JPS6369203A - 高温サ−ミスタ - Google Patents
高温サ−ミスタInfo
- Publication number
- JPS6369203A JPS6369203A JP61213616A JP21361686A JPS6369203A JP S6369203 A JPS6369203 A JP S6369203A JP 61213616 A JP61213616 A JP 61213616A JP 21361686 A JP21361686 A JP 21361686A JP S6369203 A JPS6369203 A JP S6369203A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- thermistor
- sheet
- high temperature
- temperature thermistor
- Prior art date
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- Granted
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Thermistors And Varistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
童栗上■剋尻分互
本発明は高温サーミスタに関し、殊に〜１０００℃付近
の高温において好適に使用される高温サーミスタに関す
る。
の高温において好適に使用される高温サーミスタに関す
る。
従来の技術
サーミスタは電気抵抗の温度依存性を利用したセラミッ
ク温度センサであり、温度測定や温度制御に広く利用さ
れている。サーミスタの実用温度はそれの持つ動作抵抗
や抵抗値の安定性によって決まり、高温サーミスタは通
常３００〜１０００℃の温度域で使用される。従来の高
温サーミスタ素子はスピネル系、ペロブスカイト系、ジ
ルコニア系やコランダム系のものなどがあり、それらの
一部は実用化されている。しかし、上記の材料を使用し
た従来の高温サーミスタは〜６００℃程度の温度域での
使用には比較的安定した特性を示すが、８００℃以上の
高温域においてはいずれも抵抗値や経時安定性に欠ける
という問題点がある。
ク温度センサであり、温度測定や温度制御に広く利用さ
れている。サーミスタの実用温度はそれの持つ動作抵抗
や抵抗値の安定性によって決まり、高温サーミスタは通
常３００〜１０００℃の温度域で使用される。従来の高
温サーミスタ素子はスピネル系、ペロブスカイト系、ジ
ルコニア系やコランダム系のものなどがあり、それらの
一部は実用化されている。しかし、上記の材料を使用し
た従来の高温サーミスタは〜６００℃程度の温度域での
使用には比較的安定した特性を示すが、８００℃以上の
高温域においてはいずれも抵抗値や経時安定性に欠ける
という問題点がある。
また、炭化ケイ素（Ｓ ｉ Ｃ）の単結晶あるいは多結
晶を用いた高温サーミスタも検討されているが、これも
８００〜１０００℃の高温域についてはＳｉＣの酸化が
進むことにより抵抗値の経時変化が大きくなるという問
題点がある。
晶を用いた高温サーミスタも検討されているが、これも
８００〜１０００℃の高温域についてはＳｉＣの酸化が
進むことにより抵抗値の経時変化が大きくなるという問
題点がある。
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであ
り、〜１０００℃の高温域においても適当な抵抗値を示
し、かつ抵抗値の経時変化が少ない、熱的及び化学的に
安定な高温サーミスタを提供することを目的としている
。
り、〜１０００℃の高温域においても適当な抵抗値を示
し、かつ抵抗値の経時変化が少ない、熱的及び化学的に
安定な高温サーミスタを提供することを目的としている
。
問題点を解決するための手ｒ
上記目的はＳｉＣとＭＯ（但し、ＭＯは■〜■族、及び
鉄族の金属酸化物の１種又は２種以上）とから成り、一
般式 ％式％ で示される組成からなる本発明による高温サーミスタに
より達成される。
鉄族の金属酸化物の１種又は２種以上）とから成り、一
般式 ％式％ で示される組成からなる本発明による高温サーミスタに
より達成される。
ここで、Ｘが０．０５未満ではグリーンシートの燃結性
が悪く、加えて電極となるタングステン（Ｗ）、あるい
はモリブデン（ＭＯ）との膨張係数の差が大きいために
グリーンシートとＷ電極あるいはＭＯ電極との眉間剥離
