JPS6373259A - 感光体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、電荷発生層と電荷輸送層とを有する感光体に
関する。

送米Ω挾街 カールソン法の発明以来、電子写真の応用分野は著しい
発展を続け、電子写真用感光体にも様々な材料が開発さ
れ実用化されて来た。

従来用いられて来た感光体材料の主な物とじては、非晶
質セレン、セレン砒素、セレンテルル、硫化カドミウム
、酸化肛鉛、アモルファスシリコン等の無機物質、ポリ
ビニルカルバゾール、金属フタロシアニン、ジスアゾ顔
料、トリスアゾ顔料、ペリレン顔料、トリフェニルメタ
ン化合物、トリフェニルアミン化合物、ヒドラゾン化合
物、スチリル化合物、ピラゾリン化合物、オキサゾール
化合物、オキサジアゾール化合物、等の有機物質が挙げ
られる。また、その構成形態としては、これらの物質を
単体で用いる単層型構成、結着材中に分散させて用いる
バインダー型構成、機能別に電荷発生層と電荷輸送層と
を設ける積層型構成等が挙げられる。

しかしながら、従来用いられて来た感光体材料にはそれ
ぞれ欠点があった。その一つとして人体への有害性が挙
げられるが、前述したアモルファスシリコンを除く無機
物質においては、何れも好ましく無い性質を有する物で
あった。また、感光体が実際に複写機内で用いられるた
めには、帯電、露光、現像、転写、除電、清掃等の苛酷
な環境条件下に曝された場合においても、常に安定な性
能を維持する必要があるが、前述した有機物質において
は、何れも耐久性に乏しく、性能面での不安定要素が多
かった。

この様な欠点を解消すべく、近年、有害性に問題を有ざ
ず、高感度で、ざらに、ＪＩＳ鉛筆硬度にして７Ｈ以上
の高硬度を有し耐久性に富んだ材料として、真空中での
グロー放電分解法により生成されるアモルファスシリコ
ンの感光体への応用が進んで来ている。しかし、アモル
ファスシリコンは、原料として発火性の強いシランガス
を必要とするため、製造上の危険性が高い。また、シラ
ンガスを多量に必要とする反面、高価なガスである事か
ら、出き上がった感光体も従来に比べ大幅に高価なもの
となる。また、成膜速度が遅く、成膜時に爆発性を有す
る多量のシラン未分解生成物を粉塵状に発生し装置を汚
染する等、生産上の不都合も多い。さらに、この粉塵が
！′！造時に感光層中に混入した場合には、画像品質に
著しく悪影響を及ぼす。また、アモルファスシリコンは
、元来、比誘電率が高いため帯電性能が低く、複写機内
で所定の表面電位に帯電するためには、帯電器に高出力
が要求される、等々の欠点を有している。

フタロシアニン系化合物の蒸着膜が感光体の電荷発生層
として使用可能である事は古くより知られており、例え
ばレゲンスバーガー（Ｐ、Ｊ、Ｒｅｇｅｎｓｂｕｒｇｅ
ｒ）及びベトルツツエラ（Ｎ、Ｌ、Ｐｅｔｒｕｚｚｅ　
ｌ　ｌａ）により、１９７１年発行のジャーナル・オブ
・ノンクリスタリン・ソリッド（Ｊｏｕｒｎａｌ　　ｏ
ｆ　　Ｎ。

ｎ−Ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ　　５ｏｌｉｄ）第６巻第
１３〜２６頁において、無金属フタロシアニンの蒸着膜
を電荷発生層として用いた感光体において、非晶質セレ
ンを電荷輸送層として明減衰が得られる事が報じられて
いる。

そしてこれまでに、電荷発生層として応用可能なフタロ
シアニン系蒸着膜に関する多くの発明が成されている。

同時に、該電荷発生層と積層する事により感光体として
実質的に機能きせるために、接着性に優れ、電荷発生層
からの電荷注入が容易で、ざらに、電荷輸送性に優れた
電荷輸送層材料に関しても多くの発明が成されている。

例えば、特開昭４．９−４８３３４号公報、特公昭５９
−３２７８７号公報、米国ＵＳＰ３，８９５．９４４号
公報には、無金属、または、Ｃｕ　ＮＣｄ、Ｚｎ、Ｐｂ
等の金属を含むフタロシアニンの蒸着膜を電荷発生層と
して設け、その上にオキサジアゾール系の電荷輸送層を
塗布した感光体が開示されている。特開昭４９−．１．
１１３６号公報、特公昭５９−３７４１号公報には、無
金属、または、Ｃｕ　％　Ｎ　ｌ　ｚ　ＣＯ等の金属を
含むフタロシアニンの蒸着膜を電荷発生層として低抵抗
（５（脂層上に設け、その上にポリ−Ｎ−ビニルカル／
にゾール、ポリアセナフチレン、ポリ−９−とニルアク
リジン等の有機光導電材ｒ：［を電荷輸送層として塗布
した感光体が開示されている。特開昭５０−７５０４２
号公報、特公昭５９−３２７８８号公報、米国ＵＳＰ３
，９９２，２０５号公報、西独ＤＥ２，３５３．６３９
号公報には、無金属、または、Ｃｕフタロシアニンの蒸
着層と、他の色素の蒸着層との二層構成の電荷発生層上
に、Ｎ−ビニルカルバゾール、ピラゾリン等の有機材わ
↓を電荷輸送層として塗布した感光体が開示されている
。特開昭５７−２０７４１号公報には、Ｃｕフタロシア
ニンの蒸着膜を電荷発生層として設け、その上にピラゾ
リン、Ｎ−カルバゾール等の有機化合物を電荷輸送層と
して塗布した感光体が開示されている。特開昭５７−１
４８７４５号公報には、ＡＮ、Ｃｒ５Ｇａ、Ｓｂ、Ｉｎ
、Ｓｉ。

Ｔｉ夷Ｇｅ、、Ｓｎ、Ｔｅ等の金属を含むフタロシアニ
ンの蒸着膜を電荷発生層として設け、その上にピラゾリ
ン、カルバゾール等の有機化合物を電荷輸送層として塗
布した感光体が開示されている。特開昭５８−１５８６
４９号公報、米国ＵＳＰ４．４２６４．３４号公報、西
独ＤＥ３，２２３．４５５号公報、英国ＧＢ２，１０３
，３８１号公報には、金属としてＡｌを含み、ざらに置
換基としてＣＩを含むフタロシアニン（ＡＩＰｃ。

・ＡｌＣｌＰｃ、ＡｌＣｌＰｃ（ＣＩ））の蒸着膜を電
荷発生層として設け、ＴＨＦ、アセトン等の溶剤処理を
施し、その上にビラプリン系の有機化合物を電荷輸送層
として塗布した感光体が開示されている。この他にも、
フタロシアニン系蒸着膜を電荷発生層に用いた感光体に
ついては、特開昭５５−２９８４４号公報、同５７−１
３２１５６号公報、同５７−２１１１４９号公報、同５
８−１９４０３８号公報、同５８−２０９７４７号公報
、同５８−２０９７４８号公報、同５９−１５２４９号
公報、同５９−３０５４１号公報、同５９−３１９６５
号公報、同５９−３６２５４号公報、同５９−４４０５
３号公報、同５９−４４０５４号公報、同５９−４９５
４４号公報、同５９−１２８５４４号公報、同５９−１
３３５５０号公報、同５９−１３３５５１号公報、同５
９−１５５８５１号公報、同５９−１６６９５９号公報
、同５９−１７４８４５号公報、同５９−１７４８４６
号公報、同５９−１７４８４７号公報、同５９−１７８
４６４号公報、同５９−２１１０４８号公報、同５９−
２１１０４９号公報、同５９−２１４０３４号公報、同
５９−２３２３４８号公報、同６０−２０１３４８号公
７臥同６０−２０１３４７号公報、同６０−２０１３４
８号公報、同６０−２６００５４号公報、米国ＵＳＰ４
．４４４，８６１号公報、同４，５３６，４６１号公報
、同４，４７１，０３９号公報等に同様の開示が見られ
る。

しかしながら、これらの開示は何れもフタロシアニン系
蒸着膜の蒸着膜の上に有機電荷輸送層材料を塗布してな
る感光体に関し、このような構成の場合、感光体最表面
が有機系塗布膜であるため一般に硬度が低く、ＪＩＳ鉛
筆硬度にして５Ｂ乃至２Ｂ程度の硬度しか得られない。

従って、電子写ｇ５光体として実際に複写機内で用いら
れた場合、現性部材、転写部材、清掃部材等との接触に
対する＃ＪｙＸ耗性が低く、耐久性に乏しくなる。ざら
に、塗布の際使用する溶剤がフタロシアニン系蒸着膜を
変成し、感度特性、特に、分光感度特性に影響を及ぼし
、必ずしも本来フタロシアニン系蒸着膜が有する優れた
感度特性を効果的に利用できるとは限らなくなる。ざら
に、蒸着膜を真空中で設け、その後真空槽外で塗布膜を
設けるため生産性を考えた場合、その工程が複雑となる
。

また、例えば、特開昭５５−２９８４４号公報には、Ｃ
ｕ−、Ｎ　ｔ　％　Ｆ　８％　Ｍｇ　ｓ　Ａ　１等の金
属を含むフタロシアニンの蒸着膜を電荷発生層として設
け、その上にピラゾリン系有機化合物の蒸着、スパッタ
、イオンブレーティング法による膜を電荷輸送層として
設けた感光体が開示されている。

この手法によれば、Ｈ乃至２Ｈ程度の比較的硬膜が得ら
れるものの、前記アモルファスシリコンと比較して充分
とはいえず、ざらに、塗布法によれば好適な正孔輸送性
を有するピラゾリン系有機化合物の輸送性能を低減せし
め、必ずしも好適な感度が得られるとは限らない。

ざらに、これらのフタロシアニン系蒸着膜を電荷発生層
に用いた機能分離型感光体に関する開示は、何れもａ−
３ｉの有する前記した本質的問題を解決するものでは無
い。

一方、プラズマ有機重合膜自体は古くより知られており
、例えばジエン（Ｍ、５ｈｅｎ）及びベル（Ａ、Ｔ、Ｂ
ｅｌ　ｌ）により、１９７３年発行のジャーナル・オブ
・アプライド・ポリマー・サイエンス（Ｊｏｕｒｎａｌ
　　ｏｆ　　Ａｐｐｌｉｅｄ　　Ｐｏｌｙｍｅｒ　　５
ｃｉｅｎ、ｃｅ）第１７巻の８８５〜８９２頁において
、数多くの有（液化合物ガスから作製可能である事が報
じられている。

また、同著者らにより、１９７９年のアメリカンケミカ
ルソサエティー　（Ａｍｅｒ　１ｃａｎ　　Ｃｈｅｍｉ
ｃａｌ　　５ｏｃｉｅｔｙ、）発行によるプラズマボリ
マライゼーション（Ｐｌａｓｍａ　　ｐ。

ｌｙｍｅｒ　１ｚａｔ　１ｏｎ）の中でもその成膜性が
記されている。

しかしながら、従来の方法で作製したプラズマ有機重合
膜は絶縁性を前提とした用途に限って用いられ、即ち、
それらの膜は通常のポリエチレン膜の如く１０１６ΩＣ
ｍ程度の比抵抗を有する絶縁膜と考えられ、或は、少な
くともそのような膜であるとの認識のもとに用いられて
いた。実際に感光体への用途にしても同様の認識から、
保護層、接着層、ブロッキング層もしくは絶縁層に限ら
れており、所謂アンダーコート層もしくはオーバーコー
ト層としてしか用いられていなかった。

例えば、特開昭５９−２８１６１号公報には、基板上に
ブロッキング層及び接着層としてプラズマ重合された網
目構造を有する高分子層を設け、その上にアモルファス
シリコン層を設けた感光体が開示されている。特開昭５
９−３８７５３号公報には、基板上にブロッキング層及
び接着層として酸素と窒素と炭化水素の混合ガスから生
成される１０１３〜１０１５Ωｃｍの高抵抗のプラズマ
重合膜を１０人〜１００人設けた上にアモルファスシリ
コン層を設けた感光体が開示されている。特開昭５９−
１３６７４２号公報には、アルミ基板上に設けたアモル
ファスシリコン層内へ光照射時にアルミ原子が拡散する
のを防止するための保護層として１〜５μｍ程度の炭素
膜を基板表面に形成せしめた感光体が開示されている。

特開昭６０−６３５４１号公報には、アルミ基板とその
上に設けたアモルファスシリコン層との接着性を改善す
るために、接着層として２００人〜２μｍのダイヤモン
ド状炭素膜を中間に設けた感光体が開示され、残留電荷
の面から膜Ｊつは２μｍ以下が好ましいとされている。

これらの開示は、何れも基板とアモルファスシリコン層
との間に、所謂アンダーコート層を設けた発明であり、
電荷輸送性についての開示は全く無く、また、ａ−３ｉ
の有する前記した本質的問題を解決するものでは無い。

また、例えば、特開昭５０−２０７２８号公報並びに米
国ＵＳＰ３．９５６，５２５号公報には、ポリビニルカ
ルバゾール−セレン系感光体の表面に保護層としてグロ
ー放電重合によるポリマー膜を０．１〜１μｍ設けた感
光体が開示されている。特開昭５９−２１４８５９号公
報には、アモルファスシリコン恣光体の表面に保護層と
してスチレンやアセチレン等の有機炭化木葉モノマーを
プラズマ重合させて５μｍ程度の膜を形成きせる技術が
開示されている。特開昭６０−６１７６１号公報には、
表面保護層として、５００λ〜２μｍのダイヤモンド状
炭素薄膜を設けた感光体が開示され、透光性の面から膜
厚は２μｍ以下が好ましいとされている。特開昭６０−
２４９１１５号公報には、０．０５〜５μｍ程度の無定
形炭素または硬質炭素膜を表面保護層として用いる技術
が開示され、膜厚が５μｍを越えると感光体活性に悪影
響が及ぶとされている。特開昭６１−９４０５６号公報
には、アモルファスシリコンの表面に保護層として、疎
水性に優れたアモルファスカーボン膜を用いたアモルフ
ァスシリコン感光体が開示されている。

これらの開示は、何れも感光体表面に所謂オーバーコー
ト層を設けた発明であり、電荷輸送性についての開示は
全く無く、また、ａ−Ｓｉの有する前記した本質的問題
を解決するものでは無い。

また、特開昭５１−４６１３０号公報には、ポリビニル
カルバゾール系電子写真感光体の表面にグロー放電重合
を行なってｏ、００１〜３μｍのポリマー膜を形成せし
めた電子写真感光板が開示されているが、電荷輸送性に
ついては全く言及されていないし、ａ−Ｓｉの持つ前記
した本質的問題を解決するものでは無い。

発■が解決しようどする問題点 従来、機能分離型感光体の電荷発生層として用いられて
来たフタロシアニン系蒸着膜においては、電荷輸送層と
の組合せにおける制限から、表面硬度が低く耐久性に乏
しい感光体、或は、感度的に不十分な感光体しか得る事
が出来なかった。

一方、プラズマ有機重合膜においては、所謂アンダーコ
ート層もしくはオーバーコート層として感光体に使用さ
れてはいたが、それらはキャリアの輸送機能を必要とし
ない膜であって、有機重合閾が絶縁性で有るとの判断、
もしくはその様な認識の下に用いられている。従ってそ
の膜厚も高々５μｍ程度の極めて薄い膜としてしか用い
られず、キャリアはトンネル効果で膜中を通過するか、
トンネル効果が期待できない場合には、実用上の残留電
位としては問題にならずに済む程度の薄い膜でしか用い
られていない。

本発明者らは、長年に亙り、電荷発生能を有するフタロ
シアニン系蒸着膜の（戊能分雑型感光体への応用を検討
している内に、本来絶縁性であると考えられていたプラ
ズマ有機重合膜が、該蒸着膜に対し好適な電荷輸送層と
成り得、高感度が得られる事を見出した。また、表面硬
度もＪＩＳ鉛筆硬度で７Ｈ以上の膜が得られる事から、
高耐久性が得られる事を見出した。また、アモルファス
シリコン感光体に較べ、安価な原料を使用し、より安全
に作製可能である事を見出した。

本発明はこれらの新たな知見を利用する事により、ａ−
Ｓｉ感光体の持つ前述の如き本質的問題点を全て解消し
、また、従来とは全く異なる新規材料構成による機能分
離型感光体を提供する事を目的とする。

。ｒ弗を”央　るための− 即ち、本発明は、電荷発生層と電荷輸送層とを有する機
能分離型感光体において、電荷発生層としてフタロシア
ニン系化合物の真空蒸着膜（以下、本発明による電荷発
生層をｖｅ−Ｐｃ膜と称する）を設け、電荷輸送層とし
て有機化合物ガスの真空中グロー放電により生成された
プラズマ重合膜（以下、本発明による電荷輸送層をａ−
Ｃ膜と称する）を設けた事を特徴とする感光体に関する
。該電荷発生層は、可視光もしくは半導体レーザー発光
波長付近の光に対して明確なる光導電性を有し、効率よ
く光励起キャリアを発生し得るものである。該電荷輸送
層は、可視光もしくは半導体レーザー発光波長付近の光
に対しては、明確なる光導電性は有しないが好適な電荷
輸送性を安定に提供し、また、帯電能、耐久性、耐候性
、耐環境汚染性等の感光体性能に優れ、しかも透光性に
も優れるため、機能分離型感光体としての積層構造を形
成する場合においても極めて高い自由度が得られるもの
である。さらに、該電荷発生層と該電荷輸送層とは、接
着性に優れ、光励起キャリアの注入にも優れるものであ
る。

本発明感光体は少なくとも電荷発生層と電荷輸送層から
構成される。

本発明感光体における電荷発生層、即ち、Ｖｅ−Ｐｃ膜
は、真空蒸着の常法により作製する事が可能である。該
電荷発生層は、フタロシアニン系化合物を蒸着源として
作製される。該フタロシアニン系化合物としては、例え
ば、ＣｕＰｃ、ＡｌＣｌＰｃ　（ＡＩ）　、ＡｌＣｌＰ
ｃ、Ｈ２ＰＯ，Ｇｅ　（ＯＨ）２Ｐｃ、ＺｎＰｃ、Ｍｇ
Ｐｃ、に２ＰＣ１等が適当である。

本発明のｖｅ−Ｐｃ膜の膜厚は、２００人乃至２μｍが
適当である。膜厚が２００人より薄いと、電荷発生層に
おける光吸収量が低下するため光励起キャリア数が減り
、感度低下を招く。膜厚が２μｍより厚い場合には、電
荷発生層中での熱励起キャリアの影響が無視で伊なくな
り、帯電能の低下を招く。また、電荷発生層中での電荷
輸送効率の低下も発生しやすくなり、必ずしも好適な感
度が保証されなくなる。

本発明のｖｅ−Ｐｃ膜は、場合により蒸着後、分光感度
特性を調整する目的から、有機溶剤により後処理を施す
事が可能である。具体的には、蒸着膜形成後、有機溶剤
中に浸漬もしくは有機溶剤雰囲気中に曝し、蒸着材料に
より、その時間を調整すればよい。使用可能な有機溶剤
としては、例えば、アセトン、ＴＨＦ、等が挙げられる
。

本発明感光体における電荷輸送層、即ち、ａ−Ｃ膜は、
プラズマ・ケミカル・ベイバー・デポジション（Ｐ−Ｃ
ＶＤ）の常法により作製する事が可能である。該電荷輸
送層を作製するための原料ガスとしては有機気体、特に
最も単純な組成の原料ガスとしては、炭化水素ガスを用
いる事ができる。該炭化水素における相状態は常温常圧
において必ずしも気相である必要は無く、加熱或は減圧
等により溶融、蒸発、昇華等を経て気化し得るものであ
れば、液相でも固相でも使用可能である。

該炭化水素としては、例えば、飽和炭化水素、不飽和炭
化水素、脂環式炭化水素、芳香族炭化水素、等が用いら
れる。

使用可能な炭化水素には種類が多いが、飽和炭化水素と
しては、例えば、メタン、エタン、プロパン、ブタン、
ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デ
カン、ウンテ゛カン、トチ゛カン、トリデカン、テトラ
デカン、ペンタデカン、ヘキサデカン、ヘプタデカン、
オクタデカン、ノナデカン、エイコサン、ヘンエイコサ
ン、トコサン、トリコサン、テトラコサン、ペンタコサ
ン、ヘキサコサン、ヘプタコサン、オクタコサン、ノナ
コサン、トリアコンタン、トドリアコンタン、ペンタト
リアコンタン、等のノルマルパラフィン並びに、イソブ
タン、イソペンタン、ネオペンタン、イソヘキサン、ネ
オヘキサン、２．３−ジメチルブタン、２−メチルヘキ
サン、３−エチルベンゼン、２．２−ジメチルペンタン
、２，４−ジメチルペンタン、３，３−ジメチルペンタ
ン、トリブタン、２−メチルへブタン、３−メチルへブ
タン、２．２−ジメチルヘキサン、２．２．５−ジメチ
ルヘキサン、２，２．３−ト・ジメチルペンタン、２，
２．４−）ジメチルペンタン、２゜３．３−トリメチル
ペンタン、２，３．４−トリメチルペンタン、イソナノ
ン、等のイソパラフィン、等が用いられる。、不飽和炭
化水素としては、例えば、エチレン、プロピレン、イソ
ブチレン、１−ブテン、２−ブテン、１−ペンテン、２
−ペンテン、２−メチル−１−ブテン、３−メチル−１
−ブテン、２−メチル−２−ブテン、１−ヘキセン、テ
トラメチルエチレン、１−ヘプテン、１−オクテン、１
−ノネン、１−デセン、等のオレフィン、並びに、アレ
ン、メチルアレン、ブタジェン、ペンタジェン、ヘキサ
ジエン、シクロペンタジェン、等のジオレフィン、並び
に、オシメン、アロシメン、ミルセン、ヘキサトリエン
、等のトリオレフイン、並びに、アセチレン、メチルア
セチレン、１−ブチン、２−ブチン、１−ペンチン、１
−ヘキシン、１−ヘプチン、１−オクチン、１−ノニン
、１−デシン、等が用いられる。

脂環式炭化水素としては、例えば、シクロプロパン、シ
クロブタン、シクロペンタン、シクロヘキサン、シクロ
へブタン、シクロオクタン、シクロノナン、シクロデカ
ン、シクロウンデカン、シクロドデカン、シクロトリデ
カン、シクロテトラデカン、シクロペンタデカン、シク
ロヘキサデカン、等のシクロパラフィン並びに、シクロ
プロペン、シクロブテン、シクロペンテン、シクロヘキ
セン、シクロヘプテン、シクロオクテン、シクロノネン
、シクロデセン、等のシクロオレフィン並びに、リモネ
ン、テルビルン、フエランドレン、シルベストレン、ツ
エン、カレン、ピネン、ボルニレン、カンフエン、フエ
ンチェン、シクロウンデカン、トリシクレン、ピサボレ
ン、ジンギベレン、クルクメン、フムレン、カジネンセ
スキベニヘン、セリネン、カリオフィレン、サンタレン
、セドレン、カンホレン、フイロクラテン、ボドカルブ
レン、ミレン、等のテルペン並びに、ステロイド等が用
いられる。芳香族炭化水素としては、例えば、ベンゼン
、トルエン、キシレン、ヘミメリテン、プソイドクメン
、メシチレン、プレニテン、イソジュレン、ジュレン、
ペンタメチルベンゼン、ヘキサメチルベンゼン、エチル
ベンゼン、プロピルベンゼン、クメン、スチレン、ビフ
ェニル、テルフェニル、ジフェニルメタン、トリフェニ
ルメタン、ジベンジル、スチルベン、インデン、ナフタ
リン、テトラリン、アントラセン、フェナントレン、等
が用いられる。

キャリアガスとしては、Ｐ−ＣＶＤ法においては常用さ
れる、Ｈ２、Ａｒ、Ｎｅ、Ｈｅ等が適当である。

これらの炭化水素とキャリアガスだけから作成されたａ
−Ｃ膜は、炭素原子と水素原子だけから構成され、本発
明においては最も単純な組成となるが、この場合、含有
される水素原子の量は、炭素原子と水素原子の総量に対
して３０乃至６ｏ原子％が適当である。本発明のａ　−
Ｃ膜中に含まれる水素原子の量は、成膜装置の形態によ
って程度は異なるが、成膜時の条件により変化させる事
が可能である。水素量を低くするには、例えば、基板温
度を高くする、圧力を低くする、原料炭化水素ガスの希
釈率を低くする、水素含有率の低い原料ガスを用いる、
印加電力を高くする、交番電界の周波数を低くする、交
番電界に重畳せしめた直流電界強度を高くする、等の操
作、或は、これらを組合せた操作を行なえばよい。水素
量を高くするにはこの反対の操作を行なえばよい。

本発明のａ−Ｃ膜の膜厚は、通常の電子写真プロセスで
用いるためには、５乃至５０μｍ１特に７乃至２０ｕｍ
が適当であり、膜厚が５μｍより薄い場合には、帯ＴＬ
電位が低いため充分な輻射画＠濃度を得る事ができない
。また、５０μｍより厚いと生産性の面で好ましく無い
。本発明のａ−Ｃ膜は、高透光性、高暗抵抗を有すると
共に電荷輸送性に富み、膜厚な５μｍ以上としてもキャ
リアはトラップされる事無く輸送され、明減衰に寄与す
る事が可能である。

本発明のａ−Ｃ膜においては、さらに、感光体性能を調
整する目的で、必要に応じて異種原子を化学的修飾物質
として含む事も可能である。例えば、明減衰性能を調整
するためにハロゲン原子、シリコン原子、ゲルマニウム
原子、周期律表第■族原子或は周期律表第１ＩＩ族原子
、等を、帯電性能或はＨ！Ａ質の経時変化を改善するた
めにハロゲン原子、酸素原子、窒素原子、等を含有して
もよい。

具体的に、該ｒＡ種原子を含有する本発明のａ−Ｃ膜を
得るには、該異種原子を分子構造中に含有してなる無機
化合物ガスを炭化水素ガスに混合したものを原料ガスと
して用いる、該異種原子を分子構造中に含有してなる有
機化合物ガスを炭化水素ガスに混合したものを原料ガス
として用いる、或は、該異種原子を分子構造中に含有し
てなる有機化合物ガスを原料ガスとして用いる、等の手
段により、Ｐ−ＣＶＤ反応を行なえばよい。また、ａ　
−Ｃ膜中に含有される該異種原子の量を増減するために
は、炭化水素ガスと該異種原子を分子構造中に含有して
なる無機或は有機化合物ガスとを原料ガスとして使用す
る場合においては、該異種原子を分子構造中に含有して
なる無機或は有機化合物ガスの使用量を増減すればよく
、該異種原子を分子構造中に含有してなる有機化合物ガ
スを原料ガスとして使用する場合においては、分子構造
中の該異種原子の含有比が高い或は低い有機化合物を選
択すればよい。また、該異種原子を含有してなる無機或
は有機化合物ガスにおける相状態は常温常圧において必
ずしも気相である必要はなく、加熱或は減圧等により溶
融、蒸発、昇華等を経て気化しうるものであれば、′ｅ
泪でも同相でも使用可能である。

本発明における感光体はｖｅ−Ｐｃ膜からなる電荷発生
層とａ　−Ｃ膜からなる電荷輸送層から成る機能分離型
感光体であり、該電荷発生層と該電荷輸送層の積層構成
は、必要に応じて適宜選択する事が可能である。

第１図は、その一形態として、導電性基板（１）上に電
荷輸送層（２）と電荷発生層（３）を順次積層して成る
構成を示したものである。第２図は、別の一形態として
、導電性基板（１）上に電荷発生層（３）と電荷輸送層
（２）を順次積層して成る構成を示したものである。第
３図は、別の一形態として、導電性基板（１）上に、電
荷輸送層（２）と電荷発生層（３）と電荷輸送層（２）
を順次積層して成る構成を示したものである。

感光体表面を、例えばコロナ帯電器等により正帯電した
後、画像露光して使用する場合においては、第１図では
電荷発生Ｎ（３）で発生した正孔が電荷輸送層（２）中
を導電性基板（１）に向は走行し、第２図では電荷発生
層（３）で発生した電子が上側の電荷輸送Ｐ：（２）中
を感光体表面に向は走行し、第３図では電荷発生層（３
）で発生した正孔が電荷輸送層（２）中を導電性基板（
１）に向は走行すると共に、同時に電荷発生層（３）で
発生した電子が電荷輸送層（２）中を感光体表面に向は
走行し、好適な明減衰に保証された静電潜像の形成が行
なわれる。反対に感光体表面を負帯電した後、画像露光
して使用する場合においては、電子と正孔の挙動を入れ
代えて、キャリアーの走行性を解すればよい。第２図及
び第３図では、画像露光用の照射光が電荷輸送層（２）
中を通過する事になるが、本発明による電荷輸送層は透
光性に優れる事から、好適な潜像形成を行う事が可能で
ある。

第４図は、ざらなる一形態として、導電性基板（１）上
に電荷輸送層（２）と電荷発生層（３）と表面保護層（
４）を順次積層して成る構成を示したものである。即ち
、第１図の形態に表面保護層を設けた形態に相当するが
、本発明電荷発生層の耐久性をざらに確保するために、
表面保護層を設けてもよい。第２１１ｆｆｆｆ及び第３
図の構成の場合、最表面が耐久性に優れた本発明電荷輸
送層であるため、表面保護層を設けなくてもよいが、例
えば現像剤の付着による感光体表面の汚れを防止する様
な、複写機内の各種エレメントに対する整合性を調整す
る目的から、表面保護層を設ける事もざらなる一形態と
成り得る。

第５図は、ざらなる一形態として、導電性基板（１）上
に中間層（５）と電荷発生層（３）と電荷輸送層（２）
を順次積層して成る構成を示したものである。即ち、第
２国の形態に中間層を設けた形態に相当するが、本発明
電荷発生層の導電性基板との接着性及び導電性基板から
の注入阻止効果をざらに確保するために、中間層を設け
てもよい。第１図及び第３図の構成の場合、導電性基板
との接合面が、接着性及び注入阻止効果に優れた、本発
明電荷輸送層で有るため、中間層を設けなくても良いが
、例えば導電性基板の前処理方法の様な、感光層形成以
前の製造工程との整合性を調整する目的から、中間層を
設ける事もざらなる一形態と成りうる。

第６図は、ざらなる一形態として、導電性基板（１）上
に中間層（５）と電荷輸送層（２）と電荷発生層（３）
と表面保護層（４）を順次積層して成る構成を示したも
のである。即ち、第１図の形態に中間層と表面保護層を
設けた形態に相当する。中間層と表面保護層の設置理由
は前述と同様であり、従って第２図及び第３図の構成に
おいて中間層と表面保護層を設ける事もざらなる一形態
と成りうる。

本発明において中間層と表面保護層は、材料的にも、製
法的にも、特に限定を受ける物では無く、所定の目的が
達せられる物であれば、適宜選択する事が可能である。

本発明によるａ　−Ｃ膜を用いても良い。但し、用いる
材料が、例えば従来例で述べた如き絶縁性材料である場
合には、残留電位発生の防止のため膜厚は５μｍ以下に
留める必要がある。

本発明による感光体の電荷発生層は、真空槽中で固相状
態のフタロシアニン原料を加熱し、発生したフタロシア
ニン蒸気を基板上での凝縮により固相として堆積させる
、真空蒸着の常法、即ち、抵抗加熱法から生成される。

