JPS6410041B2 - - Google Patents
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- JPS6410041B2 JPS6410041B2 JP55163183A JP16318380A JPS6410041B2 JP S6410041 B2 JPS6410041 B2 JP S6410041B2 JP 55163183 A JP55163183 A JP 55163183A JP 16318380 A JP16318380 A JP 16318380A JP S6410041 B2 JPS6410041 B2 JP S6410041B2
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- infrared reflector
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Classifications
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
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- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/09—Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors
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- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
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-
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- C03C17/3649—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer made of metals other than silver
-
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- C03C17/3652—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the coating stack containing at least one sacrificial layer to protect the metal from oxidation
-
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- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3657—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having optical properties
-
- G—PHYSICS
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Description
本発明は赤外線反射器に係る。
赤外線反射器は、熱線画像センシング・システ
ムにおいて、対象シーンを赤外線検出器へと走査
し反射するのに使用される。熱線画像装置に於け
る感度、従つて観察可能な対象シーンの範囲を最
大にするためには、すべての反射面ができる限り
多くの赤外線を反射することが必要である。付着
させた銀の薄層は良好な反射器となるが、残念な
がらすぐに曇つて、その反射能は急激に低下す
る。アルミニウムも良好な反射性材料であるが、
これもまた表面酸化により曇る。 酸化の問題を解決する一方法は、アルミニウム
を厚さ0.15μｍの酸化シリコンの薄層で被覆する
ことである。これはほぼ垂直の入射角ではかなり
大きな反射率を示すが、約40゜以上の入射角では
反射率が著しく減少する（以下の第１表乃至第４
表、特に第２表を参照）。特に、入射面に対し平
行な赤外線について、反射率Rpが著しく減少す
る．従つて熱線画像装置の赤外線反射器を酸化シ
リコンの薄層で被覆することは不適当である。 本発明は、高度に反射する面を有する基板と、
該基板を直接に、又は赤外線透過材料の薄い結合
層を介して被覆する、赤外線透過性のガラス状ダ
イヤモンド様炭素の薄膜とを含有し、約40゜以上
のような高入射角においても、入射面に対し垂直
及び平行な赤外線の両者について、反射率の実質
的な減少を示さない約３〜14μｍの波長用赤外線
反射器を提供するものである。 上記の高度に反射する面とは、金属、ガラス又
はプラスチツク材料の基板上に付着された銀、ア
ルミニウム、銅又は金の如き反射性材料の層であ
り得る。又は高度に反射する面は、アルミニウム
等の基板のかなり研摩された面であり得る。 以下本発明の実施例を添付図面を参照しながら
説明する。 第１図は赤外線反射器の一部断面図を示す。こ
の赤外線反射器は、洗浄且つ研摩された面２を有
するガラスの基板１を含む。この洗浄された面２
上に、ニツケルクロムの薄層を、次いでアルミニ
ウム層３を典型的には0.3μｍの厚さに、公知の方
法で蒸着させる。次に、例えば、0.1μｍの厚さの
シリコン又はゲルマニウムの薄層４をアルミニウ
ム層３に付着させ、これを結合層として、更に厚
さ0.15〜0.5μｍの赤外線透過性のガラス状ダイヤ
モンド様炭素薄層５をアルミニウム層３と十分に
結合させる。 又は、赤外線透過性のガラス状ダイヤモンド様
炭素の薄層５をアルミニウム層３に直接付着させ
得る。 赤外線透過性のガラス状ダイヤモンド様炭素層
のみならず、シリコン又はゲルマニウムの薄層も
実質的に赤外線放射に対して透過性である。これ
らの層は十分な物理的保護の性能を備えつつ、且
つできる限り薄くなければならない。例えば、層
５はピンホールが存在しないならば、0.5μｍ未満
でも良い。然し乍ら、耐摩耗性のためには炭素層
５は厚くても良いが、層が余り厚くなると赤外線
吸収率も高くなる。 第２図は、公知の熱線画像システムの概略図で
ある。前記システムは水平走査を行う回転式多面
ドラム１１上に対象シーンの熱線画像を集束させ
るゲルマニウムレンズを有する望遠レンズ１０を
含む。多面ドラム１１からの赤外線は凹面ストリ
ツプミラー１５及びフラツピングミラー１２上に
反射され、垂直走査が行われる。フラツピングミ
ラー１２からの赤外線はレンズ１７を介してデテ
クタアレイ１３上に反射される。デテクタアレイ
１３の出力は、増幅器１６に供給され、次にテレ
ビジヨンモニター１４のスクリーン上に対象シー
ンの熱線像を表示すべく使用される信号を形成す
る。 第２図から、ドラムはすべての入射角で、且つ
入射面に対し垂直及び平行な赤外線の両者につい
て、かなり反射するものでなければならないこと
は明白である。以下の第１表乃至第４表は各波長
に於ける種々の表面の反射率を詳細に示したもの
である。表中、Rsは入射面に対して垂直な反射
係数、Rpは入射面に対して平行な反射係数、0゜、
45゜、60゜は入射角を示す．
ムにおいて、対象シーンを赤外線検出器へと走査
し反射するのに使用される。熱線画像装置に於け
る感度、従つて観察可能な対象シーンの範囲を最
大にするためには、すべての反射面ができる限り
多くの赤外線を反射することが必要である。付着
させた銀の薄層は良好な反射器となるが、残念な
がらすぐに曇つて、その反射能は急激に低下す
る。アルミニウムも良好な反射性材料であるが、
これもまた表面酸化により曇る。 酸化の問題を解決する一方法は、アルミニウム
を厚さ0.15μｍの酸化シリコンの薄層で被覆する
ことである。これはほぼ垂直の入射角ではかなり
大きな反射率を示すが、約40゜以上の入射角では
反射率が著しく減少する（以下の第１表乃至第４
表、特に第２表を参照）。特に、入射面に対し平
行な赤外線について、反射率Rpが著しく減少す
る．従つて熱線画像装置の赤外線反射器を酸化シ
リコンの薄層で被覆することは不適当である。 本発明は、高度に反射する面を有する基板と、
該基板を直接に、又は赤外線透過材料の薄い結合
層を介して被覆する、赤外線透過性のガラス状ダ
イヤモンド様炭素の薄膜とを含有し、約40゜以上
のような高入射角においても、入射面に対し垂直
及び平行な赤外線の両者について、反射率の実質
的な減少を示さない約３〜14μｍの波長用赤外線
反射器を提供するものである。 上記の高度に反射する面とは、金属、ガラス又
はプラスチツク材料の基板上に付着された銀、ア
ルミニウム、銅又は金の如き反射性材料の層であ
り得る。又は高度に反射する面は、アルミニウム
等の基板のかなり研摩された面であり得る。 以下本発明の実施例を添付図面を参照しながら
説明する。 第１図は赤外線反射器の一部断面図を示す。こ
の赤外線反射器は、洗浄且つ研摩された面２を有
するガラスの基板１を含む。この洗浄された面２
上に、ニツケルクロムの薄層を、次いでアルミニ
ウム層３を典型的には0.3μｍの厚さに、公知の方
法で蒸着させる。次に、例えば、0.1μｍの厚さの
シリコン又はゲルマニウムの薄層４をアルミニウ
ム層３に付着させ、これを結合層として、更に厚
さ0.15〜0.5μｍの赤外線透過性のガラス状ダイヤ
モンド様炭素薄層５をアルミニウム層３と十分に
結合させる。 又は、赤外線透過性のガラス状ダイヤモンド様
炭素の薄層５をアルミニウム層３に直接付着させ
得る。 赤外線透過性のガラス状ダイヤモンド様炭素層
のみならず、シリコン又はゲルマニウムの薄層も
実質的に赤外線放射に対して透過性である。これ
らの層は十分な物理的保護の性能を備えつつ、且
つできる限り薄くなければならない。例えば、層
５はピンホールが存在しないならば、0.5μｍ未満
でも良い。然し乍ら、耐摩耗性のためには炭素層
５は厚くても良いが、層が余り厚くなると赤外線
吸収率も高くなる。 第２図は、公知の熱線画像システムの概略図で
ある。前記システムは水平走査を行う回転式多面
ドラム１１上に対象シーンの熱線画像を集束させ
るゲルマニウムレンズを有する望遠レンズ１０を
含む。多面ドラム１１からの赤外線は凹面ストリ
ツプミラー１５及びフラツピングミラー１２上に
反射され、垂直走査が行われる。フラツピングミ
ラー１２からの赤外線はレンズ１７を介してデテ
クタアレイ１３上に反射される。デテクタアレイ
１３の出力は、増幅器１６に供給され、次にテレ
ビジヨンモニター１４のスクリーン上に対象シー
ンの熱線像を表示すべく使用される信号を形成す
る。 第２図から、ドラムはすべての入射角で、且つ
入射面に対し垂直及び平行な赤外線の両者につい
て、かなり反射するものでなければならないこと
は明白である。以下の第１表乃至第４表は各波長
に於ける種々の表面の反射率を詳細に示したもの
である。表中、Rsは入射面に対して垂直な反射
