JPS636030A - シ−ト状物のプラズマ処理装置 - Google Patents
シ−ト状物のプラズマ処理装置Info
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- JPS636030A JPS636030A JP15016686A JP15016686A JPS636030A JP S636030 A JPS636030 A JP S636030A JP 15016686 A JP15016686 A JP 15016686A JP 15016686 A JP15016686 A JP 15016686A JP S636030 A JPS636030 A JP S636030A
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- Japan
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- vacuum container
- bearing box
- internal space
- plasma processing
- sheet
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/03—Pressure vessels, or vacuum vessels, having closure members or seals specially adapted therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
- B29C59/14—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by plasma treatment
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- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、シート状物のプラズマ処理装置、詳しくは
、プラズマ雰囲気にある真空容器内で、回転するドラム
形状の放電電極の外周面にシート状物を沿わせて、低温
プラズマ処理する装置に関するものである。
、プラズマ雰囲気にある真空容器内で、回転するドラム
形状の放電電極の外周面にシート状物を沿わせて、低温
プラズマ処理する装置に関するものである。
［従来の技術］
近年、プラズマ退庁は、たとえばプラスチックフィルム
、布帛などのシート状物の化学的、物理的、力学的、光
学的もしくは電気的性質または表面構造を改善する処理
方法として注目されている。つまり、プラズマ処理によ
って、シート状物の接着性、摩擦特性、風合、光沢もし
くは染色堅牢度を向上させ、または帯電防止９表面硬化
、粗面化、ブロッキング防止もしくは染色物の濃色化を
図り得ることが知られている（たとえば、特開昭５７−
１８７３７号公報、特開昭６〇−１４９４４１号公報参
照）。
、布帛などのシート状物の化学的、物理的、力学的、光
学的もしくは電気的性質または表面構造を改善する処理
方法として注目されている。つまり、プラズマ処理によ
って、シート状物の接着性、摩擦特性、風合、光沢もし
くは染色堅牢度を向上させ、または帯電防止９表面硬化
、粗面化、ブロッキング防止もしくは染色物の濃色化を
図り得ることが知られている（たとえば、特開昭５７−
１８７３７号公報、特開昭６〇−１４９４４１号公報参
照）。
この種のシート状物のプラズマ処理装置は、従来より、
真空容器を貫通する回転軸に固定されたドラム形状の放
電電極と、これに対向する棒状の放電電極とを真空容器
内に設けている。上記大きなドラム形状の放電電極を回
転させる回転軸を、この放電電極の両側で軸支すること
によって、回転軸への負担を軽減している。また、回転
しているこの放電電極に通電するために、この放電電極
と一体の回転軸が充電状態になっている。
真空容器を貫通する回転軸に固定されたドラム形状の放
電電極と、これに対向する棒状の放電電極とを真空容器
内に設けている。上記大きなドラム形状の放電電極を回
