JPS6393167A - 光起電力素子の製造方法 - Google Patents

光起電力素子の製造方法

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JPS6393167A
JPS6393167A JP61239504A JP23950486A JPS6393167A JP S6393167 A JPS6393167 A JP S6393167A JP 61239504 A JP61239504 A JP 61239504A JP 23950486 A JP23950486 A JP 23950486A JP S6393167 A JPS6393167 A JP S6393167A
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film
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cds
zns
manufacturing
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Naoki Suyama
陶山 直樹
Hiroshi Uda
宇田 宏
Kuniyoshi Omura
尾村 邦嘉
Mikio Murozono
幹夫 室園
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Panasonic Holdings Corp
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy
    • Y02E10/543Solar cells from Group II-VI materials

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は太陽電池、特に室内等の低照度下で使用可能な
CdS/CdTa構造の光起電力素子の製造方法に関す
るものである。
従来の技術 従来、CdS/CdTe構造の光起電力素子の製造技術
の一つとしてスクリーン印刷と、ベルトコンベア炉によ
る焼成とを用いた製造方法がある。この方法の特長は簡
単に実施でき、かつ量産性に富み、安価な光起電力素子
が得られることにある。
この製造方法でCdS焼結膜を得る方法として粒径2〜
3μmの高純度(6N)のCdS粉末に融剤として10
重量%のCd(J2  粉と適当量の粘結剤を加えて作
成したCdSペーストをガラス基板上に80メツシユの
ポリエステル製スクリーンを用いて印刷し、有孔蓋付き
アルミナポートに入れベルトコンベア式連続焼成炉で温
度690’C近傍で焼成することによって、C(is焼
結膜を形成するものがある(例えば1日本、ジャーナル
・アプライド・フィジックス、 Part 1 、VO
I、21 、A6.soo −801,1982)。
発明が解決しようとする問題点 しかしながら上記のような製造方法では、  CdS焼
結膜の膜厚が25μm以上になり、CaS側から光が入
射した場合接合部分に達する光量の絶対量が減少する。
またCaSの基礎吸収端(λ=62゜nm  )以下の
波長では光起電力効果がない。上記の点は、短波長側に
エネルギー分布をもち、かつ光エネルギー量の少ない蛍
光灯下で使用する太陽電池において重要な問題である。
基礎吸収端をより短波長側にシフトさせる方法として、
zns等のCdSよりもバンドギャップの広い材料をC
dS中に添加することが考えられてきだが、印刷、焼成
という工程では、良好な膜が得られていない。さらに、
従来の条件で印刷のスクリメッシュを変えてCdS膜厚
を減少させた場合、焼結膜中のピンホールが増加し、漏
れ電流が増加する。また、一般にCdS膜を減少させる
とCdS粒径が減少し膜厚低下分以上に膜抵抗が増加す
る。
本発明は上記問題点に鑑み、室内等の蛍光灯などの低照
度下で、光電変換特性の良好な光電素子の製造方法を提
供するものである。
問題点を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明の光起電力素子の製
造方法は、 CaS焼成膜の膜厚を減少させると同時に
スクリーン印刷するだめの泥状物中にZnS粉末をCd
S粉末に対し重量比で4〜12.6%加えたものでアシ
、好ましくはこれにさらに融剤としてCdCl2  を
CaS粉末とZnS粉末の合計量に対し重量比で17.
5〜30疹加えたものである。
作用 本発明は上記した構成によって、CdS側から光が入射
した場合、接合部分に達する光量の絶対量が増加し、 
ZnS添加によって、無添加の場合と比較してより短波
長側に光起電力効果が発生する。
さらにZnS添加によってCdS結晶形状が変わり、膜
厚が減少してもピンホールの少ない焼成膜が得られる。
そして、融剤であるC(iG52  量の最適化によっ
てCaS膜の膜透過率および膜抵抗が改善できる。Zn
Sを添加した場合1無添加の場合と比較して膜抵抗は増
加するが、低照度で発生する微弱電流の場合、光電変換
特性には影響をあたえないレベルであり1それ以上に前
記の効果の方が犬である。
