JPS6360379B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は例えばプリント配線基板等を両面同時
に露光焼付をする際に使用する上面および下面の
画像マスクの搬送方法に係り、特にその上面およ
び下面画像マスクを同時搬送可能とした画像マス
クの上下２枚同時搬送方法に関する。

〔従来の技術〕

両面露光装置等を用いてプリント配線基板等の
両面に同時露光焼付をする際、原稿画像となる画
像マスクを露光部へ搬送し上下の焼枠に位置決め
して装着する必要がある。従来における画像マス
クの露光部への搬送はプリント配線基板の両面の
夫々に対応した画像マスクを各１枚づつ搬送手段
又は手動により行つていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来の搬送方法には、次のような問題点が
あつた。すなわち、フイルムマスクの搬送装着に
は相当に時間を要し、特に上下面の画像マスクを
１枚づつ搬送することは、その搬送に２倍の時間
を要することになり、生産性を低下させていた。

特に少量ワークの露光時は、画像マスクの装着
交換が頻繁に行なわれるので、製造コストを低減
する上での影響が大であつた。

本発明は上記問題点を解決するために成された
もので、上下２枚の画像マスクを同時搬送して生
産性の向上を図ることができる画像マスクの搬送
方法の提供を目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

上記問題点を解決するための具体的な手段とし
て、上下両面露光用の上面および下面画像マスク
の同時搬送方法であつて、上面画像マスクに複数
個の呼着用穴を穿設し、前記吸着用穴位置に対応
する吸着パツドを搬送手段に備え、前記上面およ
び下面画像マスクを重合し前記吸着パツドにより
前記上面画像マスクの吸着用穴を介して下面画像
マスクを吸着し上下２枚の画像マスクを同時搬送
することを特徴とする画像マスクの上下２枚同時
搬送方法、とするものである。

〔作用〕 上記構成の画像マスクの上下２枚同時搬送方法
によると、上下両面の２枚の画像マスクは、搬送
手段に設けられた吸着パツドが上側画像マスクに
穿設した吸着用孔を通して下面画像マスクを同時
に吸引することにより２枚同時に吸着した状態で
保持され外部から露光部へまたは露光部から外部
へ搬送することができ、生産性が向上する。

〔実施例〕

以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明す
る。なお、画像マスクの材料は特に限定するもの
ではないが、一般にフイルムマスクが多用されて
いるので本実施例ではフイルムマスクを用いて説
明する。第１図は本発明の両面露光部用の上面フ
イルムマスクを示す平面図で、第２図は上下面２
枚のフイルムマスクを同時に両面露光装置へ搬送
する際の説明図である。第１図において、上面フ
イルムマスク１には位置決め用のピン穴２，２と
複数個の真空吸着用穴３，３…が周囲に穿設され
ている。又後記する下面フイルム４にも上記上面
フイルムマスク１に穿設したピン穴２，２と同位
置に同じく位置決め用のピン穴５，５が穿設され
ていて（第２図参照）、これら上下面フイルムマ
スク１，４の各ピン穴２，２，５，５を第２図に
示すように露光部の前のステージ（プレート）６
に設けられた基準ピン７，７に合わせて２枚同時
に重ねて載置する。

次いでステージ６により位置決めされた上下面
のフイルムマスク１，４は搬送手段である搬送ハ
ンドラ８により両面露光装置１０へ搬送されるこ
とになる。搬送ハンドラ８には図示しない真空ポ
ンプにより真空引きされる吸着パツド９，９…が
前記上面フイルムマスク１の吸着用穴３，３…に
対応して複数個配置されていて、この吸着パツド
９，９…を上面フイルムマスク１の吸着穴３，３
…に臨ませて吸引することにより下面フイルムマ
スク４も第２図２点鎖線のように同時に真空吸着
されるようになる。そして搬送ハンドラ８は上下
面のフイルムマスク１，４を２枚同時に吸着した
状態で図示矢印のように両面露光装置１０の露光
部へ搬送する。

両面露光装置１０は上下の露光部１１Ａ，１１
Ｂから成り、露光部１１Ａ，１１Ｂは光源１２
Ａ，１２Ｂと、該光源１２Ａ，１２Ｂからの光を
反射させる曲面反射鏡１３Ａ，１３Ｂと、プリン
ト配線基板等の被露光部材を上下より挟持してこ
れに焼付を行う例えばアクリル板或いはガラス板
等からなる透光性焼枠１４Ａ，１４Ｂとにより構
成されている。下側に位置する焼枠１４Ｂの上面
には、前記ステージ６に設けられている基準ピン
７，７とその間隔、寸法および個数を一致させた
位置決め用基準ピン１５，１５が立設されてい
る。又、上下の焼枠１４Ａ，１４Ｂが対向する表
面には上下面フイルムマスク１，４の吸着手段で
ある吸引溝１６Ａ，１６Ｂ…が夫々刻設されてい
て、この溝１６Ａ，１６Ｂは図示しない真空ポン
プに接続している。なお、焼枠１４Ａの吸引溝１
６Ａ…は上面フイルムマスク１に穿設した吸着用
穴３，３…を避けて形成することは勿論である。

