JPS6389209A - 孔あけ加工方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） この発明は２例えば微細孔あけ加工に係り。

特に孔が貫通したことを検出して加工を終了する孔あけ
加工方法に関する。

（従来の技術） 以下、従来よりワイヤボンディングに使用される被加工
物としてのキャピラリイの微細孔あけ加工方法について
第２図をり照して説明する。

上記被加工物としてのキャピラリイ１はＩＣやＬＳＩ等
の電子部品を製造する過程において使用されるワイヤボ
ンダのノズル部分である。このキャビラリイ１はその先
端部分に孔としての微細孔２を有しており、この微細孔
２より金線が先端側外側へ挿通されてこのキャビラリイ
１の先端より突出した金線を、ワイヤボンディングする
ものである。

そして、上記微細孔２の加工にはドリル３が使用されて
いる。このドリル３の直径は２０〜３０４であり極めて
微細なものである。

上記キャピラリイ１は第２図に示すようにチャック４に
その初期加工側５を外側に向けて固定する。ここで初期
加工側５とは上記キャピラリイ１にドリル３を切込む際
の切込み側を示す。

また、上記キャピラリイ１はその内側に後端側に開口す
る孔６が設けられて貫通側７を形成している。この貫通
側７は上記ドリル３をキャピラリィ１に切込み、微細孔
２を形成した後にドリル３の先端側が突出する側部を示
す。

そして、上記チャック４に固定されたキャピラリイ１の
初期加工側５に対向する位置に上記ドリル３を噛んで回
転し進退送り可能な刃物台８が設けられている。

このような構造の工作機械を使用して、キャビラリイ１
に微細孔２を形成する方法は、まず、上記ドリル３を始
動し回転および進み送りを与えて上記キャビラリイ１に
切込む。その後１作業者の判断によりドリル３の切込み
を停止し、刃物台８を後退させて目視によって貫通を確
認していた。

上述のような肉眼による貫通の確認では極めて微細な上
記微細孔２の加工状態を充分に把握することが困難であ
った。つまり、ドリル３を送り過ぎたり、送りが少なく
貫通されていない等の問題点があり、このため、加に後
キャピラリイ１をチャック４より外して、微細孔２を確
認後、再加工を行なうことがあった。

そして、上述のような確認のために多くの工数と作業時
間を要するとともに、送りの過剰等によりキャビラリイ
１やドリル３の破損を生じることがあり歩留りが低いと
いう問題点があった。

（発明が解決しようとする問題点） 上述のように、従来における孔あけ加工方法は、その孔
の貫通確認を作業者の目視に頼っていたため、被加工物
へのドリルの切込みすぎや、切込み不足等により、多く
の作業時間や工数を要するとともに、被加工物やドリル
の破損等が生じやすく１歩留りが悪く作業能率が低いと
いう欠点があった。

この発明は上記事情に着目してなされたもので。

作業者の目視による孔の貫通確認の必要がなく。

ドリルの送り不足や送り過ぎを防止し１歩留りおよび作
業能率を向上する孔あけ加工方法を提供することを目的
とする。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段及び作用）この発明は、
孔あけする被加工物とこの被加工物に孔をあけるドリル
とを相対的に前進させて。

上記被加工物に孔あけする孔あけ加工方法において、上
記被加工物のドリルによって初期に加工を受け−る初期
加工側と９貫通時において上記ドリルの先端部が突出す
る貫通側に、それぞれ流体圧力差をもたせ、上記被加工
物に孔が貫通したときに生ずる流体の圧力差もしくは流
量のいずれかの変化を検出し、孔あけ加工を終了するこ
とにより。

孔あけ加工の生産性を向上させる孔あけ加工方法にある
。

（実施例） 以下、この発明における一実施例を第１図を参照して説
明するが、第１図に示される工作機械の基本的構造は第
２図に示される従来のものと同様のため同一構成部分は
同一符号を付して説明を省略する。

第１図において１はキャピラリイ１である。このキャピ
ラリイ１はワイヤボンダの金線を供給するノズル部分で
あり、その先端部分には孔としての微細孔２を宵してい
る。

以下、この微細孔２の孔あけ加工に使用される工作機械
について説明する。第１図における９は上記キャピラリ
イ１を固定するチャックである。

このチャック９の前部にはキャビラリイ１の後部側を固
定することができる。また、このチャック９の後部には
管１０の一端１０ａが接続されている。さらに、チャッ
ク９の内側に位置するキャピラリイ１と管１０の間には
チャンバ１１が設けられてその隙間部を複数のＯリンフ
グ１２・・・によって気密性を保持されている。つまり
、孔あけ加工時における上記キャビラリイ１の後部と管
１０の間は上記チャンバ１１によって気密性を保持して
連通されている。