転させる回転軸を、この放電電極の両側で軸支すること
によって、回転軸への負担を軽減している。また、回転
しているこの放電電極に通電するために、この放電電極
と一体の回転軸が充電状態になっている。
［発明が解決しようとする問題点］
ところで、シート状物のプラズマ処理装置は、処理を施
すシート状物の幅が広いことなどから。
すシート状物の幅が広いことなどから。
−般にその設備が大がかりになるので、これが工業的に
採用されるためには、大きな設備費に見合う処理能力を
備える必要がある。つまり、元々。
採用されるためには、大きな設備費に見合う処理能力を
備える必要がある。つまり、元々。
プラズマ雰囲気を作るプラズマ処理装置の大きな入力を
、さらに増大させて、プラズマ密度を上昇させることに
よって、処理能力を向上する必要がある。しかし、電気
抵抗が小さいプラズマ雰囲気にある真空容器内では、上
記入力を大きくしていった場合、真空容器内の充電状態
にある回転軸と、この回転軸の軸受との間に、大きな電
気的不均一が生じ、複雑な形状の軸受の部分が発光して
、やがて瞬時的な異常なアーク放電を生じる。
、さらに増大させて、プラズマ密度を上昇させることに
よって、処理能力を向上する必要がある。しかし、電気
抵抗が小さいプラズマ雰囲気にある真空容器内では、上
記入力を大きくしていった場合、真空容器内の充電状態
にある回転軸と、この回転軸の軸受との間に、大きな電
気的不均一が生じ、複雑な形状の軸受の部分が発光して
、やがて瞬時的な異常なアーク放電を生じる。
したがって、プラズマの放電状態が不安定になり、連続
運転ができない。
運転ができない。
この発明は上記従来の問題に鑑みてなされたもので、大
電力を流した状態で連続運転が可能な、つまり、工業的
に利用し得るシート状物のプラズマ処理装置を提供する
ことを目的としている。
電力を流した状態で連続運転が可能な、つまり、工業的
に利用し得るシート状物のプラズマ処理装置を提供する
ことを目的としている。
［問題点を解決するための手段］
上記目的を達成するために、この発明のシート状物のプ
ラズマ処理装置は、真空容器内に設けられた軸受の軸受
箱にシール機構が設けられ、このシール機構が軸受箱の
内部空間を真空容器内の低温プラズマ雰囲気から遮断し
ている。
ラズマ処理装置は、真空容器内に設けられた軸受の軸受
箱にシール機構が設けられ、このシール機構が軸受箱の
内部空間を真空容器内の低温プラズマ雰囲気から遮断し
ている。
［作用］
この発明によれば、軸受箱の内部空間は真空容器内の低
温プラズマ雰囲気から遮断されているので、プラズマ雰
囲気になるおそれがない、したがって、軸受箱内の回転
軸を軸支する複雑な形状の軸受での異常なアーク放電を
引き起すおそれが少ない。
温プラズマ雰囲気から遮断されているので、プラズマ雰
囲気になるおそれがない、したがって、軸受箱内の回転
軸を軸支する複雑な形状の軸受での異常なアーク放電を
引き起すおそれが少ない。
［実施例］
以下この発明の実施例を図面にしたがって説明する。
この発明の第１の実施例を示す第１図において、真空容
器１内には、ドラム形状のドラム電極（第１の放°電電
極）２と、このドラム電極２に対向する多数の棒電極（
第２の放電電極）３とが、平行に設置されている。これ
ら再放電電極２゜３間には、交流電源４から、トランス
５ならびに上記再放電電極２．３を接続する電気回路６
を介して電圧が付加されている。
器１内には、ドラム形状のドラム電極（第１の放°電電
極）２と、このドラム電極２に対向する多数の棒電極（
第２の放電電極）３とが、平行に設置されている。これ
ら再放電電極２゜３間には、交流電源４から、トランス
５ならびに上記再放電電極２．３を接続する電気回路６
を介して電圧が付加されている。
上記真空容器１は、ステンレス製で、プラズマ処理ガス
が封入されたガス容器７、ならびに、真空容器１内を真
空にするための真空排気装置８により、内部が極く低圧
のプラズマ処理ガスで充填された状態に保たれている。
が封入されたガス容器７、ならびに、真空容器１内を真
空にするための真空排気装置８により、内部が極く低圧
のプラズマ処理ガスで充填された状態に保たれている。
