JPS6381248A - ガス分析装置 - Google Patents
ガス分析装置Info
- Publication number
- JPS6381248A JPS6381248A JP22477586A JP22477586A JPS6381248A JP S6381248 A JPS6381248 A JP S6381248A JP 22477586 A JP22477586 A JP 22477586A JP 22477586 A JP22477586 A JP 22477586A JP S6381248 A JPS6381248 A JP S6381248A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- laser light
- intersected
- point
- analysis
- Prior art date
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- Pending
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
この発明は、ガス分析装置に関する。
（従来の技術）
半導体プロセス技術において、ＬＳＩパターンの微細化
、高集積化に伴い、各種ガスを用いたドライプロセスの
重要性はますます高まって来た。
、高集積化に伴い、各種ガスを用いたドライプロセスの
重要性はますます高まって来た。
しかしド、ライブ四七スには、まだ、多くの問題が残さ
れており、理論より実験と応用が先行している０そこで
、現在、プロセスの機構解明、装置の最適化、微細化に
対応するため、ガス分析を中心とする評価技術の確立が
急務となっている。
れており、理論より実験と応用が先行している０そこで
、現在、プロセスの機構解明、装置の最適化、微細化に
対応するため、ガス分析を中心とする評価技術の確立が
急務となっている。
ガス分析は、従来、公害関係や不活性ガスの分析が中心
に行われていた。例えば、半導体プロセス用ガス分析で
要求される条件は下記のとうりである。
に行われていた。例えば、半導体プロセス用ガス分析で
要求される条件は下記のとうりである。
（１）その場分析（ｉｎ ５ｉｔｅ）が可能である。
（２） 活性ガス（例えばシラン、ＰＨ，、Ｈ，Ｓ等
）の分析が行なえる。
）の分析が行なえる。
（３）空間分解能（測定点が変えられる）があること。
以上を満たす分析手法は非常に少なく、最近コヒーレン
ト反ストークスラマン分光法（ＣＡＲ８）、やレーザ誘
起蛍光法（ＬＩＦ）が応用され始めているがプロセス管
理層の分析方法としては実用的ではない。
ト反ストークスラマン分光法（ＣＡＲ８）、やレーザ誘
起蛍光法（ＬＩＦ）が応用され始めているがプロセス管
理層の分析方法としては実用的ではない。
（発明が解決しようとする問題点）
本発明は、上述した従来ガス分析法の欠点を改良したも
ので、空間分解能があるガス分析装置であり、特に半導
体プロセス用ガス分析装置に適したガス分析装置を提供
することを目的とする。
ので、空間分解能があるガス分析装置であり、特に半導
体プロセス用ガス分析装置に適したガス分析装置を提供
することを目的とする。
（問題を解決するための手段と作用
本発明は、ＣＡＲ８やＩ、ＩＦに比較して信号スペクト
ル解析が容易である発光分光法に注目し、種々の検討を
重ねた結果、空間分解能を持つ、レーザ誘起ブレークダ
ウン発光分光分析装置を完成した。すなわち本発明では
、ブレークダウン誘起用のレーザー光源を２つ用い、レ
ーザ、光を１点で交わらせその交点のみがブレークダウ
ンを起こす条件を満たすようにして、プラズマを発生さ
せ、その発光を分光して目的成分の分析を行う。空間分
解能すなわち測定位置はレーザ光源の２つもしくは１つ
の位置を変えることによりて変えられる。
ル解析が容易である発光分光法に注目し、種々の検討を
重ねた結果、空間分解能を持つ、レーザ誘起ブレークダ
ウン発光分光分析装置を完成した。すなわち本発明では
、ブレークダウン誘起用のレーザー光源を２つ用い、レ
ーザ、光を１点で交わらせその交点のみがブレークダウ
ンを起こす条件を満たすようにして、プラズマを発生さ
せ、その発光を分光して目的成分の分析を行う。空間分
解能すなわち測定位置はレーザ光源の２つもしくは１つ
の位置を変えることによりて変えられる。
ブレークダウンが誘起される条件は、ガス気王によって
変化するが、１００〜７６０ｍＨｇでは、０．５Ｊ以上
のレーザパルスがＩＱ ＭＷ／ ｃｒＩｇ以上の密度が
必要であり、レーザ光源は、Ｎｄ、ＹＡＧレーザー等強
力なものを用いる。通常パルス重数〜数十ｎｓ。
変化するが、１００〜７６０ｍＨｇでは、０．５Ｊ以上
のレーザパルスがＩＱ ＭＷ／ ｃｒＩｇ以上の密度が
必要であり、レーザ光源は、Ｎｄ、ＹＡＧレーザー等強
力なものを用いる。通常パルス重数〜数十ｎｓ。
エネルギー１０〜１０１００Ｏ／パルスのものが用いら
れる。発光は、分光器で分光後、検出する。分光器は、
近年広く用いられるようになった誘導結合プラズマ発光
分光法（ＩＣＰ）に用られるものがそのまま応用できる
。また検出器の光電子増培管、フォトダイオード・アレ
イ等の使用が可能である。
れる。発光は、分光器で分光後、検出する。分光器は、
近年広く用いられるようになった誘導結合プラズマ発光
分光法（ＩＣＰ）に用られるものがそのまま応用できる
。また検出器の光電子増培管、フォトダイオード・アレ
イ等の使用が可能である。
得られるスペクトルは、ＩＣＰのものとよく似ており、
解析は容易である。
解析は容易である。
（実施例）
本発明を実施するのに種々の様態が考えられるがその一
例を第１図および第２図に示す。Ｎｄ ’−ＹＡＧレ
ーザー１０をレンズ９で直径０．５ ｎ程度の平行光と
するその平行光１．２をプロセスチャンバー４内で交わ
らせる。その交点５から発生する光３をレンズで分光器
に集光させ、単色光とした後、光電子増培管８で検出す
る。測定位置４まレーザー発生装置及び光学系６及び分
光器７を移動することによって変えられる。検出した発
光スペクトルは、ＩＣＰ法と同様な方法で解析し、分析
値が得られる。
例を第１図および第２図に示す。Ｎｄ ’−ＹＡＧレ
ーザー１０をレンズ９で直径０．５ ｎ程度の平行光と
するその平行光１．２をプロセスチャンバー４内で交わ
らせる。その交点５から発生する光３をレンズで分光器
に集光させ、単色光とした後、光電子増培管８で検出す
る。測定位置４まレーザー発生装置及び光学系６及び分
光器７を移動することによって変えられる。検出した発
光スペクトルは、ＩＣＰ法と同様な方法で解析し、分析
値が得られる。
本発明によれば、従来非常に困難であった半導体素子ド
ライプロセス中の空間分解能のあるその場分析が可能と
なり、その工業的価値は大である。
ライプロセス中の空間分解能のあるその場分析が可能と
なり、その工業的価値は大である。
第１図は発光部の立体配置を説明する図、第２図は本発
明の実施例装置の概略を示す構成図である。 １・・・レーザー光（１）、 ２・・・レーザー光（
２）、３・・・測光方向、 ４・・・チャ・ンバ
ー、５・・・発光点、 ６・・・レーザー発生装
置及び光学系、 ７・・・分光ｔ？ｌ （モノクロメータ−）、８・・・
光電子増培管、 ９・・・レンズ、１０・・・Ｎｄ−Ｙ
ＡＧレーザー発生装置。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男
明の実施例装置の概略を示す構成図である。 １・・・レーザー光（１）、 ２・・・レーザー光（
２）、３・・・測光方向、 ４・・・チャ・ンバ
ー、５・・・発光点、 ６・・・レーザー発生装
置及び光学系、 ７・・・分光ｔ？ｌ （モノクロメータ−）、８・・・
光電子増培管、 ９・・・レンズ、１０・・・Ｎｄ−Ｙ
ＡＧレーザー発生装置。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男
Claims (2)
- （１）２つもしくはそれ以上の数のレーザー光源を用い
、これらのレーザー光源から発射するレーザー光の各々
の光路を出発点では異なる位置から出発させ、所定位置
で交又するように配置し、前記レーザー光の交又する交
点でのみプラズマ発生条件を満たすレーザー光を出力し
、その交点の発光を分光、検出して分析することを特徴
とするガス分析装置。 - （２）レーザー光の交点を移動させ空間分解能を持たせ
るよう構成したことを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載のガス分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22477586A JPS6381248A (ja) | 1986-09-25 | 1986-09-25 | ガス分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22477586A JPS6381248A (ja) | 1986-09-25 | 1986-09-25 | ガス分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6381248A true JPS6381248A (ja) | 1988-04-12 |
Family
ID=16819016
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22477586A Pending JPS6381248A (ja) | 1986-09-25 | 1986-09-25 | ガス分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6381248A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02242140A (ja) * | 1989-03-15 | 1990-09-26 | Hitachi Ltd | ブレイクダウン分光分析方法及び装置 |
| WO2007043912A1 (fr) * | 2005-10-11 | 2007-04-19 | Obshestvo S Ogranicennoi Otvetstvennostyu 'finstroi' | Analyseur de gaz spectral optoélectronique |
| WO2007043913A1 (fr) * | 2005-10-11 | 2007-04-19 | Obshestvo S Ogranicennoi Otvetstvennostyu 'finstroi' | Analyseur de gaz spectral optoelectronique |
| WO2007043911A1 (fr) * | 2005-10-11 | 2007-04-19 | Obshestvo S Ogranicennoi Otvetstvennostyu 'finstroi' | Analyseur de gaz spectral optoélectronique |
-
1986
- 1986-09-25 JP JP22477586A patent/JPS6381248A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02242140A (ja) * | 1989-03-15 | 1990-09-26 | Hitachi Ltd | ブレイクダウン分光分析方法及び装置 |
| WO2007043912A1 (fr) * | 2005-10-11 | 2007-04-19 | Obshestvo S Ogranicennoi Otvetstvennostyu 'finstroi' | Analyseur de gaz spectral optoélectronique |
| WO2007043913A1 (fr) * | 2005-10-11 | 2007-04-19 | Obshestvo S Ogranicennoi Otvetstvennostyu 'finstroi' | Analyseur de gaz spectral optoelectronique |
| WO2007043911A1 (fr) * | 2005-10-11 | 2007-04-19 | Obshestvo S Ogranicennoi Otvetstvennostyu 'finstroi' | Analyseur de gaz spectral optoélectronique |
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