しかして、搬送ハンドラ８により、露光部１１
Ａ，１１Ｂ間に上下２枚同時に搬送されてきたフ
イルムマスク１，４は、次いで第３図Ａに示す如
く、該フイルムマスク１，４に穿設してなるピン
穴２，２，５，５を下側露光部１１Ｂの焼枠１４
Ｂ上に設けられた基準ピン１５，１５に合わせて
焼枠１４Ｂ上に２枚同時に載置する。

尚、この位置決め作業は、前記したようにステ
ージ６の基準ピン７，７と焼枠１４Ｂの基準ピン
１５，１５とを一致させていることから必然的に
フイルムマスク１，４のピン穴２，２，５，５が
焼枠１４Ｂの基準ピン１５，１５と合致して容易
に行われる。焼枠１４Ｂにフイルムマスク１，４
を同時に載置してハンドラ８を逃した後、すなわ
ち第３図Ａの状態から上下の焼枠１４Ａ，１４Ｂ
を近接させて図示しない真空ポンプを動作する
と、上下の焼枠１４Ａ，１４Ｂに形成された吸引
溝１６Ａ，１６Ｂ…に吸引力が作用し、上下面の
フイルムマスク１，４は第３図Ｂに示す如く夫々
上下の焼枠１４Ａ，１４Ｂに吸着保持される。そ
して上下面のフイルムマスク１，４を吸着保持し
た状態において、上下の焼枠１４Ａ，１４Ｂ間に
プリント配線基板等の被露光部材１７を位置決め
して、上下の焼枠１４Ａ，１４Ｂを第３図Ｃのよ
うに近接させると上側焼枠１４Ａに設けられてい
る真空形成用ゴム１８，１８が下側焼枠１４Ｂに
当接し、この状態で図示しない真空ポンプにより
減圧すると上下の焼枠１４Ａ，１４Ｂは図のよう
に中央部より撓み、上下面のフイルムマスク１，
４は被露光部材１７の両面に密着するようになり
正確な露光焼枠を行うことができる。

又、上記減圧による方法以外に移動露光装置を
用いても良く、これによる平行光の照射で正確な
露光焼付を行うことができる。

なお、焼付の精度をより向上させる為には被露
光部材１７にも第３図Ｃのように焼枠１４Ｂの基
準ピン１５，１５と適合する位置決め用のピン孔
１９，１９を穿設しておくことが好ましい。

以上のように外部によつて位置決めされた上下
２放のフイルムマスクは搬送ハンドラにより２枚
同時に露光部へ搬送され、被露光部材の両面に対
し正確な露光焼付をすることができると共に、焼
付終了後におけるフイルムマスクの交換或いは外
部への搬出も２枚同時に吸着して行えることから
作業能率の向上および省力化に大きく寄与でき
る。

なお、本発明は上記実施例に限定されるもので
はなく、発明の思想を逸脱しない範囲内において
種々の実施態様をとり得ることは勿論である。例
えば本実施例ではフイルムマスクの吸着に搬送ハ
ンドラに設けられた吸着パツドによる真空吸引が
用いられているが、吸盤による吸着や静電吸着な
どによるものであつても良い。

〔発明の効果〕 以上の説明によつて明らかなように、本発明の
画像マスクの上下２枚同時搬送方法によれば、上
下２枚の画像マスクが搬送手段により吸着されて
２枚同時に搬送できるので従来例に比較して画像
マスクの装着および交換作業の省略化が図れる上
に、作業能率が大幅に向上することから生産性が
高まりコスト低減が図れる。

また、外部において上下面の画像マスクを重合
してから搬送するので上下面の画像マスク同志の
位置決め作業を容易に行うことが可能になると共
に、露光部における画像マスクの自動変換（装着
排出）が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は上面フイルムマスクの平面図、第２図
は自動露光装置とこれへ搬送手段により上下面の
フイルムマスクを搬送する態様を示す説明図、第
３図Ａ乃至Ｃは露光部におけるフイルムマスクの
吸着および被露光部材に対する密着方法を示す説
明図である。 １……上面画像マスク、２，５……ピン孔、３
……吸着用穴、４……下面画像マスク、６……ス
テージ、７，１５……基準ピン、８……搬送ハン
ドラ、９……吸着パツド、１０……両面露光装
置、１６Ａ，１６Ｂ……吸引溝。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 上下両面露光用の上面および下面画像マスク
   の同時搬送方法であつて、 上面画像マスクに複数個の吸着用の穴を穿設
   し、 前記吸着用穴位置に対応する吸着パツドを搬送
   手段に備え、 前記上面および下面画像マスクを重合し前記吸
   着パツドにより前記上面画像マスクの吸着用穴を
   介して下面画像マスクを吸着し、上下２枚の画像
   マスクを同時搬送することを特徴とする画像マス
   クの上下２枚同時搬送方法。