実施例 以下本発明の一実施例の光起電力素子の製造方法につい
て図面を参照しながら説明する。
第1図は本発明の第1の実施例における光起電力素子の
断面図を示すものである。CdS焼成膜形成用泥状物中
のZnS粉末量及びCdCl2  量を変えて形成した
泥状物を図面1に示すようにアルカリ含有量0.2%以
下のバリウム硼珪酸ガラス基板1上にスクリーン印刷し
た後、N2雰囲気中において690’Cで30分間焼成
することにより、n型cds−zns  焼結膜2を形
成した。焼結膜の膜厚は。
印刷スクリーンのメツシュ数を変えて7〜26μmのも
のを作製した。このn型cds−zns 焼結膜2上に
Ca粉末とTe粉末を1,05対1.oOのモル比で配
合し、それに融剤としてCdCe2  をCdとToの
総重量に対して0.5重量%、粘結剤としてプロピレン
グリコールの適量を加えて混合し、泥状としだものをス
クリーン印刷して乾燥させた後、N2雰囲気中において
、580°Cで60分間焼成することによってCdTe
焼結膜3を形成した。次に、 CdTθ焼結膜3上に適
量のアクセプター不純物を添加した泥状カーボンをスク
リーン印刷して、カーボン膜4を形成させた後、N2雰
囲気中において450°Cで30分間熱処理することに
より。
カーボン中に含まれているアクセプター不純物がCaT
e焼結膜3内にドープした。こうしたn形Cd5−Zn
S 焼結膜2とP形CdTe焼結膜3との間に光起電力
効果をもつペテロ接合を形成した。次にCd5−ZnS
焼結膜2上およびカーボン膜4上にそれぞれオーミック
電極6.6を付けた後、各々の電極6.6からリード線
了を引き出した。
このようにして得られた素子においてCd5−ZnS焼
結膜形成条件と白色蛍光灯2oo1x下での単位面積当
りの最大出力Pmax (μW/d)との関係から、最
適Cd5−ZnS 焼結膜形成条件について説明する。
まず、第1に(dS−ZnS 膜中のZnS添加量およ
び融剤であるCdCl2  量を変えて作製した素子の
白色蛍光灯2oonx下での最大出力Pmaxを第2図
に示す。なお、 Cd5−ZnS 膜厚は26〜30μ
mで一定にした。図より、  Zn37.5%、CdC
A’225%でPm2Lxが極大値を示した。
Pmaxの向上には、 ZnSを4〜12.5%添加し
1CdC42を17.5〜30%を加えることが適切で
あることがわかる。
次に、前記の最適条件範囲内でCd5−ZnS 焼成膜
の膜厚を、印刷スクリーメッシュを変えて調製した素子
の出力特性を第3図に示す。膜厚が減少するとPmax
は増加し、12μm程度に最大値がみられる。12μm
以下に減少すると膜抵抗が増加するためpmaxは減少
する。したがってPmax向上には、Cd5−ZnS 
膜厚を8〜20μmの範囲で形成することが適切である
ことがわかる。
以上のように、本実施例によれば、  CdS膜形成用
泥状物中のZnS iをCdS重量に対して重量比で4
〜12.6%、 cac(42量を17.5〜30%の
範囲で作製し、印刷焼成後の膜厚を8〜20μmにする
ことにより、白色蛍光灯2oolx下等の短波長成分の
多い低照度光源下で1出力特性の高い光起電力素子を製
造することができる。
以下に本発明の第2の実施例について説明する。
素子構造およびその製法は、上記実施例とほぼ同一であ
るが、CdS、ZnS、CdCβ2粉末の混合物をあら
かじめ、微粉砕する点が異なる。
CdS粉末に対して重量比でZnSを75%、each
2を20%加え、CdS重量の2倍量の蒸留水を添加し
、遊星ポールミを用いて粉砕を行なった。粉砕後100
°Cで24時間以上乾燥し、上記実施例1の泥状物とし
て用いた。表1に粉砕時間と出力特性の関係を示す。
(以下 余 白) 表−1 以上のように、  CdS、ZnS  そして融剤であ
るCaCβ2 粉末の混合物に蒸留水を加えた系であら
かじめ微粉砕することによ−て、従来より白色蛍光灯2
001X下での最大出力を向上させることができる。
発明の効果 以上の本発明は、n−Cd5  膜とp−CdTe膜を
用いた光起電力素子において、CdS膜形成用の泥状物
件製に際し、CdS粉末に対して重量比でZnSを4〜
12.6%、 CdC42量を17.3〜30%の範囲
で添加し、あらかじめ微粉砕し、焼成後の膜厚を8〜2
0μmの範囲で形成することによって、白色蛍光灯2o
01x等の短波長成分の多い低照度光諒下で出力特性の
高い光起電力素子を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の製造方法により得られる光起電力素子
の一例を示す断面図、第2図はCaS粉末に対するZn
Sの添加量及びCdCl2  の添加量と最大光電変換
出力との関係を示す図、第3図はCaS膜厚と最大光電
変換出力との関係を示す図である。 1・・・・・・ガラス基板、2・・・・・・Ga5−Z
nS 焼結膜、3・・・・・・CdTe 焼結膜、4・
川・・カーボン膜、6・・・・・・オーミック電極、6
・・・・・・オーミック電極、7・山・・リード線。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第3

