JPS6380587A - ガスレ−ザ発振装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、レーザ媒質ガス？放電励起してレーザビーム
を発振するガスレーザ発振装置に関するものである。

従来の技術 レーザ媒質ガスを放電励起し、効率よくレーザビームを
取シ出すためには、放電状態を常にグロー放電にしてお
くことが不可欠であることは周知である。このため、従
来は、レーザ媒質ガス圧力をグロー放電に適するよう数
＋Ｔｏｒｒ　前後にし、かつ放電電流をアーク放電に移
行しない程度に抑制していた。

ところが、ガスレーザ発振装置の小型化、低価格化の必
要性の一手段として、レーザ媒質ガス圧力を上昇させ、
かつ多食の放電電流を注入するようになった。

発明が解決しようとする問題点 このため、放電状態がグロー放電からアーク放電へ移行
してしまい、効率のよいレーザ発振が不可能となる。

したがって、圧力の高いレーザ媒質ガスでかつ、放電電
流を増大させても、グロー放電状態といかに維持するか
が問題となる。

問題点を解決するための手段 本発明は上記問題点を解決するため、レーザ媒質ガスを
放電励起するための放電用電極の電子放出面は凸の曲率
を有する構成としてなるものである。

作　　用 キ記構成により、放電用電極の電子放出面における電界
分布の集中が緩和され、グロー放電からアーク放電への
移行が生じにくくなる。

実施例 以下、本発明の実施例について添付図面を参照して説明
する。

第１図において、１はタングステン焼結合金よりなる放
電用電極であり、レーザ媒質ガスを放電励起するための
ものである。２は放電用電極１１の内面である電子放出
面であり、内方へ突出した凸の曲率（正の曲率）を有す
る。３は放電用電極１の電子放出面２以外を被覆した絶
縁物、４はレーザガン、５は放電部である。

上記構成において、放電用電極１の電子放出面２が凸の
曲率を有することにより、電子放出面２の近傍における
局部的な電界集中が緩和される。

また、放電用電極１．特にその電子放出面２がタングス
テン焼結合金であることにより、タングステン粒子と細
粒子との電気伝導率の差による電子放出分布の分散が行
われる。

さらに、放電用電極１の電子放出面２以外を絶縁物３で
被覆したことにより、大電子放出面積の電子放出分布の
不均一性を抑制することができる。

第２図は本実施例および従来例における出力特性を示し
ておシ、本実施例によれば、ガス圧および放電電流の増
加にともなって、効率よく出力が増加していることがわ
かる。

発明の効果 以上のように本発明によれば、放電用電極の電子放出面
を凸の曲率を有する構成としたことにより電子放出面の
近傍における局部的な電界集中が緩和逼れ、グロー放電
が維持され易くなり、効率の良いレーザ発振が可能なガ
スレーザ発振装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例におけるガスレーザ発振装置の
要部断面図、第２図は本実施例および従来例の出力特性
図である。 １・・・・・・放電用電極、２・・・・・・電子放出面
、３・・・・・・絶縁物。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
図 第２図 ガ入玉×既電慌

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）レーザ媒質ガスを放電励起するための放電用電極
   の電子放出面は凸の曲率を有することを特徴とするガス
   レーザ発振装置。
2. （２）放電用電極の電子放出面以外を絶縁物で被覆した
   特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ発振装置。
3. （３）放電用電極の電子放出面はタングステンを含む合
   金からなる特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ発振
   装置。