が起こり、実用に供し難いものとなる。
が悪く、加えて電極となるタングステン（Ｗ）、あるい
はモリブデン（ＭＯ）との膨張係数の差が大きいために
グリーンシートとＷ電極あるいはＭＯ電極との眉間剥離
が起こり、実用に供し難いものとなる。
一方、Ｘが０．７を越えると８００℃（使用範囲）での
高温サーミスタの抵抗値の経時変化が大きく、実用に供
し難いものとなる。
高温サーミスタの抵抗値の経時変化が大きく、実用に供
し難いものとなる。
これに対して、０．０５≦Ｘ≦０．７である本発明の高
温サーミスタによれば、後記の表に示されているように
サーミスタ定数が大きく、また高温域における抵抗値の
変化率も１．０％以下と小さく、熱的にも化学的にも安
定した高温サーミスタを得ることができるのである。
温サーミスタによれば、後記の表に示されているように
サーミスタ定数が大きく、また高温域における抵抗値の
変化率も１．０％以下と小さく、熱的にも化学的にも安
定した高温サーミスタを得ることができるのである。
人−施一斑
以下に実施例を挙げる。
５ｉＣＳ酸化アルミニウム（ＡＩ、０．）、酸化ジルコ
ニウム（ＺｒＯ□）、イツトリア（Ｙ２Ｏ２） 、酸化
チタン（ＴｉＯｚ）の各々を下記第１表中のＡシートの
組成となるように秤量し、これに各ケ１０％の有機バイ
ンダを添加し、混合し、スラリーを作製した。これをド
クターブレード法により厚み１００μｍのグリーンシー
トを作製した。このグリーンシートを３ｃＩ！１×４Ｃ
Ｉ１１角に切断し、その両面にタングステン（Ｗ）電極
ペーストを塗布し、これをＡシートとした。一方、Ａ１
．０３ 、Ｚｒ０２−Ｙｚ０３を主成分とする粉末に１
０％有機バインダと溶媒とを混合し、スラリーを作製し
、Ａシートと同じくドクターブレード法により厚み１０
０μｍのグリーンシートを作製した。これをＢシートと
し、Ｂシートに電極個数に相当するスルホールを形成し
た。
ニウム（ＺｒＯ□）、イツトリア（Ｙ２Ｏ２） 、酸化
チタン（ＴｉＯｚ）の各々を下記第１表中のＡシートの
組成となるように秤量し、これに各ケ１０％の有機バイ
ンダを添加し、混合し、スラリーを作製した。これをド
クターブレード法により厚み１００μｍのグリーンシー
トを作製した。このグリーンシートを３ｃＩ！１×４Ｃ
Ｉ１１角に切断し、その両面にタングステン（Ｗ）電極
ペーストを塗布し、これをＡシートとした。一方、Ａ１
．０３ 、Ｚｒ０２−Ｙｚ０３を主成分とする粉末に１
０％有機バインダと溶媒とを混合し、スラリーを作製し
、Ａシートと同じくドクターブレード法により厚み１０
０μｍのグリーンシートを作製した。これをＢシートと
し、Ｂシートに電極個数に相当するスルホールを形成し
た。
次にＡシートの両面をＢシートで挟み５０℃、３０ｓｅ
ｃ、５ｔ／−でＡシートの両面をＢシートで圧着した。
ｃ、５ｔ／−でＡシートの両面をＢシートで圧着した。
この圧着シートを各々の電極が中央に位置するように切
断しチップを作った。このチップをチン素（Ｎ２）やア
ルゴン（Ａｒ）や水素（Ｈ２）といった中性または還元
雰囲気内において１５００〜１７００℃で焼成した。焼
成後のチップの両面に３ 鶴Ｘ ３ ｘ＊角のｐｔ電極
ペーストを塗布し、チップのスルホール部にはｐ ｔ
ｔｉペーストを流し込みこれをチップ内部のＷ電極と電
気的に接続した。次に中性雰囲気中ｌｌ００〜１２００
℃で焼付けして第１表の試料ＮＯ１２〜５．８〜１１．
１３〜１８に示す高温サーミスタ試料を得た。
断しチップを作った。このチップをチン素（Ｎ２）やア
ルゴン（Ａｒ）や水素（Ｈ２）といった中性または還元
雰囲気内において１５００〜１７００℃で焼成した。焼
成後のチップの両面に３ 鶴Ｘ ３ ｘ＊角のｐｔ電極
ペーストを塗布し、チップのスルホール部にはｐ ｔ
ｔｉペーストを流し込みこれをチップ内部のＷ電極と電
気的に接続した。次に中性雰囲気中ｌｌ００〜１２００
℃で焼付けして第１表の試料ＮＯ１２〜５．８〜１１．
１３〜１８に示す高温サーミスタ試料を得た。
上記の如くして得られた各試料のサーミスタ定数、抵抗
値（１８００℃）及びエージングテストによる抵抗値の
変化率（１０００℃、１０００ｈｒ）を測定した。その
結果は第１表に示す通りである。
値（１８００℃）及びエージングテストによる抵抗値の
変化率（１０００℃、１０００ｈｒ）を測定した。その
結果は第１表に示す通りである。
尚、上記実施例では■族及び■族の金属化合物を使用し
た高温サーミスタについて示しているが、これは酸化ニ
オブ（ＮｂｚＯｓ）、酸化タングステン（ｈｏ３）、酸
