JPS6410664U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6410664U JPS6410664U JP10579487U JP10579487U JPS6410664U JP S6410664 U JPS6410664 U JP S6410664U JP 10579487 U JP10579487 U JP 10579487U JP 10579487 U JP10579487 U JP 10579487U JP S6410664 U JPS6410664 U JP S6410664U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductivity type
- piezoresistors
- pair
- well
- bending part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
Description
第１図〜第３図は一実施例を説明する図であり
、第１図は撓み部のピエゾ抵抗を拡大して示す平
面図である。第２図は第１図の―線断面図で
ある。第３図はｐ形ピエゾ抵抗とｎ形ピエゾ抵抗
によるフルブリツジを示す図である。第４図〜第
７図は従来例を説明する図で、第４図は半導体加
速度センサの平面図である。第５図は第４図のＶ
―Ｖ線断面図である。第６図は補償用抵抗により
ピエゾ抵抗出力をバイアスした回路図である。第
７図は一組のｐ形ピエゾ抵抗と一組の補償用抵抗
によるハーフブリツジ回路図である。 １：センサチツプ、１１：半導体基板、１２：
片持ち梁、１２ａ……重り部、１２ｂ：撓み部、
２１：Ｐウエル、２２，２３：ｎ形ピエゾ抵抗、
２４，２５：ｐ形ピエゾ抵抗。
、第１図は撓み部のピエゾ抵抗を拡大して示す平
面図である。第２図は第１図の―線断面図で
ある。第３図はｐ形ピエゾ抵抗とｎ形ピエゾ抵抗
によるフルブリツジを示す図である。第４図〜第
７図は従来例を説明する図で、第４図は半導体加
速度センサの平面図である。第５図は第４図のＶ
―Ｖ線断面図である。第６図は補償用抵抗により
ピエゾ抵抗出力をバイアスした回路図である。第
７図は一組のｐ形ピエゾ抵抗と一組の補償用抵抗
によるハーフブリツジ回路図である。 １：センサチツプ、１１：半導体基板、１２：
片持ち梁、１２ａ……重り部、１２ｂ：撓み部、
２１：Ｐウエル、２２，２３：ｎ形ピエゾ抵抗、
２４，２５：ｐ形ピエゾ抵抗。
Claims (1)
- 一導電形半導体基板から形成される撓み部と、
この撓み部に形成された反対導電形の一対のピエ
ゾ抵抗と、前記撓み部に形成された反対導電形の
ウエルと、このウエル内に前記一対のピエゾ抵抗
と平行に形成された一導電形の一対のピエゾ抵抗
とを備え、前記各一対のピエゾ抵抗をフルブリツ
ジ結線したことを特徴とする半導体力学量センサ
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987105794U JPH0648421Y2 (ja) | 1987-07-08 | 1987-07-08 | 半導体加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987105794U JPH0648421Y2 (ja) | 1987-07-08 | 1987-07-08 | 半導体加速度センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6410664U true JPS6410664U (ja) | 1989-01-20 |
| JPH0648421Y2 JPH0648421Y2 (ja) | 1994-12-12 |
Family
ID=31338728
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987105794U Expired - Lifetime JPH0648421Y2 (ja) | 1987-07-08 | 1987-07-08 | 半導体加速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0648421Y2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0587649A (ja) * | 1991-09-30 | 1993-04-06 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体応力検出装置 |
| JPH0587648A (ja) * | 1991-09-30 | 1993-04-06 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体応力検出装置 |
| JP2001304997A (ja) * | 2000-04-27 | 2001-10-31 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 半導体圧力センサ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60113157A (ja) * | 1983-10-28 | 1985-06-19 | ハネウエル・インコーポレーテッド | 加速度計 |
| JPS61139758A (ja) * | 1984-12-12 | 1986-06-27 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体加速度センサ |
-
1987
- 1987-07-08 JP JP1987105794U patent/JPH0648421Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60113157A (ja) * | 1983-10-28 | 1985-06-19 | ハネウエル・インコーポレーテッド | 加速度計 |
| JPS61139758A (ja) * | 1984-12-12 | 1986-06-27 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体加速度センサ |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0587649A (ja) * | 1991-09-30 | 1993-04-06 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体応力検出装置 |
| JPH0587648A (ja) * | 1991-09-30 | 1993-04-06 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体応力検出装置 |
| JP2001304997A (ja) * | 2000-04-27 | 2001-10-31 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 半導体圧力センサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0648421Y2 (ja) | 1994-12-12 |