JPS6361156B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6361156B2 JPS6361156B2 JP18001986A JP18001986A JPS6361156B2 JP S6361156 B2 JPS6361156 B2 JP S6361156B2 JP 18001986 A JP18001986 A JP 18001986A JP 18001986 A JP18001986 A JP 18001986A JP S6361156 B2 JPS6361156 B2 JP S6361156B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dust
- hollow
- outside
- arm
- movable part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 23
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 20
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 5
- 239000011796 hollow space material Substances 0.000 description 4
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
- Sealing Devices (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明はリンク機構、スライド機構などの可
動部を有する自動作業装置に関する。
動部を有する自動作業装置に関する。
従来自動作業装置は各分野で使用されてきた
が、主として機械工場、組立工場で使用されてお
り、半導体工場や薬品工場の無埃室のように、空
気清浄度の高い環境で使用する装置は少なかつ
た。
が、主として機械工場、組立工場で使用されてお
り、半導体工場や薬品工場の無埃室のように、空
気清浄度の高い環境で使用する装置は少なかつ
た。
ところが、近年高集積化が向上し1Mビツト、
10Mビツトを作る技術開発が検討されている。こ
のような高集積化はクリーンルームのクリーン度
がクラス10、クラス１のもので、作業員の入室数
にも制限があり、ウエハの運搬作業やウエハの載
置作業など無人搬送ロボツトに代替するため、こ
のロボツトの開発が急速に進められている。
10Mビツトを作る技術開発が検討されている。こ
のような高集積化はクリーンルームのクリーン度
がクラス10、クラス１のもので、作業員の入室数
にも制限があり、ウエハの運搬作業やウエハの載
置作業など無人搬送ロボツトに代替するため、こ
のロボツトの開発が急速に進められている。
ところが、ロボツトから塵埃を発生させない
か、又は、極めてわずかの塵埃の発生に制御する
ことが要望されている。
か、又は、極めてわずかの塵埃の発生に制御する
ことが要望されている。
その理由の１つに、自動作業装置が発生する塵
埃による環境汚染の為、空気清浄度が高く保たれ
ないとさらにロボツトからの発塵防止手段として
実開昭56−29352号に開示された中空移動体の移
動部を蛇腹により包囲する手段がある。
埃による環境汚染の為、空気清浄度が高く保たれ
ないとさらにロボツトからの発塵防止手段として
実開昭56−29352号に開示された中空移動体の移
動部を蛇腹により包囲する手段がある。
しかし、この方法によつても発生した塵埃は中
空移動体内を移動しているだけの構成であるため
蓄積されてその数は増加し、外に排出される可能
性がある。
空移動体内を移動しているだけの構成であるため
蓄積されてその数は増加し、外に排出される可能
性がある。
さらに蛇腹の伸縮作業も折れ目の部分の老化現
象が生じ、塵埃発生の要因となる。
象が生じ、塵埃発生の要因となる。
この発明は上記点に対処してなされたもので発
塵を減少させた可動部を有する自動作業装置を提
供するものである。
塵を減少させた可動部を有する自動作業装置を提
供するものである。
この発明は、可動部を有する機構において少な
くとも上記可動部を防埃布状態で被うことを特徴
とする可動部を有する機構を得るものである。
くとも上記可動部を防埃布状態で被うことを特徴
とする可動部を有する機構を得るものである。
次に本発明自動作業装置を腕状機構に適用した
実施例を図面に基づいて説明する。中空材２及び
４及び６がリンク機構３及び５によつて連結さ
れ、中空部が連続している腕状機構に於いて、連
続した中空部７は低圧保持装置１に接続され、こ
の装置により中空部７は外部８よりも低圧に保た
れている事を特徴とすると共に、第２図のように
腕状機構１０の外側を防埃布９で被つた事を特徴
とする機構である。
実施例を図面に基づいて説明する。中空材２及び
４及び６がリンク機構３及び５によつて連結さ
れ、中空部が連続している腕状機構に於いて、連
続した中空部７は低圧保持装置１に接続され、こ
の装置により中空部７は外部８よりも低圧に保た
れている事を特徴とすると共に、第２図のように
腕状機構１０の外側を防埃布９で被つた事を特徴
とする機構である。
スライド機構を有する脇状機構に於いても、同
様であるので説明は省略する。
様であるので説明は省略する。
上述のように、腕状機構１０の外側を被つた防
埃布９により、リンク機構等の可動部で生じた塵