化マグネシウム（ＭｇＯ）、酸化スズ（ＳｎＯ□）、二
酸化ケイ素（ＳｉＯｚ） 、チタン酸カルシウム（（：
ａＴｉＯ，） 、酸化セリウム（ＣｅＯｚンなど、Ｉ〜
■族の金属酸化物もしくは鉄属の金属酸化物を１種又は
２種以上用いても、同様の結果が得られる。
た高温サーミスタについて示しているが、これは酸化ニ
オブ（ＮｂｚＯｓ）、酸化タングステン（ｈｏ３）、酸
化マグネシウム（ＭｇＯ）、酸化スズ（ＳｎＯ□）、二
酸化ケイ素（ＳｉＯｚ） 、チタン酸カルシウム（（：
ａＴｉＯ，） 、酸化セリウム（ＣｅＯｚンなど、Ｉ〜
■族の金属酸化物もしくは鉄属の金属酸化物を１種又は
２種以上用いても、同様の結果が得られる。
（以下、余白）
発！６ぢケ果
以上の説明及び第１表に示した結果から明らかなように
、本発明の高温サーミスタ（試料Ｎ０゜２〜５、Ｎ００
８〜１１、ＮＯ，１３〜１８）はサーミスタ定数が大き
く、かつ１０００℃の高温放置においても抵抗値の変化
率が１．０％以下とエージング特性にも優れていると共
に、抵抗値が高すぎたり、眉間剥離が起こるといった問
題が解消され、熱的及び化学的安定性に優れ、高精度化
が要求されている高温サーミスタに適するといった効果
がある。
、本発明の高温サーミスタ（試料Ｎ０゜２〜５、Ｎ００
８〜１１、ＮＯ，１３〜１８）はサーミスタ定数が大き
く、かつ１０００℃の高温放置においても抵抗値の変化
率が１．０％以下とエージング特性にも優れていると共
に、抵抗値が高すぎたり、眉間剥離が起こるといった問
題が解消され、熱的及び化学的安定性に優れ、高精度化
が要求されている高温サーミスタに適するといった効果
がある。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ＳｉＣとＭＯ（但し、ＭＯはＩ〜VII族、及び鉄族の
金属酸化物の１種又は２種以上）とから成り、一般式 （１−ｘ）ＳｉＣ＋ｘＭＯ （ここで、０．０５≦ｘ≦０．７） で示される組成からなることを特徴とする高温サーミス
タ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61213616A JP2549633B2 (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 | 高温サ−ミスタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61213616A JP2549633B2 (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 | 高温サ−ミスタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6369203A true JPS6369203A (ja) | 1988-03-29 |
| JP2549633B2 JP2549633B2 (ja) | 1996-10-30 |
Family
ID=16642123
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61213616A Expired - Fee Related JP2549633B2 (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 | 高温サ−ミスタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2549633B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6037101A (ja) * | 1983-08-08 | 1985-02-26 | 株式会社日立製作所 | 高温サ−ミスタ |
-
1986
- 1986-09-10 JP JP61213616A patent/JP2549633B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6037101A (ja) * | 1983-08-08 | 1985-02-26 | 株式会社日立製作所 | 高温サ−ミスタ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2549633B2 (ja) | 1996-10-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |