JPS6399747U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の第１の実施例の断面図、第
２図および第３図はそれぞれ絶縁体の斜視図、第
４図は第２の実施例の断面図、第５図はそのコイ
ルの試料の斜視図、第６図は筒状体の試料の斜視
図、第７図は従来例の断面図である。 １……プラズマ生成室、２，３……絶縁体、４
……フイラメント、５……試料。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 陽極となる箱形のプラズマ生成室と、この
   プラズマ生成室内に一対の絶縁体を介して張設さ
   れてプラズマ生成用の熱電子を放出する陰極とな
   るフイラメントと、前記プラズマ生成室内に配置
   されて前記フイラメントにより加熱されて蒸発す
   る試料とを備えたイオン源。 (2) 前記試料は、前記絶縁体の一方に形成され
   た試料収納部に充填され、前記フイラメントの熱
   は前記フイラメントの輻射熱および前記絶縁体を
   介した伝熱である実用新案登録請求の範囲第(1)
   項記載のイオン源。 (3) 前記試料は、前記フイラメントに巻装され
   たコイルであり、前記フイラメントの熱は前記フ
   イラメントの伝熱および輻射熱である実用新案登
   録請求の範囲第(1)項記載のイオン源。 (4) 前記試料は、前記プラズマ生成室の内周面
   に配置された筒状体であり、前記フイラメントの
   熱は前記フイラメントの輻射熱である実用新案登
   録請求の範囲第(1)項記載のイオン源。