係数、Rpは入射面に対して平行な反射係数、0゜、
45゜、60゜は入射角を示す．
【表】
【表】
【表】
【表】
【表】
アルミニウム層３を被覆するための装置を第３
図に示す。被覆されるべき部材２０（即ち基板１
及び層３）は密閉金属容器２１内に置かれ、次い
でこの容器２１は約10-5トルに真空ポンプで排気
される。メタン又はプロパンの如きガスが入口パ
イプ２７を介して容器２１内に継続的に導入さ
れ、圧力はポンプ２２及びガス入口パイプ２７の
調節により約10トルに維持される。容器２１の金
属部分はアース２３に接続され、一方、部材２０
は絶縁されたコネクタ２５を介して−700ボルト
の直流電源２４に接続される。その結果、ガスの
イオン化が生じ、水素及び炭素原子の解離も生起
する。炭素原子は加熱された部材２０上に衝突し
て、時間とともに厚みの増大する層（即ち層５）
を形成する。例えば、0.5μｍの厚みの層が約25分
で形成される。 直流グロー放電に対する別な方法として、高周
波グロー放電が使用できる。この方法では第２図
の直流電源の代りに約−700ボルトの陰極電位を
生ずるコンデンサ２６を介して供給される13MHz
の周波数の高周波電源が使用される。作動条件は
直流の場合とほぼ同じである。 前記の如くにして付着された炭素は、耐摩耗性
のダイヤモンドと類似の化学的に耐久性の、赤外
線透過性のガラス状ダイヤモンド様炭素の薄層を
形成し、赤外線放射、即ち約３〜14μｍの波長に
対して実質的に透過性である。グラフアイトのよ
うな軟い形状の炭素は適当ではないのである。 硬質炭素の付着及びその性質は、例えばThin
Solig Films58巻、101−105頁、107−116頁及び
117−120頁（1979）に記載されている。 層３にシリコン又はゲルマニウムの層４を付着
させるためには、第３図の装置を用いて、赤外線
透過性のガラス状ダイヤモンド様炭素の薄膜を付
着させる方法と同様の方法を行う。然し乍ら、シ
リコンを付着させるために使用するガスはシラン
（SiH4）であり、ゲルマニウムを付着させるため
にはゲルマン（GeH4）を使用する。このように
して、約1000Åの層を付着できる。又は、別の工
程で、高周波スパツタリングの如き従来の方法を
用いて、ゲルマニウム及びシリコンの層を付着で
きる。
図に示す。被覆されるべき部材２０（即ち基板１
及び層３）は密閉金属容器２１内に置かれ、次い
でこの容器２１は約10-5トルに真空ポンプで排気
される。メタン又はプロパンの如きガスが入口パ
イプ２７を介して容器２１内に継続的に導入さ
れ、圧力はポンプ２２及びガス入口パイプ２７の
調節により約10トルに維持される。容器２１の金
属部分はアース２３に接続され、一方、部材２０
は絶縁されたコネクタ２５を介して−700ボルト
の直流電源２４に接続される。その結果、ガスの
イオン化が生じ、水素及び炭素原子の解離も生起
する。炭素原子は加熱された部材２０上に衝突し
て、時間とともに厚みの増大する層（即ち層５）
を形成する。例えば、0.5μｍの厚みの層が約25分
で形成される。 直流グロー放電に対する別な方法として、高周
波グロー放電が使用できる。この方法では第２図
の直流電源の代りに約−700ボルトの陰極電位を
生ずるコンデンサ２６を介して供給される13MHz
の周波数の高周波電源が使用される。作動条件は
直流の場合とほぼ同じである。 前記の如くにして付着された炭素は、耐摩耗性
のダイヤモンドと類似の化学的に耐久性の、赤外
線透過性のガラス状ダイヤモンド様炭素の薄層を
形成し、赤外線放射、即ち約３〜14μｍの波長に
対して実質的に透過性である。グラフアイトのよ
うな軟い形状の炭素は適当ではないのである。 硬質炭素の付着及びその性質は、例えばThin
Solig Films58巻、101−105頁、107−116頁及び
117−120頁（1979）に記載されている。 層３にシリコン又はゲルマニウムの層４を付着
させるためには、第３図の装置を用いて、赤外線
透過性のガラス状ダイヤモンド様炭素の薄膜を付
着させる方法と同様の方法を行う。然し乍ら、シ
リコンを付着させるために使用するガスはシラン
（SiH4）であり、ゲルマニウムを付着させるため
にはゲルマン（GeH4）を使用する。このように
して、約1000Åの層を付着できる。又は、別の工
程で、高周波スパツタリングの如き従来の方法を
用いて、ゲルマニウム及びシリコンの層を付着で
きる。
第１図は赤外線反射器の一部断面図、第２図は
熱線画像システムの概略図、第３図は赤外線反射
器の反射面に赤外線透過性のガラス状ダイヤモン
ド様炭素の薄層、又はシリコン又はゲルマニウム
の薄層を付着させるための装置の断面図である。 １……基板、３……アルミニウム層、４……シ
リコン又はゲルマニウムの薄層、５……赤外線透
過性のガラス状ダイヤモンド様炭素層、１０……
望遠レンズ、１１……回転多面ドラム、１２，１
５……ミラー、１３……デテクタアレイ、１４…
…テレビジヨンモニター、１６……増幅器、１７
……レンズ、２０……被覆されるべき部材、２１
……容器、２２……ポンプ、２３……アース、２
４……電源、２５……コネクタ、２６……コンデ
ンサ、２７……入口パイプ。
熱線画像システムの概略図、第３図は赤外線反射
器の反射面に赤外線透過性のガラス状ダイヤモン
ド様炭素の薄層、又はシリコン又はゲルマニウム
の薄層を付着させるための装置の断面図である。 １……基板、３……アルミニウム層、４……シ
リコン又はゲルマニウムの薄層、５……赤外線透