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)基板上に、CdS、ZnSもしくはこれらを含む
    化合物半導体からなる第1の膜を形成し、前記第1の膜
    とpn接合を形成する半導体物質よりなる第2の膜を、
    前記第1膜上に形成した光起電力素子を製造する際に、
    第1の膜厚を8〜20μmとすることを特徴とする光起
    電力素子の製造方法。
  2. (2)第1の膜の形成工程が、前記第1の膜をスクリー
    ン印刷する工程と、前記第1の膜を焼結する工程とから
    なる特許請求の範囲第1項記載の光起電力素子の製造方
    法。
  3. (3)前記基板がガラスである特許請求の範囲第1項記
    載の光起電力素子の製造方法。
  4. (4)前記基板がアルカリ含有量0.3重量%以下のバ
    リウム硼珪酸ガラスである特許請求の範囲第1項記載の
    光起電力素子の製造方法。
  5. (5)第1の膜をスクリーン印刷するに際し、CdS粉
    末、ZnS粉末および粘結剤、融剤よりなる泥状物を印
    刷する特許請求の範囲第2項記載の光起電力素子の製造
    方法。
  6. (6)第1の膜をスクリーン印刷するに際し、CdSと
    ZnSの固溶体粉末および粘結剤、融剤よりなる泥状物
    を印刷することを特徴とする特許請求の範囲第2項記載
    の光起電力素子の製造方法。
  7. (7)融剤がCdCl_2であり、その添加量がCdS
    粉末とZns粉末の合計量に対し重量比でその17.5
    〜30%である特許請求の範囲第5項記載の光起電力素
    子の製造方法。
  8. (8)ZnS粉末の量がCdS粉末に対し重量比でその
    4〜12.5%である特許請求の範囲第5項記載の光起
    電力素子の製造方法。
  9. (9)CdS、ZnSそしてCdCl_2粉末の混合物
    に分散媒を加えた系をあらかじめ微粉砕すると同時に均
    一に混合しておき、その後その乾燥物に粘結剤を添加し
    て泥状物を作製する特許請求の範囲第5項記載の光起電
    力素子の製造方法。
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5038483A (ja) * 1973-08-07 1975-04-09
JPS54141597A (en) * 1978-04-26 1979-11-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd Photoconductive cell
JPS54159194A (en) * 1978-06-07 1979-12-15 Agency Of Ind Science & Technol Manufacture for cadmium sulfide sintering film
JPS5555580A (en) * 1978-10-17 1980-04-23 Agency Of Ind Science & Technol Method of fabricating solar battery

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