JPS6370102A - 導電体肉厚非破壊測定法 - Google Patents
導電体肉厚非破壊測定法Info
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- JPS6370102A JPS6370102A JP21451386A JP21451386A JPS6370102A JP S6370102 A JPS6370102 A JP S6370102A JP 21451386 A JP21451386 A JP 21451386A JP 21451386 A JP21451386 A JP 21451386A JP S6370102 A JPS6370102 A JP S6370102A
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- Japan
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- thickness
- sample
- measured
- probes
- value
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は配管、タンクの金属壁、船体、建物の鉄骨、金
属壁面等の導電体肉厚非破壊測定法に関する。
属壁面等の導電体肉厚非破壊測定法に関する。
内部に長期間流体を流したり、貯蔵している配管、タン
クの金属壁の実質的な厚みを測定することは、配管、タ
ンクの寿命、性能を予知、確認する上で極めて重要であ
る。
クの金属壁の実質的な厚みを測定することは、配管、タ
ンクの寿命、性能を予知、確認する上で極めて重要であ
る。
最近、水道配管の内壁腐食による水漏れ、腐食性液体の
貯蔵タンクの内壁腐食による流出等の事故が多発してお
り、特に水道配管の内壁腐食は広範囲に社会問題化して
いる。
貯蔵タンクの内壁腐食による流出等の事故が多発してお
り、特に水道配管の内壁腐食は広範囲に社会問題化して
いる。
このような事故を未然に防止するため、内部状況を簡便
に検出することは極めて重要である。
に検出することは極めて重要である。
従来、かかる検査は光ファイバー等を配管、タンク内に
挿入してその内壁面を観察検査している。
挿入してその内壁面を観察検査している。
しかしこれでは装置が高価で検査に手数を要し、また定
量的な測定は困難であった。
量的な測定は困難であった。
本発明はかかる導電体の厚みを簡便に迅速に非破壊的に
測定する方法を提供するものである。
測定する方法を提供するものである。
本発明は被測定物(試料1,1c、ld、le)の表面
で四探針2.3..−4.5法によって電気抵抗を測定
し1、その測定値、形状補正係数及び被測定物(試料1
、 lc 、 ld 、 le)の体積固有抵抗ρか
ら測定物(試料1 、lc、Id、le)の金属又は半
導体層の厚みを非破壊的に推測することを特徴とする導
電体肉厚非破壊測定法である。
で四探針2.3..−4.5法によって電気抵抗を測定
し1、その測定値、形状補正係数及び被測定物(試料1
、 lc 、 ld 、 le)の体積固有抵抗ρか
ら測定物(試料1 、lc、Id、le)の金属又は半
導体層の厚みを非破壊的に推測することを特徴とする導
電体肉厚非破壊測定法である。
第1図(() (0)は本発明の原理を基本的に説明す
るため直方体の試料1に適用した実施例を示すもので、
aは試料1の縦巾、bは試料1の横巾、tは試料lの導
電層の厚み、斜線の部分は導電層1aの下の絶縁層1b
である。2,3.4.5は試料1の外面に当接した四探
針である。Eは電源、■は電流計、■は内部インピーダ
ンスの高い電圧計(又は電位差計)である。
るため直方体の試料1に適用した実施例を示すもので、
aは試料1の縦巾、bは試料1の横巾、tは試料lの導
電層の厚み、斜線の部分は導電層1aの下の絶縁層1b
である。2,3.4.5は試料1の外面に当接した四探
針である。Eは電源、■は電流計、■は内部インピーダ
ンスの高い電圧計(又は電位差計)である。
次にこの装置の動作を説明する。
電源Eは四探針2,3,4.5の外側の2本の探針2.
5に電流を流し、■という電流が流れるとすると、この
電流値は電流計のにより測定される。電圧計■は四探針
の内側2本の探針3,4の間の電圧を測定する。
5に電流を流し、■という電流が流れるとすると、この
電流値は電流計のにより測定される。電圧計■は四探針
の内側2本の探針3,4の間の電圧を測定する。
今、外側2探針2,5間に電流■が流れる時に内側2探
針3,4の電位差の測定値をΔVとすると、試料1の体
積固有抵抗ρと厚みt、及び電流値■と電位差測定値Δ
Vの間には次の関係式がある。
針3,4の電位差の測定値をΔVとすると、試料1の体
積固有抵抗ρと厚みt、及び電流値■と電位差測定値Δ
Vの間には次の関係式がある。
Δ■
ρ= −t−Fc ・・・・・・・・・・・・・・
・・・・(1)■ (Fc (Correction Factor):形
状補正係数)ここで、ΔV/Iは抵抗値Rである。(抵
抗率ではない。) 形状補正係数Fcは、試料1の形状、四探針2゜3.4
.5の試料面における位置に依存する。しかし、形状が
一定で、同一位置で測定する場合には、厚みtが既知の
測定物で実測することにより形状補正係数Fcを知るこ
とができる。直方体状の試料lの場合には形状補正係数
Fcは数学的に解くこともできる。
・・・・(1)■ (Fc (Correction Factor):形
状補正係数)ここで、ΔV/Iは抵抗値Rである。(抵
抗率ではない。) 形状補正係数Fcは、試料1の形状、四探針2゜3.4
.5の試料面における位置に依存する。しかし、形状が
一定で、同一位置で測定する場合には、厚みtが既知の
測定物で実測することにより形状補正係数Fcを知るこ
とができる。直方体状の試料lの場合には形状補正係数
Fcは数学的に解くこともできる。
一方、体積固有抵抗ρはすでに他の方法で正確に測定さ
れている。
れている。
例えば、純鉄の場合、常温で9.8 Xl0−bΩ(至
)である、銅の場合、常温で1.6 Xl0−’Ωam
である。
)である、銅の場合、常温で1.6 Xl0−’Ωam
である。
鉄が腐食により酸化されてFeze3. Fe)Onに
なると、体積固有抵抗ρは10’Ω(至)以上になり、
鉄との比較に於いて絶縁体と見做してもよい。
なると、体積固有抵抗ρは10’Ω(至)以上になり、
鉄との比較に於いて絶縁体と見做してもよい。
従って厚みtが未知の試料で且つ体積固有抵抗ρが既知
の場合、四探針法により抵抗値R(・ΔV/I)を測定
すれば、 tFc=−7−− が求まる。
の場合、四探針法により抵抗値R(・ΔV/I)を測定
すれば、 tFc=−7−− が求まる。
そこで、t−Fcと試料の形状及び四探針位置との関係
が把握されていれば(特に、他の条件を一定にしておき
、厚みtの関数の形にしておけば)厚みtが求まること
になる。
が把握されていれば(特に、他の条件を一定にしておき
、厚みtの関数の形にしておけば)厚みtが求まること
になる。
上記厚みtとt−Fc0間には一般に第2図示のグラフ
のような関係がある。
のような関係がある。
通常の二探針法で導電体の体積固有抵抗を測定すると、
探針と試料表面との間の接触抵抗が無視できない大きさ
となり、正確な測定が困難であるが、本発明のように四
探針法で高インピーダンスの電圧計を用いると電圧計■
への流入電流の影響は微小となり接触抵抗による電圧降
下が無視でき、測定値ΔVはほぼ正確な試料表面の電位
差となり、正確な抵抗の測定が可能となるものである。
探針と試料表面との間の接触抵抗が無視できない大きさ
となり、正確な測定が困難であるが、本発明のように四
探針法で高インピーダンスの電圧計を用いると電圧計■
への流入電流の影響は微小となり接触抵抗による電圧降
下が無視でき、測定値ΔVはほぼ正確な試料表面の電位
差となり、正確な抵抗の測定が可能となるものである。
第3図はパイプ状の試料1cの肉厚の測定に本発明を適
用した実施例を示すものである。
用した実施例を示すものである。
第4図は例えば大きなタンクの壁などの無限に近い平面
状の試料1dに本発明を適用した実施例を示すものであ
る。
状の試料1dに本発明を適用した実施例を示すものであ
る。
上記直方体の形状の試料lの場合には前述したように、
四探針2.3,4.5のおく位置及び試料の縦、横の寸
法が決まれば、t−Fcは正確に求められる (電流の
流れるパターンを、ポアソンの式を解くことにより正確
に計算できる)。この原理は当然、t−Fcが正確に解
けなくても他の形状の試料1c 、 ldにも応用でき
るものである。試料1dの場合もt−Fcは鏡像法を用
いた計算により正確にtの関数として、数学的に解くこ
とができる。
四探針2.3,4.5のおく位置及び試料の縦、横の寸
法が決まれば、t−Fcは正確に求められる (電流の
流れるパターンを、ポアソンの式を解くことにより正確
に計算できる)。この原理は当然、t−Fcが正確に解
けなくても他の形状の試料1c 、 ldにも応用でき
るものである。試料1dの場合もt−Fcは鏡像法を用
いた計算により正確にtの関数として、数学的に解くこ
とができる。
ticの形状依存性の傾向が概略確認されていればそれ
に見合った精度で厚さtも概算できる。
に見合った精度で厚さtも概算できる。
実用的な目的からすれば、その程度の精度で目標を達成
することが多い。
することが多い。
通常の四探針では各探針の間隔Sは一定で等しく直線状
に並んでいるが、t−Fcとtの関係(即ちFc(!:
tとの関係)が既知であれば探針の配置にはこだわらな
いが測定対象物の形状、特に大きさによって間tQMs
を変えるのが実際的である。
に並んでいるが、t−Fcとtの関係(即ちFc(!:
tとの関係)が既知であれば探針の配置にはこだわらな
いが測定対象物の形状、特に大きさによって間tQMs
を変えるのが実際的である。
この探針2.3,4.5間の距離Sは被測定物の肉厚に
応じて変えた方がよい。また第2図示のグラフの勾配が
急になるように距MSを選んだ方が、推測値は正確にな
るので好ましい。探針間の距離Sの2倍までの厚みは比
較的精度よく測定できる。
応じて変えた方がよい。また第2図示のグラフの勾配が
急になるように距MSを選んだ方が、推測値は正確にな
るので好ましい。探針間の距離Sの2倍までの厚みは比
較的精度よく測定できる。
2肱斑
第5図示のような等方性黒鉛1e (上下面が7 cn
+X 7 c+++の直方体で厚みを0.35cmから
5.65cmまで変えた8種のサンプル)について測定
を行った。測定を行う前に黒鉛1eの表面の錆を落とし
、電極との接触抵抗を少しでも下げ、接触状況が安定す
るようにする。次に第5図示のようにその中央に四探針
2.3,4.5を距10.5cmの距離でその列が辺に
平行になるように設置し、その抵抗値を測定した。
+X 7 c+++の直方体で厚みを0.35cmから
5.65cmまで変えた8種のサンプル)について測定
を行った。測定を行う前に黒鉛1eの表面の錆を落とし
、電極との接触抵抗を少しでも下げ、接触状況が安定す
るようにする。次に第5図示のようにその中央に四探針
2.3,4.5を距10.5cmの距離でその列が辺に
平行になるように設置し、その抵抗値を測定した。
別の方法にてこの黒鉛材料の体積固有抵抗ρは求められ
ており、その値は9.OX 10−’Ωcmである。
ており、その値は9.OX 10−’Ωcmである。
一方、Re5i Ca1cにより計算したFcを用いて
pにXt−wtの関係をグラフにかくと、第6図のよう
になる。そこで各サンプル(実際の厚みt)について抵
抗実測値からρ/Rを求め、それからグラフにより求め
た厚み推測値L1を表に示し、実際の厚み実測値t2と
比較した。
pにXt−wtの関係をグラフにかくと、第6図のよう
になる。そこで各サンプル(実際の厚みt)について抵
抗実測値からρ/Rを求め、それからグラフにより求め
た厚み推測値L1を表に示し、実際の厚み実測値t2と
比較した。
表から次の知見が得られる。
1、厚み推測値t、は実測値1zより数%程度低い傾向
にあるが、10%以下の精度で推定できること(厚み推
測の精度としては実用的には問題ないと見てよい) 2、 探針間の距離(0,50!11)の約2倍以上の
厚みになると精度は極端に落ちる。
にあるが、10%以下の精度で推定できること(厚み推
測の精度としては実用的には問題ないと見てよい) 2、 探針間の距離(0,50!11)の約2倍以上の
厚みになると精度は極端に落ちる。
3 c+n以上の厚みの場合には、グラフからは推測値
t、は読み取れない。(ρ/Rの値がFcXt〜tのカ
ーブに交わらない。) 〔発明の効果〕 以−トのようにして本発明により水道配管或いはタンク
等の金属壁面の実質肉厚(内部腐食による金属肉厚)を
非破壊的に測定することができるものである。
t、は読み取れない。(ρ/Rの値がFcXt〜tのカ
ーブに交わらない。) 〔発明の効果〕 以−トのようにして本発明により水道配管或いはタンク
等の金属壁面の実質肉厚(内部腐食による金属肉厚)を
非破壊的に測定することができるものである。
第1図(イ)は本発明の原理を示す説明図、(ロ)は(
イ)の探針部分の断面図、第2図は厚みtとt・Fcと
の関係を示すグラフ、第3図は本発明をパイプの厚み測
定に適用した場合の斜視図、第4図は本発明を大きな金
属壁面の厚み測定に適用した場合の斜視図、第5図は本
発明の実験例の測定部分の斜視図、第6図はその実験例
における厚みtとtl’cの関係を示すグラフである。 1 、 lc 、 ld 、 1e・” ・−・被測定
物、2,3,4.5・・・・・・四探針、ρ・・・・・
・体積固有抵抗。 −wl目 (イ) Cロン 塩2目 箋3ρ
イ)の探針部分の断面図、第2図は厚みtとt・Fcと
の関係を示すグラフ、第3図は本発明をパイプの厚み測
定に適用した場合の斜視図、第4図は本発明を大きな金
属壁面の厚み測定に適用した場合の斜視図、第5図は本
発明の実験例の測定部分の斜視図、第6図はその実験例
における厚みtとtl’cの関係を示すグラフである。 1 、 lc 、 ld 、 1e・” ・−・被測定
物、2,3,4.5・・・・・・四探針、ρ・・・・・
・体積固有抵抗。 −wl目 (イ) Cロン 塩2目 箋3ρ
Claims (1)
- 被測定物の表面で四探針法によって電気抵抗を測定し、
その測定値、形状補正係数及び被測定物の体積固有抵抗
から測定物の金属又は半導体層の厚みを非破壊的に推測
することを特徴とする導電体肉厚非破壊測定法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21451386A JPS6370102A (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 | 導電体肉厚非破壊測定法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21451386A JPS6370102A (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 | 導電体肉厚非破壊測定法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6370102A true JPS6370102A (ja) | 1988-03-30 |
Family
ID=16656966
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21451386A Pending JPS6370102A (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 | 導電体肉厚非破壊測定法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6370102A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CZ297790B6 (cs) * | 2000-10-09 | 2007-03-28 | Zapojení a usporádání elektrod pro merení tloustky steny z vodivého materiálu | |
| JP2007108098A (ja) * | 2005-10-17 | 2007-04-26 | Seiko Instruments Inc | 計測プローブ及び表面特性計測装置並びに表面特性計測方法 |
| JP2008537781A (ja) * | 2005-04-11 | 2008-09-25 | ルドルフテクノロジーズ インコーポレイテッド | デュアル光音響および抵抗測定システム |
| RU2495370C1 (ru) * | 2012-05-25 | 2013-10-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП НПП "Исток") | Устройство для контроля толщины проводящей пленки изделий электронной техники |
| JP2014077782A (ja) * | 2012-09-20 | 2014-05-01 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 焼き入れ深さ測定装置、焼き入れ深さ測定方法、表層深さ測定装置、表層深さ測定方法 |
| CN104897734A (zh) * | 2015-04-28 | 2015-09-09 | 石家庄铁道大学 | 土工结构物中土体含水率实时测量系统及方法 |
| CN105954591A (zh) * | 2016-04-29 | 2016-09-21 | 宁波国际材料基因工程研究院有限公司 | 一种软磁薄膜材料表面电阻高通量测试方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6157803A (ja) * | 1984-08-29 | 1986-03-24 | Hitachi Chem Co Ltd | 絶縁体に貼り合された金属箔の厚みを検知する方法 |
-
1986
- 1986-09-10 JP JP21451386A patent/JPS6370102A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6157803A (ja) * | 1984-08-29 | 1986-03-24 | Hitachi Chem Co Ltd | 絶縁体に貼り合された金属箔の厚みを検知する方法 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CZ297790B6 (cs) * | 2000-10-09 | 2007-03-28 | Zapojení a usporádání elektrod pro merení tloustky steny z vodivého materiálu | |
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| RU2495370C1 (ru) * | 2012-05-25 | 2013-10-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП НПП "Исток") | Устройство для контроля толщины проводящей пленки изделий электронной техники |
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| CN105954591A (zh) * | 2016-04-29 | 2016-09-21 | 宁波国际材料基因工程研究院有限公司 | 一种软磁薄膜材料表面电阻高通量测试方法 |
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