この真空容器１は、第２図のように、主に、容器本体１
ａと開閉自在な蓋体１ｂとからなり、真空容器ｌ内での
作業を可能にしている。
ａと開閉自在な蓋体１ｂとからなり、真空容器ｌ内での
作業を可能にしている。
第１図のＡはシート状物で、巻出機１１から、ガイドロ
ール１２にガイドされ、回転駆動されているドラム電極
２の外周面に沿って、巻取機１３に巻き取られる。つま
り、巻出機１１のシート状物Ａは、プラズマ雰囲気に保
持された真空容器１内のドラム電極２上で連続的に低温
プラズマ処理されて１巻取機１３に巻き取られる。
ール１２にガイドされ、回転駆動されているドラム電極
２の外周面に沿って、巻取機１３に巻き取られる。つま
り、巻出機１１のシート状物Ａは、プラズマ雰囲気に保
持された真空容器１内のドラム電極２上で連続的に低温
プラズマ処理されて１巻取機１３に巻き取られる。
第２図において、１４は回転軸で、真空容器ｌの被貫通
部ＩＣをその貫通部１４ａが貫通し、真空容器１の外部
に設けられたモータ（図示せず）によって、駆動されて
いる。上記回転軸１４は、ドラム電極２の両側壁部２ａ
から突出するように設けられている。この回転軸１４の
右側部１４ｂは、真空容器１の外部において、ベアリン
グ１５、軸受箱１６および支持部材１７を介して真空容
器１に軸支されている。−方、回転軸１４の左側部１４
ｃは、真空容器ｌの内部において、第３図のベアリング
１８、軸受箱１９、および第２図の支持部材２０を介し
て真空容器ｌに軸支されている。
部ＩＣをその貫通部１４ａが貫通し、真空容器１の外部
に設けられたモータ（図示せず）によって、駆動されて
いる。上記回転軸１４は、ドラム電極２の両側壁部２ａ
から突出するように設けられている。この回転軸１４の
右側部１４ｂは、真空容器１の外部において、ベアリン
グ１５、軸受箱１６および支持部材１７を介して真空容
器１に軸支されている。−方、回転軸１４の左側部１４
ｃは、真空容器ｌの内部において、第３図のベアリング
１８、軸受箱１９、および第２図の支持部材２０を介し
て真空容器ｌに軸支されている。
第３図において、上記軸受箱１９はケース本体１’ｌａ
と蓋体１９ｂと０リング１９ｃとオイルシール１９ｄと
オイルシール抑え１９ｇとから構成されている。上記０
リング１９ｃは、ケース本体１９ａに設けられた環状の
溝に配設され、フランジ接合されたケース本体１９ａと
蓋体１９ｂとの間をシールしている。上記オイルシール
１９ｄは、ケース本体１９ａに設けられた環状の溝に配
設され、ケース本体１９ａと回転軸１４との間をシール
している。このオイルシール１９ｄに替え、メカニカル
シールな用いることも可能である。１９ｅは流体供給孔
で、ケース本体１９ａに穿設され、第１図のガス容器７
から。
と蓋体１９ｂと０リング１９ｃとオイルシール１９ｄと
オイルシール抑え１９ｇとから構成されている。上記０
リング１９ｃは、ケース本体１９ａに設けられた環状の
溝に配設され、フランジ接合されたケース本体１９ａと
蓋体１９ｂとの間をシールしている。上記オイルシール
１９ｄは、ケース本体１９ａに設けられた環状の溝に配
設され、ケース本体１９ａと回転軸１４との間をシール
している。このオイルシール１９ｄに替え、メカニカル
シールな用いることも可能である。１９ｅは流体供給孔
で、ケース本体１９ａに穿設され、第１図のガス容器７
から。
第２図のガス供給パイプ２１を介して、第３図の軸受箱
１９の内部空間１９ｆにプラズマ処理ガスを供給するた
めのものである。つまり、内部空間１９ｆは、第２図の
真空容器１の内部空間１ｄよりも高い圧力のプラズマ処
理ガスで充填された状態に保たれるとともに、第３図の
０リング１９ｃおよびオイルシール１９ｄ（シール機構
）によって、内部空間１ｄの低温プラズマ雰囲気から遮
断されている。
１９の内部空間１９ｆにプラズマ処理ガスを供給するた
めのものである。つまり、内部空間１９ｆは、第２図の
真空容器１の内部空間１ｄよりも高い圧力のプラズマ処
理ガスで充填された状態に保たれるとともに、第３図の
０リング１９ｃおよびオイルシール１９ｄ（シール機構
）によって、内部空間１ｄの低温プラズマ雰囲気から遮
断されている。