本発明による感光体の電荷輸送層は、気相状態の分子を
減圧下で放電分解し、発生したプラズマ雰囲気中に含ま
れる活性中性種或は荷電種を基板上に拡散、電気力、或
は磁気力等により誘導し、基板上での再結合反応により
固相として堆積きせる、Ｐ−ＣＶＤの常法、即ち、プラ
ズマ有機重合法から生成される。

第７図は本発明に係わる感光体の電荷輸送層の製造装置
の一例を示し、図中（７０１）〜（７０６）は常温にお
いて気相状態にある原料化合物及びキャリアガスを密封
した第１乃至第６タンクで、各々のタンクは第１乃至第
６調節弁（７０７）〜（７１２）と第１乃至第６流量制
′ｍ器（７１３）〜（７１８）に接続されている。図中
（７１９）〜（７２１）は常温において液相または固相
状態にある原料化合物を封入した第１乃至第３容器で、
各々の容器は気化のため、第１乃至第３温調器（７２２
）〜（７２４）により与熱可能であり、さらに各々の容
器は第７乃至第９調節弁（７２５）〜（７２７）と第７
乃至第９流量利運器（７２８）〜（７３０）に接続され
ている。これらのガスは混合器（７３１）で混合された
後、主管（７３２）を介して反応室（７３３）に送り込
まれる。途中の配管は、常温において液相または固相状
態にあった原料化合物が気化したガスが、途中で凝結し
ない様に、適宜配置された配管加熱器（７３４）により
、与熱可能とされている。反応室内には接地量４Ｅｔｉ
（７３５）と電力印加電極（７３６）が対向して設置さ
れ、各々の電ｔ）は電極加熱器（７３７）により与熱可
能とされている。電力印加電極（７３６）には、高周波
電力用整合器（７３８）を介して高周波電源（７３９）
、低周波電力用整合器（７４０）を介して低周波電；原
（７４１Ｌローパスフイルタ（７４２）を介して直流電
源（７４３）が接続されており、接続選択スイッチ（７
４，４）により周波数の異なる電力が印カロ可能とされ
ている。反応室（７３３）内の圧力は圧力制御弁（７４
５）により調繁可能であり、反応室（７３３）内の減圧
は、排気系選択弁（７４６）を介して、拡散ポンプ（７
４７）、油回転ポンプ（７４８）　、或は、冷却除外装
置（７４９）、メカニカルブースターポンプ（７５０）
、油回転ポンプ（７４８）により行なわれる。排ガスに
ついては、さらに適当な除外装置（７５３）により安全
無害化した後、大気中に排気される。これら排気系配管
についても、常温において液相または固相状態にあった
原料化合物が気化したガスが、途中で凝結しないように
、適宜配置された配管加熱器（７３４）により、与熱可
能とされている。反応室（７３３）も同様の理由から反
応室加熱器（７５１）により与熱可能とされ、内部に配
された電極上に導電性基板（７５２）が設置される。第
７−１図において導電性基板（７５２）は接地電極（７
３５）に固定して配されているが、電力印加電極（７３
６）に固定して配されても良く、ざらに双方に配されて
も良第８図は本発明に係わる感光体の製造′Ｊ２置の別
の一形態を示し、反応室（８３３）内部の形態以外は、
第７図に示した本発明に係わる感光体の製造装置例と同
様であり、図中の符号を７００番台の数値を８００番台
に置き換えて解すればよい。

第８図において、反応室（８３３）内部には、第７ｒＸ
ｉにおける接Ｍ電極（７３５）を兼ねた円筒形の導電性
基板（８５２）が設置され、内側には電極加熱器（８３
７）が配されている。導電性基板（８５２）周囲には同
じく円筒形状をした電力印加電ｗ３（８３６）が配され
、外側には電極加熱器（８３７）が配されている。導電
性基板（８５２）は、外部より駆動モータ（８５４）を
用いて自転可能となっている。

第７図及び第８図に例示した本発明による感光体の電荷
輸送層の製造装置は、電荷発生層を形成するための真空
蒸着装置と、例えばゲートバルブ等を用いて接続し、搬
送系を用いて基板を移送し、真空を破らずに両層の成膜
を行なう事が可能である。また、その方が、感光体完成
まで各層が大気に触れ無いため膜質が汚染されず、製造
安定性が向上し、ざらに、真空引き、リーク等の製造上
不可欠な操作が減るため、生産性も高くなる。

第７図及び第８図中の反応室では、拡散ポンプにより予
め１０−４乃至１０”６Ｔｏｒｒ程度にまで減圧し、真
空度のＴａ認と装置内部に吸着したガスの脱着を行なう
。同時に電極加熱器により、電極並びに電極に固定して
配された導電性基板を所定の温度まで昇温する。導電性
基板には、前述の如き感光体構成の中から所望の構成を
得るために、必要であれば、予めアンダーコート層或は
電荷発生層を設けて置いても良い。アンダーコート層或
は電荷発生層の設置には、本装置を用いても良いし、別
装置を用いても良いし、また、本装置にゲートバルブを
介して接続された真空蒸着装置を用いてもよい。次いで
、第１乃至第６タンク及び第１乃至第３′ｓ器から原料
ガスを第１乃至第９流量制ｉ卸器を用いて定流量化しな
がら反応室内に導入し、圧力調節弁により反応室内を一
定の減圧状態に保つ。ガス流量が安定化した後、接続選
択スイッチにより、例えば高周波電源を選択し、電力印
加電極に高周波電力を投入する。両電極間には放電が開
始され、時間と共に基板上に固相の膜が形成される。反
応時間により膜厚を制御し、所定の膜厚に達したところ
で放電を停止し、本発明のａ−Ｃ膜を電荷輸送層として
得る。このａ−Ｃ膜は、本発明により生成した、少なく
とも炭素原子と水素原子とを構成原子としてなるプラズ
マ重合膜である。次いで、第１乃至第９調回弁を閉じ、
反応室内を充分に排気する。ここで所望の感光体構成が
得られる場合には反応室内の真空を破り、反応室より本
発明による感光体を取り出す。ざらに所望の感光体構成
において、電荷発生層或はオーバーコート層が必要とさ
れる場合には、そのまま本装置を用いるか、別装置を用
いるか、または、本装置にゲートバルブを介して接続き
ねた真空蒸着装置を用いてこれらの層を設け、大発明に
よる感光体を得る。

以下実施例を挙げながら本発明を説明する。

友悠徂 本発明に係わる製造装置を用いて、第２図に示した如き
、導電性基板（１）、電荷発生層（３）、電荷輸送層（
２）をこの順に設けた本発明感光体を作製した。

電荷発生層形成工程（ＣＧＬ工程）： 真空蒸着の常法を用いて、樅５０Ｘ横５０×厚３ｍｍの
アルミニウム基板上に、銅フタロシアニン（ＣｕＰｃ）
の蒸着膜を形成した。蒸着は、ボート温度５００乃至６
００℃、真空度Ｉ　Ｘ　１０−５乃至５Ｘ１０−５Ｔｏ
ｒｒ、及び蒸着時間約５分の条件で行なった。得られた
ＣｕＰｃ蒸着膜の膜厚は約２０００人であった。

電荷輸送層形成工程（ＣＴＬ工程） 次いで、第７図に示すグロー放電分解装置において、ま
ず、反応装＠（７３３）の内部を１Ｏ−６Ｔｏｒｒ程度
の寓真空にした後、第１、及び第２調節弁（７０７、及
び７０８）を解放し、第１タンク（７０１）よりキャリ
アガスとして水素ガス、及び第２タンク（７０２）より
原料ガスとしてブタジェンガスを各々出力圧１．５Ｋｇ
／ｃｍ２の下で第１、及び第２流量制ｉｌｌ器く７１３
、及び７１４）内へ流入きせた。そして各流星刺部器の
目盛を調整して、水素ガスの流星を４０ｓｅｃｍ１及び
ブタジェンガスの流量を３０　ｓ　ｃ　ａｍとなるよう
に設定して、途中混合器（７３１）を介して、主管（７
３２）より反応室（７３３）内へ流入した。各々の流量
が安定した後に、反応室（７３３）内の圧力が１．０Ｔ
ｏｒｒとなるように圧力調節弁（７４５）を調整した。

一方、前工程においてＣｕＰｃの蒸着膜を設けた導電性
基板（７５２）は、予め７５℃に加熱しておき、ガス流
量及び圧力が安定した状態で、予め接続選択スイッチ（
７４４）により接続しておいた低周波電源（７４１）を
投入し、電力印加電極（７３６）に１５０Ｗａｔｔの電
力を周波数１００ＫＨｚの下で印加して約２時間３０分
プラズマ重合反応を行ない、導電性基板（７５２）上に
厚さ７．８μｍの本発明ａｍＣ膜を電荷輸送層として形
成した。成膜完了後は、電力印加を停止し、調節弁を閉
じ、反応室（７３３）内を充分に排気した後、真空を破
り試「↓を取り出した。

得られたａ−Ｃ膜につき有機元素分析を行なったところ
、含有される水素の量は約４７原子％であった。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一４２０Ｖまで初期帯電が
可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し、ざ
らに、全感光体膜厚が８゜０μｍである事から、１μｍ
当りの帯電能（以下Ｃ１Δ、と称する）は−５３Ｖ／Ｌ
Ｌｍと極めて高い事が理解された。また、暗中にて初期
帯電後５秒間に一３８５Ｖまでの電位減衰が認められ、
その減衰率（以下Ｄ　Ｄ　Ｒ５と称する）を算出すると
約８％に過ぎず、この事から実用的な電荷保持能を有す
る事か理解された。また、初期帯電後、白色光を用いて
半；低電位にまで明減衰させたところ必要とされた光量
（以下Ｅ１／２と称する）は２４ルツクス・秒であり、
この事から実用上問題のない明減衰能を有する事が理解
された。また、初期帯電後、白色光８０ルツクス・秒照
射時の表面電位を残留電位（以下Ｖｒと称する）として
測定したところ一６０Ｖであり、概ね実用的である事が
理解された。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、好適な
帯電能と実用上問題のない光感度とを有し、実用的な感
光体として機能し得るものである。また、この感光体に
対して常用のカールソンプロセスの中で、作像して転写
したところ、画像が得られた。ざらに、本実施例におい
て得られた本発明感光体の表面硬度を、Ｊ　ＩＳ−に−
５４００規格に基づいて測定したところ、７８以上の硬
度が観測され、実用的な感光体どして好適な表面性能を
有する事が理解された。

大旅男？ 本発明に係わる製造装置を用いて、第２図に示した如き
、導電性基板（１）、電荷発生層（３）、電荷輸送層（
２）をこの順に設けた本発明感光体を作製した。

ＣＧＬ工程： 真空蒸上の常法を用いて、樅５０Ｘｔａ５０：Ｊグ３ｍ
ｍのアルミニウム基板上に、無金属フタロシアニン（８
２ＰＣ）の蒸着膜を形成した。蒸着は、ポート温度４８
０乃至５００℃、真空度Ｉ　Ｘ　１０−５乃至１．８Ｘ
１０−５Ｔｏｒｒ、及び蒸着時間約５分の条件で行なっ
た。得られたＨ２Ｐｃ蒸着膜の膜厚は約２ｏ○０人であ
った。

ＣＴＬ工程： 次いで、第７図に示すグロー放電分解装置において、実
施例１と同様にして、？、６ＬＬｍの本発明ａ−Ｃ膜を
電荷輸送層として形成した。

得られたａ　−Ｃ膜につき有機元素分析を行なったとこ
ろ、含有される水素の量は約４３原子％であった。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一４１０Ｖまで初期帯電が
可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し、さ
らに、全感光体膜厚が７゜８μｍである事から、Ｃ，Ａ
、は−５３Ｖ／μｍと極めて高い事が理解された。ＤＤ
Ｒａは約２６％であり、実用的な電荷保持能を有する事
が理解された。・Ｅ１／２は３．６ルツクス・秒であり
、充分な光感度性能を有する事が理解された。また、Ｖ
ｒは一２５Ｖであり、実用的である事が理解された。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、実用上
充分な帯電能と光感度とを有し、感光体として好適な性
能を有するものである。また、この感光体に対して常用
のカールソンプロセスの中で、作像して転写したところ
、鮮明な画像が得られた。また、本実施例と実施例１と
の比較において、フタロシアニン系化合物の種類が異な
っても本発明感光体が作製可能である事が理解される。

さらに、本実施例において得られた本発明感光体の表面
硬度を、ＪＩＳ−に−５４００規格に基づいて測定した
ところ、７Ｈ以上の硬度が観７σされ、実用的な感光体
として好適な表面性能を有する事が理解された。

実施ガ旦 本発明に係わる製造装置を用いて、第２図に示した如き
、導電性基板（１）、電荷発生層（３）、電荷輸送層（
２）をこの順に設けた本発明感光体を作製した。

ＣＧＬ工程： 真空蒸着の常法を用いて、樅５０Ｘ横５０×厚３ｍｍの
アルミニウム基板上に、アルミニウムクロルフタロシア
ニン（ＡＩＣＩＰｃ）の蒸着膜を形成した。蒸着は、ボ
ート温度４５０乃至４８０℃、真空度Ｉ　Ｘ　１０−６
乃至３Ｘ１０−’Ｔｏｒｒ１及び蒸着時間約５分の条件
で行なった。得られたＡｌＣｌＰｃ蒸着膜の膜厚は約２
０００人であった。

ＣＴＬ工程： 次いで、第７図に示すグロー放電分解装置において、実
施例１と同様にして、７．７μｍの本発明ａ−Ｃ膜を７
′Ｓ荷輸送層として形成した。

得られたａ−Ｃ膜につき有機元素分析を行なったところ
、含有される水毒の量は約４８原子％であった。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一４５０Ｖまで初期帯電が
可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し、さ
らに、全域光体膜厚が７゜９μｍである事から、Ｃ，Ａ
、は−５７Ｖ／μｍと極めて高い事が理解された。ＤＤ
Ｒａは約１１％であり、実用的な電荷保持性能を有する
事が理解された。Ｅ１／２は２０ルツクス・秒であり、
実用上問題のない光感度性能を有する事が理解された。

また、Ｖｒは一４５Ｖであり、実用上問題のない事が理
解された。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、充分な
帯電能と実用上問題のない光感度とを有し、実用的な感
光体として機能し得るものである。また、この感光体に
対して常用のカールソンプロセスの中で、作像して転写
したところ、画像が得られた。また、本実施例と実施例
１乃至実施例２との比較において、フタロシアニン系化
合物の種類が異なっても本発明感光体が作製可能である
事が理解される。ざらに、本実施例において得られた本
発明感光体の表面硬度を、Ｊ　Ｉ　Ｓ−に−５４００規
格に基づいて測定したところ、７Ｈの硬度が観測され、
実用的な感光体として好適な表面性能を有する事が理解
された。

大飾透峡 本発明に係わる製造装置を用いて、第２図に示した如き
、導電性基板（１）、電荷発生層（３）、電荷輸送層（
２）をこの順に設けた本発明感光体を作製した。

ＣＧＬ工程： 真空蒸着の常法を用いて、縦５０Ｘ横６０Ｘ厚３ｍｍの
アルミニウム基板上に、チタンクロルフタロシアニン（
ＴｉＣＩＰｃ）の蒸着膜を形成した。蒸着は、ボート温
度５８０乃至６２０℃、真空度３．５Ｘ１０−５乃至４
．２Ｘ１０−５Ｔｏｒｒ１及び蒸着時間約７分の条件で
行なった。得られたＴｉＣｌＰｃ蒸着膜の膜厚は約１５
０ｏ人であった。

ＣＴＬ工程： 次いで、第７図に示すグロー放電分解装置において、実
施例１と同様にして、７．６μｍの本発明ａ−Ｃ膜を電
荷輸送層として形成した。

得られたａ　−Ｃ膜につき有機元素分析を行なったとこ
ろ、含有される水素の量は約４５原子％であった。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一４３０Ｖまで初期帯電が
可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し、ざ
らに、全感光体膜厚が７゜７５μｍである事から、Ｃ，
Ａ、は−５５Ｖ／ｕｍとｔΣめて高い事が理解された。

