JPS6370146U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6370146U JPS6370146U JP16594086U JP16594086U JPS6370146U JP S6370146 U JPS6370146 U JP S6370146U JP 16594086 U JP16594086 U JP 16594086U JP 16594086 U JP16594086 U JP 16594086U JP S6370146 U JPS6370146 U JP S6370146U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- turntable
- attached
- grader
- spray nozzle
- chamber case
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 3
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
第１図は本考案を実施したウエハーの洗浄装置
を一部切欠して示す平面図、第２図は同装置の縦
断正面図、第３図は水受筒を分解して示す傾斜図
である。 尚図中、Ａ……洗浄装置、１……チヤンバーケ
ース、２……噴射ノズル、３……ターンテーブル
、４……グレードル、５……ウエハー収納用キヤ
リア、６……液受筒、７……内周面。
を一部切欠して示す平面図、第２図は同装置の縦
断正面図、第３図は水受筒を分解して示す傾斜図
である。 尚図中、Ａ……洗浄装置、１……チヤンバーケ
ース、２……噴射ノズル、３……ターンテーブル
、４……グレードル、５……ウエハー収納用キヤ
リア、６……液受筒、７……内周面。
Claims (1)
- チヤンバーケース内に噴射ノズルを備え、該噴
射ノズルの回りを回動するターンテーブルをチヤ
ンバーケース内に回転自在に装着し、そのターン
テーブル内にグレードルを取付けると共に、該グ
レードル内にウエハー収納用キヤリアを脱着自在
に装着せしめてなるウエハーの洗浄装置において
、上記ターンテーブル外周に上方から下方へ拡開
する内周面を有する液受筒を取付けたことを特徴
とするウエハーの水洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16594086U JPS6370146U (ja) | 1986-10-28 | 1986-10-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16594086U JPS6370146U (ja) | 1986-10-28 | 1986-10-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6370146U true JPS6370146U (ja) | 1988-05-11 |
Family
ID=31096443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16594086U Pending JPS6370146U (ja) | 1986-10-28 | 1986-10-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6370146U (ja) |
-
1986
- 1986-10-28 JP JP16594086U patent/JPS6370146U/ja active Pending