JPS6361168A - 半導体加速度検出装置 - Google Patents
半導体加速度検出装置Info
- Publication number
- JPS6361168A JPS6361168A JP20621586A JP20621586A JPS6361168A JP S6361168 A JPS6361168 A JP S6361168A JP 20621586 A JP20621586 A JP 20621586A JP 20621586 A JP20621586 A JP 20621586A JP S6361168 A JPS6361168 A JP S6361168A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cantilever beam
- acceleration detection
- acceleration
- solder
- semiconductor acceleration
- Prior art date
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- Pending
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- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、半導体加速度検出装置に関し、特にその重
りとして半田の重りを設けたものに関するものである。
りとして半田の重りを設けたものに関するものである。
第２図は従来の半導体加速度検出装置の構造を示す断面
図で、１は加速度を検出するカンチレバービーム、２は
カンチレバービーム１をこれが加速度を検出できるよう
に取付けているシリコン台座、３はカンチレバービーム
１とシリコン台座２を収める容器であり、これにシリコ
ン台座２が接合されている。４は一端がカンチレバービ
ーム１の端子に接続されるワイヤーで、外部との間で出
力信号や基準電圧を授受している。５はカンチレバービ
ーム１の加速度検出部であり、抵抗が拡散されである。
図で、１は加速度を検出するカンチレバービーム、２は
カンチレバービーム１をこれが加速度を検出できるよう
に取付けているシリコン台座、３はカンチレバービーム
１とシリコン台座２を収める容器であり、これにシリコ
ン台座２が接合されている。４は一端がカンチレバービ
ーム１の端子に接続されるワイヤーで、外部との間で出
力信号や基準電圧を授受している。５はカンチレバービ
ーム１の加速度検出部であり、抵抗が拡散されである。
次に動作について説明する。カンチレバービーム１に垂
直に加速度が加わると、カンチレバービーム１は一端を
シリコン台座２に固定されているため、他の一端に応力
が加わる。これによりカンチレバービーム１上の加速度
検出部５で信号が発生される。信号は外部増幅回路装置
で増幅され、加速度検出信号を出力する。
直に加速度が加わると、カンチレバービーム１は一端を
シリコン台座２に固定されているため、他の一端に応力
が加わる。これによりカンチレバービーム１上の加速度
検出部５で信号が発生される。信号は外部増幅回路装置
で増幅され、加速度検出信号を出力する。
従来の半導体加速度検出装置は以上のように構成されて
いるので、カンチレバービーム１の加速度検出部５によ
り検出きれる信号の感度が低いという問題点があった。
いるので、カンチレバービーム１の加速度検出部５によ
り検出きれる信号の感度が低いという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、加速度を高い感度で検出できるとともに、組
み立て工程が複雑にならない半導体加速度検出装置を得
ることを目的とする。
たもので、加速度を高い感度で検出できるとともに、組
み立て工程が複雑にならない半導体加速度検出装置を得
ることを目的とする。
この発明に係る半導体加速度検出装置は、カンチレバー
ビームの先端に、加速度検出信号の感度を高める半田の
重りを設けたものである。
ビームの先端に、加速度検出信号の感度を高める半田の
重りを設けたものである。
この発明にかかる半導体加速度検出装置では、半田の重
りにより感度の高い加速度センサを得られるとともに、
重りの取り付けに複雑な工程を要しない。
りにより感度の高い加速度センサを得られるとともに、
重りの取り付けに複雑な工程を要しない。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第１図は、この発明の一実施例による半導体加速度検出
装置を示す断面図であり、第２図と同一符号は同−又は
相当部分を示す。６はカンチレバービーム１の先端に半
田付けされた半田の重りであり、加速度検出部５に高怒
度の信号を発生させる。
装置を示す断面図であり、第２図と同一符号は同−又は
相当部分を示す。６はカンチレバービーム１の先端に半
田付けされた半田の重りであり、加速度検出部５に高怒
度の信号を発生させる。
次に上記実施例の組立作業工程について説明する。
カンチレバービーム１にシリコン台座２を接合し、それ
を容器３に接合する。カンチレバービーム１の先端に一
定量の半田を設置し半田付けを行うことにより、重りの
量をコントロールできる。
を容器３に接合する。カンチレバービーム１の先端に一
定量の半田を設置し半田付けを行うことにより、重りの
量をコントロールできる。
このような本実施例の加速度検出装置では、カンチレバ
ービーム１の先端に半田の重りを取り付けたから本検出
装置が受ける同じ加速度に対しカンチレバービーム１の
振動が大きくなり、このため加速度検出部５の検出感度
は増大する。また半田の取付けは簡単で組立工程を複雑
にすることもない。
ービーム１の先端に半田の重りを取り付けたから本検出
装置が受ける同じ加速度に対しカンチレバービーム１の
振動が大きくなり、このため加速度検出部５の検出感度
は増大する。また半田の取付けは簡単で組立工程を複雑
にすることもない。
以上のように、この発明によれば、半導体加速度検出装
置において半田の重りをカンチレバービームの先端に取
り付けたので、組立工程を複雑にすることなく、感度の
高いものが得られる効果がある。
置において半田の重りをカンチレバービームの先端に取
り付けたので、組立工程を複雑にすることなく、感度の
高いものが得られる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例による半導体加速度検出装
置を示す断面図、第２図は従来の加速度検出装置を示す
断面図である。 図において、１はカンチレバービーム、２はシリコン台
座、５は加速度検出部、６は半田の重りである。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
置を示す断面図、第２図は従来の加速度検出装置を示す
断面図である。 図において、１はカンチレバービーム、２はシリコン台
座、５は加速度検出部、６は半田の重りである。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- （１）半導体加速度検出素子を有するカンチレバービー
ムと、 このカンチレバービームを取付けている取付台と、 前記カンチレバービームと前記取付台とを収める容器と
、 前記カンチレバービームの先端に取付けられた加速度の
検出感度を高める半田の重りとを備えたことを特徴とす
る半導体加速度検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20621586A JPS6361168A (ja) | 1986-09-01 | 1986-09-01 | 半導体加速度検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20621586A JPS6361168A (ja) | 1986-09-01 | 1986-09-01 | 半導体加速度検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6361168A true JPS6361168A (ja) | 1988-03-17 |
Family
ID=16519671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20621586A Pending JPS6361168A (ja) | 1986-09-01 | 1986-09-01 | 半導体加速度検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6361168A (ja) |
-
1986
- 1986-09-01 JP JP20621586A patent/JPS6361168A/ja active Pending
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