また、上記管１０にはその中途部に圧力計１３゜流量計
１４およびバルブ１５が順次チャック９側より設けられ
ており、他端１０ｂには接続部が形成されている。

この他端１０ｂには流体としての低圧ガス１０Ｃの図示
しない供給源が接続されている。ここで上記低圧ガス１
０ｃはＣＯ２やエアー等である。

以下、上述のような構造の工作機械を使用しての孔あけ
加工方法を説明する。

上記キャビラリイ１は略円柱状に形成されており、その
後端より図示しないドリルによって孔６が前加工されて
いる。この孔６の直径は上記孔としての微細孔２の直径
よりも大きい寸法で形成されて貫通側７を構成している
。ここで、）ｉ！ｊ通側子側７ャピラリイ１の貫通時に
おいて第１図に示すドリル３の先端が突出する側部を示
す。

そして、上記キャピラリイ１の貫通側７となる後端を上
記チャック９に固定する。つまり、上記チャンバ１１と
上記孔６の間にＯリング１２を介在させることにより気
密性を保持しながら連通させる。

つぎに、上記管１０の他端１０ｂに接続された図示しな
い流体としての低圧ガス１０ｃの供給源より一定の圧力
で低圧ガス１０ｃを圧送するとともに上記バルブ１５を
開放する。つまり、初期加工側５の大気圧よりも圧力の
高い低圧ガス１０ｃを圧送することにより、初期加工側
５と貫通側７に圧力差をもたせる。ここで、初期加工側
５はキャピラリイ１においてドリル３で始めに切り込み
を開始する側部である。

そして、」二記圧力計１３の値を検出しながら。

ドリル３に送りを加えて上記キャピラリイ１における明
期加工側５より切込む。

そして、上記圧力計１３の値が減少したときに上記ドリ
ル３の送りを停止し孔あけ加工を終了する。もしくは、
上記流量計１４の値を検出しながら加工をし２あらかじ
め計測した貫通時の値を示したときに、上記ドリル３の
送りを停止し、孔あけ加工を終了する。

上述のような孔あけ方法により、従来に比較して微細孔
２をあけるために要する工数および時間を低減すること
ができるとともに、ドリルの送り過ぎが原因でキャビラ
リイ１やドリル３を破損することがなくなり１歩留りを
向上させることができる。

なお、この発明は上記一実施例に限定されるものではな
い。例えば上記一実施例において流体としての低圧ガス
１０ｃはＣＯ２やエアー等であるが、気体に限定される
ものではなく液体も含まれる。また、上記貫通側７には
一定の圧力の低圧ガス１０ｃを圧送し、上記初期加工側
５には低圧ガス１０ｃよりも低い圧力の大気圧が存在す
ることにより、双方に流体圧力差をもたせているが、こ
れに限定されず初期加工側５と貫通側６に流体圧力差を
もたせる方法であればよく１貫通側７を真空ポンプ等で
初期加工側５よりも低圧にする方法等も含まれる。さら
に、上記一実施例で使用した工作機械や被加工物および
ドリル等の形状や寸法は、これに限定されるものではな
く、この発明の要旨に沿うものであればよい。

〔発明の効果〕

以上説明したようにこの発明によれば、孔あけ加工にお
ける貫通の確認が容品であるとともに確実であり、孔あ
け加工をしながら貫通を確認できるため作業能率を向−
Ｌ、Ｌ、ｍ加工物およびドリル等の破損を防止し９歩留
りの良好な孔あけ加工方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明における一実施例に使用される工作機
械と被加工物の側面図であり、第２図は従来より孔あけ
加工に使用されている工作機械と被加工物の側面図であ
る。 １・・・キャビラリイ　（被加工物）、２・・・微細孔
（孔）、３・・・ドリル、５・・・初期加工側、７・・
・貫通側、１０Ｃ・・・低圧ガス（流体）。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被加工物とこの被加工物に孔あけするドリルとを相対的
   に前進させ、被加工物に孔あけする孔あけ加工方法にお
   いて、上記被加工物の初期加工側と貫通側にそれぞれ流
   体圧力差をもたせ、上記被加工物に孔が貫通したときに
   生ずる流体の圧力差もしくは流量のいずれか一方の変化
   を検出し、孔あけ加工を終了することを特徴とする孔あ
   け加工方法。