JPS6373575A - 共振器ミラ−調整装置 - Google Patents
共振器ミラ−調整装置Info
- Publication number
- JPS6373575A JPS6373575A JP21747286A JP21747286A JPS6373575A JP S6373575 A JPS6373575 A JP S6373575A JP 21747286 A JP21747286 A JP 21747286A JP 21747286 A JP21747286 A JP 21747286A JP S6373575 A JPS6373575 A JP S6373575A
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- Japan
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- mirror
- hole
- aperture
- resonator
- resonator mirror
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/086—One or more reflectors having variable properties or positions for initial adjustment of the resonator
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はレーザ発振器の共振器ミラー調整装置の改良
に関するものである。
に関するものである。
第３図はレーザ発振器の内部構造を示す概略図であり、
レーザガスが充填された筐体（１）内には電極（２）、
（３）が対向配置され、この電極（２）、（３）による
グロー放電により励起されかつ加熱されたレーザガスは
ブロア（４）により筐体（１）内を循環するとともに冷
却器 （図示せず）により冷却されている。（５）は上
記励起されたレーザガスがレーザ発振をして生じたレー
ザ光であり、このレーザ光（５）が全反射鏡を用いた共
振器ミラー（６）と部分反射鏡を用いた共振器ミラー（
７）間を往復する毎に放電エネルギーを得てくり返し反
射され、その後共振器ミラー（７）を透過して外部に射
出されてレーザ光（５ａ）となり、所定の目的に供され
るものである。
レーザガスが充填された筐体（１）内には電極（２）、
（３）が対向配置され、この電極（２）、（３）による
グロー放電により励起されかつ加熱されたレーザガスは
ブロア（４）により筐体（１）内を循環するとともに冷
却器 （図示せず）により冷却されている。（５）は上
記励起されたレーザガスがレーザ発振をして生じたレー
ザ光であり、このレーザ光（５）が全反射鏡を用いた共
振器ミラー（６）と部分反射鏡を用いた共振器ミラー（
７）間を往復する毎に放電エネルギーを得てくり返し反
射され、その後共振器ミラー（７）を透過して外部に射
出されてレーザ光（５ａ）となり、所定の目的に供され
るものである。
上記共振器ミラー（６）、（７）部には、上記反射鏡の
位置をｒＡＭするための共振器ミラー調整装置がそれぞ
れ設けられており、該装置の構成を第４図に示す正面断
面図に基づいて説明する。この図において左方Ａはレー
ザ発振器内部（ここの圧力は、大気圧と比べて減圧又は
加圧されている）を示し、右方Ｂは外部側即ち大気側（
圧力は大気圧である）を示している０図示のように、共
振器ミラー（８）又は（７）がほぼ中央部に設けられた
ミラーｍ整板（ｌＯ）は、ベローズ継手（１１）を介し
て筐体（１）に取付けられており、共振器ミラー（６）
又は（７）の位置調整は、筐体（１）に取付けられた支
点棒受け（１２）に先端が装着され、かつミラー調整板
（ｌＯ）に係合した支点棒（１３）を支点として、１又
は２以上のマイクロメータ（１４）を操作し、筐体（１
）に取付けられている受は金（１５）に当接しているス
ピンドル（１４ａ）を出没させて、ミラー調整板（１０
）を図中の矢印Ｃ方向に微動させることにより行なって
いる。 （ｌｌａ）、（Ｉｌｂ）はベローズ継手（１１
）の両端フランジであり、筐体（１）、ミラー調整板（
１０）にそれぞれ固定されている。 （ＩＥＩ）はビー
ムモードを設定するためのアパーチャであって、筐体（
