhand Gesellschaft Fur Elektrische Gluhlampen M.B.H. | Method and apparatus to make a discharge vessel for a sodium high-pressure discharge lamp |
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