JPS6364465U - - Google Patents

Info

Publication number
JPS6364465U
JPS6364465U JP1986158659U JP15865986U JPS6364465U JP S6364465 U JPS6364465 U JP S6364465U JP 1986158659 U JP1986158659 U JP 1986158659U JP 15865986 U JP15865986 U JP 15865986U JP S6364465 U JPS6364465 U JP S6364465U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polishing plate
polishing
workpiece
main shaft
float
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1986158659U
Other languages
English (en)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP1986158659U priority Critical patent/JPS6364465U/ja
Publication of JPS6364465U publication Critical patent/JPS6364465U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案の実施例を示すもので、第1図は
フロートポリシング加工装置を示す断面図、第2
図は第1図の要部拡大断面図、第3図はポリシン
グプレート表面の仕上げ形状を示す断面図、第4
図はポリシングプレート表面に刻設される溝部の
半径による工作物加工面の微少うねりの影響を比
較した図、第5図は従来例を示す図である。 10…ベツド、11…主軸、16…ポリシング
プレート、18…動圧発生用溝部、19…液槽、
20…加工液、25…ワークホルダ、W…工作物

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ベツドに主軸を鉛直軸線のまわりに回転可能に
    支承し、この主軸の上端にポリシングプレートを
    取付け、このポリシングプレートの上方に工作物
    を取付けるワークホルダを上下動かつ回転可能に
    設け、前記ポリシングプレートおよびワークを加
    営液中で回転させて工作物を加工するフロートポ
    リシング加工装置において、前記ポリシングプレ
    ートの上面に刻設される動圧発生用の溝部の半径
    を0.1〜0.2mmにしたことを特徴とするフロ
    ートポリシング加工装置。
JP1986158659U 1986-10-16 1986-10-16 Pending JPS6364465U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1986158659U JPS6364465U (ja) 1986-10-16 1986-10-16

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1986158659U JPS6364465U (ja) 1986-10-16 1986-10-16

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6364465U true JPS6364465U (ja) 1988-04-28

Family

ID=31082358

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1986158659U Pending JPS6364465U (ja) 1986-10-16 1986-10-16

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6364465U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6364465U (ja)
JPS6353653U (ja)
JPS62138534U (ja)
JPS62147456U (ja)
JPH0290056U (ja)
JPS63113528U (ja)
JPH02135160U (ja)
JPS63116227U (ja)
JPH022U (ja)
JPS62141460U (ja)
JPS634243U (ja)
JPS6310012U (ja)
JPH0212604U (ja)
JPS63136804U (ja)
JPS62113948U (ja)
JPS63197040U (ja)
JPS63124462U (ja)
JPS6272054U (ja)
JPS6383241U (ja)
JPS62127329U (ja)
JPS63747U (ja)
JPH0326453U (ja)
JPS6168850U (ja)
JPH0473441U (ja)
JPS61205761U (ja)