JPS6364070B2 - - Google Patents
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- JPS6364070B2 JPS6364070B2 JP58137157A JP13715783A JPS6364070B2 JP S6364070 B2 JPS6364070 B2 JP S6364070B2 JP 58137157 A JP58137157 A JP 58137157A JP 13715783 A JP13715783 A JP 13715783A JP S6364070 B2 JPS6364070 B2 JP S6364070B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- gas
- excitation
- optical axis
- orthogonal
- Prior art date
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- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 40
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 36
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/081—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、レーザ媒質ガスを共振光軸に直交
して流すことによりレーザ発振を行わせる直交型
ガスレーザ発振器において、レーザビームの安定
性の改良に関するものである。
して流すことによりレーザ発振を行わせる直交型
ガスレーザ発振器において、レーザビームの安定
性の改良に関するものである。
従来のこの種の直交型ガスレーザ発振器として
は、例えばCO2気体分子をレーザ媒質ガスとして
用い、レーザの励起を放電励起により行い、放電
方向とレーザ媒質ガスのガス流方向とに直交して
レーザ光を取り出す三軸直交放電励起方式の炭配
ガス（CO2ガス）レーザ発振器等が知られてい
る。
は、例えばCO2気体分子をレーザ媒質ガスとして
用い、レーザの励起を放電励起により行い、放電
方向とレーザ媒質ガスのガス流方向とに直交して
レーザ光を取り出す三軸直交放電励起方式の炭配
ガス（CO2ガス）レーザ発振器等が知られてい
る。
第１図は従来の直交型ガスレーザ発振器の概略
構成を示す斜視図、第２図は、第１図の直交型ガ
スレーザ発振器のＡ−Ａ線の断面図である。上記
各図において、１はCO2気体分子等のレーザ媒質
ガスを放電によりレーザを励起する励起範囲、２
ａ，２ｂは励起範囲１の両側に対向的に設けられ
た電極、３は各電極２ａ，２ｂ間に電圧を加えて
放電を形成するための電源、４，５は励起範囲１
の各電極２ａ，２ｂの長手方向両端に設けられた
全反射鏡及び部分反射鏡である。また、Ｇは矢印
で示すレーザ媒質ガスのレーザガス流、Ｌは各全
反射鏡４及び部分反射鏡５間の共振光軸である。
構成を示す斜視図、第２図は、第１図の直交型ガ
スレーザ発振器のＡ−Ａ線の断面図である。上記
各図において、１はCO2気体分子等のレーザ媒質
ガスを放電によりレーザを励起する励起範囲、２
ａ，２ｂは励起範囲１の両側に対向的に設けられ
た電極、３は各電極２ａ，２ｂ間に電圧を加えて
放電を形成するための電源、４，５は励起範囲１
の各電極２ａ，２ｂの長手方向両端に設けられた
全反射鏡及び部分反射鏡である。また、Ｇは矢印
で示すレーザ媒質ガスのレーザガス流、Ｌは各全
反射鏡４及び部分反射鏡５間の共振光軸である。
次に、上記第１図及び第２図の動作について説
明する。今、CO2気体分子を含むレーザ媒質ガス
を励起範囲１へ連続的に供給する。そして、レー
ザ媒質ガスのレーザガス流Ｇの方向は、共振光軸
Ｌに対して直角方向に設定される。各電極２ａ，
２ｂ間に電源３から加えられる電圧によつて、各
電極２ａ，２ｂ間に形成された放電によりCO2気
体分子を含むレーザ媒質ガスは励起され、これに
より、CO2気体分子特有のレーザ光（波長10.6μ
ｍ）を放出する。このレーザ光を共振光軸Ｌ上に
設けられた全反射鏡４と部分反射鏡５との間で共
振増幅し、部分反射鏡５よりレーザ光の出力を取
り出す様になつている。この場合、レーザ光の共
振光軸Ｌは、第２図に示される様に、光軸断面で
見て各電極２ａ，２ｂの中心よりｘの値だけレー
ザガス流Ｇの下流側にずれることになる。これ
は、各電極２ａ，２ｂ間の放電による電子が、
CO2気体分子に直接励起作用をする場合の励起時
間以外にも、通常のCO2レーザの場合、レーザ媒
質ガス中に混入されるN2気体分子のCO2気体分
子へのエネルギー供与時間と、CO2気体分子の移
動速度との関係により、放電中心と励起中心とが
レーザガス流Ｇの方向にずれるという直交型ガス
レーザ発振器の特質に起因するものである。上記
したｘの値は、レーザガス流Ｇの流送、各電極
２ａ，２ｂの形状、励磁入力、励起輻(l)、励起
ギヤツプ(d)、レーザ媒質ガスの組成及びその密
度等の各因子により決定される。
明する。今、CO2気体分子を含むレーザ媒質ガス
を励起範囲１へ連続的に供給する。そして、レー
ザ媒質ガスのレーザガス流Ｇの方向は、共振光軸
Ｌに対して直角方向に設定される。各電極２ａ，
２ｂ間に電源３から加えられる電圧によつて、各
電極２ａ，２ｂ間に形成された放電によりCO2気
体分子を含むレーザ媒質ガスは励起され、これに
より、CO2気体分子特有のレーザ光（波長10.6μ
ｍ）を放出する。このレーザ光を共振光軸Ｌ上に
設けられた全反射鏡４と部分反射鏡５との間で共
振増幅し、部分反射鏡５よりレーザ光の出力を取
り出す様になつている。この場合、レーザ光の共
振光軸Ｌは、第２図に示される様に、光軸断面で
見て各電極２ａ，２ｂの中心よりｘの値だけレー
ザガス流Ｇの下流側にずれることになる。これ
は、各電極２ａ，２ｂ間の放電による電子が、
CO2気体分子に直接励起作用をする場合の励起時
間以外にも、通常のCO2レーザの場合、レーザ媒
質ガス中に混入されるN2気体分子のCO2気体分
子へのエネルギー供与時間と、CO2気体分子の移
動速度との関係により、放電中心と励起中心とが
レーザガス流Ｇの方向にずれるという直交型ガス
レーザ発振器の特質に起因するものである。上記
したｘの値は、レーザガス流Ｇの流送、各電極
２ａ，２ｂの形状、励磁入力、励起輻(l)、励起
ギヤツプ(d)、レーザ媒質ガスの組成及びその密
度等の各因子により決定される。
従来の直交型ガスレーザ発振器は以上の様に構
成されているので、放電中心と励起中心とがずれ
るｘの値が、励起入力である放電入力に対して変
化し、このため、上記したｘの値の決定因子の
内、励起入力の変化以外のすべての各因子を固定
したとしても、レーザビーム出力を制御する場
合、励起入力を変化させるのに対応して、共振光
軸Ｌを変化させる必要がある。また、逆に共振光
軸Ｌを固定したとすると、励起入力の変化に対し
てレーザビーム出力が直線的に変化しないという
不具合があつた。また、励起範囲１へ流入するレ
ーザ媒質ガスと励起範囲１を流出するレーザ媒質
ガスとは、共振光軸Ｌのすべての断面において温
度差が生ずるため、レーザ媒質ガスの温度変化に
よる屈折率の相違により、共振光軸Ｌが曲げられ
たり、光学的にゆがみを生じやすいという不都合
があつた。したがつて、直交型ガスレーザ発振器
の性能として、重要である発生されるレーザ光の
光軸の安定性、レーザ出力の安定性、レーザビー
ム品質の安定性などに欠けるという欠点があつ
た。
成されているので、放電中心と励起中心とがずれ
るｘの値が、励起入力である放電入力に対して変
化し、このため、上記したｘの値の決定因子の
内、励起入力の変化以外のすべての各因子を固定
したとしても、レーザビーム出力を制御する場
合、励起入力を変化させるのに対応して、共振光
軸Ｌを変化させる必要がある。また、逆に共振光
軸Ｌを固定したとすると、励起入力の変化に対し
てレーザビーム出力が直線的に変化しないという
不具合があつた。また、励起範囲１へ流入するレ
ーザ媒質ガスと励起範囲１を流出するレーザ媒質
ガスとは、共振光軸Ｌのすべての断面において温
度差が生ずるため、レーザ媒質ガスの温度変化に
よる屈折率の相違により、共振光軸Ｌが曲げられ
たり、光学的にゆがみを生じやすいという不都合
があつた。したがつて、直交型ガスレーザ発振器
の性能として、重要である発生されるレーザ光の
光軸の安定性、レーザ出力の安定性、レーザビー
ム品質の安定性などに欠けるという欠点があつ
た。
この発明は、上記の様な従来のものの点を改善
する目的でなされたもので、直交型ガスレーザ発
振器において、励起範囲を独立して偶数箇所設
け、光軸方向から見て、前記各励起範囲の半数箇
所と、残りの半数箇所におけるそれぞれのレーザ
媒質ガスのガス流方向が、互いに対向的になる様
にして成る構成を有し、レーザ光の光軸、レーザ
出力及びレーザビーム品質などをそれぞれ安定化
した直交型ガスレーザ発振器を提供するものであ
る。
する目的でなされたもので、直交型ガスレーザ発
振器において、励起範囲を独立して偶数箇所設
け、光軸方向から見て、前記各励起範囲の半数箇
所と、残りの半数箇所におけるそれぞれのレーザ
媒質ガスのガス流方向が、互いに対向的になる様
にして成る構成を有し、レーザ光の光軸、レーザ
出力及びレーザビーム品質などをそれぞれ安定化
した直交型ガスレーザ発振器を提供するものであ
る。
以下、この発明の実施例を図について説明す
る。第３図はこの発明の一実施例である直交型ガ
スレーザ発振器の概略構成を示す斜視図である。
図において、１ａ及び１ｂは、２箇所に独立して
設けられた各電極２ａ，２ｂにより構成され、こ
の各電極２ａ，２ｂ間の放電によりレーザを励起
する励起範囲、この２箇所に設けられた各励起範
囲１ａ，１ｂの中心を通る共振光軸Ｌ上の両端側
には、全反射鏡４と部分反射鏡５が設けらられて
いる。それぞれの励起範囲１ａ及び１ｂには、
CO2ガスの様なレーザ媒質ガスのレーザガス流Ｇ
が共振光軸Ｌに直交して、しかも共振光軸Ｌの方
向から見て対向的に流れる様に構成されている。
る。第３図はこの発明の一実施例である直交型ガ
スレーザ発振器の概略構成を示す斜視図である。
図において、１ａ及び１ｂは、２箇所に独立して
設けられた各電極２ａ，２ｂにより構成され、こ
の各電極２ａ，２ｂ間の放電によりレーザを励起
する励起範囲、この２箇所に設けられた各励起範
囲１ａ，１ｂの中心を通る共振光軸Ｌ上の両端側
には、全反射鏡４と部分反射鏡５が設けらられて
いる。それぞれの励起範囲１ａ及び１ｂには、
CO2ガスの様なレーザ媒質ガスのレーザガス流Ｇ
が共振光軸Ｌに直交して、しかも共振光軸Ｌの方
向から見て対向的に流れる様に構成されている。
第５図及び第６図は、従来の直交型ガスレーザ
発振器及びこの発明による直交型ガスレーザ発振
器におけるそれぞれの動作を説明するための図で
ある。第５図に示す従来の直交型ガスレーザ発振
器では、前述した様に、設定された共振光軸Ｌに
対して、励起入力の変化による共振光軸Ｌの平行
移動による光学的なゆがみL1や、レーザ媒質ガ
スの温度差による共振光軸Ｌの曲りによる光学的
なゆがみが共振光軸Ｌに生じることになる。これ
に対し、第６図に示すこの発明の直交型ガスレー
ザ発振器では、１箇所の励起範囲１ａでの上記し
た光学的なゆがみL1，L2と、他方箇所の励起範
囲１ｂでの上記した光学的なゆがみL1，L2とは、
レーザ媒質ガスのレーザガス流Ｇの方向性に起因
する本質的な現象であるので、各励起範囲１ａ，
１ｂにおけるそれぞれのレーザガス流Ｇの流れを
対向的にすることにより、上記した２箇所におけ
る光学的なゆがみL1，L2をほぼ完全に相殺する
ことができる。
発振器及びこの発明による直交型ガスレーザ発振
器におけるそれぞれの動作を説明するための図で
ある。第５図に示す従来の直交型ガスレーザ発振
器では、前述した様に、設定された共振光軸Ｌに
対して、励起入力の変化による共振光軸Ｌの平行
移動による光学的なゆがみL1や、レーザ媒質ガ
スの温度差による共振光軸Ｌの曲りによる光学的
なゆがみが共振光軸Ｌに生じることになる。これ
に対し、第６図に示すこの発明の直交型ガスレー
ザ発振器では、１箇所の励起範囲１ａでの上記し
た光学的なゆがみL1，L2と、他方箇所の励起範
囲１ｂでの上記した光学的なゆがみL1，L2とは、
レーザ媒質ガスのレーザガス流Ｇの方向性に起因
する本質的な現象であるので、各励起範囲１ａ，
１ｂにおけるそれぞれのレーザガス流Ｇの流れを
対向的にすることにより、上記した２箇所におけ
る光学的なゆがみL1，L2をほぼ完全に相殺する
ことができる。
第４図はこの発明の他の実施例である直交型ガ
スレーザ発振器の概略構成を示す斜視図である。
第４図に示すものは、上記第３図に示す様に、独
立した２箇所の励起範囲１ａ，１ｂを用いるもの
において、各励起範囲１ａ，１ｂを並列状に配置
し、各全反射鏡４ａ，４ｂ，４ｃと部分反射鏡５
を図示する様な位置に配置して成る光共振器を構
成したものである。上記した様な構成の光共振器
で、共振光軸Ｌの方向から見てレーザガス流Ｇの
方向が、各励起範囲１ａ，１ｂで対向的に流れる
様に動作させれば、上記第３図に示す実施例の場
合と同様の効果を奏する。
スレーザ発振器の概略構成を示す斜視図である。
第４図に示すものは、上記第３図に示す様に、独
立した２箇所の励起範囲１ａ，１ｂを用いるもの
において、各励起範囲１ａ，１ｂを並列状に配置
し、各全反射鏡４ａ，４ｂ，４ｃと部分反射鏡５
を図示する様な位置に配置して成る光共振器を構
