JPS6362385A - レ−ザ発振器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はレーザ発振器に関し、特にガスレーザ発振器に
おける反射鏡の劣化防止を図ったレーザ発振器に関する
。

［従来の技術］ 先ずこの種のガスレーザ発振器について説明すると、こ
の装置は、真空佼体内に００２ガスなどから成るレーザ
媒質を封入して、筐体内部に配設された放電電極によっ
てグロー放電を発生させ、この放電エネルギーによって
レーザ媒質を励起させるようにしている。励起されたレ
ーザ媒質からはレーザ光が発生するが、この際筐体両側
に装着された１対の全反射鏡及び部分反射鏡によって反
射を繰り返す、この間放電空間を循環するレーザ媒質が
次々と励起されレーザ光の発生をもたらし、反射鏡間を
往復して所定のレーザ光が部分反射鏡から外部に射出さ
れて所定の加工に供されることになる。

然して、上記反射鏡の取付部を拡大して示したものが第
２図である。同図は部分反射鏡の取付部を示すものであ
り、反射鏡（１）は光学基台（２）に対して伸縮可能に
取付けた調整部材（３）にホルダ（４）を介して装着さ
れている。このホルダ（４）は反射鏡（１）を内側から
０リング（５）を介してその外周縁を固定支持する第１
ホルダ（４Ａ）とその外側から０リング（６）を介して
固定支持する第２ホルダ（４Ｂ）とを備え、更に反射鏡
（１）外周には第１及び第２ホルダ（４Ａ）、（４Ｂ）
による空間が形成されてこの空間内に冷却水を供給し、
もって加熱された反射鏡（１）を冷却するようにしてい
る。また、第１ホルダ（４Ａ）と第２ホルダ（４Ｂ）と
が接触する周面にはＯリング（７）が介装されて冷却水
をシールしている。また、反射鏡（１）を保持したホル
ダ（０はフランジ（８）によって調整部材（３）に固定
されているが、これら両者の接触部には０リング（８）
が介装されるとともに、第１ホルダ（４Ａ）とフランジ
（８）との接触する周面にも０リング（１０）が介装さ
れてそれぞれ真空洩れを防止するようにしている。

然して、反射鏡（１）を装着した調整部材（３）は蛇腹
（１１）を介して光学基台（２）に伸縮可能に取付けら
れているが、蛇腹（１１）と調整部材（３）及び光学基
台（２）間にはそれぞれ継手（１２）、（１３）によっ
て固定されている。勿論これら継手（１２）、（１３）
と調整部材（３）及び光学基台（２）間に０リング（１
４）、　（１５）が介装され真空洩れを防止している。

一方、光学基台（２）にはレーザ光の通過する孔（２Ａ
）が形成され、この孔（２Ａ）には反射鏡（１）近傍の
滞留ガスに流れを起こすサイドクローを案内するダク）
　（１Ｂ）が遊嵌され、ダク）　（１８）先端は反射ｆ
ｆ１（１）近傍にまで延設され、その基端には光学基台
（２）内側に配設したサイドクローダク）　（１７）と
ダクト（１１３）とを連通ずる連通部材（１８）が取付
けられている。このサイドフローとなるガス圧は放電空
間におけるガス圧よりも高圧になっているため、サイド
フローはサイドフローダクト（１７）、連通部材（１８
）及びダク）　（１１３）外周面を通り反射鏡（１）に
おける滞留ガスに流れを生じさせてダクト（１８）内を
通過して放電空間へと循環する。

このような循環流を必要とするのは、以下の理由による
。レーザ発振器の作動下にあってもガス媒質は放電空間
を強制循環するのみで１反射鏡（１）近傍のガス媒質は
滞留することになる。滞留するとこの部分の温度が上昇
してレーザ出力が逓減し安定した出力を維持することが
困難である。

そのためにこのような温度上昇を防止するようサイドフ
ローを流すのである。

［発明が解決しようとする問題点１ 発振器のレーザ出力確保のために上述したようなサイド
クローを流すのであるが、レーザ媒質中には装置の定期
点検時、部品取替え時等に僅かではあるが粉塵が混入す
ることを避は得す、これがサイドクローに随伴して反射
鏡（１）に達してこれに付着することがある。すると付
着した粉塵がレーザ光によって燃焼し反射ｍ（１）を損
傷させてレーザ出力の逓減をもたらし、あるいはビーム
モードが変形するなどしてレーザ光による加工品質を低
下させるという問題点を有していた。