埃の飛散を防止する。更に、中空部７が外部８よ
り低圧に保たれている為に、リンク機構の空隙、
及び適所にあけられた穴を通じて外部より内部へ
の気流を生じる。この気流によつて塵埃を中空材
内部へ吸収し、塵埃の飛散を防止する事ができ
る。この効果により、空気清浄度の高い環境でこ
の機構から成る装置を使用しても、塵埃による環
境の汚染が防止されるのである。更に可動部で生
じた塵埃のみならず、既に環境中に存在する塵埃
をも中空材内部へ吸収するので、空気清浄度のよ
り高い環境を得る効果も有する。
埃布９により、リンク機構等の可動部で生じた塵
埃の飛散を防止する。更に、中空部７が外部８よ
り低圧に保たれている為に、リンク機構の空隙、
及び適所にあけられた穴を通じて外部より内部へ
の気流を生じる。この気流によつて塵埃を中空材
内部へ吸収し、塵埃の飛散を防止する事ができ
る。この効果により、空気清浄度の高い環境でこ
の機構から成る装置を使用しても、塵埃による環
境の汚染が防止されるのである。更に可動部で生
じた塵埃のみならず、既に環境中に存在する塵埃
をも中空材内部へ吸収するので、空気清浄度のよ
り高い環境を得る効果も有する。
かなり高い空気清浄度を保つ無埃室に於いて
は、人間も塵埃の発生源である。このように高い
空気清浄度を保つ装置の導入は、単に自動化を推
進するのみでなく、塵埃の発生源である人間の無
埃室への立ち入りを減少させ、環境の汚染を防止
する効果も有する。
は、人間も塵埃の発生源である。このように高い
空気清浄度を保つ装置の導入は、単に自動化を推
進するのみでなく、塵埃の発生源である人間の無
埃室への立ち入りを減少させ、環境の汚染を防止
する効果も有する。
このように、高い空気清浄度を保つ効果を有す
る特徴がある。
る特徴がある。
以上説明したように本発明によれば中空内部を
外部より低圧にすることにより可動部で発生した
塵埃は吸引すると共に吸引できなかつた塵埃が外
部に飛散するのを、可動部を防埃布状体で被うこ
とにより、２重に塵が外部に飛散するのを防止し
た構成にできる効果がある。
外部より低圧にすることにより可動部で発生した
塵埃は吸引すると共に吸引できなかつた塵埃が外
部に飛散するのを、可動部を防埃布状体で被うこ
とにより、２重に塵が外部に飛散するのを防止し
た構成にできる効果がある。
第１図は本発明機構実施例を説明するための腕
状機構断面図、第２図は第１図機構を防埃布で被
つた状態を示す断面図である。 １……低圧保持装置、２……中空材、３……リ
ンク機構、４……中空材、５……リンク機構、６
……中空材、７……連続した中空部、８……外
部、９……防埃布、１０……腕状機構。
状機構断面図、第２図は第１図機構を防埃布で被
つた状態を示す断面図である。 １……低圧保持装置、２……中空材、３……リ
ンク機構、４……中空材、５……リンク機構、６
……中空材、７……連続した中空部、８……外
部、９……防埃布、１０……腕状機構。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 可動部を有する中空体で構成された作業機構
の中空内部の圧力を外部より低圧に保つ手段と、
少なくとも上記可動部を包囲する如く設けられた
防埃布状体とを具備してなることを特徴とする自
動作業装置。 ２ 作業機構は腕状機構である特許請求の範囲第
１項記載の自動作業装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18001986A JPS6257886A (ja) | 1986-08-01 | 1986-08-01 | 自動作業装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18001986A JPS6257886A (ja) | 1986-08-01 | 1986-08-01 | 自動作業装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6257886A JPS6257886A (ja) | 1987-03-13 |
| JPS6361156B2 true JPS6361156B2 (ja) | 1988-11-28 |
Family
ID=16076038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18001986A Granted JPS6257886A (ja) | 1986-08-01 | 1986-08-01 | 自動作業装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6257886A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0367389U (ja) * | 1989-11-02 | 1991-07-01 |
-
1986
- 1986-08-01 JP JP18001986A patent/JPS6257886A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0367389U (ja) * | 1989-11-02 | 1991-07-01 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6257886A (ja) | 1987-03-13 |
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