１）に固定されている。なお、（１７）〜（１９）はシ
ール用の０リングである。
位置をｒＡＭするための共振器ミラー調整装置がそれぞ
れ設けられており、該装置の構成を第４図に示す正面断
面図に基づいて説明する。この図において左方Ａはレー
ザ発振器内部（ここの圧力は、大気圧と比べて減圧又は
加圧されている）を示し、右方Ｂは外部側即ち大気側（
圧力は大気圧である）を示している０図示のように、共
振器ミラー（８）又は（７）がほぼ中央部に設けられた
ミラーｍ整板（ｌＯ）は、ベローズ継手（１１）を介し
て筐体（１）に取付けられており、共振器ミラー（６）
又は（７）の位置調整は、筐体（１）に取付けられた支
点棒受け（１２）に先端が装着され、かつミラー調整板
（ｌＯ）に係合した支点棒（１３）を支点として、１又
は２以上のマイクロメータ（１４）を操作し、筐体（１
）に取付けられている受は金（１５）に当接しているス
ピンドル（１４ａ）を出没させて、ミラー調整板（１０
）を図中の矢印Ｃ方向に微動させることにより行なって
いる。 （ｌｌａ）、（Ｉｌｂ）はベローズ継手（１１
）の両端フランジであり、筐体（１）、ミラー調整板（
１０）にそれぞれ固定されている。 （ＩＥＩ）はビー
ムモードを設定するためのアパーチャであって、筐体（
１）に固定されている。なお、（１７）〜（１９）はシ
ール用の０リングである。
上記構成の従来の共振器ミラー調整装置において、共振
器ミラー（８）、（７）の交換、アパーチャ（１６）の
メンテナンスを行なうためには、ベローズ継手（１１）
を取外して行なわなくてはならず、作業が煩雑で時間が
かかるとともに、該装置の構造も複雑となってコストが
かかるという問題点があった。
器ミラー（８）、（７）の交換、アパーチャ（１６）の
メンテナンスを行なうためには、ベローズ継手（１１）
を取外して行なわなくてはならず、作業が煩雑で時間が
かかるとともに、該装置の構造も複雑となってコストが
かかるという問題点があった。
さらに、ベローズ継手（１１）は一種のばねであり、そ
の剛性力のために、マイクロメータ（１４）でミラーｍ
整板（１０）を微動させて共振器ミラー（８）。
の剛性力のために、マイクロメータ（１４）でミラーｍ
整板（１０）を微動させて共振器ミラー（８）。
（７）を調整しようとしても、該調整をスムースに行な
うことが困難であるという問題点もあった。
うことが困難であるという問題点もあった。
この発明はかかる問題点を解決するためになされたもの
で、従来装置に比べ、構造が簡単で、かつメンテナンス
の容易な共振器ミラー調整装置を得ることを目的とする
。
で、従来装置に比べ、構造が簡単で、かつメンテナンス
の容易な共振器ミラー調整装置を得ることを目的とする
。
この発明に係る共振器ミラー調整装置は、レーザ発振器
の筐体にレーザ光が通過する穴を形成し、ミラー調整板
をこの筐体と所定の間隔を保持させて取付けるとともに
、この間隔を調整する調節機構を該ミラーｒＪＲ整板に
設け、共振器ミラーをこのミラー調整板に取付け、レー
ザ光が通過する孔が形成されたアパーチャを、上記ミラ
ー調整板に共振器ミラーの周縁を覆って取付け、上記ア
パーチャは上記筐体の穴に対してシール部材を介して摺
動可能に配設したものである。
の筐体にレーザ光が通過する穴を形成し、ミラー調整板
をこの筐体と所定の間隔を保持させて取付けるとともに
、この間隔を調整する調節機構を該ミラーｒＪＲ整板に
設け、共振器ミラーをこのミラー調整板に取付け、レー
ザ光が通過する孔が形成されたアパーチャを、上記ミラ
ー調整板に共振器ミラーの周縁を覆って取付け、上記ア
パーチャは上記筐体の穴に対してシール部材を介して摺
動可能に配設したものである。
この発明においては、ミラー調整板に直接取付けたアパ
ーチャを、筐体の穴に対して間隙を保持して配設させた
から、軸方向に移動可能であるとともに、アパーチャと
、筐体の穴の内周面との間にはシール部材を配設したか
ら、筐体内側と外側とを完全にシールすることができる
。
ーチャを、筐体の穴に対して間隙を保持して配設させた
から、軸方向に移動可能であるとともに、アパーチャと
、筐体の穴の内周面との間にはシール部材を配設したか
ら、筐体内側と外側とを完全にシールすることができる
。
以下第１図及び第２図に示したこの発明の一実施例に基
づいて、従来と同−又は相当部分には同一符号を付して
、この発明の特徴を中心に説明する。第１図は本実施例
装置の正面断面図であり、第２図は同じく側面図である
。
づいて、従来と同−又は相当部分には同一符号を付して
、この発明の特徴を中心に説明する。第１図は本実施例
装置の正面断面図であり、第２図は同じく側面図である
。
図において（ｌａ）はレーザ発振器の筐体（１）に形成
され、レーザ光が通過する穴であり、この穴（１ａ）の
内面は滑らかに仕上げである。 （１（１）はほぼ中央
部に貫通孔（１０ａ）が形成され、筐体（１）に所定の
間隔を保持して取付けられたミラー調整板であり、この
ミラー調整板（１０）には上記間隔のｒｉＩＷＩを行な
って共振器ミラー（８）、（７）の方向の微調整を行な
うための調節機構（３０）が備えである。この実施例に
おけるｙＲｓ機構（３０）は、筐体（１）に固定された
支点棒受け（１２）に先端が装着され、かつミラー調整
板（１０）に係合した支点棒（１３）と、ミラー調整板
（１０）に取付けられて、この支点棒（１３）を支点と
して、筐体（１）に当接しているスピンドル（＋４ａ）
が出没してミラー調整板（１０）を矢印Ｃ方向に微動さ
せる複数（この実施例では２個）のマイクロメータ（１
４）とから構成されている。
され、レーザ光が通過する穴であり、この穴（１ａ）の
内面は滑らかに仕上げである。 （１（１）はほぼ中央
部に貫通孔（１０ａ）が形成され、筐体（１）に所定の
間隔を保持して取付けられたミラー調整板であり、この
ミラー調整板（１０）には上記間隔のｒｉＩＷＩを行な
って共振器ミラー（８）、（７）の方向の微調整を行な
うための調節機構（３０）が備えである。この実施例に
おけるｙＲｓ機構（３０）は、筐体（１）に固定された
支点棒受け（１２）に先端が装着され、かつミラー調整
板（１０）に係合した支点棒（１３）と、ミラー調整板
（１０）に取付けられて、この支点棒（１３）を支点と
して、筐体（１）に当接しているスピンドル（＋４ａ）
が出没してミラー調整板（１０）を矢印Ｃ方向に微動さ
せる複数（この実施例では２個）のマイクロメータ（１
４）とから構成されている。
（Ｅｉ）、（７）はミラー調整板（ｌＯ）のほぼ中央部
に配設された共振器ミラーを示しており、全反射鏡（６
）又は部分反射鏡（７）のどちらであってもよい。
に配設された共振器ミラーを示しており、全反射鏡（６
）又は部分反射鏡（７）のどちらであってもよい。
（１６）は共振器ミラー（ｅ）、（７）の周縁を覆って
ミラー調整板（１０）のほぼ中央部に取付けられて、レ
ーザ光が通過する孔（ｌｅａ）が形成されたアパーチャ
であり、このアパーチャ（１Ｂ）は筐体（１）の穴（１
ａ）に対して間隙を保持して配設され、かつ外周部には
シール部材（３１）が配設されたｆｉＩ！（１８ｂ）が
形成されている。したがって、このアパーチャ（１６）
は、筐体（１）の穴（Ｉａ）に対してシール部材（３り
を介して軸方向に摺動可能に配設されていることとなる
。なお、この実施例ではシール部材（３１）として０リ
ングを用いた場合を示している゛。
ミラー調整板（１０）のほぼ中央部に取付けられて、レ
ーザ光が通過する孔（ｌｅａ）が形成されたアパーチャ
であり、このアパーチャ（１Ｂ）は筐体（１）の穴（１
ａ）に対して間隙を保持して配設され、かつ外周部には
シール部材（３１）が配設されたｆｉＩ！（１８ｂ）が
形成されている。したがって、このアパーチャ（１６）
は、筐体（１）の穴（Ｉａ）に対してシール部材（３り
を介して軸方向に摺動可能に配設されていることとなる
。なお、この実施例ではシール部材（３１）として０リ
ングを用いた場合を示している゛。
（３２）はミラー調整板（１０）の内部に設けた冷却水
通路であり、常に冷却水を供給して、アパーチャ（１６
）、共振器ミラー（８）、（７） 、 ミラー調整板
（ｌＯ）等を冷却するようにしている。上記冷却の理由
は、マイクロメータ（１４）による調整はマイクロラジ
アン単位の極めて精密なものが必要であるため、及びレ
ーザ光の通過、反射等によってアパーチャ（１Ｂ）、共
振器（８）、（７）が異常高温になることを防止するた
めである。したがって、この冷却水通路（３２）はアパ
ーチャ（１Ｂ）及び共振器ミラー（６）。
通路であり、常に冷却水を供給して、アパーチャ（１６
）、共振器ミラー（８）、（７） 、 ミラー調整板
（ｌＯ）等を冷却するようにしている。上記冷却の理由
は、マイクロメータ（１４）による調整はマイクロラジ
アン単位の極めて精密なものが必要であるため、及びレ
ーザ光の通過、反射等によってアパーチャ（１Ｂ）、共
振器（８）、（７）が異常高温になることを防止するた
めである。したがって、この冷却水通路（３２）はアパ
ーチャ（１Ｂ）及び共振器ミラー（６）。
（７）の近傍に配設することが望ましい、なお、冷却水
通路（３２）及び流れ方向（矢印参照）は第２図に示し
てあり、図中（３２ａ）はプラグを示す。
通路（３２）及び流れ方向（矢印参照）は第２図に示し
てあり、図中（３２ａ）はプラグを示す。
（３３）はシール部材であり、ミラー調整板（ｌＯ）、
共振器ミラー（８）、（７） 、アパーチャ（１６）を
互いに密封するためのものである。この実施例ではシー
ル部材（３３）として０リングの場合を示している。
共振器ミラー（８）、（７） 、アパーチャ（１６）を
互いに密封するためのものである。この実施例ではシー
ル部材（３３）として０リングの場合を示している。
よって、０リング（３１）、（３３）によりレーザ発振
器内部側Ａと外部側Ｂとは完全に遮断されていることと
なる。
器内部側Ａと外部側Ｂとは完全に遮断されていることと
なる。
したがって、上記構成の共振器ミラー調整装置では従来
必要であったベローズ継手（１１）やマイクロメータの
受は金（１５）等が不要となって装置の小型化、簡略化
を実現することができ、装置のコストダウンが実現され
る。
必要であったベローズ継手（１１）やマイクロメータの
受は金（１５）等が不要となって装置の小型化、簡略化
を実現することができ、装置のコストダウンが実現され
る。
また、アパーチャ（１６）、共振器ミラー（［１）、（
７）等のメンテナンス時に、アパーチャ（１８）をミラ
ー調整板（１０）から取外せば、同時に共振器ミラー（
Ｅｌ）、（７）も取外すことができて作業性がよくなる
。
７）等のメンテナンス時に、アパーチャ（１８）をミラ
ー調整板（１０）から取外せば、同時に共振器ミラー（
Ｅｌ）、（７）も取外すことができて作業性がよくなる
。
なお、この実施例では、第２図に示すように、アパーチ
ャ（１６）を、各マイクロメータ（１４）と支点棒（１
３）とを結ぶ線（Ｊｊｌ）、Ｃ文２）がなす角（θ）の
２等分線（文）上に位置させた場合を示しているが、こ
れに限られるものではない。
ャ（１６）を、各マイクロメータ（１４）と支点棒（１
３）とを結ぶ線（Ｊｊｌ）、Ｃ文２）がなす角（θ）の
２等分線（文）上に位置させた場合を示しているが、こ
れに限られるものではない。
この発明は以上説明したとおり、アパーチャをミラー調
整板に直接取付け、該アパーチャを筐体の穴に対してシ
ール部材を介して摺動可能としたことから、ミラー調整
装置の構造を大幅に簡略化できて小型化できるとともに
アパーチャや共振器ミラー等のメンテナンス作業時には
、ミラー調整装置全体を取外すことが可能となり、作業
が容易になるという効果がある。
整板に直接取付け、該アパーチャを筐体の穴に対してシ
ール部材を介して摺動可能としたことから、ミラー調整
装置の構造を大幅に簡略化できて小型化できるとともに
アパーチャや共振器ミラー等のメンテナンス作業時には
、ミラー調整装置全体を取外すことが可能となり、作業
が容易になるという効果がある。
第１図はこの発明の一実施例を示す正面断面図、第２図
は同じく側面図、第３図はレーザ発振器の内部構造を示
す概略図、第４図は従来の共振器ミラー調整装置を示す
正面断面図であって第１図相当図である。 （１）・・・筐体、 （ｌａ）・・・穴、（８）
、（７）・・・共振器ミラー、 （１０）・・・ミラー調整板、（１４）・・・調節機構
、（１６）・・・アパーチャ、 （Ｉｆ（ａ）・・・孔
、（３１）・・・シール部材 （０リング）、（３２）
・・・冷却水通路。 なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
は同じく側面図、第３図はレーザ発振器の内部構造を示
す概略図、第４図は従来の共振器ミラー調整装置を示す
正面断面図であって第１図相当図である。 （１）・・・筐体、 （ｌａ）・・・穴、（８）
、（７）・・・共振器ミラー、 （１０）・・・ミラー調整板、（１４）・・・調節機構
、（１６）・・・アパーチャ、 （Ｉｆ（ａ）・・・孔
、（３１）・・・シール部材 （０リング）、（３２）
・・・冷却水通路。 なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (4)
- （１）レーザ光が通過する穴が形成されたレーザ発振器
の筐体と、この筐体に所定の間隔を保持して取付けられ
、該間隔の調節を行なう調節機構を備えたミラー調整板
と、このミラー調整板に取付けられた共振器ミラーと、
この共振器ミラーの周縁を覆って上記ミラー調整板に取
付けられ、レーザ光が通過する孔が形成されたアパーチ
ャとを備え、このアパーチャは上記筐体の穴に対してシ
ール部材を介して摺動可能に配設されたことを特徴とす
る共振器ミラー調整装置。 - （２）上記ミラー調整板は冷却水通路を備えたことを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の共振器ミラー調整
装置。 - （３）上記シール部材はＯリングであることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項又は第２項記載の共振器ミラー
調整装置。 - （４）上記共振器ミラーとアパーチャとは、ミラー調整
板のほぼ中央部に配設したことを特徴とする特許請求の
範囲第１項ないし第３項のいずれかに記載の共振器ミラ
ー調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21747286A JPS6373575A (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 | 共振器ミラ−調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21747286A JPS6373575A (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 | 共振器ミラ−調整装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6373575A true JPS6373575A (ja) | 1988-04-04 |
Family
ID=16704768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21747286A Pending JPS6373575A (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 | 共振器ミラ−調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6373575A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002111099A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-12 | Miyachi Technos Corp | レーザ発振装置 |
| JP2008177607A (ja) * | 2008-04-07 | 2008-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 調整式鏡保持機構とスラブレーザ |
-
1986
- 1986-09-16 JP JP21747286A patent/JPS6373575A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002111099A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-12 | Miyachi Technos Corp | レーザ発振装置 |
| JP2008177607A (ja) * | 2008-04-07 | 2008-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 調整式鏡保持機構とスラブレーザ |
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