成したものである。上記した様な構成の光共振器
で、共振光軸Ｌの方向から見てレーザガス流Ｇの
方向が、各励起範囲１ａ，１ｂで対向的に流れる
様に動作させれば、上記第３図に示す実施例の場
合と同様の効果を奏する。
第７図及び第８図は、それぞれこの発明のさら
に他の実施例である直交型ガスレーザ発振器にお
ける動作を説明するための図である。第７図に示
すものは、上記第４図に示す実用性のもので設け
られる独立した２箇所の励起範囲１ａ，１ｂの配
置位置と、各レーザガス流Ｇの方向関係は同一で
あるが、各全反射鏡４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄと部
分反射鏡５を図示する様な位置に配置して成る光
共振器を構成したものであり、その共振光軸Ｌを
変化させることにより、上記実施例と同様の効果
を奏する様にしたものである。また、第８図に示
すものは、独立した４箇所の励起範囲１ａ，１
ｂ，１ｃ，１ｄが共振光軸Ｌの方向に直列状に配
置された光共振器を構成しており、この様な構成
の光共振器では、共振光軸Ｌの方向から見て２箇
所の励起範囲１ａ，１ｃにおけるレーザガス流Ｇ
の方向と、残りの２箇所の励起範囲１ｂ，１ｄに
おけるレーザガス流Ｇの方向が互いに対向的にな
つている構成を有しており、この場合にも、上記
実施例と同様の効果を奏する。
に他の実施例である直交型ガスレーザ発振器にお
ける動作を説明するための図である。第７図に示
すものは、上記第４図に示す実用性のもので設け
られる独立した２箇所の励起範囲１ａ，１ｂの配
置位置と、各レーザガス流Ｇの方向関係は同一で
あるが、各全反射鏡４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄと部
分反射鏡５を図示する様な位置に配置して成る光
共振器を構成したものであり、その共振光軸Ｌを
変化させることにより、上記実施例と同様の効果
を奏する様にしたものである。また、第８図に示
すものは、独立した４箇所の励起範囲１ａ，１
ｂ，１ｃ，１ｄが共振光軸Ｌの方向に直列状に配
置された光共振器を構成しており、この様な構成
の光共振器では、共振光軸Ｌの方向から見て２箇
所の励起範囲１ａ，１ｃにおけるレーザガス流Ｇ
の方向と、残りの２箇所の励起範囲１ｂ，１ｄに
おけるレーザガス流Ｇの方向が互いに対向的にな
つている構成を有しており、この場合にも、上記
実施例と同様の効果を奏する。
また、上記各実施例では、三軸直交型CO2ガス
レーザ発振器を例に取り上げて説明したが、例え
ばレーザの励起手段として、レーザガス流Ｇの方
向と放電方向が同一な二軸直交型CO2ガスレーザ
発振器であつても良く、上記各実施例と同様の効
果を奏する。さらに、レーザ媒質ガスとしては、
CO2ガス分子に限らず、例えばCO、N2、Ｎ等の
ガス分子であつても良く、上記各実施例と同様の
効果を奏することは云うまでもない。
レーザ発振器を例に取り上げて説明したが、例え
ばレーザの励起手段として、レーザガス流Ｇの方
向と放電方向が同一な二軸直交型CO2ガスレーザ
発振器であつても良く、上記各実施例と同様の効
果を奏する。さらに、レーザ媒質ガスとしては、
CO2ガス分子に限らず、例えばCO、N2、Ｎ等の
ガス分子であつても良く、上記各実施例と同様の
効果を奏することは云うまでもない。
この発明は以上説明した様に、直交型ガスレー
ザ発振器において、偶数箇所の独立した励起範囲
を設け、光軸方向から見て、前記励起範囲の半数
箇所と、残りの半数箇所のそれぞれにおけるレー
ザガス流の方向を互いに対向的になる様な構成と
したので、従来のこの種の直交型ガスレーザ発振
器と比べて、レーザ光の光軸、レーザ出力及びレ
ーザビーム品質などのそれぞれを著しく安定化し
てなる直交型ガスレーザ発振器が得られるという
優れた効果を奏するものである。
ザ発振器において、偶数箇所の独立した励起範囲
を設け、光軸方向から見て、前記励起範囲の半数
箇所と、残りの半数箇所のそれぞれにおけるレー
ザガス流の方向を互いに対向的になる様な構成と
したので、従来のこの種の直交型ガスレーザ発振
器と比べて、レーザ光の光軸、レーザ出力及びレ
ーザビーム品質などのそれぞれを著しく安定化し
てなる直交型ガスレーザ発振器が得られるという
優れた効果を奏するものである。
第１図は従来の直交型ガスレーザ発振器の概略
構成を示す斜視図、第２図は、第１図の直交型ガ
スレーザ発振器のＡ−Ａ線の断面図、第３図はこ
の発明の一実施例である直交型ガスレーザ発振器
の概略構成を示す斜視図、第４図はこの発明の他
の実施例である直交型ガスレーザ発振器の概略構
成を示す斜視図、第５図及び第６図は、従来の直
交型ガスレーザ発振器及びこの発明による直交型
ガスレーザ発振器におけるそれぞれの動作を説明
するための図、第７図及び第８図は、それぞれこ
の発明のさらに他の実施例である直交型ガスレー
ザ発振器における動作を説明するための図であ
る。 図において、１，１ａ〜１ｄ……励起範囲、２
ａ，２ｂ……電極、３……電源、４，４ａ〜４ｄ
……全反射鏡、５……部分反射鏡、Ｌ……共振光
軸、L1，L2……光学的なゆがみ、Ｇ……レーザ
ガス流である。なお、各図中、同一符号は同一、
又は相当部分を示す。
構成を示す斜視図、第２図は、第１図の直交型ガ
スレーザ発振器のＡ−Ａ線の断面図、第３図はこ
の発明の一実施例である直交型ガスレーザ発振器
の概略構成を示す斜視図、第４図はこの発明の他
の実施例である直交型ガスレーザ発振器の概略構
成を示す斜視図、第５図及び第６図は、従来の直
交型ガスレーザ発振器及びこの発明による直交型
ガスレーザ発振器におけるそれぞれの動作を説明
するための図、第７図及び第８図は、それぞれこ
の発明のさらに他の実施例である直交型ガスレー
ザ発振器における動作を説明するための図であ
る。 図において、１，１ａ〜１ｄ……励起範囲、２
ａ，２ｂ……電極、３……電源、４，４ａ〜４ｄ
……全反射鏡、５……部分反射鏡、Ｌ……共振光
軸、L1，L2……光学的なゆがみ、Ｇ……レーザ
ガス流である。なお、各図中、同一符号は同一、
又は相当部分を示す。
Claims (1)
- １ レーザの励起範囲にレーザ媒質ガスを流通
し、そのガス流方向と直角方向の光軸上にレーザ
発振を行わせる直交型ガスレーザ発振器におい
て、前記励起範囲を独立して偶数箇所設け、前記
光軸方向から見て、前記各励起範囲の半数箇所
と、残りの半数箇所におけるそれぞれの前記レー
ザ媒質ガスのガス流方向が、互いに対向的になる
様にして成ることを特徴とする直交型ガスレーザ
発振器。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58137157A JPS6028288A (ja) | 1983-07-27 | 1983-07-27 | 直交型ガスレ−ザ発振器 |
| US06/632,463 US4598407A (en) | 1983-07-27 | 1984-07-19 | Orthogonal type gas laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58137157A JPS6028288A (ja) | 1983-07-27 | 1983-07-27 | 直交型ガスレ−ザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6028288A JPS6028288A (ja) | 1985-02-13 |
| JPS6364070B2 true JPS6364070B2 (ja) | 1988-12-09 |
Family
ID=15192148
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58137157A Granted JPS6028288A (ja) | 1983-07-27 | 1983-07-27 | 直交型ガスレ−ザ発振器 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4598407A (ja) |
| JP (1) | JPS6028288A (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0249493Y2 (ja) * | 1985-02-28 | 1990-12-26 | ||
| DE3923624A1 (de) * | 1989-07-17 | 1991-01-31 | Siemens Ag | Verfahren zum betrieb eines gaslasers, insbesondere eines co(pfeil abwaerts)2(pfeil abwaerts)-lasers, mit gasstroemung quer zu seiner optischen achse und gaslaser zur durchfuehrung des verfahrens |
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