JPS6410958U - - Google Patents
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- JPS6410958U JPS6410958U JP10488187U JP10488187U JPS6410958U JP S6410958 U JPS6410958 U JP S6410958U JP 10488187 U JP10488187 U JP 10488187U JP 10488187 U JP10488187 U JP 10488187U JP S6410958 U JPS6410958 U JP S6410958U
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- JP
- Japan
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- sample
- light
- photodetector
- electron beam
- electron microscope
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- Pending
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims 1
- 238000005136 cathodoluminescence Methods 0.000 claims 1
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- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 claims 1
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- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例の構成略図、第２図
は本考案を説明するための図、第３図は従来装置
の説明するための図である。 １０：試料ホルダー、１１：発光ダイオード、
１２：外部電源、１３：ケーブル、１４：放物面
鏡、１５：支持金具、１６：ライトガイド、１７
：鏡筒、１８：位置調整機構、１９：光学レンズ
、２０：光検出器、２１：電圧計。
は本考案を説明するための図、第３図は従来装置
の説明するための図である。 １０：試料ホルダー、１１：発光ダイオード、
１２：外部電源、１３：ケーブル、１４：放物面
鏡、１５：支持金具、１６：ライトガイド、１７
：鏡筒、１８：位置調整機構、１９：光学レンズ
、２０：光検出器、２１：電圧計。
Claims (1)
- 電子線により試料を照射するための手段と、該
照射によつて試料より発生したカソードルミネツ
センス光を集光して光検出器に導くための光学的
集光機構と、該集光機構による前記光検出器への
光伝達効率を増すため該集光機構の位置を調整す
るための位置調整機構とを備えた装置において、
前記試料への電子線照射位置に試料に置換して外
部よりの電力の供給により発光する発光源を配置
するための手段を備えたことを特徴とするカソー
ドルミネツセンス装置を備えた電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10488187U JPS6410958U (ja) | 1987-07-08 | 1987-07-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10488187U JPS6410958U (ja) | 1987-07-08 | 1987-07-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6410958U true JPS6410958U (ja) | 1989-01-20 |
Family
ID=31336994
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10488187U Pending JPS6410958U (ja) | 1987-07-08 | 1987-07-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6410958U (ja) |
-
1987
- 1987-07-08 JP JP10488187U patent/JPS6410958U/ja active Pending
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