JPS6384868U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6384868U JPS6384868U JP18067086U JP18067086U JPS6384868U JP S6384868 U JPS6384868 U JP S6384868U JP 18067086 U JP18067086 U JP 18067086U JP 18067086 U JP18067086 U JP 18067086U JP S6384868 U JPS6384868 U JP S6384868U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- material support
- exchange
- vacuum chamber
- support surface
- backward
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す正断面図、
第２図は第１図の一部の平面図、第３図は動作位
置を異にする部分正面図、第４図は従来例の正断
面図である。 １……真空室、３……材料支持台、５……材料
、６……交換室、８……蓋、１０……搬送装置。
第２図は第１図の一部の平面図、第３図は動作位
置を異にする部分正面図、第４図は従来例の正断
面図である。 １……真空室、３……材料支持台、５……材料
、６……交換室、８……蓋、１０……搬送装置。
Claims (1)
- 真空室の内部に回動自在に材料支持台を設置す
るとともに、材料交換位置まで回動された前記材
料支持台の材料支持面に対向する、前記真空室の
壁面に開口部を形成し、前記開口部に気密に進退
自在であつて、材料出し入れ用の蓋を備えた交換
室を設けるとともに、材料交換位置にある前記材
料支持台の前記材料支持面に下面が気密に接する
進入位置と、前記材料支持面から離れた退出位置
まで前記交換室を進退させる搬送装置を設けてな
る真空室の材料交換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18067086U JPS6384868U (ja) | 1986-11-25 | 1986-11-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18067086U JPS6384868U (ja) | 1986-11-25 | 1986-11-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6384868U true JPS6384868U (ja) | 1988-06-03 |
Family
ID=31124837
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18067086U Pending JPS6384868U (ja) | 1986-11-25 | 1986-11-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6384868U (ja) |
-
1986
- 1986-11-25 JP JP18067086U patent/JPS6384868U/ja active Pending