第２図において、ドラム電極２は、上記回転軸１４に固
定されて回転し、冷却媒体が流通する水ジャケット２ｂ
およびパイプ２２．２３を有している。なお、上記パイ
プ２２および２３は、それぞれ回転軸１４内に挿入され
たパイプ２５、ならびに、回転軸１４の中空部１４ｄに
連通している。
定されて回転し、冷却媒体が流通する水ジャケット２ｂ
およびパイプ２２．２３を有している。なお、上記パイ
プ２２および２３は、それぞれ回転軸１４内に挿入され
たパイプ２５、ならびに、回転軸１４の中空部１４ｄに
連通している。
上記多数の棒電極３は、その両端３ａが一対の支持部材
２６に固定されている。この支持部材２６は碍子２７を
介して真空容器１に支持され、真空容器１から電気的に
絶縁されている。
２６に固定されている。この支持部材２６は碍子２７を
介して真空容器１に支持され、真空容器１から電気的に
絶縁されている。
上記電気回路６の一方は、真空容器１を電気回路６から
絶縁する導入端子６ａを介して真空容器１内に挿入され
、棒電極３に接続されている。他方は、スリップリング
２８および回転軸１４を介してドラム電極２に接続され
ている。
絶縁する導入端子６ａを介して真空容器１内に挿入され
、棒電極３に接続されている。他方は、スリップリング
２８および回転軸１４を介してドラム電極２に接続され
ている。
上記構成において、このプラズマ処理装置は、真空容器
工を開閉可能にするための蓋体ｉｂが設けられているか
ら、重いドラム電８ｉ２を回転させる回転軸１４を、ド
ラム電極２の両側で軸支する場合、少なくとも一方が、
つまり、左端部１４ｃが、電気抵抗の小さいプラズマ雰
囲気にある真空容器１内で軸支される。ここで、この発
明は、第３図のように、０リング１９ｃとオイルシール
１９ｄとを設け、かつ、流体供給孔１９ｅかも圧力の高
いプラズマ処理ガスを軸受箱１９の内部空間１９ｆに供
給している。このため、軸受箱１９の内部空間１９ｆと
真空容器１（第２図参照）の内部空間１ｄとが導通せず
、内部空間１９ｆが内部空間１ｄのプラズマ雰囲気にな
ることがないから充電状態の回転軸１４を軸支する複雑
な形状のベアリング１８での異常なアーク放電を引き起
すおそれが少ない、したがって、プラズマ放電が安定す
るので、大電流を流した状態で、連続的な運転が可能と
なる。特に、この実施例の場合、軸受箱１９の内部空間
１９ｆの圧力が高いから、この内部空間１９ｆ内で異常
なアーク放電を引き起すおそれがより少ないので、プラ
ズマ放電がより安定する。
工を開閉可能にするための蓋体ｉｂが設けられているか
ら、重いドラム電８ｉ２を回転させる回転軸１４を、ド
ラム電極２の両側で軸支する場合、少なくとも一方が、
つまり、左端部１４ｃが、電気抵抗の小さいプラズマ雰
囲気にある真空容器１内で軸支される。ここで、この発
明は、第３図のように、０リング１９ｃとオイルシール
１９ｄとを設け、かつ、流体供給孔１９ｅかも圧力の高
いプラズマ処理ガスを軸受箱１９の内部空間１９ｆに供
給している。このため、軸受箱１９の内部空間１９ｆと
真空容器１（第２図参照）の内部空間１ｄとが導通せず
、内部空間１９ｆが内部空間１ｄのプラズマ雰囲気にな
ることがないから充電状態の回転軸１４を軸支する複雑
な形状のベアリング１８での異常なアーク放電を引き起
すおそれが少ない、したがって、プラズマ放電が安定す
るので、大電流を流した状態で、連続的な運転が可能と
なる。特に、この実施例の場合、軸受箱１９の内部空間
１９ｆの圧力が高いから、この内部空間１９ｆ内で異常
なアーク放電を引き起すおそれがより少ないので、プラ
ズマ放電がより安定する。
また、この実施例では、軸受箱１９の内部空間１９ｆに
はプラズマ処理ガスが供給されているので、この内部空
間１９ｆから内部空間１ｄヘガスが漏れた場合にも、内
部空間１ｄのプラズマガスの純度が低下するおそれがな
い、なお、軸受箱１９の内部空間１９ｆは、ガス供給パ
イプ２１を介して大気に接続されても良い。
はプラズマ処理ガスが供給されているので、この内部空
間１９ｆから内部空間１ｄヘガスが漏れた場合にも、内
部空間１ｄのプラズマガスの純度が低下するおそれがな
い、なお、軸受箱１９の内部空間１９ｆは、ガス供給パ
