JPS638076Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は半導体製造装置において加熱用電源と
して用いられる高周波誘導加熱用発振機のスイツ
チング回路ユニツトの取付構造に関する。

（従来技術） 例えばエピタキシヤル膜生成装置のような半導
体製造装置においては、反応管内の半導体ウエー
ハを高周波で誘導加熱するための電源として高周
波発振機が用いられているが、この種の発振機は
大出力を要求されるため、そのスイツチング回路
にGTO等のサイリスタよりなる半導体能動素子
が用いられる場合、多数の素子を必要とする。こ
の場合、スイツチング回路ユニツトは、保持部材
としての絶縁製ベース上に多数の半導体能動素子
を配設した構成を有しており、このスイツチング
回路ユニツトが筐体内に取付けられて収納され
る。

一方、半導体製造装置においては、その設置場
所を高度にクリーンルーム化しなければならない
ために、その設置場所における単位面積当りの投
資額は多大にならざるを得ない。そこで、投資額
を少しでも低減するために、半導体製造装置の設
置場所の面積を少しでも削減するための努力が払
われるものであり、そこに収容される装置は、小
型かつ省スペース型のものが要求されることにな
る。このことは上述した高周波誘導加熱用発振機
においても例外でなく、このため、そのスイツチ
ング回路ユニツトもきわめて小型に構成され、そ
のユニツトに含まれるサイリスタ等の半導体能動
素子が高密度化する。さらにこれら半導体能動素
子の周辺には各種電気部品が密集して取付けられ
ることになるから、故障修理または保守点検時の
作業製が著しく悪化し、上記故障修理または保守
点検のためにスイツチング回路ユニツトを筐体外
に取出してからこれを再び筐体内に収容するまで
に多大の時間を要するため生産性を低下させてい
た。

（考案の目的） 本考案は、機器の小型化および省スペース化を
図るとともに、故障修理または保守点検時の作業
性を向上させたスイツチング回路ユニツトの取付
構造を提供することを目的とする。

（考案の構成） 本考案の特徴は、スイツチング回路ユニツトを
保持する保持部材をアーム状フレーム部材の一端
に枢動可能に取付け、かつこのアーム状フレーム
部材の他端を筐体に枢動可能に取付けた構成と
し、上記アーム状フレーム部材と保持部材とを枢
動させることによつて、スイツチング回路ユニツ
トを所望の姿勢をもつて容易に筐体外に取出しう
るようにしたことにある。

（考案の効果） 上記構成により、半導体能動素子を多用する高
周波誘導加熱用発振機においても、故障修理時あ
るいは保守点検時のアクセスがきわめて容易とな
り、さらに小型かつ高密度化を可能になる効果が
ある。

（実施例） 以下本考案の一実施例について、図面を参照し
て詳細に説明する。

第１図は能動素子を半導体化した高周波発振機
における高周波変換回路部分の配置を示す正面図
で、第２図はその平面図である。スイツチング回
路ユニツト１は絶縁材料よりなる板状の保持部材
２を有し、この保持部材２上に、保持部材２とほ
ぼ同一形状の導電性リード板３が固定されてい
る。リード板３上には12個のサイリスタＴ
（GTO）が、それらのアノードをリード板３上に
固着した態様で配設されている。４は、上記した
リード板３よりも若干小面積の導電性リード板
で、これにすべてのサイリスタＴのカソードが電
気的、機械的に接続されている。すべてのサイリ
スタＴのゲートはさらに小面積の導電性リード板
５に接続されているが、このリード板５は絶縁性
連結部材６を介してリード板４上に取付けられ、
さらにこのリード板５上に、スイツチング回路ユ
ニツト１を動作させる回路ユニツト７が絶縁性連
結部材８を介して取付けられている。

以上がスイツチング回路ユニツト１の構成であ
るが、このようなユニツト１は、筐体９の左右の
側壁９Ｌ、９Ｒの内面に沿つてフレーム部材１０
を介してそれぞれ２個ずつ取付けられ、本実施例
では、サイリスタT1個につき約1kWの発振機出
力を担当し、合計出力50kWの構成となされてい
る。フレーム部材１０は、その上縁１０ａおよび
下縁１０ｂの筐体入口側の端部にそれぞれ上方お
よび下方へ突出して設けられた軸１１ａ，１１ｂ
を備えており、この軸１１ａ，１１ｂが筐体９の
側壁９Ｌ，９Ｒの内面に固定された軸受部材１２
ａ，１２ｂにそれぞれ枢着されていることによ
り、フレーム部材１０が第２図のＡ点を中心にし
て枢動しうるように構成されている。またフレー
ム部材１０の主表面１０ｃ上には、その筐体９の
奥側の位置に、上下方向に間隔をおいて、２本の
支柱１３ａ，１３ｂが突設されている。一方、ス
イツチング回路ユニツト１の保持部材２の一縁部
から延長して形成された突片１４ａ，１４ｂの先
端に軸１５ａ，１５ｂが下方へ突設され、この軸
１５ａ，１５ｂが支柱１３ａ，１３ｂの先端に枢
着されていることにより、スイツチング回路ユニ
ツト１が第２図のＢ点を中心に枢動しうるように
構成されている。なお、１６，１７はフレーム部
材１０の主表面１０ｃ上に配設された電気抵抗お
よびコンデンサである。

本考案は上述のような構成を有することによ
り、故障修理あるいは保守点検に際しては、まず
フレーム部材１０を第２図の点Ａを中心にして枢
動させてスイツチング回路ユニツト１を筐体９外
に取出し、次にスイツチング回路１を第２図の点
Ｂを中心にして枢動させれば、スイツチング回路
ユニツト１を第２図に仮想線で示されているよう
な所望の姿勢とすることができるから、故障修理
あるいは保守点検がきわめて容易であるととも
に、スイツチング回路１の筐体９外への取出しお
よび収納をきわめて迅速になしうるから、生産性
を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す正面図、第２
図はその平面図である。 図において、１はスイツチング回路ユニツト、
２は保持部材、３，４，５はリード板、６，８は
連結部材、７は回路ユニツト、９は筐体、１０は
フレーム部材をそれぞれ示す。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 保持部材とその上に配設された多数の半導体能
   動素子を有しておりかつ筐体内に収納されたスイ
   ツチング回路ユニツトを具備した高周波誘導加熱
   用発振機のスイツチング回路ユニツトの取付構造
   において、 前記スイツチング回路ユニツトの前記保持部材
   がフレーム部材の一端に枢動可能に取付けられ、
   かつ前記アーム状フレーム部材の他端が前記筐体
   に枢動可能に取付けられており、前記フレーム部
   材と前記保持部材とを枢動させることにより、前
   記スイツチング回路ユニツトが前記筐体から外に
   所望の姿勢をもつて取出されうるようになされた
   ことを特徴とする高周波誘導加熱用発振機のスイ
   ツチングユニツトの取付構造。