JPS6357735U - - Google Patents

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JPS6357735U
JPS6357735U JP15175386U JP15175386U JPS6357735U JP S6357735 U JPS6357735 U JP S6357735U JP 15175386 U JP15175386 U JP 15175386U JP 15175386 U JP15175386 U JP 15175386U JP S6357735 U JPS6357735 U JP S6357735U
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JP
Japan
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cassette
wafer
wafers
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card
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JP15175386U
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【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案によるウエハ収納用カセツト
の一実施例を示す平面図、第２図は第１図の正面
図、第３図は第２図の情報カードの正面図、第４
図はこの考案の他の実施例を示す情報カードの正
面図、第５図〜第７図は従来のウエハ収納用カセ
ツトを示す図で、第５図は平面図、第６図は正面
図、第７図は動作説明用側面図である。 図中、１はカセツト、２は支持溝、３はウエハ
、８は押出装置、１２は情報カード、１３は情報
部である。なお、図中同一符号は同一又は相当部
分を示す。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 互いに対向する内側壁に支持溝が形成され
    たカセツトを設け、上記支持溝に縁部が挿入され
    たウエハを並列保持し、上記ウエハと係合してこ
    れを押し出す押出装置を持つものにおいて、上記
    ウエハと同一形状の板材で構成され上記ウエハの
    製造工程が記録された情報部を持ちかつ上記押出
    装置と係合する情報カードを設け、この情報カー
    ドを上記ウエハと並列して上記カセツトの支持溝
    に挿入したことを特徴とするウエハ収納用カセツ
    ト。 (2) 情報カードをウエハと同一材質のものの上
    に情報が構成されたものとした実用新案登録請求
    の範囲第１項記載のウエハ収納用カセツト。 (3) 情報カードをウエハと類似材質のものの上
    に情報部が貼着されたものとした実用新案登録請
    求の範囲第１項記載のウエハ収納用カセツト。
JP15175386U 1986-10-02 1986-10-02 Pending JPS6357735U (ja)

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JP15175386U JPS6357735U (ja) 1986-10-02 1986-10-02

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JP15175386U JPS6357735U (ja) 1986-10-02 1986-10-02

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Publication Number Publication Date
JPS6357735U true JPS6357735U (ja) 1988-04-18

Family

ID=31069110

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15175386U Pending JPS6357735U (ja) 1986-10-02 1986-10-02

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