イプ２１を介して大気に接続されても良い。
また、０リング１９ｃとオイルシール１９ｄによるシー
ルを厳格にするとともに、流体供給孔１９ｅを設けない
で、上記内部空間１９ｆを外部から完全に密閉しても良
い、なお、外部から完全に密閉した場合には、通常、軸
受箱１９が大気圧中で組み立てられることから、軸受箱
１９の内部空間１９ｆが大気圧に保持される。
ルを厳格にするとともに、流体供給孔１９ｅを設けない
で、上記内部空間１９ｆを外部から完全に密閉しても良
い、なお、外部から完全に密閉した場合には、通常、軸
受箱１９が大気圧中で組み立てられることから、軸受箱
１９の内部空間１９ｆが大気圧に保持される。
第４図はこの発明の第２の実施例の要部を示す。
この図において、３０は油容器で、たとえばポリカーボ
ネイトなどの絶縁体からなり、軸受箱１９のケース本体
１９ａに螺着されている。この油容器３０には、その上
部および下部に開口３０ａおよび３０ｂが設けられ、油
容器３０の内部空間３０ｃがそれぞれ内部空間１ｄおよ
び１９ｆに連通している。３１は潤滑油で、軸受箱１９
および油容器３０内に充填されている。
ネイトなどの絶縁体からなり、軸受箱１９のケース本体
１９ａに螺着されている。この油容器３０には、その上
部および下部に開口３０ａおよび３０ｂが設けられ、油
容器３０の内部空間３０ｃがそれぞれ内部空間１ｄおよ
び１９ｆに連通している。３１は潤滑油で、軸受箱１９
および油容器３０内に充填されている。
３２は金属製のキャップで、潤滑油３１が内部空間１ｄ
のプラズマ雰囲気にさらされて蒸散するのを防止するも
ので、その外周面３２ａが上記油容器３０の内周面３０
ｄに摺動自在で、潤滑油３１の減少に応じて下降する。
のプラズマ雰囲気にさらされて蒸散するのを防止するも
ので、その外周面３２ａが上記油容器３０の内周面３０
ｄに摺動自在で、潤滑油３１の減少に応じて下降する。
つまり、潤滑油３１は、その上面３１ａがキャップ３２
を介して真空容器ｌ（第２図参照）の内部空間１ｄの圧
力を受けている。その他の構成は、第１の実施例と同様
であり、同一部分もしくは相当部分に同一符号を付して
、その詳しい説明を省略する。
を介して真空容器ｌ（第２図参照）の内部空間１ｄの圧
力を受けている。その他の構成は、第１の実施例と同様
であり、同一部分もしくは相当部分に同一符号を付して
、その詳しい説明を省略する。
この実施例によれば、軸受箱１９の内部空間１９ｆには
、潤滑油３１が充填されているから、異常なアーク放電
の生じるおそれがない。
、潤滑油３１が充填されているから、異常なアーク放電
の生じるおそれがない。
また、潤滑油３１は真空容器１（第２図参照）の内部空
間１ｄの圧力を受けているので、両内部空間１ｄ、１９
ｆの圧力がほぼ等しいから、０リング１９ｃおよびオイ
ルシール１９ｄから漏れるおそれが少ない、したがって
、プラズマ雰囲気へ漏れた潤滑油３１によるアーク放電
が生じるおそれが少なく、かつ内部空間１ｄのプラズマ
ガスの純度が低下するおそれが少ない。
間１ｄの圧力を受けているので、両内部空間１ｄ、１９
ｆの圧力がほぼ等しいから、０リング１９ｃおよびオイ
ルシール１９ｄから漏れるおそれが少ない、したがって
、プラズマ雰囲気へ漏れた潤滑油３１によるアーク放電
が生じるおそれが少なく、かつ内部空間１ｄのプラズマ
ガスの純度が低下するおそれが少ない。
なお、この発明は、第５図のように、真空容器ｌの両側
に、巻出機１１および巻取機１３が、それぞれ、他の真
空容器ＩＡおよびＩＢ内に設けられて、再真空容器ＬＡ
、ＩＢが真空容器１にフランジ接合されたものについて
も適用し得る。さらに、第６図のように、巻出機１１お
よび巻取機１３を真空容器１の外部に設けても良い、な
お、この図において、９．１０は予備真空室で、複数の
シールロール（図示せず）とシール室（図示せず）とを
シート状物Ａの走行方行に設け、上記シール室内を真空
吸引することによって、大気圧より段階的に圧力を減じ
て、真空容器１内を所定圧力に保持するのを助ける。
に、巻出機１１および巻取機１３が、それぞれ、他の真
空容器ＩＡおよびＩＢ内に設けられて、再真空容器ＬＡ