過性のガラス状ダイヤモンド様炭素層、１０……
望遠レンズ、１１……回転多面ドラム、１２，１
５……ミラー、１３……デテクタアレイ、１４…
…テレビジヨンモニター、１６……増幅器、１７
……レンズ、２０……被覆されるべき部材、２１
……容器、２２……ポンプ、２３……アース、２
４……電源、２５……コネクタ、２６……コンデ
ンサ、２７……入口パイプ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 高度に反射する面を有する基板と、該基板を
直接に、又は赤外線透過材料の薄い結合層を介し
て被覆する、赤外線透過性のガラス状ダイヤモン
ド様炭素の薄膜とを具備し、約40゜以上のような
高入射角においても、入射面に対し垂直及び平行
な赤外線の両者について、反射率の実質的な減少
を示さないことを特徴とする約３〜14μｍの波長
用赤外線反射器。 ２ 結合層がシリコン層であることを特徴とする
特許請求の範囲第１項に記載された赤外線反射
器。 ３ 結合層がゲルマニウム層であることを特徴と
する特許請求の範囲第１項に記載された赤外線反
射器。 ４ 高度に反射する面が基板上の被膜により形成
されることを特徴とする特許請求の範囲第１項に
記載された赤外線反射器。 ５ 被膜が銀層であることを特徴とする特許請求
の範囲第４項に記載された赤外線反射器。 ６ 被膜がアルミニウム層であることを特徴とす
る特許請求の範囲第４項に記載された赤外線反射
器。 ７ 基板が赤外線像を走査するために軸のまわり
を回転するべく配置された多面ドラムであること
を特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第６項の
いずれかに記載された赤外線反射器。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB7940014 | 1979-11-20 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5687002A JPS5687002A (en) | 1981-07-15 |
| JPS6410041B2 true JPS6410041B2 (ja) | 1989-02-21 |
Family
ID=10509304
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16318380A Granted JPS5687002A (en) | 1979-11-20 | 1980-11-19 | Infrared reflector |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4383728A (ja) |
| EP (1) | EP0030792B1 (ja) |
| JP (1) | JPS5687002A (ja) |
| DE (1) | DE3064976D1 (ja) |
| GB (1) | GB2067304B (ja) |
Families Citing this family (33)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2514743B1 (fr) * | 1981-10-21 | 1986-05-09 | Rca Corp | Pellicule amorphe a base de carbone, du type diamant, et son procede de fabrication |
| EP0106637B1 (en) * | 1982-10-12 | 1988-02-17 | National Research Development Corporation | Infra red transparent optical components |
| US4704339A (en) * | 1982-10-12 | 1987-11-03 | The Secretary Of State For Defence In Her Britannic Majesty's Government Of The United Kingdom Of Great Britain And Northern Ireland | Infra-red transparent optical components |
| EP0106638A1 (en) * | 1982-10-12 | 1984-04-25 | National Research Development Corporation | Method and apparatus for growing material in a glow discharge |
| JPS604901A (ja) * | 1983-06-23 | 1985-01-11 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 被覆型プラスチツクレンズ |
| JPS61109007U (ja) * | 1984-12-21 | 1986-07-10 | ||
| US4753414A (en) * | 1986-04-14 | 1988-06-28 | Balzers Optical Corporation | Carbon coatings in replicated optics art |
| JPS63203163A (ja) * | 1987-02-19 | 1988-08-23 | 住友電気工業株式会社 | 眼内レンズ |
