JPS6357386U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6357386U JPS6357386U JP14995786U JP14995786U JPS6357386U JP S6357386 U JPS6357386 U JP S6357386U JP 14995786 U JP14995786 U JP 14995786U JP 14995786 U JP14995786 U JP 14995786U JP S6357386 U JPS6357386 U JP S6357386U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cavity
- pump
- check valve
- extensible
- channels
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Reciprocating Pumps (AREA)
Description
第１図は本考案に係る圧電ポンプの一実施例を
示す説明図、第２図は従来技術の一例を示す説明
図である。 ３０……ポンプケース、３２……空洞部、３４
……吸込み流路、３６……吐出し流路、３８，４
０……逆止弁、４２……積層型圧電素子、４４…
…セパレータ。
示す説明図、第２図は従来技術の一例を示す説明
図である。 ３０……ポンプケース、３２……空洞部、３４
……吸込み流路、３６……吐出し流路、３８，４
０……逆止弁、４２……積層型圧電素子、４４…
…セパレータ。
Claims (1)
- ポンプ空洞部と連通するように吸込み流路と吐
出し流路を形成し、両流路にそれぞれ逆止弁を設
け、複数の伸縮変形する積層型圧電素子をそれら
のフリーな振動端面が空洞部に対向するように配
置した圧電ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14995786U JPS6357386U (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14995786U JPS6357386U (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6357386U true JPS6357386U (ja) | 1988-04-16 |
Family
ID=31065648
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14995786U Pending JPS6357386U (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6357386U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002084118A1 (en) * | 2001-04-06 | 2002-10-24 | Ngk Insulators,Ltd. | Micro pump |
| WO2022210373A1 (ja) * | 2021-03-30 | 2022-10-06 | 株式会社村田製作所 | 霧化装置、およびその状態検知方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58218183A (ja) * | 1982-06-14 | 1983-12-19 | Nippon Soken Inc | 電歪式アクチユエ−タとその製造方法 |
-
1986
- 1986-09-30 JP JP14995786U patent/JPS6357386U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58218183A (ja) * | 1982-06-14 | 1983-12-19 | Nippon Soken Inc | 電歪式アクチユエ−タとその製造方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002084118A1 (en) * | 2001-04-06 | 2002-10-24 | Ngk Insulators,Ltd. | Micro pump |
| WO2022210373A1 (ja) * | 2021-03-30 | 2022-10-06 | 株式会社村田製作所 | 霧化装置、およびその状態検知方法 |