ＤＤＲ５は約２％であり、実用的な電荷作詩性能を有す
る事が理解された。光感度は、僅かに観測され、また、
Ｖｒは−３４０であった。

以上より、本例に示した本発明による感光体は充分な帯
電能を有し、ある程度の光感度を具備しており、感光体
として使用するための可能性を有するものである。また
、本実施例と実施例１乃至実施例３との比較において、
フタロシアニン系化合物の種類が異なっても本発明感光
体が作製可能である事が理解される。さらに、本実施例
において得られた本発明感光体の表面硬度を、ＪＩＳ−
に−５４００規格に基づいて測定したところ、７Ｈ以上
の硬度が観測され、実用的な感光体として好適な表面性
能を有する事が理解された。

叉施透旦 本発明に係わる製造装置を用いて、第２図に示した如き
、導電性基板（１）、電荷発生層（３）、電荷輸送層（
２）をこの１：＠に設けた本発明感光体を作製した。

ＣＧＬ工程： 真空蒸着の常法を用いて、樅５０×横５０×厚３ｍｍの
アルミニウム基板上に、ゲルマニウムヒドロキシフタロ
シアニン（Ｇｅ　（ＯＨ）ＺＰＣ）の蒸着膜を形成した
。蒸着は、ボート湿度５３５乃至５７０℃、真空度１．
８Ｘ１（１５Ｔｏｒｒ、及び蒸着時間約８分の条件で行
なった。得られたＧｅ　（ＯＨ）２Ｐｃ蒸着膜の膜厚は
約１５００人であった。

ＣＴＬ工程： 次いで、第７図に示すグロー放電分解装置において、実
路例１と同様にして、７．９μｍの本発明ａ−Ｃ膜を電
荷輸送層として形成した。

得られたａ　−Ｃ膜につき有機元素分析を行なったとこ
ろ、含有される水素の量は約４７原子％であった。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一３２０■まで初期帯電が
可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し、ざ
らに、全感光体膜厚が８゜０５μｍである事から、Ｃ，
Ａ、は−４０Ｖ／μｍと高い事が理Ｍされた。ＤＤＲ６
は約１５％であり、実用的な電荷保持能を有する事が理
Ｍされた。Ｅ１／２は１５ルツクス・秒であり、実用上
問題のない光感度性能を有する事が理解された。また、
Ｖｒは一３０Ｖであり、実用的である事が理解された。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、実用上
充分な帯電能と実用上問題のない光感度とを有し、感光
体として機能し得るものである。また、この感光体に対
して常用のカールソンプロセスの中で、作像して転写し
たところ、画像が得られた。また、本実施例と実施例１
乃至実施例４との比較において、フタロシアニン系化合
物の種類が異なっても本発明感光体が作製可能である事
が理解される。ざらに、本実施例において得られた本発
明感光体の表面硬度を、Ｊ　Ｉ　Ｓ−に−５４００規格
に基づいて測定したところ、７Ｈ以上の硬度が観ｉ！！
ｌＩされ、実用的な感光体として好適な表面性能を有す
る事が理解された。

ス旋湾旦 本発明に係わる製造装置を用いて、第２図に示した如き
、導電性基板（１）、電荷発生層（３）、電荷輸送層（
２）をこの順に設けた本発明感光体を作製した。

ＣＧＬ工程： 真空蒸着の常法を用いて、樅５０×（黄５０×厚３ｍｍ
のアルミニウム基板上に、亜鉛フタロシアニン（ＺｎＰ
ｃ）の蒸着膜を形成した。蒸着は、ボート温度５７０乃
至６００℃、真空度２Ｘ１０−５乃至３Ｘ１０−５Ｔｏ
ｒｒ、及び蒸着時間約６分の条件で行なった。得られた
ＺｎＰｃ蒸着膜の膜厚は約１５００人であった。

ＣＴＬ工程： 、次いで、第７図に示すグロー放電分解装置において、
実施例１と同様にして、７．８μｍの本発明ａ−Ｃ膜を
電荷輸送層として形成した。

得られたａ　−Ｃ膜につき有機元素分析を行なったとこ
ろ、含有される水素の量は約４６原子％であった。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナｊ２ｍにより少な（とも−３３０Ｖまで初期帯電
が可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し、
ざらに、全感光体膜厚が７゜９５μｍである事から、Ｃ
，Ａ、は−４２Ｖ／μｍと高い事が理解された。ＤＤＲ
５は約２４％であり、実用的な電荷保持能を有する事が
理解された。Ｅ１／２は２．９ルツクス・秒であり、充
分な光感度性能を有する事が理解された。また、Ｖｒは
一１５Ｖであり、実用的である事が理解された。また、
初期帯電後、発光波長７８０ｎｍの半導体レーザー光を
用いて半減電位にまで明減衰させたとこる必要とされた
光量（以下ＥＬＬ／２と称する）は２２．３ｅｒｇ／ｃ
ｍ２であり、長波長域にまで光感度を有する事が理解さ
れた。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、実用上
充分な帯電能と光感度とを有し、感光体として好適な性
能を有するものである。また、この感光体に対して常用
のカールソンプロセスの中で、作像して転写したところ
、鮮明な画像が得られた。ざらに、常用のカールソンプ
ロセスの中で、露光源に半導体レーぜ一光を用いて作像
して転写したところ、画像が得られた。また、本実施例
と実施例１乃至実施例６との比較において、フタロシア
ニン系化合物の種類が異なっても本発明感光体が作製可
能である事が理解される。ざらに、本実施例において得
られた本発明感光体の表面硬度を、Ｊ　ＩＳ−に−５４
００規格に基づいてζ１定したところ、７Ｈ以上の硬度
が観測され、実用的な感光体として好適な表面性能を有
する事が理解された。

実旗望ヱ 本発明に係わる製造装置を用いて、第２図に示した如き
、導電性基板（１）、電荷発生層（３）、電荷輸送層（
２）をこの頭に設けた本発明感光体を作製した。

ＣＧＬ工程： 真空蒸着の常法を用いて、ｔ！ｌ５０Ｘ横５０Ｘ厚３ｍ
ｍのアルミニウム基板上に、マグネシウムフタロシアニ
ン（ＭｇＰｃ）の蒸着膜を形成した。

蒸着は、ボート温度５６５乃至５９０℃、真空度１．５
Ｘ１０−５乃至１．８Ｘ１０−５Ｔｏｒｒ、及び蒸着時
間約７分の条件で行なった。得られたＭｇＰｃ蒸着膜の
膜厚は約１５００人であった。

ＣＴＬ工程： 次いで、第７図に示すグロー放電分８！７装置において
、実施例１と同様にして、７．７μｍの本発明ａ−Ｃ膜
を電荷輸送層として形成した。

得られたａ　−Ｃ膜につき有機元素分析を行なったとこ
ろ、含有される水素の量は約４９原子％であった。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一２２０Ｖまで初期帯電が
可能であった。この事から比較的実用的な帯電特性を有
し、さらに、全感光体膜厚が７．８５μｍである事から
、Ｃ，Ａ、は−２８Ｖ／μｍと高い事が理解された。Ｄ
ＤＲ５は約２６％であり、実用的な電荷保持能を有する
事が理解された。Ｅ１／２は３．４ルツクス・秒であり
、充分な光感度性能を有する事が理解された。また、Ｖ
ｒは一１５Ｖであり、実用的である事が理解された。ま
た、Ｅ　Ｌ　１／２は１９．４ｅｒｇ／ｃｍ２であり、
長波長域にまで光感度を有する事が理解された。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、好適な
明減衰性能と実用可能な帯電性能とを有し、感光体とし
て機能しうるものである。また、この感光体に対して常
用のカールソンプロセスの中で、作像して転写したとこ
ろ、画像が得られた。ざらに、常用のカールソンプロセ
スの中で、露光源に半導体レーザー光を用いて作像して
転写したところ、画像が得られた。また、本実施例と実
施例１乃至実施例６との比較において、フタロシアニン
系化合物の種類が異なっても本発明感光体が作製可能で
ある事が理解される。ざらに、本実施例において得られ
た本発明感光体の表面硬度を、Ｊ　ＩＳ−に−５４００
規格に基づいて測定したところ、７Ｈ以上の硬度が観測
され、実用的な感光体として好適な表面性能を有する事
が理解された。

Ｘ旅グ且 本発明に係わる製造装置を用いて、第２図に示した如き
、導電性基板（１）、電荷発生層（３）、電荷輸送Ｊｒ
ｉ（２）をこの順に設けた本発明感光体を作製した。

ＣＧＬ工程： 真空蒸着の常法を用いて、樅５０×横６０Ｘ厚３ｍｍの
アルミニウム基板上に、カリウムフタロシアニン（Ｋ２
ＰＣ）の蒸着膜を形成した。蒸着は、ボート温度４６５
乃至４７５℃、真空度３×１０−６乃至ｒ、５ｘ１０−
５Ｔｏｒｒ、及び蒸着時間約７分の条件で行なった。得
られたに２Ｐｃ蒸着膜の膜厚は約１５００人であった。

ＣＴＬ工程： 次いで、第７区に示すグロー放電分解装置において、実
施例１と同様にして、７．９μｍの本発明ａ−Ｃ膜を電
荷輸送層として形成した。

得られたａ−Ｃ膜につき有機元素分析を行なったところ
、含有される水素の量は約４３原子％であった。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一４１０■まで初期Ｗｆ電
が可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し、
さらに、全感光体膜厚が８゜０５μｍである事から、Ｃ
，Ａ、は−５１Ｖ／μｍと極めて高い事が理解された。

ＤＤＲ５は約７％であり、実用的な電荷保持性能を有す
る事が理解された。Ｅ１／２は２２ルツクス・秒であり
、実用上問題のない光感度性能を有する事が理解された
。

また、Ｖｒは一６０Ｖであり、実用上問題のない事が理
解された。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、充分な
帯電能と実用上問題のない光感度とを有し、実用的な感
光体として機能し得るものである。また、この感光体に
対して常用のカールソンプロセスの中で、作像して転写
したところ、画像が得られた。また、本実施例と実施例
１乃至実施例７どの比較において、フタロシアニン系化
合物の種類が異なっても本発明感光体が作製可能である
事が理解される。ざらに、本実施例において得られた本
発明感光体の表面硬度を、ＪＩＳ−に−５４００規格に
基づいて測定したところ、７Ｈの硬度が観＆ｌＩされ、
実用的な感光体として好適な表面性能を有する事が理解
された。

害施伝旦 本発明に係わる製造装置を用いて、第２図に示した如き
、導電性基板（１）、電荷発生層（３）、電荷輸送層（
２）をこの順に設けた本発明感光体を作製した。

ＣＧＬ工程： 真空蒸着の常法を用いて、樅５０Ｘ横５０Ｘ厚３ｍｍの
アルミニウム基板上に、アンモニウムフタロシアニン（
（ＮＨ４）２ＰＣ）の蒸着膜を形成した。蒸着は、ボー
ト温度４７０乃至５１０℃、真空度１．５Ｘ１０−５乃
至２Ｘ’ｌ０−５Ｔｏｒｒ。

及び蒸着時間約６分の条件で行なった。得られた（ＮＨ
４）２ＰＣ蒸着膜の膜厚は約１５００人であった。

ＣＴＬ工程： 次いで、第７図に示すグロー放電分解装置において、実
施例１と同様にして、７．８μｍの本発明ａ−Ｃ膜を電
荷輸送層として形成した。

得られたａ　−Ｃ膜につき有機元素分析を行なったとこ
ろ、含有される水素の量は約４６原子％であった。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一４７０Ｖまで初期帯電が
可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し、ざ
らに、全感光体膜厚が７゜９５μｍである事から、Ｃ，
Ａ、は−５９Ｖ／μｍと充分に高い事が理解された。Ｄ
ＤＲ６は約５％であり、実用的な電荷保持能を有する事
が理解された。Ｅ１／２は５５ルツクス・秒であり、光
感度を有する事が理解された。また、Ｖｒは一１８０Ｖ
であった。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、充分な
帯電性能と実用可能な光感度とを具備し、感光体として
の性能を有するものである。また、この感光体に対して
常用のカールソンプロセスの中で、高露光量にて作像し
て転写したところ、画像が得られた。また、本実施例と
実施例１乃至実施例８との比較において、フタロシアニ
ン系化合物の種類が異なっても本発明感光体が作製可能
である事が理解される。ざらに、本実施例において得ら
れた本発明感光体の表面硬度を、ＪＩＳ−に−５４００
規格に基づいて測定したところ、７Ｈ以上の硬度が観測
され、実用的な感光体として好適な表面性能を有する事
が理解された。

実施例１０ 本発明に係わる製造装置を用いて、第２図に示した如き
、導電性基板（１）、電荷発生層（３）、電荷輸送層（
２）をこの順に設けた本発明感光体を作製した。

ＣＧＬ工程： 真空蒸着の常法を用いて、樅５０Ｘ横５０×厚３ｍｍの
アルミニウム基板上に、ナトリウムフタロシアニン（Ｎ
ａ２Ｐｃ）の蒸着膜を形成した。蒸着は、ボート忍度５
２０乃至５７０℃、真空度５ＸＩＯ−’乃至３Ｘ　１０
−’Ｔｏ　ｒ　ｒ％及び蒸着時間約７分の条件で行なっ
た。得られたＮａ２Ｐｃ蒸着膜のバ莫１ブは約１５００
人であった。

ＣＴＬ工程： 次いで、第７図に示すグロー放電分解装置において、実
施例１と同様にして、７．６μｍの本発明ａ−Ｃ膜を電
荷輸送層として形成した。

得られたａ　−Ｃ膜につき有機元素分析を行なったとこ
ろ、含有される水素の量は約４７原子％であった。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一４２０Ｖ’まで初期帯電
が可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し、
ざらに、全感光体膜厚が７゜７５μｍである事から、Ｃ
，Ａ、は−５４Ｖ／μｍと極めて高い事が理解された。

ＤＤＲ５は約７％であり、実用的な電荷保持性能を有す
る事が理解された。Ｅ１／２ば３０ルツクス・秒であり
、実用上問題のない光感度性能を有する事が理解された
。

また、Ｖｒは一９０Ｖてあり、実用可能である事が理解
された。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、充分な
帯電能と実用上問題のない光感度とを有し、実用的な感
光体どして機能し得るものである。また、この感光体に
対して常用のカールソンプロセスの中で、作像して転写
したところ、画像が得られた。また、本実施例と実施例
１乃至実施例９との比較において、フタロシアニン系化
合物の種類が異なっても本発明感光体が作製可能である
事が理解される。ざらに、本実施例において得られた本
発明感光体の表面硬度を、Ｊ　Ｉ　Ｓ−に−５４００規
格に基づいて測定したところ、７８以上の硬度が観測さ
れ、実用的な感光体として好適な表面性能を有する事が
理解された。

友忽幻１１ 本発明に係わる製造装置を用いて、第２図に示した如き
、導電性基板（１）、電荷発生層（３）、電荷輸送層（
２）をこの順に設けた本発明感光体を作製した。

ＣＧＬ工程： 真空蒸着の常法を用いて、樅５０Ｘ横５０×厚３ｍｍの
アルミニウム基板上に、アルミニウムクロルフタロシア
ニンクロライド（ＡＩＣＩＰｃ（ＣＩ））の蒸着膜を形
成した。蒸着は、ボート温度４５０乃至４９０℃、真空
度５Ｘ１０−６乃至ｌＸｌ０−’Ｔｏｒｒ、及び蒸着時
間約５分の条件で行なった。得られたＡｌＣｌＰｃ　（
ＣＩ）蒸着膜の膜厚は約５００人であった。

ＣＴＬ工程： 次いで、第７図に示すグロー放電分解装置において、実
施例１と同様にして、７．８μｍの本発明ａ−Ｃ膜を電
荷輸送層として形成した。

得られたａ−Ｃ膜につき有機元素分析を行なったところ
、含有される水素の量は約４７原子％であった。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一４３０■まで初期帯電が
可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し、ざ
らに、全感光体膜厚が７゜８５μｍである事から、Ｃ，
Ａ、は−５５Ｖ／ｕｍと充分に高い事が理解された。Ｄ
ＤＲａは約２８％であり、実用的な電荷保持能を有する
事が理解された。Ｅ１／２は２．０ルツクス・秒であり
、充分な光感度を有する事が理解された。また、Ｖｒは
一２０Ｖであり、実用的である事が理解された。また、
Ｅ　Ｌ　１／２は、９．５ｅｒｇ／ｃｍ２であり、長波
長域にまで高感度を有する事が理解された。

以上より、本実施例に示した本発明感光体は、充分な帯
電性能と長波長域にまで充分な光感度とを有し、感光体
として好適な性能を有するものである。また、この感光
体に対して常用のカールソンプロセスの中で、作像して
転写したところ、鮮明な画像が得られた。また、この感
光体に対して常用のカールソンプロセスの中で、露光源
に半導体レーザーを用いて作像して転写したところ、鮮
明な画像が得られた。また、本実施例と実施例１乃至実
施例１０との比較において、フタロシアニン系化合物の
ｇｉ類が異なっても本発明感光体が作製可能である事が
理解される。ざらに、本実施例において得られた本発明
感光体の表面硬度を、ＪＩｓ−に−５４００規格に基づ
いて測定したところ、７Ｈ以上の硬度が！！！劃され、
実用的な感光体として好適な表面性能を有する事が理解
された。

実施例１旦 本発明に係わる製造装置を用いて、第２図に示した如伊
、導電性基板（１）、電荷発生層（３）、電荷輸送層（
２）をこの頭に設けた本発明感光体を作製した。

ＣＧＬ工程： 真空蒸着の常法を用いて、縦５０×横５０Ｘ厚３ｍｍの
アルミニウム基板上に、リチウムフタロシアニン（Ｌｉ
２Ｐｃ）の蒸着膜を形成した。蒸着は、ボート温度７０
０乃至８００℃、真空度５Ｘ１０−’Ｔｏｒｒ、及び蒸
着時間約３分の条件で行なった。得られたＬｉ２Ｐｃ蒸
着膜の膜厚は約５００人であった。

ＣＴＬ工程： 次いで、第７図に示すグロー放電分解装置において、実
施例１と同様にして、７．７μｍの本発明ａ−Ｃ膜を電
荷輸送層として形成した。

得られたａ　　ＣＦ３につき有機元素分析を行なったと
ころ、含有される水素の量は約４６原子％であった。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少な（とも−４２０Ｖまで初期帯電が
可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し、ざ
らに、全感光体膜厚が７゜７５ａｍである事から、Ｃ，
Ａ、は−５４Ｖ／μｍと極めて高い事が理解された。Ｄ
ＤＲａは約２％であり、実用的な電荷保持性能を有する
事が理解された。光感度は、僅かに観測され、また、Ｖ
ｒは−３７０であった。

以上より、本例に示した本発明による感光体は充分な帯
電能を有し、ある程度の光感度を具備しており、感光体
として使用するための可能性を有するものである。また
、本実施例と実施例１乃至実施例１１との比較において
、フタロシアニン系化合物の種類が異なっても本発明感
光体が作製可能である事が理解される。ざらに、本実施
例において得られた本発明感光体の表面硬度を、ＪＩＳ
−に−５４００規格に基づいて測定したところ、７Ｈ以
上の硬度がｉ！測され、実用的な感光体として好適な表
面性能を有する事が理解された。

大施健上旦 本発明に係わる製造装置を用いて、第２図に示した如き
、導電性基板（１）、電荷発生層（３）、電荷輸送層（
２）をこの順に設けた本発明感光体を作製した。

ＣＧＬ工程： 実施例１１と同様にして厚さ５００人のＡｌＣｌＰｃ　
（ＣＩ）蒸着膜を形成した。この蒸着膜をＴＨＦ蒸気雰
囲気に約３ｏ分間曝し、後処理を行なった。

ＣＴＬ工程： 次いで、第７図に示すグロー放電分解装置において、実
施例１と同様にして、７．８μｍの本発明ａ−Ｃ膜を電
荷輸送層として形成した。

得られたａ−ＣＦＡにつき有機元素分析を行なったとこ
ろ、含有される水素の量は約４７原子％であった。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一４１０Ｖまで初期帯電が
可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し、ざ
らに、全感光体膜厚が７゜８５μｍである事から、Ｃ，
Ａ、は−５２Ｖ／μｍと充分に高い事が理解された。Ｄ
ＤＲｓは約２２％であり、実用的な電荷保持能を有する
事が理解された。Ｅ１／２は２．０ルツクス・秒であり
、充分な光感度を有する事が理解された。また、Ｖｒは
一１５Ｖであり、実用的である事が理解された。また、
ＥＬＩ／２は、６．８ｅｒｇ／ｃｍ２であり、長波長域
にまで高感度を有する事が理解された。

以上より、本実施例に示した本発明感光体は、充分な帯
電性能と長波長域にまで充分な光感度とを有し、感光体
として好適な性能を有するものである。また、この感光
体に対して常用のカールソンプロセスの中で、作像して
転写したところ、鮮明な画像が得られた。また、この感
光体に対して常用のカールソンプロセスの中で、露光源
に半導体レーザーを用いて作像して転写したところ、鮮
明な画像が得られた。また、本実施例と実施例１乃至実
施例１２との比較において、フタロシアニン系化合物の
種類が異なっても本発明感光体が作製可能である事が理
解される。さらに、本実施例において得られた本発明感
光体の表面硬度を、ＪＩＳ−に−５４００規格に基づい
て測定したところ、７Ｈ以上の硬度が観測され、実用的
な感光体として好適な表面性能を有する事が理解された
。

実施例１４ 本発明に係わる製造装置を用いて、第２図に示した如き
、導電性基板（１）、電荷発生層（３）、電荷輸送層（
２）をこの順に設けた本発明感光体を作製した。

ＣＧＬ工程： 実施例１と同様にして厚ざ２０００人のＣｕＰＣ蒸着膜
を形成した。

ＣＴＬ工程： 次いで、第７図に示すグロー放電分解装置において、原
ｔ１ガスとして四弗化炭素ガスを１０１０８ｃ加えて流
入する事以外は、実施例１と同様にして、７．３μｍの
本発明ａ−Ｃ膜を電荷輸送層として形成した。

得られたａ−Ｃ膜につき有機元素分析を行なりなところ
、含有される水素の量は約４７原子％、弗素原子の量は
約１．２原子％であった。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一４２０Ｖまで初期帯電が
可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し、ざ
らに、全感光体膜厚が７゜５μｍである事から、Ｃ，Ａ
、は−５６Ｖ／μｍと極めて高い事が理解された。ＤＤ
Ｒ５は約１６％であり、実用的な電荷保持能を有する事
が理解された。Ｅ１／２は１２．３ルツクス・秒であり
、充分な光感度性能を有する事が理解された。また、Ｖ
ｒは一２５Ｖであり、実用的である事が理＃Ｉされた。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、実用上
充分な帯電能と光感度とを有し、感光体として好適な性
能を有するものである。また、この感光体に対して常用
のカールソンプロセスの中で、作像して転写したところ
、鮮明な画像が得られた。また、本実施例と実施例１乃
至実施例１３との比較において、フタロシアニン系化合
物の種類が異なっても本発明感光体が作製可能である事
が理解される。また、本発明ａ−Ｃ膜中にハロゲン原子
、即ち、本実施例においては弗素原子を添加する事によ
り、実施例１との比較において、高感度な感光体が得ら
れる事が理解される。ざらに、本実施例において得られ
た本発明感光体の表面硬度を、Ｊ　ＩＳ−に−５４００
ｖＡ格に基づイテ測定したところ、７Ｈ以上の硬度がｔ
ｌｌＱｉされ、実用的な感光体として好適な表面性能を
有する事が理解された。

実施例１互 本発明に係わる製造装置を用いて、第２図に示した如き
、導電性基板（１）、電荷発生層（３）、電荷輸送層（
２）をこの順に設けた本発明感光体を作製した。

ＣＧＬ工程： 実施例１と同様にして厚さ２０００人のＣｕＰＣ蒸着膜
を形成した。

ＣＴＬ工程： 次いで、第７図に示すグロー放電分解装置において、四
弗化炭素ガスの流量を２０ｓｅｃｍ加えて流入する事以
外は、実施例１４と同様にして、７．６μｍの本発明ａ
−Ｃ膜を電荷輸送層として形成した。

得られたａ　　ＣＰＡにつき有機元素分析を行なったと
ころ、含有される水素の量は約４３原子％、弗素原子の
量は約２．５原子％であった。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一４２０■ま・で初期帯電
が可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し、
ざらに、全感光体膜厚が７゜８μｍである事から、Ｃ，
Ａ、は−５４Ｖ／μｍと極めて高い事が理解された。Ｄ
ＤＲ５は約２０％であり、実用的な電荷保持能を有する
事が理解された。Ｅ１／２ば９．６ルツクス・秒であり
、充分な光感度性能を有する事が理解された。また、Ｖ
ｒは一１５Ｖであり、実用的である事が理Ｍされた。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、実用上
充分な帯電能と光感度とを有し、感光体として好適な性
能を有するものである。また、この感光体に対して常用
のカールソンプロセスの中で、作像して転写したところ
、鮮明な画像が得られた。また、本実施例と実施例１乃
至実施例１４との比較において、フタロシアニン系化合
物の種類が異なっても本発明感光体が作製可能である事
が理解される。また、本発明ａ　−Ｃ膜中にハロゲン原
子、即ち、本実施例においては弗素原子を添加する事に
より、実施例１及び実施例１４との比較において、より
高感度な感光体が得られる事が理解される。ざらに、本
実施例において得られた本発明感光体の表面硬度を、Ｊ
ＩＳ−に−５４ＯＯ規格に基づいて測定したところ、７
Ｈ以上の硬度が観測され、実用的な感光体として好適な
表面性能を有する事が理解された。

実茄倒１旦 本発明に係わる製造装置を用いて、第２図に示した如き
、導電性基板（１）、電荷発生層（３）、電荷輸送層（
２）をこの順に設けた本発明感光体を作製した。

ＣＧＬ工程： 実施例１３と同様にして厚き５００人のＡＩＣＩＰｃ（
ＣＩ）蒸着膜を形成した。

ＣＴＬ工程： 次いで、第７図に示すグロー放電分解装置において、実
施例１４と同様にして、７．５μｍの本発明ａ−Ｃ膜を
電荷輸送層として形成した。

得られたａ　−Ｃ膜につき有機元素分析を行なったとこ
ろ、含有される水素の量は約４３原子％、弗素原子の量
は約１．３原子％であった。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一４１０■まで初期帯電が
可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し、ざ
らに、全感光体膜厚が７゜５５μｍである事から、Ｃ，
Ａ、は−５４Ｖ／μｍと充分に窩い事が理解された。Ｄ
　Ｄ　Ｒ５は約２１％であり、実用的な電荷保持能を有
する事が理解された。Ｅ１／２は１．８ルツクス・秒で
あり、充分な光感度性能を有する事が理解された。また
、Ｖｒは一１５Ｖであり実用的である事が理解された。

また、ＥＬＩ／２は６．２ｅｒｇ／ａｍ２であり、長波
長域にまで充分に高感度を有する事が理解された。

以上より、本実施例に示した本発明感光体は、充分な帯
電能と長波長域にまで充分な高感度とを有し、優れた性
能を有するものである。また、この感光体に対して常用
のカールソンプロセスの中で、作像して転写したところ
、鮮明な画像が得られた。また、この感光体に対して常
用のカールソンプロセスの中で、露光源に発光波長７８
０ｎｍの半導体レーザーを用いて作像して転写したとこ
ろ、鮮明な画像が得られた。また、本実施例と実施例１
乃至実施例１５との比較において、フタロシアニン系化
合物の種類が異なっても本発明感光体が作製可能である
事が理解される。また、本発明ａ−Ｃ膜中にハロゲン原
子、即ち、本実施例においては弗素原子を添加する事に
より、実施例１及び実施例１３との比較において、より
高感度な感光体が得られる事が理解される。ざらに、本
実施例において得られた本発明感光体の表面硬度を、Ｊ
　ＩＳ−に−５４００規格に基づいて測定したところ、
７Ｈ以上の硬度が観測され、実用的な感光体として好適
な表面性能を有する事が理解された。

Σ府週１ヱ 本発明に係わる製造装置を用いて、第２図に示した如き
、導電性基板（１）、電荷発生層（３）、電荷輸送層（
２）をこの順に設けた本発明感光体を作製した。

ＣＧＬ工程： 実施例１３と同様にして厚き５００人のＡｌＣ１Ｐｃ（
Ｃ１）蒸着膜を形成した。

ＣＴＬ工程： 次いで、第７図に示すグロー放電分解装置において、実
施例１５と同様にして、７．６μｍの本発明ａ−Ｃ膜を
電荷輸送層として形成した。

得られたａ−Ｃ膜につき有機元素分析を行なったところ
、含有される水素の量は約３８原子％、弗素原子の量は
約２．３原子％であった。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一４２０Ｖまで初期帯電が
可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し、ざ
らに、全感光体膜厚が７゜６５μｍである事から、Ｃ，
Ａ、は−５５Ｖ／ｕｍと充分に高い事が理解された。Ｄ
　Ｄ　Ｒ５は約２５％であり、実用的な電荷保持能を有
する事が理解された。Ｅ１／２は１．６ルツクス・秒で
あり、充分な光感度性能を有する事が理解された。また
、Ｖｒは一１０Ｖてあり実用的である事が理解された。

また、ＥＬＬ／２は５．９ｅｒｇ／ｃｍ”であリ、長波
長域にまで充分に高感度を有する事が理Ｍされた。

以上より、本実施例に示した本発明感光体は、充分な帯
電能と長波長域にまで充分な高感度とを有し、優れた性
能を有するものである。また、この感光体に対して常用
のカールソンプロセスの中で、作像して転写したところ
、鮮明な画像が得られた。また、この感光体に対して常
用のカールソンプロセスの中で、露光源に発光波長７８
０ｎｍの半導体レーザーを用いて作像して転写したとこ
ろ、鮮明な画像が得られた。また、本実施例と実施例１
乃至実施例１６との比較において、フタロシアニン系化
合物の種類が異なっても本発明感光体が作製可能である
事が理解される。また、本発明ａ−Ｃ膜中にハロゲン原
子、即ち、本実施例においては弗素原子を添加する事に
より、実施例１及び実施例１３との比較において、より
高感度な感光体が得られる事が理解される。ざらに、本
実施例において得られた本発明感光体の表面硬度を、Ｊ
　ｌ５−Ｋ”５４００規格に基づいて測定したところ、
７Ｈ以上の硬度が観」りされ、実用的な感光体として好
適な表面性能を有する事が理解された。

宋茹男上旦 本発明に係わる製造装置を用いて、第２図に示した如き
、導電性基板（１）、電荷発生層（３）、電荷輸送層（
２）をこの順に設けた本発明感光体を作製した。

ＣＧＬ工程： 実施例１３と同様にして厚き５００人のＡＩＣＩＰｃ（
ＣＩ）蒸着膜を形成した。

ＣＴＬ工程： 次いで、第７図に示すグロー放電分解装置において、ま
ず、反応装Ｕ　（７３３）の内部を１Ｏ−６Ｔｏｒｒ程
度の高真空にした後、第１、及び第７調節弁（７０７、
及び７２５）を解放し、第１タンク（７０１）よりキャ
リアガスとして水素ガス、及び第１容器（７１９）より
原料ガスとしてスチレンガスを、水素ガスにおいては出
力圧１゜５Ｋｇ／ａｍ２の下で、スチレンガスにおいて
は第１温調器（７２２）温度３５℃の下で、各々第１、
及び第７流量制御器（７１３、及び７２８）内へ流入さ
せた。そして各流量制御器の目盛を調整して、水素ガス
の流量を３０ｓｅｃｍ、及びスチレンガスの流量を２０
ｓｅｃｍとなるように設定して、途中混合器（７３１）
を介して、主管（７３２）より反応室（７３３）内へ流
入した。

各々の流量が安定した後に、反応室（７３３）内の圧力
が０．２５Ｔｏｒｒとなるように圧力調節弁（７４５）
を調整した。一方、前工程においてＡｌＣｌＰｃ　（Ｃ
Ｉ）の蒸着膜を設けた導電性基板（７５２）は、予め６
０℃に加熱しておき、ガス流量及び圧力が安定した状態
で、予め接続選択スイッチ（７４４）により接続してお
いた低周波電源（７４１）を投入し、電力印加電極（７
３６）に１５０Ｗａｔｔの電力を周波数３０　Ｋト１ｚ
の下で印加して約３０分間プラズマ重合反応を行ない、
導電性基板（７５２）上に厚き１３．８μｍの本発明ａ
−Ｃ膜を電荷輸送層として形成した。成膜完了後は、電
力印加を停止し、調節弁を閉じ、反応室（７３３）内を
充分に排気した後、真空を破り試料を取り出した。

得られたａ　−Ｃ膜につ伊有機元素分析を行なったとこ
ろ、含有される水素の量は約４７原子％であった。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一４２０■まで初期帯電が
可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し、さ
らに、全感光体膜厚が１３．８２μｍである事から、Ｃ
，Ａ、は−３３Ｖ／μｍと高い事が理解された。ＤＤＲ
５は約２１％であり、実用的な電荷保持能を有する事が
理解された。Ｅ１／２は２．５ルツクス・秒であり、充
分な光感度性能を有する事が理解された。また、Ｖｒは
一２０Ｖであり実用的である事が理解された。

また、ＥＬＩ／２は？、６ｅｒｇ／ｃｍ２であり、長波
長域にまで充分に高感度を有する事が理解された。

以上より、本実施例に示した本発明感光体は、充分な帯
電能と長波長域にまで充分な高感度とを有し、ばれた性
能を有するものである。また、この感光体に対して常用
のカールソンプロセスの中で、作像して転写したところ
、鮮明な画像が得られた。また、この感光体に対して常
用のカールソンプロセスの中で、露光源に発光波長７８
０ｎｍの半導体レーザーを用いて作像して転写したとこ
ろ、鮮明な画像が得られた。また、本実施例と実施例１
乃至実施例１７との比較において、本発明ａ−Ｃ膜を形
成するための原料炭化水素の種類を替えても本発明感光
体が得られる事が理解される。ざらに、本実施例におい
て得られた本発明感光体の表面硬度を、ＪＩＳ−に−５
４００規格に基づいて測定したところ、７Ｈ以上の硬度
が観測され、実用的な感光体として好適な表面性能を有
する事が理ｍされた。

衷施例１旦 本発明に係わる製造装置を用いて、第２図に示した如き
、導電性基板（１）、電荷発生層（３）、電荷輸送層（
２）をこの順に設けた本発明感光体を作製した。

ＣＧＬ工程： 実施例１３と同様にして厚き５００人のＡＩＣＩＰｃ（
ＣＩ）蒸着膜を形成した。

ＣＴＬ工程： 次いで、第７図に示すグロー放電分解装置において、ま
ず、反応装置（７３３）の内部を１Ｏ−６Ｔｏｒｒ程度
の高真空にした後、第１、及び第２調節弁（７０７、及
び７０８）を解放し、第４タンク（７０１）よりキャリ
アガスとして水素ガス、及び第２タンク（７０２）より
原料ガスとしてエチレンガスを各々出力圧１．５Ｋｇ／
ｃｍ２の下で第１、及び第２流量制御器（７１３、及び
７１４）内へ流入させた。そして各流量制御器の目盛を
調整して、水素ガスの流量を６０ｓｅｃｍ。

及びエチレンガスの流量を１０１００５ｅとなるように
設定して、途中混合器（７３１）を介して、主管（７３
２）より反応室（７３３）内へ流入した。各々の流量が
安定した後に、反応室（７３３）内の圧力が１．○Ｔｏ
ｒｒとなるように圧力調節弁（７４５）を調整した。一
方、前工程においてＡｌＣｌＰｃ　（Ｃ１）の蒸着膜を
設けた導電性基板（７５２）は、予め６０’Ｃに加熱し
ておき、ガス’ｔｉｃｋ及び圧力が安定した状態で、予
め接続選択スイッチ（７４４）により接続しておいた低
周波電源（７４１）を投入し、電力印加電極（７３６）
に２００Ｗａｔｔの電力を周波数２００ＫＨｚの下で印
加して約１時間３０分プラズマ重合反応を行ない、導電
性基板（７５２）上に厚さ１１．７μｍの本発明ａ−Ｃ
膜を電荷輸送層として形成した。成膜完了後は、電力印
加を停止し、調節弁を閉じ、反応室（７３３）内を充分
に排気した後、真空を破り試料を取り出した。

得られたａ−Ｃ膜につき有機元素分析を行なったところ
、含有される水素の量は約４１原子％であった。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも−４−２０Ｖまで初期帯電
が可ａしであった。この事から実用的な帯電特性を有し
、さらに、全感光体膜厚が１１．７５μｍである事から
、Ｃ，Ａ、は−３６Ｖ／μｍと高い事が理解された。Ｄ
ＤＲｓは約２２％であり、実用的な電荷保持能を有する
事が理解された。Ｅ１／２は３．８ルツクス・秒であり
、充分な光感度性能を有する事が理解された。また、Ｖ
ｒは一３５Ｖであり実用上問題のない事が理解された。

また、ＥＬＩ／２は？、５ｅｒｇ／ａｍ２であり、長波
長域にまで充分に高感度を有する事が理Ｍざねた。

以上より、本実施例に示した本発明感光体は、充分な帯
電能と長波長域にまで高感度を有し、優れた性能を有す
るものである。また、この感光体に対して常用のカール
ソンプロセスの中で、作像して転写したところ、鮮明な
画像が得られた。また、この感光体に対して常用のカー
ルソンプロセスの中で、露光源に発光波長７８０ｎｍの
半導体レーザ′−″を用いて作像して転写したところ、
鮮明な画像が得られた。また、本実施例と実施例１乃至
実施例１８との比較において、本発明ａ−ＣＩｆ’Ｊを
形成するための原料炭化木葉の種類を替えても本発明感
光体が得られる事が理解される。さらに、本実施例にお
いて得られた本発明感光体の表面硬度を、Ｊ　ＩＳ−に
−５４００規格に基づいて測定したところ、７Ｈ以上の
硬度がａｌｌ！！’ｊされ、実用的な感光体として好適
な表面性能を有する事が理解された。

実施グ旦Ω 本発明に係わる製造装置を用いて、第２図に示した如き
、導電性基板（１）、電荷発生層（３）、電荷輸送層（
２）をこの順に設けた本発明感光体を作製した。

ＣＧＬ工程： 実施例１３と同様にして厚き５００人のＡｌＣｌＰｃ（
Ｃ１）蒸着膜を形成した。

ＣＴＬ工程： 次いで、第７図に示すグロー放電分解装置において、ま
ず、反応装置（７３３）の内部を１Ｏ−６Ｔｏｒｒ程度
の高真空にした後、第１、第２、及び第３調節弁（７０
７，７０８、及び７０９）を解放し、第１タンク（７０
１）よりキャリアガスとして水素ガス、第２タンク（７
０２）より原料ガスとしてアセチレンガス、及び第３タ
ンク（７０３）より四弗化炭素ガスを各々出力圧１．５
Ｋｇ／ｃｍ２の下で第１、第２、及び第３流量制御藩（
７１３，７１４、及び７１５）内へ流入きせた。そして
各流量制御器の目盛を調整して、水素ガスの流量を２０
ｓｅｃｍ、アセチレンガスの流量を３０ｓｅｃｍ１及び
四弗化炭素ガスの流量を５ｓｅｃｍとなるように設定し
て、途中混合器（７３１）を介して、主管（７３２）よ
り反応室（７３３）内へ流入した。各々の流量が安定し
た後に、反応室（７３３）内の圧力が１．０Ｔｏｒｒと
なるように圧力調節弁（７４５）を調整した。一方、前
工程においてＡｌＣｌＰｃ　（Ｃ１）の蒸着膜を設けた
導電性基板（７５２）は、予め６５℃に加熱しておき、
ガス流量及び圧力が安定した状態で、予め接続選択スイ
ッチ（７４４）により接続しておいた高周波電源（７３
９）を投入し、電力印加電極（７３６）に１５０Ｗａｔ
ｔの電力を周波数１３．５６ＭＨｚの下で印加して約１
時間３０分プラズマ重合反応を行ない、導電性基板（７
５２）上に厚き９．６μｍの本発明ａ−〇膜を電荷輸送
層として形成した。成膜完了後は、電力印加を停止い調
節弁を閉じ、反応室（７３３）内を充分に排気した後、
真空を破り試料を取り出した。

得られたａ−Ｃ膜につき有機元素分析を行なったところ
、含有される水素の量は約３５原子％、弗素の量は０．
５原子％であった。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一４２０Ｖまで初期帯電が
可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し、さ
らに、全感光体膜厚が９６６５ＬＬｍである事から、Ｃ
，Ａ、は−２８Ｖ／μｍと高い事が理解された。ＤＤＲ
５は約２８％であり、実用的な電荷保持能を有する事が
理解された。Ｅ１／２は１．３ルツクス・秒であり、充
分な光感度性能を有する事が理解された。また、Ｖｒは
一１０■であり実用的である事が理解された。

また、ＥＬＩ／２は６．Ｏｅｒｇ／ａｍ２であり、長波
長域にまで充分に高感度を有する事が理解された。

以上より、本実施例に示した本発明感光体は、充分な帯
電能ど長波長域にまで充分な高感度とを有し、優れた性
能を有するものである。また、この感光体に対して常用
のカールソンプロセスの中で、作像して転写したところ
、鮮明な画像が得られた。また、この感光体に対して常
用のカールソンプロセスの中で、露光源に発光波長７８
０ｎｍの半導体レーザーを用いて作像して転写したとこ
ろ、鮮明な画像が得られた。また、本実施例と実施例１
乃至実施例１９との比較において、本発明ａ　−Ｃ膜を
形成するための原料炭化水崇の種類を替えても本発明感
光体が得られる事が理解される。ざらに、本実施例にお
いて得られた本発明感光体の表面硬度を、ＪＩＳ−に−
５４００規格に基づいて測定したところ、７Ｈ以上の硬
度が観測され、実用的な感光体としてｔＪ′ｆ適な表面
性能を有する事が理解された。

実施例２１ 本発明に係わる製造装置を用いて、第２図に示した如き
、導電性基板（１）、電荷発生層（３）、電荷輸送層（
２）をこの順に設けた本発明感光体を作製した。

ＣＧＬ工程： 実施例１３と同様にして厚さ５００人のＡＩＣＩＰｃ（
ＣＩ）蒸着膜を形成した。

ＣＴＬ工程： 次いで、第７図に示すグロー放電分解装置において、ま
ず、反応装置（７３３）の内部を１Ｏ−６Ｔｏｒｒ程度
の高真空にした後、第１、及び第２調節弁（７０７、及
び７０８）を解放し、第１タンク（７０１）よりキャリ
アガスとして水素ガス、及び第２タンク（７０２）より
原料ガスとしてプロピレンガスを各々出力圧１．５Ｋｇ
／ｃｍ２の下で第１１及び第２流量制御器（７１３、及
び７１４）内へ流入させた。そして各流量制併器の目盛
を調整して、水素ガスの流量を３０ｓｅｃｍ１及びプロ
ピレンガスの流量を６０ｓｅｃｍとなるように設定して
、途中混合器（７３１）を介して、主管（７３２）より
反応室（７３３）内へ流入した。各々の流量が安定した
後に、反応室（７３３）内の圧力が０．７５Ｔｏｒｒと
なるように圧力調節弁（７４５）を調整した。一方、前
工程においてＡｌＣｌＰｃ　（ＣＩ）の蒸着膜を設けた
導電性基板（７５２）は、予め６０℃に加熱しておき、
ガス流量及び圧力が安定した状態で、予め接続選択スイ
ッチ（７４４）により接続しておいた低周波電源（７４
１）を投入し、電力印加電極（７３６）に１５０Ｗａｔ
ｔの電力を周波数２００ＫＨｚの下で印加して約２時間
３０分プラズマ重合反応を行ない、導電性基板（７５２
）上に厚き８．８μｍの本発明ａ−Ｃ膜を電荷輸送層と
して形成した。成膜完了後は、電力印加を停止し、調節
弁を閉じ、反応室（７３３）内を充分に排気した後、真
空を破り試料を取り出した。　　　　　゛得られたａ−
Ｃ膜につき有機元素分析を行なったところ、含有される
水素の量は約４０原子％であった。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一４２０■まで初期帯電が
可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し、ざ
らに、全感光体膜厚が８゜８５ｕｍである事から、Ｃ，
Ａ、は−４７Ｖ／μｍと高い事が理解された。ＤＤＲ５
は約２２％であり、実用的な電荷保持能を有する事が理
解された。Ｅ１／２は５．６ルツクス・秒であり、充分
な光感度性能を有する事が理解された。また、Ｖｒは一
３５Ｖであり実用上問題のない事が理解された。また、
ＥＬＩ／２は７．６ｅｒｇ／ｃｍ２であり、長波長域に
まで充分に高感度を有する事が理解された。

以上より、本実施例に示した本発明感光体は、充分な帯
電能と長波長域にまで高感度を有し、優れた性能を有す
るものである。また、この感光体に対して常用のカール
ソンプロセスの中で、作像して転写したところ、鮮明な
画像が得られた。また、この感光体に対して常用のカー
ルソンプロセスの中で、露光源に発光波長７８０ｎｍの
半導体レーザーを用いて作像して転写したところ、鮮明
な画像が得られた。また、本実施例と実施例１乃至実施
例２０との比較において、本発明ａ−Ｃ膜を形成するた
めの原料炭化水素の種類を替えても本発明感光体が得ら
れる事が理解される。ざらに、本実施例において得られ
た本発明感光体の表面硬度を、ＪＩＳ−に−５４００規
格に基づいて測定したところ、７Ｈ以上の硬度が観測さ
れ、実用的な感光体として好適な表面性能を有する事が
理解された。

大旅努旦旦 本発明に係わる製造装置を用いて、第２図に示した如き
、導電性基板（１）、電荷発生層（３）、電荷輸送層（
２）をこの順に設けた本発明感光体を作製した。

ＣＧＬ工程： 実施例１３と同様にして厚き５００人のＡＩＣＩＰｃ（
ＣＩ）蒸着膜を形成した。

ＣＴＬ工程： 次いで、第７図に示すグロー放電分解装置において、ま
ず、反応装置（７３３）の内部を１Ｏ−６Ｔｏｒｒ程度
の高真空にした後、第１、及び第７調節弁（７０７、及
び７２５）を解放し、第１タンク（７０１）よりキャリ
アガスとして水素ガス、及び第１容器（７１９）より原
料ガスとしてミルセンガスを、水素ガスにおいては出力
圧ｌ。

５Ｋｇ／ｃｍ２の下で、ミルセンガスにおいては第１温
調器（７２２）温度５０℃の下で、各々第１、及び第７
流量＃御器（７１３、及び７２８）内へ流入させた。そ
して各流量制御器の目盛を調整して、水素ガスの流量を
１０５ＣＣｒｒｈ及びミルセンガスの流量を１５ｓｅｃ
ｍとなるように設定して、途中混合器（７３１）を介し
て、主管（７３２）より反応室（７３３）内へ流入した
。

各々の流量が安定した後に、反応室（７３３）内の圧力
が０．４５Ｔｏｒｒとなるように圧力調節弁（７４５）
を調整した。一方、前工程においてＡｌＣｌＰｃ　（Ｃ
Ｉ）の蒸着欣を設けた導電性基板（？　５２）は、予め
５０℃に加熱しておき、ガス流量及び圧力が安定した状
態で、予め接続選択スイッチ（７４４）により接続して
おいた低周波電源（７４１）を投入し、電力印加電極（
７３６）に１５０Ｗａｔｔの電力を周波数１００ＫＨ２
の下で印加して約６０分間プラズマ重合反応を行ない、
導電性基板（７５２）上に厚ざ１０．７μｍの本発明ａ
−Ｃ膜を電荷輸送層として形成した。成膜完了後は、電
力印加を停止し、調節弁を閉じ、反応室（７３３）内を
充分に排気した後、真空を破り試料を取り出した。

得られたａ　−ＣＩ！！につき有機元素分析を行なった
ところ、含有される水素の量は約４６原子％であった。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一４２０Ｖまで初期帯電が
可能であった。この事がら実用的な帯電特性を有し、ざ
らに、全感光体膜厚が１０．７５μｍである事から、Ｃ
８Δ、は−３９Ｖ／μｍと高い事が理Ｍされた。ＤＤＲ
５は約２５％であり、実用的な電荷保持能を有する事が
理解された。Ｅ１／２は２．１ルツクス・秒であり、充
分な光感度性能を有する事が理解された。また、Ｖｒば
一１５Ｖであり実用的である事が理解された。

また、Ｅ　Ｌ　１／２は６．２ｅｒｇ／ａｍ２であり、
長波長域にまで充分に高感度を有する事が理解された。

得られた感光体について、帯電極性を代えて測定を行な
ったところ、少なくとも＋４２０Ｖまで初期帯電が可能
であった。この事がら実用的な帯電特性を有し、ざらに
、全感光体Ｍ厚が１０．７５ａｍである事から、Ｃ，Ａ
、は＋３９Ｖ／μｍと高い事がＩ！Ｉ！解された。ＤＤ
Ｒ５は約２０％であり、実用的な電荷保持能を有する事
が理解された。Ｅ１／２は５．３ルツクス・秒であり、
充分な光感度性能を有する事が理解された。また、Ｖｒ
は＋４５Ｖであり実用上問題のない事が理解された。ま
た、ＥＬＩ／２は１０．４ｅｒｇ／ａｍ２であり、長波
長域にまで充分に高感度を有する事が理解された。

以上より、本実施例に示した本発明感光体は、両極性に
対し、充分な帯電能と長波長域にまで充分な高感度とを
有し、感光体として優れた性能を有するものである。ま
た、この感光体に対して常用のカールソンプロセスの中
で、作像して転写したところ、鮮明な画像が得られた。

また、この感光体に対して常用のカールソンプロセスの
中で、露光源に発光波長７８０ｎｍの半導体レーザーを
用いて作像して転写したところ、鮮明な画像が得られた
。また、本実施例と実施例１乃至実施例２１との比較に
おいて、本発明ａ　−Ｃ膜を形成するための原料炭化水
素の種類を替えても本発明感光体が得られる事が理解さ
れる。さらに、本実施例において得られた本発明感光体
の表面硬度を、ＪＩＳ−に−５４００規格に基づいてと
１定したところ、７Ｈ以上の硬度が観測され、実用的な
感光体として好適な表面性能を有する事が理解された。

宜廊豊旦旦 ＣＧＬ工程とＣＴＬ工程とを入れ替え、オーバーコード
層を設ける事以外は、実施例１と同様にして第４図に示
す如き本発明感光体を作製した。ここでオーバーコート
層は、実施例１のＣＴＬ工程と同様の手順により、成膜
時間だけを約１５分間に短縮し約３０００人の膜厚に形
成した。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも＋４２０Ｖまで初期帯電が
可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し、ざ
らに、全感光体膜厚が８゜３μｍであった事から、Ｃ，
Ａ、は＋５１Ｖ／Ｌ１ｍと極めて高い事が理解された。

Ｄ　Ｄ　Ｒｓは約１６％であり、実用的な電荷保持能を
有する事が理解された。Ｅ１／２は１７．４ルツクス・
秒であり、実用上問題のない光感度性能を有する事か理
解された。また、ｖｒは＋３０Ｖであり、実用的である
事が理解された。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、実用上
充分な帯電能と実用上問題のない光感度とを有し、感光
体として機能し得るものである。また、この感光体に対
して常用のカールソンプロセスの中で、作像して転写し
たところ、画像が得られた。また、本実施例と実施例１
との比較において、積層構成を替えても本発明感光体が
作製可能である事が理解される。ざらに、本実施例にお
いて得られた本発明感光体の表面硬度を、ＪＩＳ−に−
５４００規格に基づいて測定したところ、７Ｈ以上の硬
度が観ｉｌｌされ、実用的な感光体として好適な表面性
能を有する事が理解された。

実施例旦丘 ＣＧＬ工程とＣＴＬ工程とを入れ替え、オーバーコート
層を設ける事以外は、実施例２と同様にして第４図に示
す如き本発明感光体を作製した。ここでオーバーコート
層は、実施例２のＣＴＬ工程と同様の手順により、成膜
時間だけを約１５分間に短縮して約２５００人の膜厚に
形成した。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも＋４１０Ｖまで初期帯電が
可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し、ざ
らに、全感光体膜厚が８゜０５ｕｍであった事から、Ｃ
，Ａ、は＋５１Ｖ／μｍと極めて高い事が理Ｍされた。

ＤＤＲｓは約２４％であり、実用的な電荷保持能を有す
る事が理解された。Ｅ１／２は３．２ルツクス・秒であ
り、充分な光感度性能を有する事が理解された。また、
Ｖｒは＋１５Ｖであり、実用的である事が理解された。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、実用上
充分な帯電能と光感度とを有し、感光体として好適な性
能を有するものである。また、この感光体に対して常用
のカールソンプロセスの中で、作像して転写したところ
、鮮明な画像が得られた。また、本実施例ど実施例２と
の比較において、積層構成を替えても本発明感光体が作
製可能である事が理解される。ざらに、本実施例におい
て得られた本発明感光体の表面硬度を、ＪＩＳ−に−５
４００規格に基づいて測定したところ、７８以上の硬度
が観測され、実用的な感光体として好適な表面性能を有
する事が理解された。

因節泗旦互 ＣＧＬ工程とＣＴＬ工程とを入れ替え、オーバーコート
層を設ける事以外は、実施例３と同様にして第４図に示
す如き本発明感光体を作製した。ここでオーバーコート
層は、実施例３のＣＴＬ工程と同様の手順により、成膜
時間だけを約１５分間に短縮して約３０００人の膜厚に
形成した。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも＋４２０Ｖまで初期帯電が
可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し、さ
らに、全感光体膜厚が８゜２ａｍであった事から、Ｃ，
Ａ、は＋５１Ｖ／μｍと極めて高い事が理解された。Ｄ
ＤＲｓは約１３％であり、実用的な電荷保持性能を有す
る事が理解された。Ｅ１／２は１４．２ルツクス・秒で
あり、実用上問題のない光感度性能を有する事が理解さ
れた。また、Ｖｒは＋３５Ｖであり、実用上問題のない
事が理解された。

以上より、本例に示した本発明による感光体は、充分な
帯電能と実用上問題のない光感度とを有し、実用的な感
光体として機能し得るものである。また、この感光体に
対して常用のカールソンプロセスの中で、作像して転写
したところ、画像が得られた。また、本実施例と実施例
３との比較において、積層構成を替えても本発明感光体
が作製可能である事が理解される。さらに、本実施例に
おいて得られた本発明感光体の表面硬度を、ＪＩＳ−に
−５４００規格に基づいて測定したところ、７Ｈ以上の
硬度が観測され、実用的な感光体として好適な表面性能
を有する事が理解された。

実施例２６ ＣＧＬ工程とＣＴＬ工程とを入れ替え、オーバーコート
層を設ける事以外は、実施例６と同様にして第４図に示
す如き本発明感光体を作製した。ここでオーバーコート
層は、実施例６０ＣＴＬ工程と同様の手順により、成膜
時間だけを約１５分間に短縮して約３０００人の膜厚に
形成し特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも＋３９０Ｖまで初期帯電が
可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し、さ
らに、全感光体膜厚が訊２５ｕｍであった事から、Ｃ，
Ａ、は＋４７Ｖ／μｍと高い事が理解された。ＤＤＲ５
は約１５％であり、実用的な電荷保持能を有する事が理
解された。Ｅ１／２は２．５ルツクス・秒であり、充分
な光感度性能を有する事が理解された。また、Ｖｒは＋
３０Ｖであり実用的である事が理解された。また、ＥＬ
Ｌ／２は１４．２ｅｒｇ／ｃｍ２であり、長波長域にま
で充分に高感度を有する事が理解された。

以上より、本実施例に示した本発明感光体は、充分な帯
電能と長波長域にまで充分な高感度とを有し、優れた性
能を有するものである。また、この感光体に対して常用
のカールソンプロセスの中で、作像して転写したところ
、鮮明な画像が得られた。また、この感光体に対して常
用のカールソンプロセスの中で、露光源に発光波長７８
０ｎｍの半導体レーザーを用いて作像して転写したとこ
ろ、鮮明な画像が得られた。また、本実施例と実施例６
との比較において、積層構成を替えても本発明感光体が
得られる事が理解される。さらに、本実施例において得
られた本発明感光体の表面硬度を、Ｊ　ＩＳ−に−５４
００規格に基づいて測定したところ、７Ｈ以上の硬度が
観測され、実用的な感光体として好適な表面性能を有す
る事が理解された。

実塵例旦ヱ ＣＧＬ工程とＣＴＬ工程とを入れ替え、オーバーコート
層を設ける事以外は、実施例７と同様にして第４図に示
す如き本発明感光体を作製した。ここでオーバーコート
層は、実施例７のＣＴＬ工程と同様の手順により、成膜
時間だけを約１５分間に短縮して約３０００人の膜厚に
形成した。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも＋３４０Ｖまで初期帯電が
可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し、ざ
らに、全感光体膜がか８゜１５μｍであった事から、Ｃ
，Ａ、は＋４２■／μｍと高い事が理解された。ＤＤＲ
５は約２０％であり、実用的な電荷保持能を有する事が
理解された。Ｅ１／２は２．８ルツクス・秒であり、充
分な光感度性能を有する事が理解された。また、Ｖｒは
＋２０Ｖであり実用的である事が理解された。また、Ｅ
Ｌ１／２は１６．Ｏｅｒｇ／ｃｍ２であり、長波長域に
まで充分に高感度を有する事が理解された。

以上より、本実施例に示した本発明感光体は、充分な帯
電能と長波長域にまで充分な高感度とを有し、優れた性
能を有するものである。また、この感光体に対して常用
のカールソンプロセスの中で、作像して転写したところ
、鮮明な画像が得られた。また、この感光体に対して常
用のカールソンプロセスの中で、露光源に発光波長７８
０ｎｍの半導体レーザーを用いて作像して転写したとこ
ろ、鮮明な画像が得られた。また、本実施例と実施例７
との比較において、積層構成を替えても本発明感光体が
得られる事が理解される。ざらに、本実施例において得
られた本発明感光体の表面硬度を、Ｊ　ＩＳ−に−５４
００規格に基づいて測定したところ、７Ｈ以上の硬度が
観測され、実用的な感光体として好適な表面性能を有す
る事が理解された。

実旅刈旦旦 ＣＧＬ工程とＣＴＬ工程とを入れ替え、オーバーコート
層を設ける事以外は、実施例１１と同様にして第４図に
示す如き本発明感光体を作製した。ここでオーバーコー
ト層は、ＸＪｆｆｆ例１１のＣＴＬ工程と同様の手順に
より、成膜時間だけを約１５分間に短縮して約３０００
人の膜厚に形成した。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも＋４２０Ｖまて初期帯電が
可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し、ざ
らに、全感光体膜厚が８゜１５μｍであった事から、Ｃ
，Ａ、は＋５２Ｖ／μｍと充分に高い事が理解された。

ＤＤＲ５は約２９％であり、実用的な電荷保持能を有す
る事が理Ｍされた。Ｅ１／２は１．８ルツクス・秒であ
り、充分な光感度を有する事が理解された。また、Ｖｒ
ハ＋　２５　Ｖであり、実用的である事が理解された。

また、ＥＬＩ／２は、７．５ｅｒｇ／ｃｍ２であり、長
波長域にまで高感度を有する事が理解された。

以上より、本実施例に示した本発明感光体は、充分な帯
電性能と長波長域にまで充分な光慝度とを有し、優れた
性能を有するものである。また、この感光体に対して常
用のカールソンプロセスの中で、作像して転写したとこ
ろ、鮮明な画像が得られた。また、この感光体に対して
常用のカールソンプロセスの中で、露光源に半導体レー
ザーを用いて作像して転写したところ、鮮明な画像が得
られた。また、本実施例と実施例１１との比較において
、積石構成を替えても本発明感光体が作製可能である事
が理解される。さらに、本実施例において得られた本発
明感光体の表面硬度を、ＪＩＳ−に−５４００規格に基
づいて測定したところ、７Ｈ以上の硬度が観ｄＩＩされ
、実用的な感光体として好適な表面性能を有する事が理
解された。

実施例２９ ＣＧＬ工程とＣＴＬ工程とを入れ替え、オーバーコート
層を設ける事以外は、実施例１３と同様にして第４図に
示す如き本発明感光体を作製した。ここでオーバーコー
ト層は、実に例１３のＣＴＬ工程と同様の手順により、
成膜時間だけを約１５分間に短縮して約３０００人の膜
厚に形成した。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも＋４２０Ｖまで初期帯電が
可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し、ざ
らに、全感光体膜厚が８゜１５μｍであった事から、Ｃ
，Ａ、は＋５２■／μｍと充分に高い事が理解された。

ＤＤＲ５は約２５％であり、実用的な電荷保持能を有す
る事が理解された。Ｅ１／２は１．８ルツクス・秒であ
り、充分な光感度を有する事が理Ｎされた。また、Ｖｒ
は＋ＩＯＶであり、実用的である事が理解された。また
、ＥＬＩ／２は、５．８ｅｒｇ／ａｍ２であり、長波長
域にまで高感度を有する事が理解された。

以上より、本実施例に示した本発明感光体は、充分な帯
電性能と長波長域にまで充分な光感度とを有し、優れた
性能を有するものである。また、この感光体に対して常
用のカールソンプロセスの中で、作像して転写したとこ
ろ、鮮明な画像が得られた。また、この感光体に対して
常用のカールソンプロセスの中で、露光源に半導体レー
ザーを用いて作像して転写したところ、鮮明な画像が得
られた。また、本実施例と実施例１３との比較において
、積層構成を替えても本発明感光体が作製可能である事
が理解される。ざらに、本実施例において得られた本発
明感光体の表面硬度を、ＪＩＳ−に−５４００規格に基
づいて測定したところ、７Ｈ以上の硬度がｕｉ’！！Ｉ
され、実用的な感光体として好適な表面性能を有する事
が理解された。

去施倒旦Ω ＣＧＬ工程とＣＴＬ工程とを入れ替え、オーバーコート
層を設ける事以外は、実施例１６と同様にして第４図に
示す如き本発明感光体を作製した。ここでオーバーコー
ト層は、実施例１６のＣＴＬ工程と同様の手順により、
成膜時間だけを約１５分間に短縮して約３０００人の膜
厚に形成した。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも＋４−ＱＣ）Ｖまて初期帯
電が可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し
、ざらに、全感光体膜厚が７゜８５ａｍであった事から
、Ｃ，Ａ、は＋５１Ｖ／μｍと充分に高い事が理解され
た。ＤＤＲ５は約２５％であり、実用的な電荷保持能を
有する事が理解された。Ｅ１／２は１．４ルツクス・秒
であり、充分な光感度を有する事が理解された。また、
ｖｒは＋ＩＯＶであり、実用的である事が理解された。

また、ＥＬＩ／２は、５．４ｅｒｇ／ｃｍ２であり、長
波長域にまで高感度を有する事が理解された。

以上より、本実施例に示した本発明感光体は、充分な帯
電性能と長波長域にまで充分な光感度とを有し、優れた
性能を有するものである。また、この感光体に対して常
用のカールソンプロセスの中で、作像して転写したとこ
ろ、鮮明な画像が得られた。また、この感光体に対して
常用のカールソンプロセスの中で、露光源に半導体レー
ザーを用いて作像して転写したところ、鮮明な画像が得
られた。また、本実施例と実施例１６との比較において
、積層構成を替えても本発明感光体が作製可能である事
が理解される。ざらに、本実施例において得られた本発
明感光体の表面硬度を、ＪＩＳ−に−５４００規格に基
づいて測定したところ、７Ｈ以上の硬度が観測され、実
用的な感光体として好適な表面性能を有する事が理解さ
れた。

衷旅困旦上 電荷発生層の膜厚を２００人とする以外は実施例１３と
同様にして本発明感光体を作製した。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一４５０Ｖまで初期帯電が
可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し、ざ
らに、全感光体膜厚が７゜７２μｍであった事から、Ｃ
，Ａ、は−５８Ｖ／μｍと充分に高い事が理解された。

ＤＤＲａは約１８％であり、実用的な電荷保持能を有す
る事が理解された。Ｅ１／２は３．８ルツクス・秒であ
り、充分な光感度を有する事が理解された。また、ｖｒ
は一２０Ｖであり、実用的である事が理解された。また
、Ｅ　Ｌ　１／２は、１２．４ｅｒｇ／ｃｍ２であり、
長波長域にまで高感度を有する事が理解された。

以上より、本実施例に示した本発明感光体は、充分な帯
電性能と実施例１３との比較においては若干低いものの
長波長域にまで充分な光感度とを有し、好適な性能を有
するものである。また、この感光体に対して常用のカー
ルソンプロセスの中で、作像して転写したところ、鮮明
な画像が得られた。また、この感光体に対して常用のカ
ールソンプロセスの中で、露光源に半導体レーザーを用
いて作像して転写したところ、鮮明な画像が得られた。

ざらに、本実施例において得られた本発明感光体の表面
硬度を、ＪＩＳ−に−５４００規格に基づいて測定した
ところ、７Ｈ以上の硬度が観測され、実用的な感光体と
して好適な表面性能を有する事が理解された。

実施例３２ 電荷発生層の膜厚を５０００人とする以外は実施例１３
と同様にして本発明感光体を作製した。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一４２０Ｖまで初期帯電が
可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し、ざ
らに、全感光体膜厚が８゜２ａｍであった事から、Ｃ，
Ａ、は−５１Ｖ／μｍと充分に高い事が理解された。Ｄ
ＤＲ５は約２０％であり、実用的な電荷保持能を有する
事が理解された。Ｅ１／２は１．８ルツクス・秒であり
、充分な光感度を有する事が理解された。また、Ｖｒは
一１８Ｖであり、実用的である事が理解された。また、
ＥＬＩ／２は、６．２ｅｒｇ／ｃｍ２であり、長波長域
にまで高感度を有する事が理解された。

以上より、本実施例に示した本発明感光体は、実施例１
３と同様に、充分な帯電性能と長波長域にまで充分な光
感度とを有し、感光体として好適な性能を有するもので
ある。また、この感光体に対して常用のカールソンプロ
セスの中で、作像して転写したところ、鮮明な画像が得
られた。また、この感光体に対して常用のカールソンプ
ロセスの中で、露光源に半導体レーザーを用いて作像し
て転写したところ、鮮明な画像が得られた。ざらに、本
実施例において得られた本発明感光体の表面硬度を、Ｊ
　ＩＳ−に−６４００規格に基づいてθり定したところ
、７Ｈ以上の硬度がａ測され、実用的な感光体として好
適な表面性能を有する事が理解された。

Ｘ施健旦旦 電荷発生層の膜厚を１μｍとする以外は実施例１３と同
様にして本発明感光体を作製した。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一２２０■まで初期帯電が
可能であった。この事がら実用上問題のない帯電特性を
有し、さらに、全感光体膜厚が８．７μｍであった事か
ら、Ｃ，Ａ、は−２５Ｖ／μｍと高い事が理解された。

ＤＤＲｓは約４２％であり、実用上問題のない電荷保持
能を有する事が理解された。Ｅ１／２は１．５ルツクス
・秒であり、充分な光感度を有する事が理解された。ま
た、Ｖｒは一１０Ｖであり、実用的である事が理解され
た。また、ＥＬＩ／２は、５．６ｅｒｇ／ａｍ２であり
、長波長域にまで高感度を有する事が理解された。

以上より、本実施例に示した本発明感光体は、実施例１
３に較べ帯電性能面では劣るものの、長波長域にまで充
分な光感度を有し、感光体として機能し得る性能を有す
るものである。また、この感光体に対して常用のカール
ソンプロセスの中で、作像して転写したところ、画像が
得られた。

また、この感光体に対して常用のカールソンプロセスの
中で、露光源に半導体レーザーを用いて作像して転写し
たところ、画像が得られた。さらに、本実施例において
得られた本発明感光体の表面硬度を、ＪＩＳ−に−５４
００規格に基づいて測定したところ、７Ｈ以上の硬度が
観測され、実用的な感光体として好適な表面性能を有す
る事が理解された。

男惣倒旦挟 電荷発生層の膜厚を２μｍとする以外は実施例１３と同
様にして本発明感光体を作製した。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一１５０■まで初期帯電が
可能であった。全感光体膜厚が８．０μｍであった事か
ら、Ｃ，Ａ、は−１５Ｖ／μｍである事が理解された。

ＤＤＲ５は約５５％であり、これらの事から、フタロシ
アニン系化合物の蒸着膜の膜厚の増加による帯電性能の
低下が理Ｍされ、本実施例においては、実用上許容し得
る最低限の帯電性能が得られる事が理解された。

一方、Ｅ１／２は０．９ルツクス・秒であり、充分な光
感度を有する事が理解された。また、Ｖｒは○Ｖであり
、実用的である事が理解された。また、ＥＬＩ／２は、
４．６ｅｒｇ／ｃｍ２であり、長波長域にまで高感度を
有する事が理解された。

以上より、本実施例に示した本発明感光体は、実施例１
３に較べ帯電性能面では大幅に劣るものの、長波長域に
まで充分な光感度を有し、感光体として機能し得る可能
性を有するものである。また、本実施例において得られ
た本発明感光体の表面硬度を、ＪＩＳ−に−５４００規
格に基づいて測定したところ、７Ｈ以上の硬度が観測さ
れ、実用的な感光体として好適な表面性能を有する事が
理解された。

大旅健旦互 本発明に係わる製造装置を用いて、第２図に示した如き
、導電性基板（１）、電荷発生層（３）、電荷輸送Ｎ（
２）をこの順に設けた本発明感光体を作製した。

電荷発生層形成工程（ＣＧＬ工程）： 真空蒸着の常法を用いて、直径８０Ｘ長ざ３２９ｍｍの
円筒状アルミニウム基板上に、アルミニウムクロロフタ
ロシアニンクロライド（Ａ　Ｉ　ＣｌＰｃＣ１）の蒸着
膜を形成した。蒸着は、実施例１３と同様にして行ない
約５００人の蒸着膜を得、ざらに、実施例１３と同様の
溶剤蒸気処理をも施した。

電荷輸送層形成工程（ＣＴＬ工程）： 次いで、第８図に示すグロー放電分解装置において、ま
ず、反応装置（８３３）の内部を１Ｏ−６Ｔｏｒｒ程度
の高真空にした後、第１、及び第２調節弁（８０７、及
び８０８）を解放し、第１タンク（８０１）よりキャリ
アガスとして水素ガス、及び第２タンク（８０２）より
原料ガスとしてエチレンガスを各々出力圧１．５Ｋｇ／
ａｍ２の下で第１、及び第２流星制御器（８１３、及び
８１４）内へ流入させた。そして各流量制御器の目盛を
調整して、水素ガスの流量を２３０ｓｅｃｍ１及びエチ
レンガスの流量を１８０５ＣＣｍとなるように設定して
、途中混合器（８３１）を介して、主管（８３２）より
反応室（８３３）内へ流入した。各々の流量が安定した
後に、反応室（８３３）内の圧力が０．７Ｔｏｒｒとな
るように圧力調節弁（８４５）を調整した。一方、前工
程においてＡｌＣｌＰｃ　（ＣＩ）の蒸着膜を設けた導
電性基板（８５２）は、予め６０℃に加熱しておき、ガ
ス流量及び圧力が安定した状態で、予め接続選択スイッ
チ（８４４）により接続しておいた高周波電源（８３９
）を投入し、電力印加電極（８３６）に２５０Ｗａｔｔ
の電力を周波数１３．５６ＭＨｚの下で印加して約３時
間３０分プラズマ重合反応を行ない、導電性基板（８５
２）上に厚き８．２μｍの本発明ａ　−Ｃ膜を電荷輸送
層として形成した。成膜完了後は、電力印加を停止し、
ＦＡ節弁を閉じ、反応室（８３３）内を充分に排気した
後、真空を破り試料を取り出した。

得られたａ　−Ｃ膜につき有機元素分析を行なったとこ
ろ、含有される水素の星は約３２原子％であった。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一４３０■まで初期帯電が
可能であった。この事がら実用的な帯電特性を有し、ざ
らに、全感光体膜厚が８゜２５μｍである事から、Ｃ，
Ａ、は−５２Ｖ／μｍと充分に高い事が理解された。Ｄ
ＤＲ５は約１８％であり、実用的な電荷保持能を有する
事が理解された。Ｅ１／２は２．４ルツクス・秒であり
、充分な光感度を有する事が理Ｍされた。また、Ｖｒは
一２５Ｖであり、実用的である事が理解された。また、
ＥＬＩ／２は、７．３ｅｒｇ／ｃｍ２であり、長波長域
にまで高感度を有する事が理解された。

以上より、本実施例に示した本発明感光体は、充分な帯
電性能と長波長域にまで充分な光感度とを有し、優れた
性能を有するものである。また、この感光体をミノルタ
カメラ製複写機ＥＰ６５０２に搭載して複写を行なった
ところ、鮮明な画像が得られた。また、この感光体に対
して常用のカールソンプロセスの中で、露光源に半導体
レーザーを用いて作像して転写したところ、鮮明な画像
が得られた。また、本実施例により、本発明感光体はエ
ンドレス形状、即ち、円筒形状でも作製可能である事が
理解される。さらに、本実施例において得られた本発明
感光体の表面硬度をＪＩＳ−に−５４００規格に基づい
て測定したところ、７Ｈ以上の硬度がｉ！！ｆｆｌ！Ｉ
され、上記複写機において１Ｏ万枚実写後も、所謂画性
流れを発生する事なく、鮮明な画像を得る事ができた。

この事から、実用的な感光体として好適な表面性能を有
する事が理解された。

実施例３６ 本発明に係わる製造装置を用いて、第２図に示した如き
、導電性基板（１）、電荷発生層（３）、電荷輸送層（
２）をこの順に設けた本発明感光体を作製した。

電荷発生層形成工程（ＣＧＬ工程）： 真空蒸着の當法を用いて、直径８０×長き３２９ｍｍの
円筒状アルミニウム基板上に、アルミニウムクロロフタ
ロシアニンクロライド（ＡＩＣＩＰｃＣｌ）の蒸着膜を
形成した。蒸着は、実施例１３と同様にして行ない約５
００人の蒸着膜を得、ざらに、実施例１３と同様の溶剤
蒸気処理をも施した。

電荷輸送層形成工程（ＣＴ　Ｌ工程）：次いで、第８図
に示すグロー放電分解装置において、まず、反応装置（
８３３）の内部を１ｏ−６Ｔｏｒｒ程度の寓真空にした
後、第１、第２、及び第３調節弁（８０７，８０８、及
び８０９）を解放し、第１タンク（８０１）よりキャリ
アガスとして水素ガス、第２タンク（８０２）より原料
ガスとしてアセチレンガス、及び第３タンク（８０３）
より四弗化炭素ガスを各々出力圧１．５Ｋｇ／Ｃｍ２の
下で第１、第２、及び第３流：！ＩＩＪ御器（８１３，
８１４、及び８１５）内へ流入させた。そして各流星制
御２３の目盛を調整して、水素ガスの流量を２３０ｓｅ
ｃｍ、アセチレンガスの流量を１８０ｓｅｃｍ１及び四
弗化炭素ガスの流量を１２５ｓｅｃｍとなるように設定
して、途中混合器（８３１）を介して、主管（８３２）
より反応室（８３３）内へ流入した。各々の流量が安定
した後に、反応室（８３３）内の圧力が１．０Ｔｏｒｒ
となるように圧力調節弁（８４５）を調整した。一方、
前工程においてＡｌＣｌＰｃ　（ＣＩＭ）蒸着膜を設け
た導電性基板（８５２）は、予め６０’Ｃに加熱してお
き、ガス流量及び圧力が安定した状態で、予め接続選択
スイッチ（８４４）により接続しておいた高周波電源（
８３９）を投入し、電力印加量ｔＭ（８３ｅ）に２００
Ｗａ１１の電力を周波数１３．５６ＭＨｚの下で印加し
て約２時間２０分プラズマ重合反応を行ない、導電性基
板（８５２）上に厚き８．０ａｍの本発明ａ−Ｃ膜を電
荷輸送層として形成した。成膜完了後は、電力印加を停
止し、調節弁を閉じ、反応室（８３３）内を充分に排気
した後、真空を破り試料を取り出した。

得られたａ−Ｃ膜につき有機元素分析を行なったところ
、含有される水素の量は約３５原子％であった。

特性評価結果： 得られた感光体は、常用のカールソンプロセスにおいて
コロナ放電により少なくとも一４３０Ｖまで初期帯電が
可能であった。この事から実用的な帯電特性を有し、ざ
らに、全感光体膜厚が８゜０５μｍである事から、Ｃ，
Ａ、は−５３Ｖ／ｕｍと充分に高い事が理解された。Ｄ
ＤＲ５は約２４％であり、実用的な電荷保持能を有する
事が理解された。Ｅ１／２は１．２ルツクス・秒であり
、充分な光感度を有する事が理解された。また、Ｖｒは
一５Ｖであり、実用的である事が理解された。

また、Ｅ　Ｌ　１／２は、５．６ｅｒｇ／ｃｍ２であり
、長波長域にまで高感度を有する事が理解された。

以上より、本実施例に示した本発明感光体は、充分な帯
電性能と長波長域にまで充分な光感度とを有し、優れた
性能を有するものである。また、この感光体をミノルタ
カメラ製複写機ＥＰ６５０Ｚに搭載して複写を行な７な
ところ、鮮明な画像が得られた。また、この感光体に対
して常用のカールソンプロセスの中で、露光源に半導体
レーザーを用いて作像して転写したところ、鮮明な画像
が得られた。また、本実施例により、本発明感光体はエ
ンドレス形状、即ち、円筒形状でも作製可能である事が
理Ｍされる。ざらに、本実施例において得られた本発明
感光体の表面硬度をＪＩＳ−に−５４００規格に基づい
て測定したところ、７Ｈ以上の硬度が観測され、上記複
写機において２ｏ万枚実写後も、所謂画像流れを発生す
る事なく、鮮明な画像を得る事ができた。この事から、
実用的な感光体として好適な表面性能を有する事が理Ｍ
された。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第６１は本発明に係わる感光体の構成を示し
、第７図、第８図は本発明に係わる感光体の製造装置を
示す。 第１図 第３図 第、ｆ図 第２　図 第４図 第　６　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 電荷発生層と電荷輸送層とを有する機能分離型感光体に
   おいて、電荷発生層としてフタロシアニン系化合物の真
   空蒸着膜を設け、電荷輸送層として有機化合物ガスの真
   空中グロー放電により生成され少なくとも炭素原子と水
   素原子とを構成原子として含有してなるプラズマ重合膜
   を設けたことを特徴とする感光体。