JPS6373574A - ガスレ−ザ発振器 - Google Patents
ガスレ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS6373574A JPS6373574A JP21747786A JP21747786A JPS6373574A JP S6373574 A JPS6373574 A JP S6373574A JP 21747786 A JP21747786 A JP 21747786A JP 21747786 A JP21747786 A JP 21747786A JP S6373574 A JPS6373574 A JP S6373574A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- mirror
- discharge electrodes
- optical axis
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明はガスレーザ発振器、特に安定型、不安定型の
両方の共振器に適用できるガスレーザ発振器に関するも
のである。
両方の共振器に適用できるガスレーザ発振器に関するも
のである。
［従来の技術］
第３図は従来の安定型炭酸ガスレーザ共振器を示すもの
で１図中、（１）は所要間隔で対向し、レーザｔＳ、質
ガス（２）を励起する一対の放電電極、（３） 、（４
）は放電方向およびレーザ媒質ガス（２）の流れ方向に
対して直交する方向に対向する全反射鏡および部分反射
鏡で、内反射鏡（３）、（４）での入反射により増幅さ
れたレーザは、内反射鏡（３）。
で１図中、（１）は所要間隔で対向し、レーザｔＳ、質
ガス（２）を励起する一対の放電電極、（３） 、（４
）は放電方向およびレーザ媒質ガス（２）の流れ方向に
対して直交する方向に対向する全反射鏡および部分反射
鏡で、内反射鏡（３）、（４）での入反射により増幅さ
れたレーザは、内反射鏡（３）。
（４）の光軸（５）方向に部分反射鏡（４）からレーザ
光（６）として出力される。
光（６）として出力される。
第４図は従来の不安定型炭酸ガスレーザ共振器を示すも
ので、図中、第３図と同一符号は同−又は相当部分を示
す、（７）は凹ミラー、（８）は凸ミラー、（９）は両
ミラー（７）、（８）の光軸（１０）に対して傾斜状態
で配された孔付ミラーで、両ミラー（７） 、（８）間
での入反射により増幅されたレーザは、孔付ミラー（８
）で反射され、ウィンド（１１）からリングモードのレ
ーザ光（１２）として出力される。
ので、図中、第３図と同一符号は同−又は相当部分を示
す、（７）は凹ミラー、（８）は凸ミラー、（９）は両
ミラー（７）、（８）の光軸（１０）に対して傾斜状態
で配された孔付ミラーで、両ミラー（７） 、（８）間
での入反射により増幅されたレーザは、孔付ミラー（８
）で反射され、ウィンド（１１）からリングモードのレ
ーザ光（１２）として出力される。
従来の炭酸ガスレーザ発振器は、上記のように構成され
、一対の放電電極（１）に電圧を印加すると１両放電電
極（１）間での放電によりレーザ媒質ガス（２）が励起
され光子が放出される。この光子は、内反射鏡（３）
、（４）間あるいは両ミラー（７）。
、一対の放電電極（１）に電圧を印加すると１両放電電
極（１）間での放電によりレーザ媒質ガス（２）が励起
され光子が放出される。この光子は、内反射鏡（３）
、（４）間あるいは両ミラー（７）。
（８）間での入反射の縁返しにより増幅される。そして
、部分反射鏡（４）あるいはウィンド（１１）からレー
ザ光（８）、（１２）として出力される。
、部分反射鏡（４）あるいはウィンド（１１）からレー
ザ光（８）、（１２）として出力される。
［発明が解決しようとする問題点］
上記のような従来のガスレーザ発振器では、第５図に符
号（Ａ）で示すようなレーザゲイン分布となる。そして
安定型のガスレーザ共振器の場合には、第３図および第
５図に示すように放電電極（１）の端部に光軸（５）を
位置させることにより安定したレーザ出力が得られ、ま
た不安定型のガスレーザ共振器の場合には、第４図およ
び第５図に示すように放電電極（１）の中央部に光軸（
ｌＯ）を位置させることにより安定したレーザ出力が得
られる。このため、レーザミラーの構成を変更して安定
型共振器を不安定型共振器にする場合、あるいはこの逆
の場合には、従来レーザミラーの取付は位置をずらせる
必要があった。
号（Ａ）で示すようなレーザゲイン分布となる。そして
安定型のガスレーザ共振器の場合には、第３図および第
５図に示すように放電電極（１）の端部に光軸（５）を
位置させることにより安定したレーザ出力が得られ、ま
た不安定型のガスレーザ共振器の場合には、第４図およ
び第５図に示すように放電電極（１）の中央部に光軸（
ｌＯ）を位置させることにより安定したレーザ出力が得
られる。このため、レーザミラーの構成を変更して安定
型共振器を不安定型共振器にする場合、あるいはこの逆
の場合には、従来レーザミラーの取付は位置をずらせる
必要があった。
しかしながら、レーザミラーの位置をずらせる場合には
、光軸ずれ等が発生して安定したレーザ出力が得られず
、調整に多大な時間を要する等の問題があった。
、光軸ずれ等が発生して安定したレーザ出力が得られず
、調整に多大な時間を要する等の問題があった。
この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、レーザミラーの取付は位置をずらせることなく容
易に安定型、不安定型の両共振器に適用できるがスレー
ザ発振器を得ることを目的とする。
ので、レーザミラーの取付は位置をずらせることなく容
易に安定型、不安定型の両共振器に適用できるがスレー
ザ発振器を得ることを目的とする。
Ｌ問題点を解決するための手段】
この発明に係るガスレーザ発振器は、両放電電極を光軸
に直交する方向に移動させる調整機構を設け、この調整
機構により、両放電電極に対する光軸の位置を調整でき
るようにしたものである。
に直交する方向に移動させる調整機構を設け、この調整
機構により、両放電電極に対する光軸の位置を調整でき
るようにしたものである。
［作用］
この発明においては、調整機構により両放電電極に対す
る光軸の位置を調整できるようにしているので、レーザ
ミラーの取付は位置を変えることなく、実質的にこれと
同一の効果が得られる。このため、安定型、不安定型の
両共振器に適用でき、しかもレーザミラーの取付は位置
をずらせる場合に比較して操作が容易である。
る光軸の位置を調整できるようにしているので、レーザ
ミラーの取付は位置を変えることなく、実質的にこれと
同一の効果が得られる。このため、安定型、不安定型の
両共振器に適用でき、しかもレーザミラーの取付は位置
をずらせる場合に比較して操作が容易である。
［実施例］
第１図および第２図はこの発明の一実施例な示すもので
１図中第３図〜第５図と同一符号は同−又は相当部分を
示す、 （１３）は内部にレーザ媒質ガス（２）が封入
された筐体、 （１４）は上記レーザ媒質ガス（２）を
一対の放電電極（１）の間に流すためのブロア、（１５
）は一対の放電電極（１）の間から排出されたレーザ媒
質ガス（２）を冷却する熱交換器。
１図中第３図〜第５図と同一符号は同−又は相当部分を
示す、 （１３）は内部にレーザ媒質ガス（２）が封入
された筐体、 （１４）は上記レーザ媒質ガス（２）を
一対の放電電極（１）の間に流すためのブロア、（１５
）は一対の放電電極（１）の間から排出されたレーザ媒
質ガス（２）を冷却する熱交換器。
（１８）は固定側基台、（１７）は一対の放電電極（１
）を一体重に固定する可動側基台、（１８）は上記固定
側基台（１８）に固定された２本のガイドレール、（１
８）は上記可動側基台（１７）に固定され上記ガイドレ
ール（１８）にそって可動側基台（１７）のスライドを
案内するスライドレール、（２０）は上記固定側基台（
１Ｂ）に取付けられたナツト部材、（２１）は上記筐体
（１３）を貫通してナツト部材（２０）に螺装され先端
が一方のスライドレール（１８）の端面に回転自在に連
結されたスライドバーで、このスライドバー（２１）を
正逆回転させることにより、第１図に符号ＣＢ）で示す
両矢印の方向に両放電電極（１）がスライドする。 （
２２）はスライドバー（２１）の筐体（１３）貫通部に
装看されたＯリング、（２３）、、（２４）は両放電電
極（１）がどのようなスライド位置にある場合でもレー
ザ媒質ガス（２）を確実に熱交換器（１５）に導くため
のハツチ、（２５）はベローズ（２Ｂ）を介し筐体（１
３）に連結された一対の光学基板で、インバー（２７）
およびナラ） （２８）を介して相互に連結されている
。
）を一体重に固定する可動側基台、（１８）は上記固定
側基台（１８）に固定された２本のガイドレール、（１
８）は上記可動側基台（１７）に固定され上記ガイドレ
ール（１８）にそって可動側基台（１７）のスライドを
案内するスライドレール、（２０）は上記固定側基台（
１Ｂ）に取付けられたナツト部材、（２１）は上記筐体
（１３）を貫通してナツト部材（２０）に螺装され先端
が一方のスライドレール（１８）の端面に回転自在に連
結されたスライドバーで、このスライドバー（２１）を
正逆回転させることにより、第１図に符号ＣＢ）で示す
両矢印の方向に両放電電極（１）がスライドする。 （
２２）はスライドバー（２１）の筐体（１３）貫通部に
装看されたＯリング、（２３）、、（２４）は両放電電
極（１）がどのようなスライド位置にある場合でもレー
ザ媒質ガス（２）を確実に熱交換器（１５）に導くため
のハツチ、（２５）はベローズ（２Ｂ）を介し筐体（１
３）に連結された一対の光学基板で、インバー（２７）
およびナラ） （２８）を介して相互に連結されている
。
（２８）は上記各光学基板（２５）にホルダ（３０）を
介し着脱可能に取付けられたレーザミラーで、安定型共
振器の場合には、全反射鏡（３〕および部分反射鏡（４
）が用いられ、また不安定型共振器の場合には、凹ミラ
ー（７）、凸ミラー（８）、孔付ミラー（９）、および
ウィンド（１１）が用いられる。
介し着脱可能に取付けられたレーザミラーで、安定型共
振器の場合には、全反射鏡（３〕および部分反射鏡（４
）が用いられ、また不安定型共振器の場合には、凹ミラ
ー（７）、凸ミラー（８）、孔付ミラー（９）、および
ウィンド（１１）が用いられる。
上記のように構成されたガスレーザ発振器においては、
スライドバー（２１）を回転させることにより、一対の
放電電極（１）が両矢印（Ｂ）の方向、すなわちレーザ
ミラー（２９）の光軸に直交する方向にスライドし、上
記光軸に対する放電電極（１）の相対位置が変化する。
スライドバー（２１）を回転させることにより、一対の
放電電極（１）が両矢印（Ｂ）の方向、すなわちレーザ
ミラー（２９）の光軸に直交する方向にスライドし、上
記光軸に対する放電電極（１）の相対位置が変化する。
このため、安定型共振器として使用する場合にも、また
不安定型共振器として使用する場合にも、両放電電極（
１）に対する光軸の位置を最適位置にセットすることが
でき、ビームモードを均一にすることが可ｆｌとなる。
不安定型共振器として使用する場合にも、両放電電極（
１）に対する光軸の位置を最適位置にセットすることが
でき、ビームモードを均一にすることが可ｆｌとなる。
また。
スライドバー（２１）を回転させるだけでよいので操作
が極めて容易である。
が極めて容易である。
なお上記実施例では、スライドバー（２１）を回転させ
て両放電電極（１）をスライドさせる場合を示したが、
両放電電極（１）は基本的には二箇所のスライド位置に
変更できればよいので、これを満足する機構であればど
のようなものでもよく、また必ずしも手動に限らすモー
タ等を用いるようにしてもよい。
て両放電電極（１）をスライドさせる場合を示したが、
両放電電極（１）は基本的には二箇所のスライド位置に
変更できればよいので、これを満足する機構であればど
のようなものでもよく、また必ずしも手動に限らすモー
タ等を用いるようにしてもよい。
［発明の効果］
この発明は以上説明したとおり１両放電電極を調整機構
により光軸に直交する方向に移動させ、放電電極に対す
る光軸の位置を調整できるようにしているので、単一の
発振器で安定型共振器にも不安定型共振器にも適用でき
、しかも簡単な操作でビームモードを均一にすることが
できる等の効果がある。
により光軸に直交する方向に移動させ、放電電極に対す
る光軸の位置を調整できるようにしているので、単一の
発振器で安定型共振器にも不安定型共振器にも適用でき
、しかも簡単な操作でビームモードを均一にすることが
できる等の効果がある。
第１図はこの発明の一実施例を示すガスレーザ発振器の
断面図、第２図は第１図の■−■線断面図相当図、第３
図は従来の安定型共振器を示す構成図、第４図は従来の
不安定型共振器を示す構成図、第５図は放電電極間にお
けるレーザゲイン分布と光軸との関係を示す説明図であ
る。 図中 （１）は放電電極、 （２）はレーザ媒質ガス、（２
０）はナツト部材、 （２１）はスライドバー、（２
８）はレーザミラー。 なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示すもの
とする。
断面図、第２図は第１図の■−■線断面図相当図、第３
図は従来の安定型共振器を示す構成図、第４図は従来の
不安定型共振器を示す構成図、第５図は放電電極間にお
けるレーザゲイン分布と光軸との関係を示す説明図であ
る。 図中 （１）は放電電極、 （２）はレーザ媒質ガス、（２
０）はナツト部材、 （２１）はスライドバー、（２
８）はレーザミラー。 なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示すもの
とする。
Claims (1)
- 所要間隔で対向してレーザ媒質ガスを励起する一対の放
電電極と、レーザ発振を行なうレーザミラーと、上記両
放電電極を光軸に直交する方向に移動させる調整機構と
を備え、上記調整機構により、両放電電極に対する光軸
の位置を調整可能としたことを特徴とするガスレーザ発
振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21747786A JPS6373574A (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 | ガスレ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21747786A JPS6373574A (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 | ガスレ−ザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6373574A true JPS6373574A (ja) | 1988-04-04 |
Family
ID=16704845
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21747786A Pending JPS6373574A (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 | ガスレ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6373574A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002261356A (ja) * | 2001-03-01 | 2002-09-13 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレーザ発振器 |
| JP5653444B2 (ja) * | 2010-09-17 | 2015-01-14 | 三菱電機株式会社 | ガスレーザ装置 |
-
1986
- 1986-09-16 JP JP21747786A patent/JPS6373574A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002261356A (ja) * | 2001-03-01 | 2002-09-13 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレーザ発振器 |
| JP5653444B2 (ja) * | 2010-09-17 | 2015-01-14 | 三菱電機株式会社 | ガスレーザ装置 |
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