| GB2218606B (en) * | 1987-08-06 | 1991-01-30 | Stc Plc | Wavelength selective filter |
| US5151819A (en) * | 1988-12-12 | 1992-09-29 | General Atomics | Barrier for scattering electromagnetic radiation |
| GB9009059D0 (en) * | 1990-04-23 | 1990-06-20 | De Beers Ind Diamond | Diamond window |
| GB9019219D0 (en) * | 1990-09-01 | 1990-10-17 | Atomic Energy Authority Uk | Diamond-like carbon coatings |
| US5637353A (en) * | 1990-09-27 | 1997-06-10 | Monsanto Company | Abrasion wear resistant coated substrate product |
| US5268217A (en) * | 1990-09-27 | 1993-12-07 | Diamonex, Incorporated | Abrasion wear resistant coated substrate product |
| US5135808A (en) * | 1990-09-27 | 1992-08-04 | Diamonex, Incorporated | Abrasion wear resistant coated substrate product |
| US5527596A (en) * | 1990-09-27 | 1996-06-18 | Diamonex, Incorporated | Abrasion wear resistant coated substrate product |
| US5190807A (en) * | 1990-10-18 | 1993-03-02 | Diamonex, Incorporated | Abrasion wear resistant polymeric substrate product |
| GB2252333B (en) * | 1991-01-29 | 1995-07-19 | Spectra Physics Scanning Syst | Improved scanner window |
| US6183843B1 (en) * | 1991-12-06 | 2001-02-06 | Raytheon Company | Method for producing low reflectance diamond and products therefor |
| US5425983A (en) * | 1992-08-10 | 1995-06-20 | Santa Barbara Research Center | Infrared window protected by multilayer antireflective coating |
| CA2153345C (en) * | 1994-12-15 | 2000-01-11 | Robert William Filas | Low polarization sensitivity gold mirrors on silica |
| FR2744117B1 (fr) * | 1996-01-11 | 1998-04-03 | Saint Gobain Vitrage | Vitrage avec couches reflechissantes et son procede de fabrication |
| WO1997032823A2 (fr) * | 1996-03-07 | 1997-09-12 | Saint-Gobain Vitrage | Procede de depot sur du verre d'une couche reflechissante et produits obtenus |
| FR2752235B3 (fr) * | 1996-08-07 | 1998-08-28 | Saint Gobain Vitrage | Substrat verrier muni d'une couche reflechissante |
| US6071597A (en) * | 1997-08-28 | 2000-06-06 | 3M Innovative Properties Company | Flexible circuits and carriers and process for manufacture |
| DE19838826B4 (de) * | 1998-08-26 | 2005-03-03 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Optisches Element mit transparenter, kratzfester Beschichtung, Verfahren und Vorrichtung zu seiner Herstellung sowie dessen Verwendung |