、ＩＢが真空容器１にフランジ接合されたものについて
も適用し得る。さらに、第６図のように、巻出機１１お
よび巻取機１３を真空容器１の外部に設けても良い、な
お、この図において、９．１０は予備真空室で、複数の
シールロール（図示せず）とシール室（図示せず）とを
シート状物Ａの走行方行に設け、上記シール室内を真空
吸引することによって、大気圧より段階的に圧力を減じ
て、真空容器１内を所定圧力に保持するのを助ける。
［発明の効果］
以上説明したように、この発明によれば、大電力を流し
た場合にも、回転軸を軸支する複雑な形状の軸受におけ
る異常なアーク放電を防止し得るので、上記処理装置が
工業的な処理能力を得るとともに、これの連続運転が可
能になる。
た場合にも、回転軸を軸支する複雑な形状の軸受におけ
る異常なアーク放電を防止し得るので、上記処理装置が
工業的な処理能力を得るとともに、これの連続運転が可
能になる。
第１図はこの発明の第１の実施例を示す概略構成図、第
２図は第１図の縦断面図、第３図は要部の縦断面図、第
４図はこの発明の第２の実施例を示す要部の縦断面図、
第５図および第６図はこの発明が適用される他のシート
状物のプラズマ処理装置の概略構成図である。 １・・・真空容器、ｌｄ・・・内部空間、２・・・第１
の放電電極（ドラム電極）、３・・・第２の放電電極（
棒電極）、６・・・電気回路、７・・・ガス容器（ガス
供給源）、１４・・・回転軸、１８・・・ベアリング（
軸受）、１９・・・軸受箱、１９ｃ・・・０リング（シ
ール機ｍ）、１９ｄ・・・オイルシール（シール機構）
、１９ｆ・・・内部空間、３１・・・潤滑油（液体）、
Ａ・・・シート状物。 ′０ 聾３ 〜− Ｎ ＼ 端３図 横４１辺 手続補正書 昭和６１年 １ω ２ 日 特願昭 ６１−１５０１６６号 ２６発明 の名称 シート状物のプラズマ処理装置 ３、補正をする者 事件との関係 特 許 出 願人性
所 岡山県倉敷市酒津１６２１番地名 称
（１０８） 株式会社 クラリ４、代理人 ７、補正の内容 Ａ０図面： （１）第１図の電気回路６のアースの位置を補正するた
めに、同図を別紙のとおり再提出します。 （２）第２図の符号「２５」の引き出し線を補正するた
めに、同図を別紙のとおり再提出します・ 以 上
２図は第１図の縦断面図、第３図は要部の縦断面図、第
４図はこの発明の第２の実施例を示す要部の縦断面図、
第５図および第６図はこの発明が適用される他のシート
状物のプラズマ処理装置の概略構成図である。 １・・・真空容器、ｌｄ・・・内部空間、２・・・第１
の放電電極（ドラム電極）、３・・・第２の放電電極（
棒電極）、６・・・電気回路、７・・・ガス容器（ガス
供給源）、１４・・・回転軸、１８・・・ベアリング（
軸受）、１９・・・軸受箱、１９ｃ・・・０リング（シ
ール機ｍ）、１９ｄ・・・オイルシール（シール機構）
、１９ｆ・・・内部空間、３１・・・潤滑油（液体）、
Ａ・・・シート状物。 ′０ 聾３ 〜− Ｎ ＼ 端３図 横４１辺 手続補正書 昭和６１年 １ω ２ 日 特願昭 ６１−１５０１６６号 ２６発明 の名称 シート状物のプラズマ処理装置 ３、補正をする者 事件との関係 特 許 出 願人性
所 岡山県倉敷市酒津１６２１番地名 称
（１０８） 株式会社 クラリ４、代理人 ７、補正の内容 Ａ０図面： （１）第１図の電気回路６のアースの位置を補正するた
めに、同図を別紙のとおり再提出します。 （２）第２図の符号「２５」の引き出し線を補正するた
めに、同図を別紙のとおり再提出します・ 以 上
Claims (5)
- （１）真空容器を貫通する回転軸に固定されて回転し、
その外周面にシート状物を沿わせるドラム形状の第１の
放電電極と、この第１の放電電極に対向する第２の放電
電極とを真空容器の内部に設けたシート状物のプラズマ
処理装置であつて、上記回転軸を軸支する少なくとも一
方の軸受の軸受箱が真空容器内に設けられ、この軸受箱
の内部空間を真空容器内の低温プラズマ雰囲気から遮断
するシール機構が上記軸受箱に設けられたシート状物の
プラズマ処理装置。 - （２）上記軸受箱の内部空間には、真空容器の内部空間
よりも高い圧力の流体が充填されている特許請求の範囲
