JPS637452U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS637452U JPS637452U JP9981786U JP9981786U JPS637452U JP S637452 U JPS637452 U JP S637452U JP 9981786 U JP9981786 U JP 9981786U JP 9981786 U JP9981786 U JP 9981786U JP S637452 U JPS637452 U JP S637452U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- workpiece
- polishing cloth
- air
- processed
- Prior art date
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- Pending
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- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Description
第１図は本考案による表面研磨装置の一実施例
の一部断面を含む側面図、第２図は従来の表面研
磨装置の断面図である。 図面中、２０は基台、２１はレール、２２は車
輪、２３は架台、２４は駆動取付台、２５は駆動
装置、２６はアルミニウム板、２７は取付治具、
２８は研磨布、２９はエアバツグ、３０はカバー
、３１は空気吹付け装置、３２は支持台、３３は
計数器、３４，３５は導線、３６は乾燥用空気、
３７は吹付け空気制御装置である。
の一部断面を含む側面図、第２図は従来の表面研
磨装置の断面図である。 図面中、２０は基台、２１はレール、２２は車
輪、２３は架台、２４は駆動取付台、２５は駆動
装置、２６はアルミニウム板、２７は取付治具、
２８は研磨布、２９はエアバツグ、３０はカバー
、３１は空気吹付け装置、３２は支持台、３３は
計数器、３４，３５は導線、３６は乾燥用空気、
３７は吹付け空気制御装置である。
Claims (1)
- 被処理物が取り付けられる架台と、前記被処理
物上に押し当てられ上記被処理物の表面を研磨す
る研磨液が含浸された研磨布と、上記被処理物と
研磨布とを相対的に往復運動させる駆動装置と、
上記研磨布と被処理物との相対的往復運動の回数
を検出する計数器と、乾燥用空気を上記被処理物
の表面に吹き付ける空気吹付け手段と、上記計数
器からの検出信号に基づいて空気吹付手段を研磨
回数に応じた研磨布の所望の乾燥具合いが得られ
るように制御する吹付け空気制御手段とを備えた
ことを特徴とする表面研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9981786U JPS637452U (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9981786U JPS637452U (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS637452U true JPS637452U (ja) | 1988-01-19 |
Family
ID=30969047
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9981786U Pending JPS637452U (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS637452U (ja) |
-
1986
- 1986-07-01 JP JP9981786U patent/JPS637452U/ja active Pending
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