| US20020051286A1 (en) * | 2000-10-27 | 2002-05-02 | Honeywell, Inc. | Wavlength specific coating for mirrored optics and method for reducing reflection of white light |
| JP5257642B2 (ja) | 2000-12-04 | 2013-08-07 | 住友電気工業株式会社 | セラミックス光学部品及びその製造方法 |
| US6459043B1 (en) | 2001-03-29 | 2002-10-01 | 3M Innovative Properties Company | Flexible circuit with electrostatic damage limiting feature and method of manufacture |
| US6815620B2 (en) | 2001-03-29 | 2004-11-09 | 3M Innovative Properties Company | Flexible circuit with electrostatic damage limiting feature |
| US6995954B1 (en) | 2001-07-13 | 2006-02-07 | Magnecomp Corporation | ESD protected suspension interconnect |
| US7489493B2 (en) * | 2003-12-01 | 2009-02-10 | Magnecomp Corporation | Method to form electrostatic discharge protection on flexible circuits using a diamond-like carbon material |
| JP5394663B2 (ja) * | 2008-06-20 | 2014-01-22 | キヤノン電子株式会社 | 光走査用マイクロミラーデバイス、光走査装置、画像形成装置、表示装置および入力装置 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US2854349A (en) * | 1954-09-20 | 1958-09-30 | American Optical Corp | Light altering means and method of making the same |
| US2907672A (en) * | 1958-08-25 | 1959-10-06 | Ford Motor Co | Aurous coating on an optical element |
| CH494409A (de) * | 1969-07-16 | 1970-07-31 | Balzers Patent Beteilig Ag | Vorderflächenspiegel und Verfahren zu seiner Herstellung |
| GB1588370A (en) * | 1978-05-11 | 1981-04-23 | Standard Telephones Cables Ltd | Infra-red transmitting elements |
| DE2829999C3 (de) * | 1978-07-07 | 1982-02-25 | Arnold & Richter Cine Technik GmbH & Co Betriebs KG, 8000 München | Spiegelreflex-Einrichtung |
| US4390595A (en) * | 1979-10-25 | 1983-06-28 | Hughes Aircraft Company | Environmentally protected IR windows |
-
1980
- 1980-11-13 DE DE8080304073T patent/DE3064976D1/de not_active Expired
- 1980-11-13 EP EP80304073A patent/EP0030792B1/en not_active Expired
- 1980-11-14 US US06/206,898 patent/US4383728A/en not_active Expired - Lifetime
- 1980-11-17 GB GB8036799A patent/GB2067304B/en not_active Expired
- 1980-11-19 JP JP16318380A patent/JPS5687002A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5687002A (en) | 1981-07-15 |
| GB2067304A (en) | 1981-07-22 |
| GB2067304B (en) | 1983-06-22 |
| EP0030792B1 (en) | 1983-09-21 |
| EP0030792A3 (en) | 1981-12-30 |
| US4383728A (en) | 1983-05-17 |
| EP0030792A2 (en) | 1981-06-24 |
| DE3064976D1 (en) | 1983-10-27 |
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