第１項記載のシート状物のプラズマ処理装置。 - （３）上記軸受箱の内部空間は、大気に接続されている
特許請求の範囲第１項記載のシート状物のプラズマ処理
装置。 - （４）上記軸受箱の内部空間は、プラズマ処理ガスを含
むガス供給源に接続されて、上記真空容器の内部空間の
圧力よりも高い圧力に保持されている特許請求の範囲第
１項記載のシート状物のプラズマ処理装置。 - （５）上記軸受箱の内部空間には液体が充填され、この
液体が真空容器の内部空間の圧力を受ている特許請求の
範囲第１項記載のシート状物のプラズマ処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15016686A JPS636030A (ja) | 1986-06-26 | 1986-06-26 | シ−ト状物のプラズマ処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15016686A JPS636030A (ja) | 1986-06-26 | 1986-06-26 | シ−ト状物のプラズマ処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS636030A true JPS636030A (ja) | 1988-01-12 |
| JPH0357146B2 JPH0357146B2 (ja) | 1991-08-30 |
Family
ID=15490948
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15016686A Granted JPS636030A (ja) | 1986-06-26 | 1986-06-26 | シ−ト状物のプラズマ処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS636030A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0818801A3 (en) * | 1996-07-12 | 1998-05-13 | The Boc Group, Inc. | Plasma treating apparatus |
| CN102873886A (zh) * | 2012-09-28 | 2013-01-16 | 江苏首义薄膜有限公司 | 封闭式恒温时效处理设备 |
| CN106142532A (zh) * | 2016-08-31 | 2016-11-23 | 南京苏曼等离子科技有限公司 | 一种大气常压低温等离子体农膜处理设备及其操作方法 |
-
1986
- 1986-06-26 JP JP15016686A patent/JPS636030A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0818801A3 (en) * | 1996-07-12 | 1998-05-13 | The Boc Group, Inc. | Plasma treating apparatus |
| US6110540A (en) * | 1996-07-12 | 2000-08-29 | The Boc Group, Inc. | Plasma apparatus and method |
| CN102873886A (zh) * | 2012-09-28 | 2013-01-16 | 江苏首义薄膜有限公司 | 封闭式恒温时效处理设备 |
| CN102873886B (zh) * | 2012-09-28 | 2014-12-03 | 江苏首义薄膜有限公司 | 封闭式恒温时效处理设备 |
| CN106142532A (zh) * | 2016-08-31 | 2016-11-23 | 南京苏曼等离子科技有限公司 | 一种大气常压低温等离子体农膜处理设备及其操作方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0357146B2 (ja) | 1991-08-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |