JPS6371633A - 微粒子計数装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体や薬品製造プロセス等の高清浄プロセス
管理に用いられる微粒子測定装置に係り、特に窩感検出
に好適な微粒子計数装置に関する。

〔従来の技術〕

従来レーザ散乱光による微粒子検出Ｍ置は、「′８５ク
リーンテクノロジシンポジウム予稿Ｐ４−４−１〜Ｐ４
−４−１０“米国におけるエアロゾル計測技術”」に奥
井により論じられている様に試料検体の一部に光を照射
したときに試料中の微粒子から散乱する光を集光して検
出するもので、気中粒子０．１μｍ、液中粒子０．３μ
ｍ程度まで測定できるものであった。しかし高感度検出
に対する配慮は微弱な散乱光をできるだけ多く集光検出
することに重点がありバックグランドノイズを減らす測
定については配慮されてぃなかった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来技術は微弱光の高感度検出のため、検出器の感
度を高くして使用するが、バックグランドノイズの除去
について配慮がされておらず、電気的ノイズ等がより微
小な粒子を測定する上での障害となっていた。

本発明の目的は上記バックグランドノイズを除去し１粒
子からの散乱光に基く信号のみを測定して、ノイズ対検
出信号比、以下Ｓ　／　Ｎ比と称す。

を向上させることにより、更に高感度な検出を可能にす
ることにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は照射レーザ光を音響光学変調器等の光チョッ
パにより一定周波数で強度変調して散乱光に基く信号が
この周波数で変調される状態になし、かつ検出器からの
信号のうち該周波数と同一周波数の信号のみをロックイ
ン増幅器等を用い位相検波することにより達成される。

〔作　用〕

光チョッパは一定周波数、例えばＩＭ）Ｉｚ、で強度変
調されるため、微粒子にレーザ光が照射されたときに散
乱光強度も同一周波数で変調され、検出信号は同一周波
数の変調信号となる。一方電気的ノイズ等は周波数変調
を受けないので、検出信号とノイズ双方が位相検波器に
導入されても、該周波数を有する信号のみが測定される
。

〔実施例〕

以下本発明の一実施例を第１図により説明する９レーザ
光源１からの光Ａは音響光学変調器等の光チョッパ２を
介して一定周波数で強度変調され、集光系３により試料
セル４中の試料４′に集光照射される。試料中の微粒子
は照射光を散乱するので、散乱光Ｂを放物凹面鏡や楕円
面鏡等の集光系５により集光し光検出器６により電気信
号Ｃに変換される。該電気信号Ｃは位相検波器７に導か
れ、光強度変調信号と同一周波数の信号、即ち散乱光に
基く信号のみが選択的に測定される。

本実施例によれば散乱光検出時のＳ　／　Ｎ比を向上さ
せる効果がある。

〔発明の効果〕

本発明によれば微弱散乱光検出時のＳ　／　Ｎ比を向上
させることができるので、従来バックグランドノイズと
同レベルで測定できなかった微弱な散乱光に基く信号を
測定でき、より微小な粒子の測定が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の微粒子計数装置の主要構成
図である。 １・・・レーザ、２・・・光チョッパ、３・・・レーザ
集光系、４・・・試料セル、５・・・散乱光集光系、６
・・・光検出器、７・・・位相検波器、８・・・データ
処理部。　　、−７＞代理人弁理士　小　川　勝　男゛
・。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、試料検体を流す容器の微小域にレーザ光を照射し試
   料中の粒子からの散乱光を検出する粒子検出装置におい
   て、レーザ光を一定周波数で強度変調するための手段及
   びレーザ光の強度変調周波数と同一周波数の検出器から
   の信号を測定するための位相検波器から成ることを特徴
   とする微粒子計数装置。