本発明は叙上の問題点を鑑みてなされたもので、サイド
フローによる粉塵が反射鏡に付着する度合を少なくして
性能的に安定したレーザ発振器を提案するものである。

［問題点を解決するための手段］ 本発明に係るレーザ発振器は、サイドフローが反射鏡に
到達する迄のサイドクローの循環途上にフィルタを装着
したものである。

［作用］ 本発明によれば、サイドクローに随伴して循環する浮遊
粉塵をフィルタで除去するために１反射鏡に到達した循
環流には粉塵が殆ど含まれず、したがって反射鏡に粉塵
が付着することがない。

［実施例］ 以下第１図に示す実施例に基づいて、従来と同−又は相
当部分には同一符号を付してその説明を省略し、本発明
の特徴を中心に説明する０本実施例装置では、サイドク
ローの循環流途上にフィルタ（１９）を設けた点に特徴
を有するが、このフィルタ（１８）は内周がダク）（１
Ｂ）先端に固着され、外周は調整部材（２）とフランジ
（８）の各内周端に挾持されている。その他の構成は従
来装置と同様である。

従ってレーザ発振器の作動中、レーザ媒質は放電空間を
循環する間にレーザ光が発生して部分反射鏡（１）から
外部へと射出される。また、レーザ媒質の一部は、サイ
ドクローとしてサイドクローダク）　（１７）、連通部
材（１８）を通り光学基台（２）の孔（２Ａ）とダク）
　（１Ｂ）間に形成された隙間を経由してダクト（１Ｂ
）先端のフィルタ（１９）を通過し反射鏡（１）側に達
し、さらにダクト（１Ｂ）先端からその内側を通って放
電側へ流入する。つまり反射鏡（１）側に到達するサイ
ドフローには浮遊粉塵が含まれず、反射鏡（１）内面に
粉塵が付着して燃焼することもない、そのため反射鏡（
１）への損傷が軽減されその取り替え頻度を少なくする
ことができる。

フィルタ（１８）に付着した粉塵は反射鏡（１）をホル
ダ（４）とともに取り外したときに清浄することができ
る。

なお、フィルタ（１８）の取付は位置は本実施例に限定
されるものでなく、サイドフローが反射鏡（１）に至る
途上に取付けたものであれば同効を期することができる
。

上記説明において、部分反射鏡（１）におけるサイドフ
ローについてのみ説明したが、全反射鏡（図示せず）の
取付部についても同様の構成を有することは言うまでも
ない。

［発明の効果］ 以上本発明によれば、反射鏡に循環させるガス媒質に含
まれる浮遊粉塵をフィルタによって除去するために、反
射鏡に粉塵が付着することがなく、ひいては反射鏡の損
傷を大幅に軽減することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るレーザ発振器の一実施例の要部を
拡大して示す断面図、第２図は従来装置を示す第１図相
当図である。 図において （１）は反射鏡、 （２）は光学基台（真空筐体）、 （２Ａ）は孔（レーザ光通過孔）、 （３）は調整部材、　　　　（ｔｅ）はダクト、（１３
）はフィルタ。 なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 代　　理　　人　　　大　　岩　　増　　雄第１図 １；ヨ；：フイＩし７

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）真空筐体内における放電によって励起したレーザ
   ガスからのレーザ光を共振させる１対の反射鏡を備える
   とともに、該反射鏡を上記筐体に対し伸縮調整可能な部
   材に装着し、かつ上記筺体のレーザ光通過孔にダクトを
   遊嵌し、該ダクト外周面に沿って上記レーザガスを導き
   上記反射鏡近傍に達した該レーザガスを上記ダクト延設
   端からダクト内に循環させて成るレーザ発振器において
   、上記レーザガス循環流途上にフィルタを装着したこと
   を特徴とするレーザ発振器。
2. （２）上記フィルタを上記調整部材とダクト間に装着し
   たことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレーザ
   発振器。